半導(dǎo)體封裝測(cè)試

1、半導(dǎo)體封裝測(cè)試百科名片半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造、 晶圓測(cè)試、 芯片封裝和封裝后測(cè)試組成。 半導(dǎo)體封裝測(cè)試是指將通過測(cè)試的晶圓按照產(chǎn)品型號(hào)及功能需求加工得到獨(dú)立芯片的過程。目錄過程形式高級(jí)封裝實(shí)現(xiàn)封裝面積最小化表面貼片封裝降低PCB設(shè)計(jì)難度插入式封裝主要針對(duì)中小規(guī)模集成電路相關(guān)鏈接過程形式高級(jí)封裝實(shí)現(xiàn)封裝面積最小化表面貼片封裝降低PCB設(shè)計(jì)難度插入式封裝主要針對(duì)中小規(guī)模集成電路相關(guān)鏈接展開編輯本段過程封裝過程為：來自晶圓前道工藝的晶圓通過劃片工藝后，被切割為小的晶片（ Die ），然后將切割好的晶片用膠水貼裝到相應(yīng)的基板（引線框架）架的小島上，再利用超細(xì)的金屬（金、錫、銅、鋁）導(dǎo)線或者導(dǎo)電性樹脂

2、將晶片的接合焊盤（Bond Pad ）連接到基板的相應(yīng)引腳（Lead ） , 并構(gòu)成所要求的電路；然后再對(duì)獨(dú)立的晶片用塑料外殼加以封裝保護(hù)，塑封之后，還要進(jìn)行一系列操作，如后固化（Post Mold Cure）、切筋和成型（ Trim&Form ）、電鍍（ Plating ）以及打印等工藝。封裝完成后進(jìn)行成品測(cè)試，通常經(jīng)過入檢（ Incoming ）、測(cè)試（ Test ）和包裝（ Packing ）等工序，最后入庫出貨。典型的封裝工藝流程為：劃片 裝片 鍵合 塑封 去飛邊 電鍍 打印 切筋和成型 外觀檢查 成品測(cè)試 包裝出貨。編輯本段形式半導(dǎo)體器件有許多封裝形式，按封裝的外形、尺寸、結(jié)

3、構(gòu)分類可分為引腳插入型、表面貼裝型和高級(jí)封裝三類。從DIP、 SOP、 QFP、 PGA、 BGA到 CSP再到 SIP ，技術(shù)指標(biāo)一代比一代先進(jìn)?？傮w說來，半導(dǎo)體封裝經(jīng)歷了三次重大革新：第一次是在上世紀(jì)80 年代從引腳插入式封裝到表面貼片封裝，它極大地提高了印刷電路板上的組裝密度；第二次是在上世紀(jì)90 年代球型矩陣封裝的出現(xiàn)，滿足了市場(chǎng)對(duì)高引腳的需求，改善了半導(dǎo)體器件的性能；芯片級(jí)封裝、系統(tǒng)封裝等是現(xiàn)在第三次革新的產(chǎn)物，其目的就是將封裝面積減到最小。編輯本段高級(jí)封裝實(shí)現(xiàn)封裝面積最小化芯片級(jí)封裝CSP幾年之前封裝本體面積與芯片面積之比通常都是幾倍到幾十倍，但近幾年來有些公司在BGA、 TSOP

4、的基礎(chǔ)上加以改進(jìn)而使得封裝本體面積與芯片面積之比逐步減小到接近1 的水平，所以就在原來的封裝名稱下冠以芯片級(jí)封裝以用來區(qū)別以前的封裝。就目前來看，人們對(duì)芯片級(jí)封裝還沒有一個(gè)統(tǒng)一的定義，有的公司將封裝本體面積與芯片面積之比小于2 的定為CSP，而有的公司將封裝本體面積與芯片面積之比小于1.4 或 1.2 的定為CSP。目前開發(fā)應(yīng)用最為廣泛的是FBGA和 QFN等，主要用于內(nèi)存和邏輯器件。就目前來看，CSP的引腳數(shù)還不可能太多，從幾十到一百多。這種高密度、小巧、扁薄的封裝非常適用于設(shè)計(jì)小巧的掌上型消費(fèi)類電子裝置。CSP封裝具有以下特點(diǎn)：解決了IC 裸芯片不能進(jìn)行交流參數(shù)測(cè)試和老化篩選的問題；封裝面

