北京凱碩恒盛科技有限公司減薄機(jī)HRG說明書

1、HRG-150 AM TECHNOLOGY Co., Ltd.序言 警告位置零件警告說明A主軸，皮帶，電機(jī)旋轉(zhuǎn)BOscillation Motor旋轉(zhuǎn)，移動C工作砂輪旋轉(zhuǎn)D修整砂輪旋轉(zhuǎn)，移動E修整輪的電機(jī)旋轉(zhuǎn)，移動F工作臺旋轉(zhuǎn)，移動G工作軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)，移動H進(jìn)給工作軸電機(jī)旋轉(zhuǎn)，移動K控制面板電氣危險LNFB，效用提高電氣危險M電氣柜電氣危險 一般注釋你必須定期的執(zhí)行這個過程以保持設(shè)備的狀態(tài)良好.但有些工作包含非常危險的部分.所以你必須小心、集中精力去做這項(xiàng)工作.最重要的是 “保證安全及事故預(yù)防”你必須仔細(xì)閱讀并認(rèn)真遵守這個章節(jié)里面的內(nèi)容. 關(guān)于設(shè)備的運(yùn)輸至于有關(guān)設(shè)備的裝載和卸載，說明書中的運(yùn)輸部

2、分已經(jīng)給出說明，一定要按照其中的操作規(guī)程去做.包裝上面的說明和符號一定要接受.警告 : 設(shè)備舉起后，不要在下面行走和停留；設(shè)備不要舉過頭頂 關(guān)于進(jìn)入操作和操作過程中的注意事項(xiàng)在連接設(shè)備的電氣線路之前，必需檢查目前的主電源電壓是否和輸入的電壓一致. 主電源線路不是單獨(dú)裝有保險絲的，所以要提供一個合適的保險盒. 連接主要的電纜后檢查旋轉(zhuǎn)方向是否正確（電力上的）.反復(fù)緊固設(shè)備上的電氣終端元件.開始工作前, 必需檢查工作砂輪是否已經(jīng)用螺絲緊固.當(dāng)所有的安全裝置裝好后，例如安全門、蓋子及機(jī)殼等才能啟動設(shè)備.當(dāng)從鋒利的工作砂輪上裝卸工作零件時要格外小心. 關(guān)于設(shè)備的維護(hù)保養(yǎng)操作說明書中已經(jīng)說明了設(shè)備檢查、

3、維護(hù)和保養(yǎng)期間的注意事項(xiàng)，要嚴(yán)格遵守.要有兩個或以上人員從事維護(hù)保養(yǎng)工作，工作的各方面都要正確的裝卸. 電氣系統(tǒng)部分 在進(jìn)行所有檢查、維護(hù)和保養(yǎng)之前，一定要將設(shè)備的主開關(guān)置于“OFF”位置.當(dāng)管路系統(tǒng)或裝置工作時，保證恰當(dāng)?shù)牟考ㄩy，閥門）保持關(guān)閉.壓縮空氣管路的壓力應(yīng)該是安全的.冷卻水管路里面應(yīng)該是空的.不要修復(fù)破損的管路，應(yīng)該及時更換新的.當(dāng)出現(xiàn)多孔或裂縫時，立即更換軟管.為防止有螺絲的接頭漏泄，應(yīng)在沒有壓力下擰緊.設(shè)備和輔助設(shè)備之間的彈性軟管不能扭結(jié)，避免受到損害.工作時使用正確合適的工具.立即更換有故障的零件, 任何不得不拆卸的部分必須相應(yīng)的標(biāo)明記號.當(dāng)移動蓋子，鉸鏈蓋，電氣封閉塞時,

4、 在任何封閉現(xiàn)場標(biāo)明記號. 重新裝配前清潔密封面.作為一個基本原理，緊固件應(yīng)該時常更新，主要是指螺絲、螺母、彈簧墊圈、普通墊圈等.有螺紋的接口裝配時應(yīng)使用適當(dāng)?shù)臐櫥瑒┗蛎芊鈩? 潤滑之前徹底地清潔內(nèi)接頭.當(dāng)更換油或油脂時，應(yīng)確保所用的油脂是廠商指定或推薦使用的.警告 : 處理清潔原料和溶劑、黏結(jié)劑、潤滑劑時, 必須遵守事故預(yù)防有關(guān)條例進(jìn)行處理，以防事故和火災(zāi)的發(fā)生.由于嚴(yán)格禁止雜物或碎屑落下，所以設(shè)備經(jīng)常清潔. 清洗時不要把噴射水對準(zhǔn)曲經(jīng)密封面（防止磨削碎屑進(jìn)入主軸部分）.保證設(shè)備周圍地面的清潔和干凈.當(dāng)移除潤滑劑清潔劑和溶劑或油之類等廢棄物時，必需遵守環(huán)境保護(hù)相關(guān)的規(guī)章制度.當(dāng)進(jìn)行電氣方面的

