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文檔簡介

1、第2章 流體輸送機械2.1 概述 (introduction)2.2 離心泵(centrifugal pump)2.3 往復泵( reciprocating pump)(略)2.4 其他化工用泵 (other kinds of pumps)(略)2.5 氣體輸送機械( gas transportation machine)(略) 本章的目的:結合化工生產(chǎn)的特點,討論各種流體輸送機械的結合化工生產(chǎn)的特點,討論各種流體輸送機械的操操作原理、基本構造與性能作原理、基本構造與性能,合理地,合理地選擇其類型、決選擇其類型、決定規(guī)格、計算功率消耗、正確安排在管路系統(tǒng)中的定規(guī)格、計算功率消耗、正確安排在管路

2、系統(tǒng)中的位置等,位置等,使輸送機械能在高效率下可靠地運行。使輸送機械能在高效率下可靠地運行。如果說管路是設備與設備之間、車間與車間之間、工廠與如果說管路是設備與設備之間、車間與車間之間、工廠與工廠之間聯(lián)系的通道的話,則流體輸送機械是這種聯(lián)系的工廠之間聯(lián)系的通道的話,則流體輸送機械是這種聯(lián)系的動力所在。動力所在。2.1 概述概述 流體從流體從 低處低處 高高 處處; 低壓處低壓處 高壓處高壓處; 所在地所在地 較遠處較遠處; 需要對流體做功,需要對流體做功,增加流體的機械能增加流體的機械能。流體輸送機械就是向流體作功以提高流體機械能的裝置。流體輸送機械就是向流體作功以提高流體機械能的裝置。流體輸

3、送 流體輸送機械的作用靜壓能位能阻力損失 流體輸送及輸送機械在化工生產(chǎn)中的普遍性、廣泛性流體輸送機械真空泵壓縮機鼓風機通風機氣體壓送機械泵液體輸送機械提高流體的機械能 一、流體輸送機械一、流體輸送機械二、流體輸送機械分類二、流體輸送機械分類特點:依靠旋轉的葉片向液體傳送機械能 特點:機械內(nèi)部的工作容積不斷發(fā)生變化。速度式:如離心式、軸流式、噴射式等流體輸送機械(按工作原理)容積式:如往復式、回轉式等離心泵外觀離心泵外觀2.2 2.2 離心泵離心泵2、離心泵工作原理離心泵的工作過程離心泵的工作過程: 1.1. 開泵前,開泵前,先在泵內(nèi)先在泵內(nèi)灌滿要輸送的液體灌滿要輸送的液體。 2. 2.開泵后,

4、泵軸帶動葉輪一起高速旋轉產(chǎn)生離心力。液體在開泵后,泵軸帶動葉輪一起高速旋轉產(chǎn)生離心力。液體在 此作用下,從葉輪中心被拋向葉輪外周,壓力增高,并此作用下,從葉輪中心被拋向葉輪外周,壓力增高,并以以 很高的速度(很高的速度(15-25 m/s)流入泵殼)流入泵殼。3.3.在蝸形泵殼中由于流道的不斷擴大,液體的在蝸形泵殼中由于流道的不斷擴大,液體的流速減慢流速減慢,使,使 大部分動能轉化為壓力能大部分動能轉化為壓力能。最后液體最后液體以較高的靜壓強從排以較高的靜壓強從排 出口流入排出管道。出口流入排出管道。4.4.泵內(nèi)的液體被拋出后,葉輪的中心形成了真空,泵內(nèi)的液體被拋出后,葉輪的中心形成了真空,在

5、液面壓在液面壓 強(大氣壓)與泵內(nèi)壓力(負壓)的壓差作用下,液體便強(大氣壓)與泵內(nèi)壓力(負壓)的壓差作用下,液體便 經(jīng)吸入管路進入泵內(nèi)經(jīng)吸入管路進入泵內(nèi),填補了被排除液體的位置。填補了被排除液體的位置。 由于泵內(nèi)存有空氣,空氣的密度遠小于液體由于泵內(nèi)存有空氣,空氣的密度遠小于液體的密度,葉輪旋轉產(chǎn)生的離心力小,因而葉輪中的密度,葉輪旋轉產(chǎn)生的離心力小,因而葉輪中心處所形成的低壓不足以將貯槽內(nèi)的液體吸入泵心處所形成的低壓不足以將貯槽內(nèi)的液體吸入泵內(nèi),此時雖啟動離心泵,也不能輸送液體,這種內(nèi),此時雖啟動離心泵,也不能輸送液體,這種現(xiàn)象稱為現(xiàn)象稱為氣縛現(xiàn)象氣縛現(xiàn)象。 表明離心泵無自吸能力表明離心泵

