第6章壓電傳感器

1、2021-7-271機(jī)械工業(yè)出版社機(jī)械工業(yè)出版社中等職業(yè)教育電氣類規(guī)劃教材中等職業(yè)教育電氣類規(guī)劃教材 自動(dòng)檢測(cè)與轉(zhuǎn)換技術(shù)自動(dòng)檢測(cè)與轉(zhuǎn)換技術(shù)第六章第六章壓電傳感器20141017第一節(jié)第一節(jié) 壓電傳感器的工作原理壓電傳感器的工作原理壓電式傳感器是一種自發(fā)電式傳感器。它以壓電式傳感器是一種自發(fā)電式傳感器。它以某些電介質(zhì)的某些電介質(zhì)的壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)為基礎(chǔ)，在外力作用下，為基礎(chǔ)，在外力作用下，在電介質(zhì)表面產(chǎn)生電荷在電介質(zhì)表面產(chǎn)生電荷，從而實(shí)現(xiàn)非電量電測(cè)，從而實(shí)現(xiàn)非電量電測(cè)的目的。的目的。壓電式傳感器主要用途壓電式傳感器主要用途：壓電傳感元件是：壓電傳感元件是力力敏感元件敏感元件，它可以測(cè)量最終能變換

2、為力的那些，它可以測(cè)量最終能變換為力的那些非電物理量，例如非電物理量，例如動(dòng)態(tài)力、動(dòng)態(tài)壓力、振動(dòng)加動(dòng)態(tài)力、動(dòng)態(tài)壓力、振動(dòng)加速度速度等，但等，但不能用于靜態(tài)參數(shù)（例如重量）的不能用于靜態(tài)參數(shù)（例如重量）的測(cè)量。測(cè)量。 2021-7-273 我們先來看一個(gè)實(shí)驗(yàn)。在完全黑暗的環(huán)境我們先來看一個(gè)實(shí)驗(yàn)。在完全黑暗的環(huán)境中，將一塊干燥的冰糖用榔頭敲碎，可以看中，將一塊干燥的冰糖用榔頭敲碎，可以看到冰糖在破碎的一瞬間，發(fā)出暗淡的藍(lán)色閃到冰糖在破碎的一瞬間，發(fā)出暗淡的藍(lán)色閃光，這是強(qiáng)電場(chǎng)放電所產(chǎn)生的閃光，產(chǎn)生閃光，這是強(qiáng)電場(chǎng)放電所產(chǎn)生的閃光，產(chǎn)生閃光的機(jī)理是晶體的壓電效應(yīng)光的機(jī)理是晶體的壓電效應(yīng)小小 實(shí)實(shí) 驗(yàn)

3、驗(yàn)一、壓電效應(yīng)一、壓電效應(yīng)天然結(jié)構(gòu)的石英晶體呈六角形晶柱，用金剛石天然結(jié)構(gòu)的石英晶體呈六角形晶柱，用金剛石刀具切割出一片正方形薄片。當(dāng)晶體薄片受到壓刀具切割出一片正方形薄片。當(dāng)晶體薄片受到壓力時(shí)，晶格產(chǎn)生變形，表面產(chǎn)生正電荷，力時(shí)，晶格產(chǎn)生變形，表面產(chǎn)生正電荷，電荷電荷Q與所施加的力與所施加的力F成正比成正比 ，這種現(xiàn)象稱為：，這種現(xiàn)象稱為： “壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)” Q=dF2021-7-275某些電介質(zhì)（晶體）n 當(dāng)沿著一定方向施加力變形時(shí)，內(nèi)部產(chǎn)生極化現(xiàn)象，同時(shí)在它表面會(huì)產(chǎn)生符號(hào)相反的電荷n 當(dāng)外力去掉后，又重新恢復(fù)不帶電狀態(tài)n當(dāng)作用力方向改變后，電荷的極性也隨之改變這種現(xiàn)象稱壓電效應(yīng)202