5、積縮小到BGA的 1/4 至 1/10 ；延遲時(shí)間縮到極短；CSP封裝的內(nèi)存顆粒不僅可以通過PCB板散熱，還可以從背面散熱，且散熱效率良好。就封裝形式而言，它屬于已有封裝形式的派生品，因此可直接按照現(xiàn)有封裝形式分為四類：框架封裝形式、硬質(zhì)基板封裝形式、軟質(zhì)基板封裝形式和芯片級(jí)封裝。多芯片模塊MCM20 世紀(jì) 80 年代初發(fā)源于美國(guó)，為解決單一芯片封裝集成度低和功能不夠完善的問題，把多個(gè)高集成度、高性能、高可靠性的芯片，在高密度多層互聯(lián)基板上組成多種多樣的電子模塊系統(tǒng)，從而出現(xiàn)多芯片模塊系統(tǒng)。它是把多塊裸露的 IC 芯片安裝在一塊多層高密度互連襯底上，并組裝在同一個(gè)封裝中。它和 CSP封裝一樣屬

6、于已有封裝形式的派生品。多芯片模塊具有以下特點(diǎn)：封裝密度更高，電性能更好，與等效的單芯片封裝相比體積更小。如果采用傳統(tǒng)的單個(gè)芯片封裝的形式分別焊接在印刷電路板上，則芯片之間布線引起的信號(hào)傳輸延遲就顯得非常嚴(yán)重，尤其是在高頻電路中，而此封裝最大的優(yōu)點(diǎn)就是縮短芯片之間的布線長(zhǎng)度，從而達(dá)到縮短延遲時(shí)間、易于實(shí)現(xiàn)模塊高速化的目的。WLCSP此封裝不同于傳統(tǒng)的先切割晶圓，再組裝測(cè)試的做法，而是先在整片晶圓上進(jìn)行封裝和測(cè)試，然后再切割。它有著更明顯的優(yōu)勢(shì)：首先是工藝大大優(yōu)化，晶圓直接進(jìn)入封裝工序，而傳統(tǒng)工藝在封裝之前還要對(duì)晶圓進(jìn)行切割、分類；所有集成電路一次封裝，刻印工作直接在晶圓上進(jìn)行，設(shè)備測(cè)試一次完成

7、，有別于傳統(tǒng)組裝工藝；生產(chǎn)周期和成本大幅下降，芯片所需引腳數(shù)減少，提高了集成度；引腳產(chǎn)生的電磁干擾幾乎被消除，采用此封裝的內(nèi)存可以支持到 800MHz的頻率，最大容量可達(dá) 1GB，所以它號(hào)稱是未來封裝的主流。它的不足之處是芯片得不到足夠的保護(hù)。編輯本段表面貼片封裝降低PCB設(shè)計(jì)難度表面貼片封裝是從引腳直插式封裝發(fā)展而來的，主要優(yōu)點(diǎn)是降低了PCB電路板設(shè)計(jì)的難度，同時(shí)它也大大降低了其本身的尺寸大小。用這種方法焊上去的芯片，如果不用專用工具是很難拆卸下來的。表面貼片封裝根據(jù)引腳所處的位置可分為：Single-ended(引腳在一面 ) 、 Dual( 引腳在兩邊 ) 、Quad(引腳在四邊 ) 、