6、無自吸能力充液(灌泵)充液(灌泵)排液排液: 出口切線方向出口切線方向吸液:葉輪中心吸液:葉輪中心氣縛現(xiàn)象氣縛現(xiàn)象 葉輪 :2.2.2 離心泵的主要部件離心泵的主要部件* 作用作用 傳遞能量傳遞能量* 結構結構 前彎葉片、前彎葉片、后彎葉片后彎葉片、徑向葉片、徑向葉片* 類型類型 開式、半開式、閉式開式、半開式、閉式* 吸入方式吸入方式 單吸式、雙吸式單吸式、雙吸式流體通過葉輪的流動流體通過葉輪的流動絕對速度絕對速度c c是是u u與與的合成速度的合成速度在高速旋轉的葉輪當中,液體質(zhì)點的運動包括:在高速旋轉的葉輪當中,液體質(zhì)點的運動包括: 液體隨葉輪旋轉液體隨葉輪旋轉 u u方向與圓周的切線方

7、向一致方向與圓周的切線方向一致經(jīng)葉輪流道向外流動經(jīng)葉輪流道向外流動 方向為葉片的切線方向方向為葉片的切線方向 w2 c2 2 2 2 u2 w1 c1 1 1 u1葉片形狀對壓頭的影響泵壓頭ht與流量之間的關系22222tvuuhq ctggga22w2c2u2(a)(a)20,qv,ht 22w2c2u2(b)(b)2= 90o為徑向葉片為徑向葉片,ctg2 =0,ht不隨不隨qv變化變化2c22w2u2(c)(c) 2 90o為前彎葉為前彎葉片,片,ctg2 0,qv,ht902902902thvqgu /22 離心泵離心泵ht - qv圖圖 由此可見,前彎葉片產(chǎn)生的由此可見,前彎葉片產(chǎn)生

8、的 最大,似乎前彎葉片最有利,實際最大,似乎前彎葉片最有利,實際 情況是不是這樣呢?情況是不是這樣呢? th分析:分析: =位頭( )+靜壓頭( )+動壓頭( ) thzpg22ug 相同流量下,相同流量下, 的前彎葉片流體出口的絕對速度的前彎葉片流體出口的絕對速度 很大,而后彎葉片的動能較小。動壓頭通過蝸殼部分地轉很大,而后彎葉片的動能較小。動壓頭通過蝸殼部分地轉化為靜壓頭時,但由于化為靜壓頭時,但由于 大,液體在泵殼內(nèi)產(chǎn)生的沖擊劇大,液體在泵殼內(nèi)產(chǎn)生的沖擊劇烈得多,轉換時的能量損失大為增加,效率較低。故為獲烈得多,轉換時的能量損失大為增加,效率較低。故為獲得較多的能量利用率,得較多的能量利

9、用率,離心泵總是采用后彎葉片離心泵總是采用后彎葉片。2902c2c葉輪的分類葉輪的分類 根據(jù)結根據(jù)結構構閉式葉輪開式葉輪 半閉式葉輪 葉片的內(nèi)側帶有葉片的內(nèi)側帶有前后蓋板前后蓋板,適于,適于輸送干凈流體,效率較高。輸送干凈流體,效率較高。沒有前后蓋板沒有前后蓋板,適合輸送含有固,適合輸送含有固體顆粒的液體懸浮物。體顆粒的液體懸浮物。只有只有后蓋板后蓋板,可用于輸送漿料或,可用于輸送漿料或含固體懸浮物的液體,效率較低含固體懸浮物的液體,效率較低。按吸液方式按吸液方式 單吸式葉輪單吸式葉輪雙吸式葉輪雙吸式葉輪液體只能從葉液體只能從葉輪一側被吸入,輪一側被吸入,結構簡單。結構簡單。相當于兩個沒有蓋板