5、操作時，主電源的開關(guān)要關(guān)閉并鎖緊，并在醒目的位置標(biāo)明危險字樣.關(guān)閉電氣部分的主開關(guān)后，在進(jìn)行下一步工作前，先檢查各元件（包括損壞的和能正常工作的）的上面是否存在電壓.在沒有電的情況下才允許把插頭拔出來.連接設(shè)備的電纜不要拉的太緊，不要用拉電纜的方法把插頭從插座中拔出來.額外的電氣裝置或系統(tǒng)只能用插座連接，不能在電氣柜里面接.After use, refit closure caps to sockets to prevent ingress of dirt and moisture.當(dāng)處理檢查維修電氣元件時，要有靜電保護(hù)措施，靜電防護(hù)的方法如下： 地面導(dǎo)電、工作面接地、戴有導(dǎo)電條的手套和鞋、靜

6、電保護(hù)服、合適的靜電包裝紙或容器等.不要把廢舊電池扔火里：有爆炸的危險.只能使用同一型號的電池，當(dāng)丟棄廢舊電池時, 遵守環(huán)境保護(hù)的相關(guān)規(guī)定.多余的在塑料容器里低溫干燥保存，不能在包裝里面保存超過6個月. 維護(hù)保養(yǎng)完成后注意事項(xiàng)當(dāng)完成維護(hù)保養(yǎng)后，請按照下面的操作進(jìn)行：正確安裝所有的擋板.檢查設(shè)備、電氣系統(tǒng)和附屬的裝置和系統(tǒng)以確保正常功能.其余細(xì)節(jié)會在操作說明書中適當(dāng)?shù)恼鹿?jié)做說明，小的冊子是關(guān)于連接設(shè)備的附屬裝置或系統(tǒng)的說明書.緒論導(dǎo)言HRG-150 臥式旋轉(zhuǎn)研磨機(jī)有如下幾個特征：安全, 整潔、高效率研磨及人性化的操作面板.有很高的精度（平面度：1， 厚度：±2） 操作簡單易學(xué)，即使初次

7、使用的也能很好的掌握.THE IN-PROCESS修整系統(tǒng)讓你實(shí)現(xiàn)更高的性能. HRG-150 提醒 ! 請在仔細(xì)閱讀本手冊后再啟動運(yùn)行設(shè)備. 除指定的人員外其余人員不得操作設(shè)備. 否則會出現(xiàn)報警信息或造成設(shè)備的損壞. 如果您遇到任何問題，請立即給我們打電話： +82-31-319-1906 ， 或發(fā)郵件： amtamtechnology.co.kr 感謝您使用我們的設(shè)備.第一章控制面板()1. 控制面板() 啟動設(shè)備前的預(yù)防措施！ 啟動設(shè)備前，請按照下面的提示認(rèn)真檢查. (1) 干燥的壓縮空氣是否供給？壓縮空氣壓力是否大于 0.5 MPa？ - 我們經(jīng)常設(shè)定壓縮空氣壓力為 0.50.6 MP

8、a (56 kg/) (2)連接設(shè)備的軟管是否緊固？（冷卻水、干燥空氣） (3) 電氣供給是否達(dá)到所需要求?1) 修整時間： No Function.2) 砂輪主軸轉(zhuǎn)速儀表：顯示工作主軸的旋轉(zhuǎn)速度.3) 改變修整砂輪旋轉(zhuǎn)速度的電阻， 65%相當(dāng)于500 rpm4) 位置顯示：當(dāng)工作軸置于回復(fù)位置時5) 真空度顯示：當(dāng)真空壓力超過設(shè)定值時起作用.6) 工作顯示 ：工作狀態(tài)下起作用.7) 錯誤信息顯示：當(dāng)出現(xiàn)錯誤時這個顯示器起作用.8) 回復(fù)按鈕： 若出現(xiàn)異常或錯誤的情況下，此按鈕彈回.9) 電源開關(guān) ：開/關(guān)10) 修整開/關(guān)：菜單模式 + 修整開 修整砂輪會旋轉(zhuǎn)工作，冷卻液供給.11) B/W

9、 : 菜單模式 + 此按鈕 修整砂輪會移向工作軸直到按F/W按鈕或傳感器（附在汽缸上面的）已經(jīng)探測到.（修整砂輪的位置傳感器探測到修整砂輪的反向移動）12) F/W : 菜單模式 +此按鈕 修整砂輪會移向砂輪方向知道按下B/W按鈕13) 手動 / 自動 / 修整模式選擇器 S/W 14) 真空開/關(guān)S/W : 若真空不開，你不能開始工作步驟.15) 進(jìn)給速度高/低選擇器 S/W : 手動 模式選擇 + 按下F5按鈕 + or 工作主軸以此速度移動.16) JOG (+) 按鈕：手動 模式 選擇 + 按下F5 按鈕 + 這個按鈕 工作軸移向砂輪軸.17) JOG (-)按鈕：手動 模式選擇 +按