4、1-7-276自然界中與壓電效應(yīng)有關(guān)的現(xiàn)象很多，例如在敦自然界中與壓電效應(yīng)有關(guān)的現(xiàn)象很多，例如在敦煌的鳴沙丘上，當(dāng)許多游客在沙丘上蹦跳或從鳴沙煌的鳴沙丘上，當(dāng)許多游客在沙丘上蹦跳或從鳴沙丘上往下滑時(shí)，可以聽到雷鳴般的隆隆聲。產(chǎn)生這丘上往下滑時(shí)，可以聽到雷鳴般的隆隆聲。產(chǎn)生這個(gè)現(xiàn)象的原因是無(wú)數(shù)干燥的沙子（個(gè)現(xiàn)象的原因是無(wú)數(shù)干燥的沙子（SiO2晶體）在振晶體）在振動(dòng)壓力下，表面產(chǎn)生電荷動(dòng)壓力下，表面產(chǎn)生電荷 ，在某些時(shí)刻，恰好形成，在某些時(shí)刻，恰好形成電壓串聯(lián)，產(chǎn)生很高的電壓，并通過空氣放電而發(fā)電壓串聯(lián)，產(chǎn)生很高的電壓，并通過空氣放電而發(fā)出聲音。出聲音。在電子打火機(jī)中，多片串聯(lián)的壓電材料受到敲擊，

5、在電子打火機(jī)中，多片串聯(lián)的壓電材料受到敲擊，產(chǎn)生很高的電壓，通過尖端放電，而點(diǎn)燃。產(chǎn)生很高的電壓，通過尖端放電，而點(diǎn)燃。與此相反，在音樂賀卡中是利用集成電路的輸出與此相反，在音樂賀卡中是利用集成電路的輸出脈沖電壓，來激勵(lì)壓電片，利用逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生振脈沖電壓，來激勵(lì)壓電片，利用逆壓電效應(yīng)產(chǎn)生振動(dòng)而發(fā)聲的。動(dòng)而發(fā)聲的。小小 知識(shí)知識(shí)清代詩(shī)人蘇履吉贊頌鳴沙的清代詩(shī)人蘇履吉贊頌鳴沙的“雷送余音聲裊裊，風(fēng)雷送余音聲裊裊，風(fēng)生細(xì)響語(yǔ)喁喁生細(xì)響語(yǔ)喁喁”。鳴沙山上的逆壓電效應(yīng)鳴沙山上的逆壓電效應(yīng)壓電效應(yīng)是可逆的n在介質(zhì)極化的方向施加電場(chǎng)時(shí)，電介質(zhì)會(huì)產(chǎn)生形變，將電能轉(zhuǎn)化成機(jī)械能，這種現(xiàn)象稱“逆壓電效應(yīng)”。n壓電

6、元件可以將機(jī)械能轉(zhuǎn)化成電能n也可以將電能轉(zhuǎn)化成機(jī)械能壓電元件壓電元件機(jī)械能電能2021-7-279壓電材料的主要特性參數(shù)有壓電材料的主要特性參數(shù)有u壓電常數(shù)：壓電常數(shù)是衡量材料壓電效應(yīng)強(qiáng)弱的參數(shù)，直接關(guān)系到壓電輸出靈敏度u彈性常數(shù)：壓電材料的彈性常數(shù)、剛度決定壓電器件的固有頻率和動(dòng)態(tài)特性u(píng)介電常數(shù)：壓電元件的固有電容與介電常數(shù)有關(guān)，而固有電容又影響著壓電傳感器的頻率下限u機(jī)械耦合系數(shù)：轉(zhuǎn)換輸出能量與輸入能量之比的平方根，是衡量壓電材料機(jī)電能量轉(zhuǎn)換效率的重要參數(shù)u電阻：壓電材料的絕緣電阻將減少電荷泄露，從而改善壓電傳感器的低頻特性u(píng)居里點(diǎn)溫度：壓電材料開始喪失壓電特性的溫度二、壓電材料的分類及特