10、的單吸式葉相當于兩個沒有蓋板的單吸式葉輪背靠背并在了一起,輪背靠背并在了一起,可以從兩可以從兩側吸入液體側吸入液體,具有較大的吸液能,具有較大的吸液能力,而且可以較好的消除軸向推力,而且可以較好的消除軸向推力。力。 葉片(+蓋板)離心泵的葉輪離心泵的葉輪 泵殼(蝸殼): 思考:泵殼的主要作用是什么?導輪(導葉輪):導輪上葉片與葉輪上葉片方向相反 b. 實現(xiàn)動能向靜壓能轉變。作用: a. 匯集葉輪所拋出的液體; 作用:起緩沖作用,減少能量損耗,提高泵效率 泵軸泵軸軸封裝置機械密封填料密封減小泄漏,防止氣縛,提高效率位于葉輪中心且與葉輪所在平面垂直的一根軸。位于葉輪中心且與葉輪所在平面垂直的一根軸

11、。它由電機帶動旋轉,以帶動葉輪旋轉。它由電機帶動旋轉,以帶動葉輪旋轉。作用:防止高壓液體沿軸漏出防止高壓液體沿軸漏出 防止外界氣體進入泵殼內(nèi)。防止外界氣體進入泵殼內(nèi)。2.2.3 2.2.3 離心泵的主要性能參數(shù)離心泵的主要性能參數(shù) 轉速轉速流量流量壓頭壓頭軸功率和效率軸功率和效率允許汽蝕余量允許汽蝕余量1. 1.流量流量qv 單位時間內(nèi)泵實際輸出的液體體積,單位時間內(nèi)泵實際輸出的液體體積,m3/s或或m3/h 送液能力送液能力2. 2.揚程揚程( (壓頭壓頭) )he 離心泵對單位重量離心泵對單位重量( (1n) )液體所提供的有效能量,液體所提供的有效能量,單位為單位為j/n或或m 揚程的實

12、驗測量揚程的實驗測量 fehgugpzhgugpz22222221110fh222102epuuhhgg 離心泵的壓頭又稱揚程。必須注意,揚程并不等于升舉高度z,升舉高度只是揚程的一部分。 3 3. .軸功率及有效功率軸功率及有效功率(效率)軸功率軸功率p pa a:單位時間內(nèi)由原動機單位時間內(nèi)由原動機( (一般為電動一般為電動機機) )向泵軸輸入的功向泵軸輸入的功 有效功率有效功率p pe e:單位時間內(nèi)液體從泵中葉輪獲得單位時間內(nèi)液體從泵中葉輪獲得的有效能量的有效能量 evepqgheapp2.2.4離心泵的特性曲線離心泵的特性曲線hqv 、pqv 、 qv:廠家實驗測定廠家實驗測定一定轉

13、速、常壓、一定轉速、常壓、20清水清水(一)離心泵的特性曲線(一)離心泵的特性曲線離心泵特性曲線vqh vq vpqhp vq1)hq qv v曲線曲線:表示泵的壓頭與流量的關系,離心泵的壓頭普遍是隨流量的增大而下降(流量很小時可能有例外)2 2)p pq qv v曲線:曲線:表示泵的軸功率與流量的關系,離心泵的軸功率隨流量的增加而上升,流量為零時軸功率最小。 離心泵啟動時,應關閉出口閥,使啟動電流最小,以保護電機。3 3)q qv v曲線:曲線:表示泵的效率與流量的關系,隨著流量的增大,泵的效率將上升并達到一個最大值,以后流量再增大,效率便下降。 離心泵在一定轉速下有一最高效率點。離心泵在與

14、最高效率點相對應的流量及壓頭下工作最為經(jīng)濟。 與最高效率點所對應的qv、h、p值稱為最佳工況參數(shù)。離心泵的銘離心泵的銘牌上標明的就是指該泵在運行時最牌上標明的就是指該泵在運行時最高效率點的狀態(tài)參數(shù)。高效率點的狀態(tài)參數(shù)。 注意:在選用離心泵時,應使離心泵在該點附近工作。一般要求操作時的效率應不低于最高效率的92%。(二)離心泵特性曲線的影響因素(二)離心泵特性曲線的影響因素v液體性質(zhì) 密度密度:黏度黏度:當比20清水的大時,h,p, 實驗表明,當dd2)n1nn2n2(d2)n ( d )n1(d1)m2mm1h適用:調(diào)節(jié)幅度大,時間又長的季節(jié)性調(diào)節(jié)。適用:調(diào)節(jié)幅度大,時間又長的季節(jié)性調(diào)節(jié)。n泵

