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文檔簡介

微傳感器微傳感器與微驅(qū)動器原理（一）與微驅(qū)動器原理（一）micro-systemrrllrrstrainchangeceresisrelativegf/tanalrldldddlldd/21daaldaldladr2adadldlrdrdddada2ldlada2dldlrdr)21 (11/)21 (/drdrldlrdrgfmetal foil1 to 5bar semiconductor80 to 150diffusion semiconductor80 to 200table comparing the gauge factors of differential types of strain gaugedacr0).(22110nnrrdddac返回dacr0)(0zeii返回dtddtddtdvdtxda2222;bmkqmkdtdxkxdtxdfrelrel;/;022基本的加工工藝是這樣的 首先在si上加工對準(zhǔn)用的孔，然后生長和加工1.5um厚的氧化膜。然后擴(kuò)散10歐區(qū)域用于歐姆接觸和100歐的壓阻區(qū)。最后利用陽極健和si和7740玻璃。3244)()1 (37)()1 (316prhyhyeh這里p-所施加的壓力，pa;r-薄膜直徑;e-楊氏模量，pa;h-薄膜厚度，m;-泊松比;y-膜中心點(diǎn)位移。dxdy

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