7、性二、壓電材料的分類及特性 壓電傳感器中的壓電元件材料一般壓電傳感器中的壓電元件材料一般有三類：有三類： 一類是一類是壓電晶體壓電晶體（如上述的石（如上述的石英晶體）；英晶體）； 另一類是另一類是 經(jīng)過極化處理的經(jīng)過極化處理的 壓電陶瓷壓電陶瓷；第三類是；第三類是高分子壓電材料高分子壓電材料。（一）石英晶體（一）石英晶體天然形成的石英晶體外形天然形成的石英晶體外形天然形成的石英晶體外形（續(xù)）天然形成的石英晶體外形（續(xù)） 石英晶體切片及封裝石英晶體切片及封裝石英晶體薄片石英晶體薄片雙面鍍銀并封裝雙面鍍銀并封裝石英晶體振蕩器（晶振）石英晶體振蕩器（晶振） 石英晶體在振蕩電石英晶體在振蕩電路中工作時(shí)

8、，壓電效應(yīng)路中工作時(shí)，壓電效應(yīng)與逆壓電效應(yīng)交替作用，與逆壓電效應(yīng)交替作用，從而產(chǎn)生穩(wěn)定的振蕩輸從而產(chǎn)生穩(wěn)定的振蕩輸出頻率。出頻率。晶振晶振2021-7-2715n石英晶體大多只在標(biāo)準(zhǔn)傳感石英晶體大多只在標(biāo)準(zhǔn)傳感器，高準(zhǔn)確度傳感器或使用器，高準(zhǔn)確度傳感器或使用溫度較高的傳感器中使用，溫度較高的傳感器中使用，而在一般要求的測(cè)量中，基而在一般要求的測(cè)量中，基本上采用壓電陶瓷。本上采用壓電陶瓷。（二）壓電陶瓷（二）壓電陶瓷n壓電陶瓷利用其材料在機(jī)械應(yīng)力作用下，引壓電陶瓷利用其材料在機(jī)械應(yīng)力作用下，引起內(nèi)部正負(fù)電荷中心相對(duì)位移而發(fā)生極化，起內(nèi)部正負(fù)電荷中心相對(duì)位移而發(fā)生極化，導(dǎo)致材料兩端表面出現(xiàn)符號(hào)相反

9、的束縛電荷導(dǎo)致材料兩端表面出現(xiàn)符號(hào)相反的束縛電荷即壓電效應(yīng)而制作即壓電效應(yīng)而制作 n壓電陶瓷主要用于制造壓電陶瓷主要用于制造超聲換能器超聲換能器、水聲換水聲換能器能器、電聲換能器電聲換能器、陶瓷濾波器、陶瓷變壓、陶瓷濾波器、陶瓷變壓器、陶瓷鑒頻器、高壓發(fā)生器、紅外探測(cè)器、器、陶瓷鑒頻器、高壓發(fā)生器、紅外探測(cè)器、聲表面波器件聲表面波器件、電光器件、引燃引爆裝置和、電光器件、引燃引爆裝置和壓電陀螺等壓電陀螺等 ，除了用于高科技領(lǐng)域，它更多，除了用于高科技領(lǐng)域，它更多的是在日常生活中為人們服務(wù)，為人們創(chuàng)造的是在日常生活中為人們服務(wù)，為人們創(chuàng)造更美好的生活而努力更美好的生活而努力 2021-7-271

10、7壓電陶瓷的壓電機(jī)理與壓電晶體不同壓電陶瓷的壓電機(jī)理與壓電晶體不同n人工制造的多晶體壓電材料，材料的內(nèi)部晶粒有許多自發(fā)極化的電疇，他有一定的極化方向n無(wú)電場(chǎng)作用時(shí)，電疇在晶體中分布雜亂分布，極化相互抵消，呈中性2021-7-2718壓電陶瓷的壓電效應(yīng)壓電陶瓷的壓電效應(yīng)n施加外電場(chǎng)時(shí)，電疇的極化方向發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)，趨向外電場(chǎng)方向排列。外電場(chǎng)強(qiáng)度達(dá)到飽和程度時(shí)，所有的電疇與外電場(chǎng)一致。n外電場(chǎng)去掉后，電疇極化方向基本不變，剩余極化強(qiáng)度很大。所以，壓電陶瓷極化后才具有壓電特性，未極化時(shí)是非壓電體2021-7-27192021-7-2720壓電陶瓷片內(nèi)束縛電荷與電極上吸附的自由電荷示意圖自由電荷與陶瓷片內(nèi)的