15、泵hqv曲線上移曲線上移工作點右上移,工作點右上移, h , qv 特點:泵在高效率下工作,特點:泵在高效率下工作, 能量利用經(jīng)濟能量利用經(jīng)濟; 需變速裝置(或切削葉輪)。需變速裝置(或切削葉輪)。(3)離心泵的組合操作離心泵的組合操作 并聯(lián)操作并聯(lián)操作h并h單hqv單qv并qvbaqv并并 h單單 cd管路特性曲線管路特性曲線并聯(lián)特性曲線并聯(lián)特性曲線 串聯(lián)操作串聯(lián)操作h單h串hqv單qv串qvbaqv串串 qv單單 h串串 qv需需, h泵泵 h需需 (4) 核算泵的功率。核算泵的功率。2.3 2.3 往復泵往復泵 一、往復泵的作用原理及類型一、往復泵的作用原理及類型往復泵的結構及作用原理往

16、復泵的結構及作用原理主要部件:泵缸、活塞主要部件:泵缸、活塞( (活活栓栓) )、活門、活門類型類型-動力來源:電動往復泵、動力來源:電動往復泵、氣動往復泵氣動往復泵-作用方式:單動往復泵、作用方式:單動往復泵、雙動往復泵雙動往復泵 往復泵是一種容積式泵,它依靠作往復運動的活塞依次開啟吸入閥和排出閥從而吸入和排出液體。 往復泵的工作原理往復泵的工作原理當活塞自左向右移動時,工作室的容積增大,形成低壓,貯池內(nèi)的液體經(jīng)吸入閥被吸入泵缸內(nèi),排出閥受排出管內(nèi)液體壓力作用而關閉。當活塞移到右端時,工作室的容積最大。 活塞由右向左移動時,泵缸內(nèi)液體受擠壓,壓強增大,使吸入閥關閉而推開排出閥將液體排出,活塞

17、移到左端時,排液完畢,完成了一個工作循環(huán),此后開始另一個循環(huán)。 活塞從左端點到右端點的距離叫行程或沖程。 活塞在往復一次中,只吸入和排出液體各一次的泵,稱為單動泵。 由于單動泵的吸入閥和排出閥均裝在活塞的一側,吸液時不能排液,因此排液不是連續(xù)的。 為了改善單動泵流量的不均勻性,多采用雙動泵或三聯(lián)泵 l 具有自吸能力,不必灌液具有自吸能力,不必灌液l 安裝高度也受限制安裝高度也受限制 2、與離心泵比較:、與離心泵比較:l 流量與壓頭幾乎無關流量與壓頭幾乎無關 由于受泵的部件機械強度和原動機功率的限由于受泵的部件機械強度和原動機功率的限制,泵的揚程不可能無限增大。制,泵的揚程不可能無限增大。 壓頭

18、越大,漏損越大。壓頭越大,漏損越大。 h 0 ql 輸液量不均勻、不連續(xù)輸液量不均勻、不連續(xù)l 流量調(diào)節(jié)不可用出口閥門調(diào)節(jié)方法。流量調(diào)節(jié)不可用出口閥門調(diào)節(jié)方法。 數(shù)數(shù)改改變變活活塞塞行行程程或或往往復復次次旁旁路路調(diào)調(diào)節(jié)節(jié)流流量量調(diào)調(diào)節(jié)節(jié)方方法法 適用于小流量、高壓頭的情況下輸送適用于小流量、高壓頭的情況下輸送高粘度的液體高粘度的液體。l 效效率率高高,通通常常為為 7 72 2 9 93 3% %。旁旁路路2.4 2.4 其他化工用泵其他化工用泵2.4.1 2.4.1 非正位移泵非正位移泵2.4.1.1 2.4.1.1 軸流泵軸流泵(一)結構(一)結構(二)特點(二)特點1. 1. h-qh