10、 F5按鈕+這個按鈕工作軸反向移動到砂輪軸.18) 壓力 START按鈕：自動模式選擇 ，打開真空， Door sensor開（門已經(jīng)關(guān)閉 ）， 你可以用這個按鈕打開工作壓力.19) 壓力 STOP按鈕：停止工作壓力或修整壓力. 則工作軸回到起始位置.20) 復(fù)位按鈕：手動 模式選擇 + 按 JOG(+)(-) 按鈕 or + 這個按鈕 當(dāng)前工作軸位置數(shù)據(jù)變?yōu)樗俣葦?shù)據(jù)并且移動到起始位置.如果已經(jīng)選擇 修整模式 在 , 那么當(dāng)前位置的數(shù)據(jù)不會在RAPID POSITION中保存下來.21) 緊急按鈕 S/W：按下這個會使整個設(shè)備所有的系統(tǒng)停止.向右轉(zhuǎn)動開關(guān)就可以使它復(fù)位，工作軸也會回到原始位置.

11、22) 工作主軸速度R.P.M. ：這個轉(zhuǎn)速儀表顯示工作主軸的旋轉(zhuǎn)速度.(The set data have no function)第二章.數(shù)據(jù)的設(shè)定2-1. 操作面板()2-2. 菜單模式的說明2-3. 詳述各個模式的作用2-4. 減薄研磨的操作步驟2-1. 操作面板() 啟動設(shè)備前的預(yù)防措施! 啟動設(shè)備前，請按下面的提示認(rèn)真檢查. (1) 干燥空氣壓力是否大于 0.5 MPa ？ - 我們經(jīng)常設(shè)定空氣壓力為 0.50.6 MPa (56 kg/) (2)管路的連接是否緊固 (冷卻水、空氣) (3)電氣方面的供給是否符合要求？ 按下啟動按鈕. 注意！在設(shè)備關(guān)閉后不要立即啟動設(shè)備. 請稍候十

12、幾秒鐘. 當(dāng)設(shè)備啟動后，面板上面顯示如下內(nèi)容： 設(shè)備型號，電源，產(chǎn)品序號， REVISION LEVEL, 設(shè)計者名稱.下面內(nèi)容只能顯示3秒鐘.AM TECHNOLOGY LTD. MODEL NO : HRG-150 ELECTRIC SOURCE : 220V 3PHASE 30A S / N : 01A102E REV 7.1 PROGRAM BY AM TECHNOLOGY LTD.2-2. 菜單模式的說明.這是初始菜單的顯示屏幕.AM TECHNOLOGY LTD. GRIND M/C NO=01POS = 000.000 MMWORKDRESSSETADDJOGESC DATA M

13、ODEHOMEWORKMODE AUTONO. :屏幕上顯示晶片的順序號： NO.1 NO.2 NO.3當(dāng)自動運(yùn)行步驟啟動后，這個數(shù)字加1. During Add Work Mode process, the figure will not increased.自動修整后，這個數(shù)字自動回復(fù)為 "1".2-2-1. POS=000.0000 MM 顯示當(dāng)前位置的坐標(biāo). 因此，當(dāng)設(shè)備由關(guān)開時，你最好按F3設(shè)定HOME. 2-2-2. 工作數(shù)據(jù) 若你按F1，你可以修改工作數(shù)據(jù). 操作者可進(jìn)行存儲切削量，切削進(jìn)給速度，磨削拋光時間和刀具校正的輸入. 這些數(shù)據(jù)會一直保存在存儲器中.2

14、-2-3. 修整模式 若你按 F2 ，允許你設(shè)定修整步驟的有關(guān)參數(shù)。你可以修改切削量(DWP)，切削進(jìn)給速度(DWV)和快速移動的位置(DRP). 這些數(shù)據(jù)也被保存在存儲器中.2-2-4. SET HOME 當(dāng)你按F3，工作臺會移動到自動尋找的中心位置，中心位置的發(fā)光二極管點(diǎn)亮。不管你何時啟動設(shè)備或設(shè)備出現(xiàn)錯誤，在啟動設(shè)備前都要把工作臺恢復(fù)原位.注意：復(fù)位之前不要開動設(shè)備. 否則會發(fā)生事故.2-2-5. ADD WORK MODE在 AUTO RUN MODE下工作后，測量工件尺寸。如果還需要再磨削，就用 ADD WORK MODE.。你可以保存加工時間，在 ADD WORK MODE中， r