8、Bottom( 引腳在下面 ) 、BGA(引腳排成矩陣結(jié)構(gòu)) 及其他。Single-ended此封裝形式的特點(diǎn)是引腳全部在一邊，而且引腳的數(shù)量通常比較少。它又可分為：導(dǎo)熱型，像常用的功率三極管，只有三個(gè)引腳排成一排，其上面有一個(gè)大的散熱片； COF是將芯片直接粘貼在柔性線路板上 ( 現(xiàn)有的用 Flip-Chip 技術(shù) ) ，再經(jīng)過塑料包封而成，它的特點(diǎn)是輕而且很薄，所以當(dāng)前被廣泛用在液晶顯示器 (LCD) 上，以滿足 LCD分辨率增加的需要。其缺點(diǎn)一是 Film 的價(jià)格很貴，二是貼片機(jī)的價(jià)格也很貴。Dual此封裝形式的特點(diǎn)是引腳全部在兩邊，而且引腳的數(shù)量不算多。它的封裝形式比較多，又可細(xì)分為S

9、OT、 SOP、 SOJ、 SSOP、 HSOP及其他。SOT系列主要有SOT-23、 SOT-223、 SOT25、 SOT-26、 SOT323、 SOT-89等。當(dāng)電子產(chǎn)品尺寸不斷縮小時(shí)，其內(nèi)部使用的半導(dǎo)體器件也必須變小，更小的半導(dǎo)體器件使得電子產(chǎn)品能夠更小、更輕、更便攜，相同尺寸包含的功能更多。SOT封裝既大大降低了高度，又顯著減小了PCB占用空間。小尺寸貼片封裝 SOP飛利浦公司在上世紀(jì)70 年代就開發(fā)出小尺寸貼片封裝SOP，以后逐漸派生出 SOJ(J 型引腳小外形封裝) 、 TSOP(薄小外形封裝 ) 、 VSOP(甚小外形封裝 ) 、SSOP(縮小型 SOP)、TSSOP(薄的縮

10、小型SOP)及 SOT(小外形晶體管 ) 、SOIC(小外形集成電路 ) 等。 SOP引腳數(shù)在幾十個(gè)之內(nèi)。薄型小尺寸封裝 TSOP它與 SOP的最大區(qū)別在于其厚度很薄，只有1mm，是 SOJ 的 1/3 ；由于外觀輕薄且小，適合高頻使用。它以較強(qiáng)的可操作性和較高的可靠性征服了業(yè)界，大部分的SDRAM內(nèi)存芯片都是采用此TSOP封裝方式。 TSOP內(nèi)存封裝的外形呈長(zhǎng)方形， 且封裝芯片的周圍都有I/O 引腳。在 TSOP封裝方式中，內(nèi)存顆粒是通過芯片引腳焊在PCB板上的，焊點(diǎn)和 PCB板的接觸面積較小，使得芯片向 PCB板傳熱相對(duì)困難。 而且 TSOP封裝方式的內(nèi)存在超過150MHz后，會(huì)有很大的信

11、號(hào)干擾和電磁干擾。J 形引腳小尺寸封裝SOJ引腳從封裝主體兩側(cè)引出向下呈J 字形，直接粘著在印刷電路板的表面，通常為塑料制品，多數(shù)用于DRAM和 SRAM等內(nèi)存 LSI 電路，但絕大部分是 DRAM。用 SOJ 封裝的 DRAM器件很多都裝配在 SIMM上。引腳中心距1.27mm，引腳數(shù)從20 至 40 不等。四邊引腳扁平封裝QFPQFP是由 SOP發(fā)展而來，其外形呈扁平狀，引腳從四個(gè)側(cè)面引出，呈海鷗翼 (L) 型，鳥翼形引腳端子的一端由封裝本體引出，而另一端沿四邊布置在同一平面上。它在印刷電路板(PWB)上不是靠引腳插入PWB的通孔中，所以不必在主板上打孔，而是采用SMT方式即通過焊料等貼附

12、在PWB上，一般在主板表面上有設(shè)計(jì)好的相應(yīng)管腳的焊點(diǎn)，將封裝各腳對(duì)準(zhǔn)相應(yīng)的焊點(diǎn)，即可實(shí)現(xiàn)與主板的焊接。因此，PWB兩面可以形成不同的電路，采用整體回流焊等方式可使兩面上搭載的全部元器件 一次鍵合完成，便于自動(dòng)化操作，實(shí)裝的可靠性也有保證。這是目前最普遍采用的封裝形式。此種封裝引腳之間距離很小、管腳很細(xì)，一般大規(guī)?；虺笠?guī)模集成電路采用這種封裝形式。其引腳數(shù)一般從幾十到幾百，而且其封裝外形尺寸較小、寄生參數(shù)減小、適合高頻應(yīng)用。該封裝主要適合用SMT表面安裝技術(shù)在 PCB上安裝布線。但是由于QFP的引線端子在四周布置，且伸出PKG之外，若引線間距過窄，引線過細(xì)，則端子難免在制造及實(shí)裝過程中發(fā)生變形