11、束縛電荷符號(hào)相反而數(shù)值相等，它起著屏蔽和抵消陶瓷片內(nèi)極化強(qiáng)度對(duì)外的作用，因此陶瓷片對(duì)外不表現(xiàn)極性2021-7-2721n晶體極化后，沿極化方向（垂直極化平面）作用力時(shí)，引起剩余極化強(qiáng)度變化，在極化面上產(chǎn)生電荷，電荷量的大小與外力成正比關(guān)系電荷密度： d33壓電陶瓷的縱向壓電常數(shù)，d33 比d11、 d12大的多，n壓電陶瓷制作傳感器靈敏度比壓電晶體高 壓電陶瓷外形壓電陶瓷外形 無(wú)鉛壓電陶瓷及其換能器外形無(wú)鉛壓電陶瓷及其換能器外形 （上海硅酸鹽研究所研制）上海硅酸鹽研究所研制） 高分子壓電薄膜及拉制高分子壓電薄膜及拉制 （三）高分子壓電材料（三）高分子壓電材料 典型的高分子壓電材料有典型的高分子

12、壓電材料有聚偏二氟乙烯聚偏二氟乙烯（PVF2或或PVDF）、聚氟乙烯（、聚氟乙烯（PVF）、改性聚）、改性聚氯乙烯（氯乙烯（PVC）等。它是一種柔軟的壓電材料，）等。它是一種柔軟的壓電材料，可根據(jù)需要制成可根據(jù)需要制成薄膜或電纜套管薄膜或電纜套管等形狀。它不易等形狀。它不易破碎，具有防水性，可以大量連續(xù)拉制，制成較破碎，具有防水性，可以大量連續(xù)拉制，制成較大面積或較長(zhǎng)的尺度，價(jià)格便宜，頻率響應(yīng)范圍大面積或較長(zhǎng)的尺度，價(jià)格便宜，頻率響應(yīng)范圍較寬，測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍可達(dá)較寬，測(cè)量動(dòng)態(tài)范圍可達(dá)80dB。高分子壓電材料制作的壓電薄膜和電纜高分子壓電材料制作的壓電薄膜和電纜 可用于波形分析及報(bào)警的高分子壓電踏

13、腳板可用于波形分析及報(bào)警的高分子壓電踏腳板 壓電式腳踏報(bào)警器壓電式腳踏報(bào)警器 高分子壓電薄膜制作的壓電喇叭高分子壓電薄膜制作的壓電喇叭（逆壓電效應(yīng)（逆壓電效應(yīng)）第二節(jié)第二節(jié) 壓電傳感器的測(cè)量轉(zhuǎn)換電路壓電傳感器的測(cè)量轉(zhuǎn)換電路 電荷放大器的輸出電壓僅與輸入電荷電荷放大器的輸出電壓僅與輸入電荷和反饋電容有關(guān)，電纜長(zhǎng)度等因素的影響和反饋電容有關(guān)，電纜長(zhǎng)度等因素的影響很?。汉苄。簅f 6-4QuC 電荷放大器能將電荷放大器能將壓電傳感器輸出的壓電傳感器輸出的電荷轉(zhuǎn)電荷轉(zhuǎn)換為電壓（換為電壓（Q/U轉(zhuǎn)換器），但并無(wú)放大電荷的轉(zhuǎn)換器），但并無(wú)放大電荷的作用，只是一種習(xí)慣叫法。作用，只是一種習(xí)慣叫法。便攜式測(cè)振