15、apid position 就是AUTO RUN MODE中的最終位置. 在這種情況下，你可以用 ADD WORK MODE工作. 2-2-6. JOG MODE 當(dāng)你選擇 JOG MODE F5 鍵，允許你緩慢移動工作臺. 你可以通過選擇開關(guān)來選擇高速或低速. 用這個可以在砂輪和工件間找到接觸點(diǎn). 找到接觸點(diǎn)后，按下 HOME 按鈕. 這時，如果你選擇 MANUAL MODE，那么設(shè)備就會自動的把這個點(diǎn)看作磨削的參考點(diǎn)（rapid movement position）。但是，若你選擇 AUTO MODE 或 DRESS MODE，那么工作軸就會在沒有保存相對于參考點(diǎn)的位置而移動到零位置。2-

16、2-7. AUTO RUN MODE 如果你選擇 F6 ，允許你自動反復(fù)的運(yùn)行設(shè)備。 你可以在MANUAL/AUTO/DRESS 選擇開關(guān)上選擇 AUTO，進(jìn)入這個菜單。如果你選擇： MANUAL MODE，工作砂輪和工作軸就會旋轉(zhuǎn)，冷卻液開，但工作軸不會移動到工作位置。 DRESS MODE，當(dāng)你按下開始按鈕后，修整砂輪就會行進(jìn)直到被前面的傳感器感應(yīng)到， 工作軸移動到 DRP位置并開始修整。當(dāng)工作軸到達(dá)修整的最終位置(DWP+DRP)時，工作軸稍后3秒鐘做磨削拋光時間，然后工作軸回到中心位置，汽缸也到達(dá)最原始的位置。我們把這一步驟稱為SEMI-AUTO DRESSING PROCESS。 A

17、UTO MODE,，當(dāng)你按下開始按鈕后，那么平常的工作步驟就會進(jìn)行.2-3. 各個模式的作用2-3-1. WORK DATA 當(dāng)你按下F1時，你能看到下面的顯示畫面。 你可以輸入存儲切削量，移動速度，磨削時間和TC（刀具校正）。AM TECHNOLOGY LTD GRIND M/CWORK POSITION MOVE DATA CHANGEPOS1=0.300 VEL1=1 SK1=30 RP1=49.290POS2=0.300 VEL2=1 SK2=30 RP2=49.290 POS1, VEL1, SK1, RP1分別表明操作步驟前的存儲磨削量，移動速度，磨削時間和參考位置 的數(shù)值。 PO

18、S2 是存儲的新的存儲磨削量。 單位是 mm. 例如，若你想要 300 的磨削量，你只要輸入0.3 按 ENTER 即可。 如果你只是按 ENTER而沒有改變數(shù)值，那么就會顯示以前的數(shù)值，光標(biāo)也會移動到VEL2 位置。 現(xiàn)在光標(biāo)停留在VEL2 位置。 VEL2允許你設(shè)定進(jìn)給速度，單位是 /sec。 例如，如果你想要 1 /sec，只要輸入 1 然后按下ENTER即可。 如果你只是按 ENTER而沒有改變數(shù)值，那么就會顯示以前的數(shù)值光標(biāo)也會移動到 SK2 位置。 現(xiàn)在光標(biāo)停留在SK2位置 SK2 表示SPARK-OUT TIME. 你可以在 SECOND 部分設(shè)定數(shù)值。 例如，你想輸入30，這表

19、示 SPARK-OUT 是30秒。如果你只是按 ENTER而沒有改變數(shù)值，那么就會顯示以前的數(shù)值并且光標(biāo)也會移動到 PR2位置?，F(xiàn)在光標(biāo)停留在RP2 位置。RP2允許你設(shè)定參考點(diǎn)（接觸點(diǎn)）。單位是 /sec這個數(shù)據(jù)會被自動保存下來。首先，選擇 MANUAL MODE.按 F5功能鍵選擇JOG MODE。用JOG HIGH/LOW SPEED, JOG+, JOG- 按鈕移動工作軸。 當(dāng)你找到參考點(diǎn)后， 按下HOME按鈕。 那么這個當(dāng)前位置會被保存在這個 RP2 ，工作軸也會回到0位置。 如果這時你選擇 AUTO MODE或 DRESS MODE ，那么工作軸移動到0位置而不會保存這個當(dāng)前位置在

20、 RP2中。 如果你只是按ENTER而沒有改變數(shù)值，那么以前的數(shù)值就會顯示顯示屏幕也會變?yōu)樽畛醯娘@示屏幕。 請謹(jǐn)慎的輸入新的數(shù)據(jù) 再次檢查 If you do mis-input data,只要按 ENTER 直到MENU Screen顯示。 選擇 F1 WORK DATA 然后再次編輯數(shù)據(jù)。 輸入錯誤數(shù)據(jù) 如果在DRESS MODE(DRP+DWP)中的最終位置比在AUTO RUN MODE中的大，則顯示信息“WRONG DATA INPUT”， 當(dāng)你選擇 F6 AUTO RUN MODE時。 DRP + DWP > POS + RP => "WRONG DATA IN