19、-qv v曲線很陡,最大壓頭(曲線很陡,最大壓頭(q qv v0 0)可能達到額定值的可能達到額定值的1.51.52 2倍。倍。2. 2. 流量越小,所需功率越大。流量越小,所需功率越大。 q qv v0 0時時其功率可能高出額定值的其功率可能高出額定值的20%40%20%40%;3. 3. 適用于低壓頭、適用于低壓頭、大流量大流量的流體輸送。的流體輸送。4. 4. 一般不設置出口閥,調(diào)節(jié)流量是采一般不設置出口閥,調(diào)節(jié)流量是采用改變泵的特性曲線的辦法來實現(xiàn)的。用改變泵的特性曲線的辦法來實現(xiàn)的。螺旋槳式葉片,消除液體的徑向流動螺旋槳式葉片,消除液體的徑向流動(一)(一)結構結構一種特殊的離心泵。

20、一種特殊的離心泵。2.4.1.2 2.4.1.2 旋渦泵旋渦泵(二)特點(二)特點1. 1. 啟動泵時,要打開出口閥門,改變啟動泵時,要打開出口閥門,改變流量時,旁路調(diào)節(jié)比安裝調(diào)節(jié)閥更經(jīng)流量時,旁路調(diào)節(jié)比安裝調(diào)節(jié)閥更經(jīng)濟;濟;2. 2. 能量損失大,效率低(能量損失大,效率低(20%40%20%40%),),不適合輸送高粘度液體;不適合輸送高粘度液體;3. 3. 壓頭比離心泵高壓頭比離心泵高2424倍,適用于高壓倍,適用于高壓頭、小流量、低粘度清潔液體。頭、小流量、低粘度清潔液體。4. 4. 結構簡單、加工容易,可采用各種結構簡單、加工容易,可采用各種耐腐蝕材料制造。耐腐蝕材料制造。5. 5.

21、 輸送液體不能含有固體。輸送液體不能含有固體。2.4.2 2.4.2 正位移泵正位移泵1. 1. 隔隔膜泵膜泵2. 2. 計量計量泵泵3.齒輪泵3.螺桿泵第三節(jié)第三節(jié) 氣體輸送機械氣體輸送機械 一、概述一、概述1.氣體輸送機械在工業(yè)生產(chǎn)中的應用氣體輸送機械在工業(yè)生產(chǎn)中的應用-氣體輸送氣體輸送 -產(chǎn)生高壓氣體產(chǎn)生高壓氣體 -生產(chǎn)真空生產(chǎn)真空2.氣體輸送機械的一般特點氣體輸送機械的一般特點-動力消耗大動力消耗大 -氣體輸送機械體積一般都很龐大氣體輸送機械體積一般都很龐大-特殊性特殊性氣體的可壓縮性氣體的可壓縮性3.氣體輸送機械的分類 工作原理工作原理離心式離心式 旋轉式旋轉式 往復式往復式 噴射式

22、噴射式出口壓力出口壓力( (終壓終壓) )和壓縮比和壓縮比通風機:終壓通風機:終壓( (表壓表壓)15 kpa,)15 kpa,壓縮比壓縮比1 11.151.15鼓風機:終壓鼓風機:終壓1515300 kpa300 kpa, 壓縮比壓縮比4 4壓縮機:終壓壓縮機:終壓300 kpa300 kpa, 壓縮比壓縮比4 4。真空泵:在設備內(nèi)造成負壓,終壓為大氣壓,壓真空泵:在設備內(nèi)造成負壓,終壓為大氣壓,壓縮比由真空度決定縮比由真空度決定二、二、離心式通風機離心式通風機 (一)離心式通風機的結構特點(一)離心式通風機的結構特點葉輪直徑比較大葉輪直徑比較大 葉片的數(shù)目比較多葉片的數(shù)目比較多 不追求高效

23、率時,用前彎葉片有利于提不追求高效率時,用前彎葉片有利于提高壓頭,減小葉輪直徑高壓頭,減小葉輪直徑 機殼內(nèi)逐漸擴大的通道及出口截面常為機殼內(nèi)逐漸擴大的通道及出口截面常為為矩形為矩形(二)性能參數(shù)與特性曲線(二)性能參數(shù)與特性曲線(1)風量)風量qv單位時間從風機出口排出的氣體體積,單位時間從風機出口排出的氣體體積, m3/h或或 m3/s。注意:注意: qv應以風機進口狀態(tài)計。應以風機進口狀態(tài)計。1. 性能參數(shù)性能參數(shù)(2)風壓)風壓22212121()()()2tefpwzzgppuuh 以單位體積的氣體為基準以單位體積的氣體為基準 221211221122efppz guhz guh 以單