13、。當(dāng)端子數(shù)超過幾百個(gè)，端子間距等于或小于0.3mm時(shí)，要精確地搭載在電路圖形上，并與其他電路組件一起采用再流焊一次完成實(shí)裝，難度極大，致使價(jià)格劇增，而且還存在可靠性及成品率方面的問題。采用J 字型引線端子的 PLCC等可以緩解一些矛盾，但不能從根本上解決QFP的上述問題。由 QFP衍生出來的封裝形式還有LCCC、 PLCC以及 TAB等。此封裝的基材有陶瓷、金屬和塑料三種。從數(shù)量上看，塑料封裝占絕大部分，當(dāng)沒有特別表示出材料時(shí)，多數(shù)情況為塑料QFP。塑料 QFP是最普及的多引腳 LSI 封裝。 QFP封裝的缺點(diǎn)是：當(dāng)引腳中心距小于0.65mm 時(shí)，引腳容易彎曲。為了防止引腳變形，現(xiàn)已出現(xiàn)了幾種

14、改進(jìn)的QFP品種。塑料四邊引腳扁平封裝PQFP芯片的四周均有引腳，其引腳數(shù)一般都在100 以上，而且引腳之間距離很小，管腳也很細(xì)，一般大規(guī)?；虺笠?guī)模集成電路采用這種封裝形式。用這種形式封裝的芯片，必須采用表面安裝設(shè)備技術(shù)(SMT) 將芯片邊上的引腳與主板焊接起來。 PQFP封裝適用于 SMT表面安裝技術(shù)在 PCB上安裝布線，適合高頻使用，它具有操作方便、可靠性高、芯片面積與封裝面積比值較小等優(yōu)點(diǎn)。帶引腳的塑料芯片載體PLCC。它與 LCC相似，只是引腳從封裝的四個(gè)側(cè)面引出，呈丁字形，是塑料制品。引腳中心距1.27mm，引腳數(shù)從 18 到84。 J 形引腳不易變形，比QFP容易操作，但焊接后的

15、外觀檢查較為困難。它與 LCC封裝的區(qū)別僅在于前者用塑料，后者用陶瓷，但現(xiàn)在已經(jīng)出現(xiàn)用陶瓷制作的 J 形引腳封裝和用塑料制作的無引腳封裝。無引腳芯片載體LCC或四側(cè)無引腳扁平封裝QFN。指陶瓷基板的四個(gè)側(cè)面只有電極接觸而無引腳的表面貼裝型封裝。由于無引腳，貼裝占有面積比 QFP小，高度比 QFP低，它是高速和高頻 IC 用封裝。但是，當(dāng)印刷基板與封裝之間產(chǎn)生應(yīng)力時(shí)，在電極接觸處就不能得到緩解，因此電極觸點(diǎn)難于做到 QFP的引腳那樣多， 一般從 14 到 100 左右。材料有陶瓷和塑料兩種，當(dāng)有 LCC標(biāo)記時(shí)基本上都是陶瓷 QFN，塑料 QFN是以玻璃環(huán)氧樹脂為基板基材的一種低成本封裝。球型矩陣