21、PUT" -> 當(dāng)這個信息顯示時，你不能進(jìn)行操作步驟。改變 DRP然后開始工作步驟。 DRP + DWP > 40 mm => "CHECK DRESS STONE" ->當(dāng)這個信息顯示時，你不能進(jìn)行操作步驟。 更換心的修整砂輪 并找到修整砂輪的參考位置(DRP). 當(dāng)工作砂輪是新的的時候決定設(shè)定的數(shù)據(jù)，修整用的磨石剩余 2mm。2-3-2. 修整模式 如果你選擇F2 鍵，你可以編輯關(guān)于修整的數(shù)值.AM TECHNOLOGY LTD GRIND M/CDRESS AXIS MOVING DATA SETTING MODEWP=0.200 W

22、V=5 DRP=25.036 TC=10CNT=02EN=1WP=0.200 WV=5 DRP=25.036 TC=10CNT=02EN=1 WP, WV, DRP 是關(guān)于修整方面的參數(shù)。 輸入數(shù)據(jù)的方法和 WORK DATA中提到的相同。 WP 表示修整砂輪的存儲磨削量 單位是 mm. WV 表示修整輪到達(dá)DRP 位置直到工作軸到達(dá)修整的最終位置 (WP+DRP)的進(jìn)給速度。 單位是 um/sec DRP 表示位于前進(jìn)位置的修整砂輪軸下的修整用砂輪磨石的the Rapid approaching position 。 單位是 mm. 你可以象這樣找到這個 DRP位置. 看右邊的圖片。1. 選

23、擇Manual Mode.2. 按F5功能鍵選擇 JOG MODE。3. 按 F/W 按鈕用來移動修整輪的軸向前面方向移動。4. 用JOG(+), JOG(-) 按鈕來移動工作軸直到工作輪和修整輪相遇在A.5. 看屏幕并記下current position. JOG MODEPOS=006.260 MM6. 選擇 Auto Mode或 Dress Mode.7. 按HOME按鈕，則工作軸回到0位置。如果在第6步你不選擇 Auto Mode 或 Dress Mode，那么 current position 會被自動保存在RP1 F1 中。8. 按 F2 功能鍵并輸入上面的位置數(shù)據(jù)到 DRP中。請

24、認(rèn)真仔細(xì)的檢查數(shù)值!如果你有兩個這樣的數(shù)值, 請用 JOG MODE再次確認(rèn)證實(shí)一下。TC 表示距離補(bǔ)償。自動修整后， RP1(Rapid approaching position for wafer ; 見2-3-1) will be added with this distance. 現(xiàn)在設(shè)定為10 um. 單位是umCNT : When the count of wafer reached to this parameter, then after you pushed START button in the next Auto Run Mode, the Auto Dressing p

25、rocess will be started automatically. This parameter will be count in the program, and will not count in Add Work Mode. Maximum is 99.EN ：是否使用上面的 CNT功能。當(dāng)你把這個參數(shù)設(shè)為“1”，那么就意味著你要使用CNT功能。但是，如果你不是設(shè)為“1”，例如， "2", "3", "4"., 那么就意味著你不使用CNT功能。2-3-3. SET HOME 任何時候你啟動設(shè)備或遇到錯誤的情況下，按 F3

26、 鍵再次設(shè)定 MECHANICAL HOME POSITION 。 如果你按 F3 鍵，工作臺移動尋找 HOME POSITION. After that, the screen will be changed with MENU SCREEN. HOME LED 點(diǎn)亮。AM TECHNOLOGY LTD GRIND M/CRETURN TO HOME POSITION MODEPOS = 000.000 MM PLEASE WAIT. 2-3-4. JOG MODE JOG MODE 用來手動研磨工件或者是尋找砂輪表面和工件表面的接觸點(diǎn)。 如果你按F5鍵，將允許你移回工作臺，前面你可以從屏幕

27、上看到從原始位置移動到當(dāng)前位置。 你也可以通過轉(zhuǎn)動JOG SPEED SELECTOR開關(guān)來控制速度的高和低。 JOG MODEPOS=000.000 MM 如果你想要找到工作輪和工件之間的接觸點(diǎn)： 1. 選擇 Manual Mode 和高的 Jog Speed. 2. 通過 JOG(+) and JOG(-) 按鈕移動工作臺到砂輪頭前面，距砂輪頭0.5mm。 3. 選擇LOW SPEED. 4. 再次移動工作臺到砂輪頭直到工作砂輪和工件有接觸。 5. 旋轉(zhuǎn)砂輪頭檢查接觸點(diǎn)。 6. 當(dāng)你得到接觸點(diǎn)后，按 HOME 按鈕。 7. 則這個當(dāng)前位置會被保存在 RAPID movement

