光伏行業(yè)psg課件

1、光伏行業(yè)psgPPT課件濕法刻蝕1.背腐蝕分離PN結(jié)的原理2.背腐蝕設(shè)備簡(jiǎn)介3.常見的問題及處理辦法光伏行業(yè)psgPPT課件濕法刻蝕原理 背靠背方式不可能完全緊貼，背面不可避免的產(chǎn)生了不均勻摻雜。光伏行業(yè)psgPPT課件濕法刻蝕原理 等離子刻蝕 濕法刻蝕光伏行業(yè)psgPPT課件濕法刻蝕原理 背腐蝕法是將擴(kuò)散后的硅片放置于腐蝕液上方，硅片的擴(kuò)散面朝上，背面與腐蝕液離的足夠近，但并不接觸?？恳后w表面張力作用使腐蝕液吸附在背面，將背面淺淺的n層腐蝕掉，正面的發(fā)射極沒有任何損傷。背腐蝕后p-n結(jié) 同樣很好的分離，印制的鋁背場(chǎng)與電池面積有一定差距，不會(huì)造成任何邊緣漏電流，并聯(lián)電阻足夠大。同時(shí)，又降低了背

2、面的雜質(zhì)含量，降低了背面的復(fù)合速率，提高電池性能。光伏行業(yè)psgPPT課件濕法刻蝕原理光伏行業(yè)psgPPT課件背腐蝕設(shè)備 kuttler設(shè)備 01上料段02去psg03背腐蝕04水洗05HF腐蝕06水洗07堿洗08水洗09混酸洗10水洗11吹干12下料段光伏行業(yè)psgPPT課件背腐蝕設(shè)備02去psg Si02+6HFH2SiF6+2H20 作用使硅片脫水，在背腐蝕的時(shí)候容易 控制刻蝕邊距。03背腐蝕 腐蝕液是HN03HF體系，其配比為HNO，：HF：H20=126：19：45(體積比)。 這個(gè)配比是富氧的體系，能夠起到很好的拋光作用。通過反應(yīng)前后稱重計(jì)算出腐蝕深度。光伏行業(yè)psgPPT課件背腐

3、蝕設(shè)備03背腐蝕 溫度為4度。 原因：1、4度時(shí)水的表面張力最大。 2、溫度越低，氣體揮發(fā)量越小。05HF腐蝕 作用：1、增加氣相腐蝕，用于特殊工藝 2、用于堿霧的隔離 現(xiàn)不用，把其做水槽光伏行業(yè)psgPPT課件背腐蝕設(shè)備07堿洗 氫氧化鈉作用：1、去除背腐蝕產(chǎn)生的硝酸鹽。2、去除多空硅，多空硅的去除很快，所以堿槽也是單面的，上面只是在出堿槽時(shí)噴淋一下。堿槽的溫度不要高，18度 光伏行業(yè)psgPPT課件背腐蝕設(shè)備 09混酸洗 HF酸主要作用使硅片表面脫水。 HCL作用，去除鈉離子。光伏行業(yè)psgPPT課件常見的問題及處理辦法1、刻蝕不足 原因:刻蝕槽液位低 解決辦法：調(diào)高刻蝕槽泵浦1，調(diào)小刻蝕槽回流閥。2、過刻蝕 液位過高，降低刻蝕槽泵浦1或者調(diào)小刻 蝕槽回流閥 。 抽風(fēng)紊亂， 調(diào)節(jié)各排風(fēng)開關(guān)，使刻蝕槽 內(nèi)氣流平穩(wěn)。 硅片未干，查看二號(hào)槽脫水情況，調(diào)節(jié)二號(hào)槽風(fēng)刀光伏行業(yè)psgPPT課件常見的問題及處理辦法3、刻蝕重量超出范圍 氫氟酸和硝酸的濃度異常 減重小，加氫氟酸。 減重大，補(bǔ)水。 富硝酸體系中，硝酸的少量減少對(duì)反應(yīng)速度幾乎沒有影響，主要影響反應(yīng)速度的是氫氟酸。光伏行業(yè)psgPPT課件常見的問