全球半導(dǎo)體晶體生長仿真著名商業(yè)軟件FEMAG-藍(lán)寶石._第1頁
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文檔簡介

1、Sapphire growth M：Q A X.fP 全球半導(dǎo)體晶體生長仿真 著名商業(yè)軟件FEMAG Sapphire growth simulation FEMAGSo/ZO2013 M：Q A X.fP U5AGMI Sapphire growth (confd) Steel pulli ng axis Sapphire Iridium crucible Zirconium oxide - granules Furnace model Zirconium oxide Simulation of sapphire crystal growth by the Czochralski metho

2、d FEMAGSo/ZO2013 Sapphire growth (confd) Melt meshes Coarse mesh BLM (boundary layer mesh) Sapphire growth (confd) Results for 20 cm crystal lengthFEMAGSo/0 2013 Local temperature -2200 2000 Result using coarse mesh Result using BLM mesh FEMAGSo/0 2013 1800 1710 630 2600 2400 FEMAGSo/?20l3 Svm 了 437*9 宅22 le*9 19542428 VM(m) .61 le*9 3e+9 2e+9 T9 53374099 von Mises invariant isovalues (Pa) uarwfAM, Sapphire growth (c

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