28、position. 這個位置數(shù)據(jù)會被字空保存在程序里面。（你不能對它做修改）。 8. 工作軸回到0位置。 You can check this saved contact position after the screen changed to Menu Screen and selected AUTO MODE and pressed F6 for Auto Run Mode. (for example, RP=54.230) 如果你不想在上面第6步保存當(dāng)前位置在 RAPID movement position中，選擇 Auto或Dress MODE 然后按 HOME按鈕。那么工作軸回到0位

29、置而不用保存當(dāng)前位置在程序中。2-3-5. ADD WORK MODE AUTO RUN MODE and ADD WORK MODE之間的不同主要表現(xiàn)在 are rapid position 和速度。 因此，如果你用ADD WORK MODE， 你可以節(jié)省時間. 選擇 ADD WORK MODE F4. 那么在 W/D輸入數(shù)據(jù)，單位為 mm。 輸入 W/D數(shù)據(jù)后按 ENTER，則屏幕顯示如下。 檢查 the rapid position RP, final position FP, Dress rapid position DP. 其余要做的和 AUTO RUN WORK MODE中相同。

30、請查閱2-3-6。2-3-6.自動退出 當(dāng)你按 F6 鍵時，屏幕顯示如下。AUTO RUN WORK MODE PRESS START KEY NO=01POS=+000.000 MMFP=10.100 RP=10.000 WP=0.100 DP=6.030 例如上面顯示的屏幕遵照下面的輸入方法輸入數(shù)據(jù)。 工作數(shù)據(jù) POS=0.1, VEL=1, SK=30, RP1=10.000 修整模式下的數(shù)據(jù) WP=0.200, WV=3, DRP=6.030, TC=10, CNT=2, EN=1 FP表示final position, R/P + W/P. RP 表示RAPID APPROACH P

31、OSITION. WP 表示 WORK DATA POSITION ，和 STOCK REMOVAL AMOUNT相同。 DP 表示修整砂輪的 the rapid approaching position。 如果在這個菜單下你按 START 按鈕，你可以看到下面的屏幕顯示。AUTO RUN WORK MODE RAPID 1 STEP NO=01POS=+009.900 MMFP=10.100 RP=10.000 WP=0.100 DP=6.030 屏幕顯示的是 RAPID APPROACH operation. 工作臺僅向前移動 10-0.1mm=9.9mm with RAPID SPEED

32、.(This rapid speed and 0.1 mm distance are fixed in the program)AUTO RUN WORK MODE RAPID 2 STEP NO=01POS=+010.000 MMFP=10.100 RP=10.000 WP=0.100 DP=6.030下一個屏幕顯示9.900和10.000之間的速度近似值。 這個接近速度在程序中也被確定下來。 當(dāng)工作臺接近 10.00，如上面顯示要暫停1秒鐘。AUTO RUN WORK MODE WORKING NO=01POS=+010.078 MMFP=10.100 RP=10.000 WP=0.022

33、 DP=6.030 這個屏幕顯示研磨步驟的百分比。  當(dāng)我們輸入 WORK DATA POSITION 0.1 mm，設(shè)備以1 /sec的進(jìn)給速度研磨工件 0.1 mm。 AUTO RUN WORK MODE SPK OUT : 30 NO=01POS=+010.100 MMFP=10.100 RP=10.000 WP=0.000 DP=6.030 當(dāng)工作臺到達(dá)最終位置時，停止 30 秒鐘(as set times) 然后工作臺回到起始位置，顯示屏幕返回原始的菜單顯示。AM TECHNOLOGY LTD. GRIND M/C NO=02POS = 000.000 MMWOR

34、KDRESSSETADDJOGESC DATA MODEHOMEWORKMODE AUTOAfter you working 1 more Auto Run, then the 3rd Auto Run, the auto dressing procedure will be done before start grinding.2-4. 減薄研磨的操作步驟 上面的圖片顯示的是操作的面板。2-4-1. 放置工件 當(dāng)接觸到夾盤上的夾具后打開真空。 然后檢查真空測量表是否到達(dá) 60mm/Hg. 如果達(dá)到60mm/Hg， VACUUM LED點(diǎn)亮。 如果沒有，請檢查工件和夾盤之間是否存在雜質(zhì)，然后重