24、位質(zhì)量的氣體為基準,在風機進、出口間列伯努利方程以單位質(zhì)量的氣體為基準,在風機進、出口間列伯努利方程 22122)(upppt 動風壓動風壓 222dpu 靜風壓靜風壓 12ppps全風壓全風壓tsdppp0)(12 gzz 0fh 01 u22212121()()()2tefpwzzgppuuh 全風壓(全風壓(pt):單位體積的氣體經(jīng)風機后所獲得的能量,:單位體積的氣體經(jīng)風機后所獲得的能量,pa或或mmh2o(3)軸功率與效率軸功率與效率w wvtq pp 2. 特性曲線特性曲線 用用20、101.3kpa的的空氣空氣( =1.2kg/m3)測)測定。定。 風機的全風壓與風機的全風壓與氣體

25、的密度成正比氣體的密度成正比。qvpqvqvptqvpsqvn一定一定( (三三) ) 離心通風機的選用離心通風機的選用 1. 計算輸送系統(tǒng)所需的全風壓,再換算成標定狀計算輸送系統(tǒng)所需的全風壓,再換算成標定狀態(tài)下的全風壓;態(tài)下的全風壓;tttppp 2 . 100 3. 根據(jù)根據(jù)qv、pt0 選風機的型號。選風機的型號。 qv qv需需 , pt0 pt0需需2. 根據(jù)氣體的性質(zhì)及風壓范圍,確定風機的類型;根據(jù)氣體的性質(zhì)及風壓范圍,確定風機的類型;二、鼓風機二、鼓風機(一)離心鼓風機(一)離心鼓風機特點:特點:外形外形 離心泵離心泵外殼直徑與厚度之比較大外殼直徑與厚度之比較大葉片數(shù)目較多葉片數(shù)

26、目較多轉速較高轉速較高 單級出口表壓多在單級出口表壓多在30kpa30kpa以內(nèi);以內(nèi);多級可達多級可達0.3mpa 0.3mpa (二)(二)羅茨鼓風機羅茨鼓風機 流量調(diào)節(jié)流量調(diào)節(jié)旁路調(diào)節(jié)或調(diào)轉速;旁路調(diào)節(jié)或調(diào)轉速; 開機時打開出口閥門;開機時打開出口閥門; 操作溫度操作溫度 5000rpm)優(yōu)點優(yōu)點:流量大而均勻,體積小,運轉平穩(wěn),容易調(diào)節(jié),維護方便。(二)(二)往復式壓縮機往復式壓縮機四、真空泵 (vacuum pump)(一)(一)水環(huán)真空泵水環(huán)真空泵 水環(huán)真空泵屬濕式真空泵,結構簡單。由于旋轉部分沒有機械摩擦,使用水環(huán)真空泵屬濕式真空泵,結構簡單。由于旋轉部分沒有機械摩擦,使用壽命長

27、,操作可靠。適用于抽吸夾帶有液體的氣體。但效率低,一般為壽命長,操作可靠。適用于抽吸夾帶有液體的氣體。但效率低,一般為30%30%- -50%50%,所能造成的真空度還受泵體內(nèi)水溫的限制。,所能造成的真空度還受泵體內(nèi)水溫的限制。 (二)旋片真空泵(二)旋片真空泵特點:可達較高的真空度,如能有效控制管路與泵等接口處的空氣漏入,且采特點:可達較高的真空度,如能有效控制管路與泵等接口處的空氣漏入,且采用高質(zhì)量的真空油,真空度可達用高質(zhì)量的真空油,真空度可達99.99%99.99%以上。以上。 (三)往復式真空泵(三)往復式真空泵 工作原理與往復式壓縮機相同,只是因抽工作原理與往復式壓縮機相同,只是因抽吸氣體壓強很小,結構上要求排出和吸入閥門吸氣體壓強很小,結構上要求排出和吸入閥門更加輕巧靈活,易于啟動。更加輕巧靈活,易于啟動。 往復式真空泵屬干式真空泵,不適宜抽吸往復式真空泵屬干式真空泵,不適宜抽吸含有較多可凝性蒸汽的氣體。含有較多可凝性蒸汽的氣體。 (四)噴射真空泵(四)噴射真空泵 結構簡單,無運動部

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