14、儀外形便攜式測(cè)振儀外形1量程選擇開關(guān)量程選擇開關(guān)SC 2壓電傳感器輸入信號(hào)插座壓電傳感器輸入信號(hào)插座 3多路選擇開關(guān)多路選擇開關(guān) 4帶寬選擇開關(guān)帶寬選擇開關(guān)SR 5帶背光點(diǎn)陣液晶帶背光點(diǎn)陣液晶顯示器顯示器 6電池盒電池盒 7可變角度支架可變角度支架2021-7-2732顯示波形的演示（振動(dòng)的時(shí)域顯示波形的演示（振動(dòng)的時(shí)域/頻域圖形）頻域圖形）（東方研究所資料）（東方研究所資料）不同頻率的正弦波頻譜變化不同頻率的正弦波頻譜變化上圖所示的四通道電荷放大器指標(biāo)上圖所示的四通道電荷放大器指標(biāo)（參考東方振動(dòng)和噪聲技術(shù)研究所資料）（參考東方振動(dòng)和噪聲技術(shù)研究所資料） 靈靈 敏敏 度：度：0.11000mV

15、/pC 頻率范圍：頻率范圍：0.3100KHz 噪聲噪聲(最大增益最大增益)：折合至輸入端小于：折合至輸入端小于5V 準(zhǔn)準(zhǔn) 確確 度：度：1% 最大輸出：最大輸出：10V/10mA 電電 源：源：220V/50Hz 控制方式：控制方式： 計(jì)算機(jī)或手動(dòng)計(jì)算機(jī)或手動(dòng)焊接式焊接式 電荷放大器電荷放大器超小型電荷放大器模塊超小型電荷放大器模塊 靈靈 敏敏 度：度：1、10、100mV/pC(任選一檔任選一檔) 頻率范圍：頻率范圍：0.3100KHz(上、下限可選上、下限可選) 噪聲噪聲(最大靈敏度最大靈敏度)：輸出端小于：輸出端小于1mV 歸歸 一一 化：外接電阻調(diào)整化：外接電阻調(diào)整 線性誤差：線性誤

16、差：1% 最大輸出：最大輸出：5V或或10V 電電 源：源：6V15V 特點(diǎn)：可組成經(jīng)濟(jì)的多點(diǎn)測(cè)試系統(tǒng)特點(diǎn)：可組成經(jīng)濟(jì)的多點(diǎn)測(cè)試系統(tǒng)主要指標(biāo)主要指標(biāo):其他電荷放大器外形其他電荷放大器外形面板式電荷放大器面板式電荷放大器多通道電荷放大器外形多通道電荷放大器外形第三節(jié)第三節(jié) 壓電傳感器的應(yīng)用壓電傳感器的應(yīng)用 一、高分子壓電材料的應(yīng)用一、高分子壓電材料的應(yīng)用 1. 玻璃打碎報(bào)警裝置玻璃打碎報(bào)警裝置 將高分子壓電測(cè)將高分子壓電測(cè)振薄膜粘貼在玻璃上，振薄膜粘貼在玻璃上，可以感受到玻璃破碎可以感受到玻璃破碎時(shí)會(huì)發(fā)出的振動(dòng)，并時(shí)會(huì)發(fā)出的振動(dòng)，并將電壓信號(hào)傳送給集將電壓信號(hào)傳送給集中報(bào)警系統(tǒng)。中報(bào)警系統(tǒng)。 粘

17、貼粘貼位置位置高分子壓電材料制作的玻璃打碎傳感器高分子壓電材料制作的玻璃打碎傳感器質(zhì)量塊質(zhì)量塊 將厚約將厚約0.2mm左右的左右的PVDF薄膜裁制成薄膜裁制成10 20mm大小。在它大小。在它的正反兩面各噴涂透明的二氧化的正反兩面各噴涂透明的二氧化錫導(dǎo)電電極，再用超聲波焊接上錫導(dǎo)電電極，再用超聲波焊接上兩根柔軟的電極引線。并用保護(hù)兩根柔軟的電極引線。并用保護(hù)膜覆蓋。膜覆蓋。 使用時(shí)，用瞬干膠將其粘使用時(shí)，用瞬干膠將其粘貼在玻璃上。當(dāng)玻璃遭暴力打碎貼在玻璃上。當(dāng)玻璃遭暴力打碎的的瞬間瞬間，壓電薄膜感受到劇烈振，壓電薄膜感受到劇烈振動(dòng)，表面產(chǎn)生電荷動(dòng)，表面產(chǎn)生電荷Q ，在兩個(gè)，在兩個(gè)輸出引腳之間產(chǎn)