35、試一次。2-4-2.設(shè)定原始位置 按 F3鍵，檢查 HOME LED是否點(diǎn)亮。 這一步驟只需要一次， 當(dāng)電源關(guān)開的情況下或者按下RESET鍵或 STOP 或EMG 按鈕。 (見2-3-3中的描述)2-4-3. 設(shè)定研磨的參考點(diǎn)（接觸點(diǎn)） 1. 選擇 MANU模式。 2. 放置工件后把真空打開。 3. 按F5鍵進(jìn)入JOG MODE 顯示屏幕。 4. 用 JOG(+), JOG(-) 以高和低的速度移動工作軸直到工作砂輪和工件接觸。 5. 按 HOME 按鈕，則當(dāng)前位置會被自動保存在RAPID POSITION數(shù)據(jù)中 RP1。(見2-3-4中的描述)這時，當(dāng)你找到接觸位置后如果你選擇 A

36、uto Mode 或 Dress Mode，按下 HOME按鈕， 則當(dāng)前位置就不會被保存在程序中。2-4-4. 設(shè)定工作數(shù)據(jù) 選擇 F1鍵，輸入工作數(shù)據(jù)變量。 用數(shù)字鍵和回車鍵輸入POS2 (STOCK REMOVAL AMOUNT), VEL2(REMOVAL SPEED), SK2 (SPARK-OUT TIME)和RP2(REFERENCE POSITION)。 (見 2-3-1中的描述)2-4-5.檢查修整模式數(shù)據(jù) 請查閱2-3-2中描述的方法檢查這個模式中的數(shù)據(jù)。 如果有錯誤的數(shù)據(jù)，和編輯工作數(shù)據(jù)的方法一樣編輯這些數(shù)據(jù)。2-4-6. EXECUTION AUTO RUN MODE 選

37、擇AUTO 模式。 按 F6 鍵。 蓋上蓋子。 檢查FP, RP, WP和 DP的數(shù)據(jù)。 按下START按鈕。 設(shè)備自動實(shí)現(xiàn)研磨操作。(見2-3-4中的描述)2-4-7. SEMI-AUTO DRESSING適用94%氧化鋁薄片，首先我們需要修整。當(dāng)你找到修整用的砂輪磨石和工作砂輪之間的接觸點(diǎn)時DRP， 關(guān)閉前蓋。修整軸是否已經(jīng)位于反轉(zhuǎn)位置？修整用的磨石是否有足夠的剩余用于修整？選擇 Dress Mode按下START按鈕。則修整軸移動到前進(jìn)位置然后再移動到 DRP 位置 。修整工序后，工作軸回到0位置，完成。2-4-8. AUTO-DRESSINGAfter Semi-dressing pr

38、ocedure, working the wafer with Auto Run Mode.If you set the data TC=10, CNT=2, EN=1Then after this 1st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu screen will be 1.Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.After this 1st wafer, loading the new 2nd wafer.Select Auto Run Mode,

39、 and press START button to start working.After this 1st Auto Run procedure, the NO in the Initial Menu screen will be 2.Then do Add Work and make the wafer thickness what you want to.After this 2nd wafer, loading the new 3rd wafer.Select Auto Run Mode, and press START button to start working.At this

40、 moment, after you press START button, Dress axis move to Forward position to start auto-dressing process because the CNT=2 and EN=1.At this moment, if the EN is not equaled to 1(2,3,4), then the auto-dressing process doesnt occurred.Then the work axis move to the DRP position and do dressing proced

41、ure.After dressing process, the dressing axis returned to Backward position.And the work axis move to RP2 position.At this moment, the RP2 position will be changed to RP2+TC automatically.After this Auto Run process, the NO in the Initial Menu screen will be 1.2-4-9. 其余按鍵的功能. RESET 按鈕 ：當(dāng)出現(xiàn)異常情況或錯誤的時候

42、按下這個按鈕。 一旦按下這個按鈕，工作輪的運(yùn)動控制器和伺服傳動器也要重新設(shè)定。 STOP按鈕 ： 此鍵停止所有的電機(jī)工作。研磨工作中你按下這個按鈕，工作軸就會回到0位置。 EMERGENCY 開關(guān)：此鍵停止所有的操作系統(tǒng)  回復(fù)開關(guān)，向右旋轉(zhuǎn)開關(guān)，工作軸會回到0位置。然后按下 RESET按鈕。 如果你按下 STOP按鈕或 EMG開關(guān)，請再次按下RESET 按鈕和 SET HOME F3 。如果你想按下 START按鈕開始工作，必須 - 真空傳感器已經(jīng)探測到（真空壓力超過 60 mmHg） - 門傳感器已經(jīng)探測到(門必須關(guān)閉) - 工作軸的力學(xué)內(nèi)部傳感器必須開啟。CHAPTER 3.