16、封裝BGABGA封裝經(jīng)過十幾年的發(fā)展已經(jīng)進(jìn)入實(shí)用化階段，目前已成為最熱門的封裝。隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展，對(duì)集成電路的封裝要求越來越嚴(yán)格。這是因?yàn)榉庋b關(guān)系到產(chǎn)品的性能，當(dāng) IC 的頻率超過 100MHz時(shí)，傳統(tǒng)封裝方式可能會(huì)產(chǎn)生所謂的交調(diào)噪聲 "Cross-Talk Noise" 現(xiàn)象，而且當(dāng) IC 的管腳數(shù)大于 208 腳時(shí)，傳統(tǒng)的封裝方式有其難度。因此，除使用 QFP封裝方式外，現(xiàn)今大多數(shù)的高腳數(shù)芯片皆轉(zhuǎn)而使用 BGA封裝。 BGA一出現(xiàn)便成為 CPU、高引腳數(shù)封裝的最佳選擇。BGA封裝的器件絕大多數(shù)用于手機(jī)、網(wǎng)絡(luò)及通信設(shè)備、數(shù)碼相機(jī)、微機(jī)、筆記本計(jì)算機(jī)、 PAD和各類平

17、板顯示器等高檔消費(fèi)市場(chǎng)。BGA封裝的優(yōu)點(diǎn)有：1. 輸入輸出引腳數(shù)大大增加，而且引腳間距遠(yuǎn)大于QFP，加上它有與電路圖形的自動(dòng)對(duì)準(zhǔn)功能，從而提高了組裝成品率；2. 雖然它的功耗增加，但能用可控塌陷芯片法焊接，它的電熱性能從而得到了改善，對(duì)于集成度很高和功耗很大的芯片，采用陶瓷基板，并在外殼上安裝微型排風(fēng)扇散熱，從而可達(dá)到電路的穩(wěn)定可靠工作； 3. 封裝本體厚度比普通 QFP減少 1/2 以上，重量減輕 3/4 以上； 4. 寄生參數(shù)減小，信號(hào)傳輸延遲小，使用頻率大大提高 ;5. 組裝可用共面焊接，可靠性高。BGA封裝的不足之處： BGA封裝仍與 QFP、 PGA一樣，占用基板面積過大；塑料 BG

18、A封裝的翹曲問題是其主要缺陷，即錫球的共面性問題。共面性的標(biāo)準(zhǔn)是為了減小翹曲，提高 BGA封裝的特性，應(yīng)研究塑料、粘片膠和基板材料，并使這些材料最佳化。同時(shí)由于基板的成本高，而使其價(jià)格很高。小型球型矩陣封裝Tiny-BGA它與 BGA封裝的區(qū)別在于它減少了芯片的面積，可以看成是超小型的BGA封裝，但它與 BGA封裝比卻有三大進(jìn)步：由于封裝本體減小，可以提高印刷電路板的組裝密集度；芯片與基板連接的路徑更短，減小了電磁干擾的噪音，能適合更高的工作頻率；具有更好的散熱性能。微型球型矩陣封裝 mBGA。它是 BGA的改進(jìn)版，封裝本體呈正方形，占用面積更小、連接短、電氣性能好、不易受干擾，所以這種封裝會(huì)

19、帶來更好的散熱及超頻性能，但制造成本極高。編輯本段插入式封裝主要針對(duì)中小規(guī)模集成電路引腳插入式封裝。此封裝形式有引腳出來，并將引腳直接插入印刷電路板中，再由浸錫法進(jìn)行波峰焊接，以實(shí)現(xiàn)電路連接和機(jī)械固定。由于引腳直徑和間距都不能太細(xì)，故印刷電路板上的通孔直徑、間距乃至布線都不能太細(xì)，而且它只用到印刷電路板的一面，從而難以實(shí)現(xiàn)高密度封裝。它又可分為引腳在一端的封裝形式 (Single ended) 、引腳在兩端的封裝形式 (Double ended) 和引腳矩陣封裝 (Pin Grid Array) 。引腳在一端的封裝形式大概又可分為三極管的封裝形式和單列直插封裝形式。典型的三極管引腳插入式封裝形