18、生窄脈沖報(bào)警信輸出引腳之間產(chǎn)生窄脈沖報(bào)警信號(hào)。號(hào)。由于外力作用在壓電元件上產(chǎn)生由于外力作用在壓電元件上產(chǎn)生的電荷只有在無(wú)泄漏的情況下才能的電荷只有在無(wú)泄漏的情況下才能保存，保存，因此壓電傳感器不能用于靜因此壓電傳感器不能用于靜態(tài)測(cè)量。態(tài)測(cè)量。壓電元件在交變力的作用壓電元件在交變力的作用下，電荷可以不斷補(bǔ)充，所以壓電下，電荷可以不斷補(bǔ)充，所以壓電傳感器只適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。傳感器只適用于動(dòng)態(tài)測(cè)量。動(dòng)態(tài)頻率必須高于動(dòng)態(tài)頻率必須高于100Hz，但在，但在30kHz以上時(shí)，靈敏度急劇下降。以上時(shí)，靈敏度急劇下降。 小小 貼貼 士士 2 2壓電式周界報(bào)警系統(tǒng)壓電式周界報(bào)警系統(tǒng)（用于重要位置出入口、周界安全防

19、護(hù)等）（用于重要位置出入口、周界安全防護(hù)等） 將長(zhǎng)的壓電電纜埋在將長(zhǎng)的壓電電纜埋在泥土的淺表層，可起分布泥土的淺表層，可起分布式地下麥克風(fēng)或聽音器的式地下麥克風(fēng)或聽音器的作用，可在幾十米范圍內(nèi)作用，可在幾十米范圍內(nèi)探測(cè)人的步行探測(cè)人的步行, 對(duì)輪式或履對(duì)輪式或履帶式車輛也可以通過信號(hào)帶式車輛也可以通過信號(hào)處理系統(tǒng)分辨出來。右圖處理系統(tǒng)分辨出來。右圖為測(cè)量系統(tǒng)的輸出波形。為測(cè)量系統(tǒng)的輸出波形。3.3.交通監(jiān)測(cè)交通監(jiān)測(cè) （包括軸數(shù)、軸距、單雙輪胎）、車速監(jiān)測(cè)、收（包括軸數(shù)、軸距、單雙輪胎）、車速監(jiān)測(cè)、收費(fèi)站地磅、闖紅燈拍照、停車區(qū)域監(jiān)控、交通費(fèi)站地磅、闖紅燈拍照、停車區(qū)域監(jiān)控、交通數(shù)據(jù)信息采集（道

20、路監(jiān)控）及機(jī)場(chǎng)滑行道等。數(shù)據(jù)信息采集（道路監(jiān)控）及機(jī)場(chǎng)滑行道等。 將高分將高分子壓電電纜子壓電電纜埋在公路上，埋在公路上，可以獲取車可以獲取車型分類信息：型分類信息：高分子壓電電纜的應(yīng)用演示高分子壓電電纜的應(yīng)用演示二、壓電陶瓷傳感器的應(yīng)用二、壓電陶瓷傳感器的應(yīng)用 壓電片的并聯(lián)接法壓電片的并聯(lián)接法 壓電陶瓷多制成片狀，稱為壓電片。壓電片通常壓電陶瓷多制成片狀，稱為壓電片。壓電片通常是兩片（或兩片以上）粘結(jié)在一起，一般常用的是并是兩片（或兩片以上）粘結(jié)在一起，一般常用的是并聯(lián)接法。其總面積是單片的兩倍，極板上的總電荷聯(lián)接法。其總面積是單片的兩倍，極板上的總電荷Q并并為單片電荷為單片電荷Q的兩倍。的