43、維護(hù)保養(yǎng)3-1. 細(xì)述工作臺的圖紙3-2. 如何調(diào)整工作臺的角度3-3. 更換砂輪3-4. 改變每個部分的旋轉(zhuǎn)速度3-5. 冷卻器3-6. OSCILLATE FUNCTION3-7. 皮帶張力3-8. 修整砂輪3-9. 廢氣排放壓力3-10. 油脂3-11. 真空傳感器3-1. 細(xì)述工作臺的圖紙 (19mm)活扳手截面 M12 固定軸殼的扳手螺栓 M6改變砂輪頭方向的M6固定螺絲 Dial Indicator M10 hexagonal-bolt for oscillation M10 固定砂輪的扳手螺母 工作軸 工作空間的照明 門傳感器3-2. 如何調(diào)整工作臺的角度 首先， Untight

44、en 3 pieces of bolts with M12 wrench. It means one of bolts must be tightened. Next, Then turn the wheel-head to proper angle by used , M6 set screws.B CAD E See the Dial indicator for reference. 殼A： A點(diǎn)比其它各點(diǎn)要高 首先，松開螺栓直到它和主軸底板沒有接觸為止。 Method 1 Fixed the bolt , untighten . Screw in the set screw number

45、 .Method 2 Fixed the bolt , untighten . Screw in the set screw number . 殼B： A 點(diǎn)比其它各點(diǎn)要低 首先，松開固定螺絲直到它和底板沒有接觸為止。 Method 1 Fixed the bolt , untighten . Screw the set screw number .Method 2 Fixed the bolt , untighten . Screw the set screw number .Method 3 Fixed the bolt , untighten . Screw the set screw

46、number . 以這些說明作為參考。 你可以用 檢查砂輪頭的改變，千分表。3. 所有的事情OK后，然后擰緊螺釘。 請確定檢查所有的干擾后小心的移動砂輪頭使砂輪末端和工作臺中心相一致。3-3. 更換工作砂輪 A. 把M10套筒扳手嵌入 螺釘上， 19mm扳手卡住主軸。 B. 逆時針旋轉(zhuǎn)扳手。 C. 那么你就可以把它拆卸下來。 D. 從軸上把砂輪取下來。 E. 更換砂輪并重新把它擰緊。 F. 用千分表檢查砂輪的徑向跳動。 設(shè)定徑向跳動在 0.02 mm以內(nèi)。3-4. 每個部分的旋轉(zhuǎn)速度 你可以通過控制面板上的 VR(Volume Resister) 開關(guān)來改變修整砂輪的旋轉(zhuǎn)速度。 修整砂輪 65

47、% 大概相當(dāng)于 500 rpm. 用 V/R 改變速度. 工作砂輪 主輪的旋轉(zhuǎn)速度(工作)由 2速度確定. 工作時，它是用參數(shù) No.9(大概2250 rpm)來設(shè)定 假如是修整時, 它的旋轉(zhuǎn)速度的設(shè)定由參數(shù) No.8(大概1150 rpm)決定. 因此你可以從伺服放大器來改變旋轉(zhuǎn)速度。Please refer to the attached manual for the servo amp. 工作軸 工作軸的旋轉(zhuǎn)速度確定為560 RPM . 你可以從逆變器中改變旋轉(zhuǎn)速度.3-5. 冷卻器 右圖顯示的是冷卻器的控制面板 如果你想改變冷卻液的溫度 A 打開電源(按 按鈕) B. 按 顯

48、示屏幕閃爍 (數(shù)據(jù)改變模式) C. 用來改變數(shù)據(jù)功能KOREANENGLISH 設(shè)定 按鈕 SET 向上的按鈕 UP 向下的按鈕 DOWN 主電源開/關(guān) POWER D. 再次按。完成 3-6. 振動功能 振動原理 首先，松開 M10 六角螺母。 Next, move the spin guide what you want to and tight bolt again securely. We usually recommended this eccentricity rate as 02.5 mm.3-7. 如何控制每條皮帶的張緊程度 出廠時我們已經(jīng)使皮帶張緊。 因此,如果不是需要,不要

49、更改皮帶的松緊程度. 3-7-1. 工作軸(BELT SPEC. : 7M 630 - POLYMAX BELT) 首先，松開圖中顯示的4個螺釘。 然后移動電機(jī)使皮帶張緊。 重新把4個螺釘固定好。3-7-2 步進(jìn)電機(jī) (BELT SPEC. : 184 MXL - 9mm TIMING BELT) 首先松開圖中顯示的4個螺釘。 然后移動電機(jī)使皮帶張緊。 重新固定好4個螺釘。3-7-3 工作軸 (BELT SPEC. : 7M 1750 - POLYMAX BELT) 首先，松開圖中的4個螺釘。 然后移動電機(jī)使皮帶張緊。 重新固定好4個螺釘。 3-8. 修整砂輪 當(dāng)你購買了一個新的砂輪用于工作時，需要修整 For the truing process, use the dressing wheel attached with jig which recommended by working wheel supplier3-8-1. 精密修整 1. Marking on the surface of working wheel. 2. 選擇MANUAL MODE(use the MANU/AUTO selector switch) 3.