20、式有 TO-92、TO-126 、TO-220、TO-251、 TO-263 等，主要作用是信號(hào)放大和電源穩(wěn)壓。單列直插式封裝SIP引腳只從封裝的一個(gè)側(cè)面引出，排列成一條直線，引腳中心距通常為2.54mm，引腳數(shù)最多為二三十，當(dāng)裝配到印刷基板上時(shí)封裝呈側(cè)立狀。其吸引人之處在于只占據(jù)很少的電路板面積，然而在某些體系中，封閉式的電路板限制了 SIP 封裝的高度和應(yīng)用，加上沒有足夠的引腳，性能不能令人滿意。多數(shù)為定制產(chǎn)品，它的封裝形狀還有ZIP 和 SIPH。引腳在兩端的封裝形式大概又可分為雙列直插式封裝、Z 形雙列直插式封裝和收縮型雙列直插式封裝等。雙列直插式封裝DIP絕大多數(shù)中小規(guī)模集成電路均采

21、用這種封裝形式，其引腳數(shù)一般不超過 100。 DIP 封裝的芯片有兩排引腳，分布于兩側(cè)，且呈直線平行布置，引腳間距為 2.54mm，需要插入到具有 DIP 結(jié)構(gòu)的芯片插座上。當(dāng)然，也可以直接插在有相同焊孔數(shù)和幾何排列的電路板上進(jìn)行焊接。此封裝的芯片在從芯片插座上插拔時(shí)應(yīng)特別小心，以免損壞管腳。它的封裝結(jié)構(gòu)形式有：多層陶瓷雙列直插式DIP、單層陶瓷雙列直插式DIP、引線框架式DIP 等。此封裝具有以下特點(diǎn)：1. 適合在印刷電路板(PCB) 上穿孔焊接，操作方便。2. 芯片面積與封裝面積之間的比值較大，故體積也較大。3. 除其外形尺寸及引腳數(shù)之外，并無其他特殊要求。帶散熱片的雙列直插式封裝DIPH

22、 主要是為功耗大于2W的器件增加的。Z 形雙列直插式封裝ZIP它與 DIP 并無實(shí)質(zhì)區(qū)別，只是引腳呈Z 狀排列，其目的是為了增加引腳的數(shù)量，而引腳的間距仍為2.54mm。陶瓷 Z 形雙列直插式封裝CZIP 與ZIP 外形一樣，只是用陶瓷材料封裝。收縮型雙列直插式封裝SKDIP。形狀與DIP 相同，但引腳中心距為1.778mm 小于 DIP(2.54mm) ，引腳數(shù)一般不超過100，材料有陶瓷和塑料兩種。引腳矩陣封裝PGA它是在 DIP 的基礎(chǔ)上，為適應(yīng)高速度、多引腳化( 提高組裝密度) 而出現(xiàn)的。此封裝其引腳不是單排或雙排，而是在整個(gè)平面呈矩陣排布，在芯片的內(nèi)外有多個(gè)方陣形的插針，每個(gè)方陣形插

23、針沿芯片的四周間隔一定距離排列，與DIP 相比，在不增加引腳間距的情況下，可以按近似平方的關(guān)系提高引腳數(shù)。根據(jù)引腳數(shù)目的多少，可以圍成2 圈 -5 圈，其引腳的間距為 2.54mm，引腳數(shù)量從幾十到幾百。PGA封裝具有以下特點(diǎn)：1. 插拔操作更方便，可靠性高;2. 可適應(yīng)更高的頻率 ;3. 如采用導(dǎo)熱性良好的陶瓷基板，還可適應(yīng)高速度、大功率器件要求 ;4. 由于此封裝具有向外伸出的引腳，一般采用插入式安裝而不宜采用表面安裝 ;5. 如用陶瓷基板，價(jià)格又相對(duì)較高，因此多用于較為特殊的用途。它又分為陳列引腳型和表面貼裝型兩種。陳列引腳型PGA是插裝型封裝，其底面的垂直引腳呈陳列狀排列。封裝材料基本上都采用多層陶瓷基板( 在未專門表示出材料名稱的情況下，多數(shù)為陶瓷PGA)，用于高速大規(guī)模邏輯LSI 電路，成本較高。引腳中心距通常為2.54mm，引腳數(shù)從幾十到500 左右，引腳長(zhǎng)約3.4mm。為了降低成本，封裝基材可用玻璃環(huán)氧樹脂印刷基板代替，也有64 256 引