21、兩倍。 壓電式動(dòng)態(tài)力傳感器以及在壓電式動(dòng)態(tài)力傳感器以及在 車床中用于動(dòng)態(tài)切削力的測(cè)量車床中用于動(dòng)態(tài)切削力的測(cè)量 一體化車刀一體化車刀動(dòng)態(tài)力測(cè)量動(dòng)態(tài)力測(cè)量壓電式動(dòng)態(tài)力傳感器在體育動(dòng)態(tài)測(cè)量中的應(yīng)用壓電式動(dòng)態(tài)力傳感器在體育動(dòng)態(tài)測(cè)量中的應(yīng)用壓電式步態(tài)壓電式步態(tài)分析跑臺(tái)分析跑臺(tái)壓電式縱跳壓電式縱跳 訓(xùn)練分析裝置訓(xùn)練分析裝置壓電傳感器測(cè)量壓電傳感器測(cè)量雙腿跳的動(dòng)態(tài)力雙腿跳的動(dòng)態(tài)力第四節(jié)第四節(jié) 振動(dòng)的測(cè)量振動(dòng)的測(cè)量 物體圍繞平衡位置作往復(fù)運(yùn)動(dòng)稱為振動(dòng)。物體圍繞平衡位置作往復(fù)運(yùn)動(dòng)稱為振動(dòng)。從振動(dòng)對(duì)象來分，有機(jī)械振動(dòng)（例如機(jī)床、電機(jī)、從振動(dòng)對(duì)象來分，有機(jī)械振動(dòng)（例如機(jī)床、電機(jī)、泵、風(fēng)機(jī)等運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)）；土木結(jié)構(gòu)

22、振動(dòng)（房屋、泵、風(fēng)機(jī)等運(yùn)行時(shí)的振動(dòng)）；土木結(jié)構(gòu)振動(dòng)（房屋、橋梁等的振動(dòng)）；運(yùn)輸工具振動(dòng)（橋梁等的振動(dòng)）；運(yùn)輸工具振動(dòng)（汽車、飛機(jī)等的振汽車、飛機(jī)等的振動(dòng)動(dòng)）以及武器、爆炸引起的沖擊振動(dòng)等。）以及武器、爆炸引起的沖擊振動(dòng)等。從振動(dòng)的頻率范圍來分，有高頻振動(dòng)、低頻振動(dòng)和從振動(dòng)的頻率范圍來分，有高頻振動(dòng)、低頻振動(dòng)和超低頻振動(dòng)等。超低頻振動(dòng)等。頻率是分析振動(dòng)的最重要內(nèi)容之一。振動(dòng)物體偏離頻率是分析振動(dòng)的最重要內(nèi)容之一。振動(dòng)物體偏離平衡位置的最大距離稱為振幅，用平衡位置的最大距離稱為振幅，用x表示，單位為表示，單位為mm；振動(dòng)的速度用；振動(dòng)的速度用v表示，單位為表示，單位為m/s；加速度用；加速度用a表表示，單位為示，單位為m/s2或或g。 知識(shí)沙龍知識(shí)沙龍地震的巨大威力地震的巨大威力地震地震波形波形二、測(cè)振傳感器分類二、測(cè)振傳感器分類 測(cè)振用的傳感器又稱測(cè)振用的傳感器又稱拾振器拾振器，它有，它有接觸式和非接觸式之分。接觸式和非接觸式之分。接觸式中有磁接觸式中有磁電式、電感式、壓電式等電式、電感式、壓電式等；非接觸式中非接觸式中又有電渦流式、電容式、霍爾式、光電又有電渦流式、電容式、霍爾式、光電式等式等。下面介紹壓電式測(cè)振傳感器及其。下面介紹壓電式測(cè)振傳感器及其應(yīng)用。應(yīng)用。三、壓電式振動(dòng)加速度傳感器的三、壓電式振動(dòng)加速度傳感器的 結(jié)構(gòu)及外形結(jié)構(gòu)及外形 橫向振動(dòng)橫向振動(dòng)測(cè)振