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文檔簡介
1、A 級允許的對地靜電電位不超過±100V;1 范圍11 主題內(nèi)容本標準規(guī)定了供操作靜電放電敏感電子產(chǎn)品用的防靜電工作區(qū)應(yīng)具備的各項技術(shù)要求。12 適用范圍本標準適用于防靜電工作區(qū)13 應(yīng)用指南由于電子產(chǎn)品的靜電放電敏感度不同和防靜電工作區(qū)具體用途以及結(jié)構(gòu)形式的差異,本標準規(guī)定的內(nèi)容和 要求允許剪裁。14 分級按照防靜電工作區(qū)內(nèi)的指定空間所允許的對地靜電電位值,將防靜電工作區(qū)分為二級B 級允許的對地靜電電位不超過±1000V;2 引用文件GB438 1995防靜電鞋、導電鞋技術(shù)要求GB12014 89防靜電工作服GJB/Z 25 91電子設(shè)備和設(shè)施的接地、搭接和屏蔽設(shè)計指南G
2、JB1649 93電子產(chǎn)品防靜電放電控制大綱SJ/T10694 1996電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測試方法3 定義31 術(shù)語311 防靜電工作區(qū)electrostatic discharge protected area配備各種防靜電設(shè)備和器材、能限制靜電電位、 具有確定邊界和專門標記的適于從事靜電防護操作的場所。3 12 操作 handling在靜電放電敏感電子產(chǎn)品的制造、老化、篩選、檢測、裝聯(lián)、包裝、貯存、修理和失效分析等過程中,直 接或間接地作用于產(chǎn)品的有效活動。3 13 接地 grounding電子連接到能供給或接受大量電荷的物體(如大地、艦船或運載工具外殼等)(見GJB1649第3.1.
3、2 條)314 硬接地hard ground直接與大地電極作導電性連接的一種接地方式。315 軟接地soft ground通過一足以限制流過人體的電流達到安全值的電阻連接到大地電極的一種接地方式。316大地電極earth electrode埋于地下與大地保持良好的電氣連接的金屬體或金屬體組。它可以是桿狀的、板狀的或網(wǎng)狀的,為接地系 統(tǒng)提供接大地的基準點。317 靜電耗散材料 dissipative materials其表面電阻率等于或大于1x105 Q /,但小于1x1012 Q /;或何種電阻率等于或大于1x104 Q cm ,但小于1x1011 Q / cm的材料。318 導(靜)電材料e
4、lectrostatic ) conductive materials其表面電阻率小于 1x105 Q/或體積電阻率小于 1x104 Q cm的材料3 2 縮寫詞321 ESD electrostatic discharge sensitive靜電放電。322ESDS electrostatic discharge sensitive靜電放電敏感(的)323EPA electrostatic discharge protected area防靜電工作區(qū)324EBP earth bonding point 接地連接點4 一般要求41 靜電放電敏感符號靜電放電敏感符號的式樣、顏色和尺寸以及其簡化符
5、號式樣,應(yīng)符合GJB 1469附錄C (補充件)的規(guī)定。42 EPA 標記符號EPA標記符號式樣如圖1所示,其最小尺寸為 300mmx 150mm標記顏色一般采用黃底黑色,應(yīng)避免使用 紅色。在圖中*處應(yīng)標出級別代碼(A或B)。4 3 接地連接點符號EPA 內(nèi)的接地連接點符號式樣如圖 2 所示,其尺寸的大小應(yīng)能夠在普通照明條件下用肉眼清楚辨認。標 記顏色一般采用黃底黑色,應(yīng)避免使用紅色。5 詳細要求51 靜電電位如無另外規(guī)定,EPA內(nèi)的靜電電位應(yīng)滿足下列要求,即在任何情況下,在EPA內(nèi)貯存,使用或接受加工的未帶ESD外防護的ESD滬品周圍300mn空間之內(nèi)任一物體的靜電電位不得超過該級EPA允許
6、的對地靜電電位值。使用準確度優(yōu)于± 10%的非接觸式靜電伏特計進行測量。52 構(gòu)造形式EPA的構(gòu)造形式因其具體用途而定??梢允窍率鰣鏊换蚱浣M合:a. 一個操作工作臺;b. 一個庫房;c. 一個加工操作間;d. 一個工作機房;e. 一個活動的或固定的工作站;f. 一個維修工作現(xiàn)場。 無論屬于哪一種構(gòu)造形式, 它都必須是一個具有明確劃定邊界 (例如,在一寬大的廠房內(nèi)可使用寬度為 50mm 的黃色警示標志線,將防靜電工作區(qū)劃定)的場所,并具有為完成其功能所必需的儀器、設(shè)備和器材。5 3 標記5 31EPA 專用標記應(yīng)在EPAA口處附近的明顯位置(例如門的上方或門對面的壁上)貼有符合4.
7、2條規(guī)定的標記,標記的尺寸大小與EPA的規(guī)模相稱。5 32 接地標記在EPA內(nèi)設(shè)置的供接地用的連接點,并沒有做處第4.3條規(guī)定的標記。5. 3. 3 ESDS產(chǎn)品標記在EPA內(nèi)接受加工、裝聯(lián)或在EPA內(nèi)進行包裝、貯存的 ESD滬品,在產(chǎn)品和內(nèi)包裝上應(yīng)標志符合第4.1條或相應(yīng)的產(chǎn)品規(guī)范規(guī)定的靜電放電敏感符號標記。5.4 氣候與環(huán)境條件5.4.1 溫度EPA內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有溫度調(diào)節(jié)裝置,以維持其室溫在1535C的范圍內(nèi).采用準確度優(yōu)于土 0.5 'C的溫度計測量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時間測量和記錄一次。5 42 濕度EPA 內(nèi)應(yīng)裝設(shè)有濕度度調(diào)節(jié)裝置 , 以維持其室內(nèi)相對濕度在 45%75
8、%范圍內(nèi)。采用準確度優(yōu)于± 2%的濕度計 測量EPA內(nèi)的濕度,并在每日的同一時間測量和記錄一次。5 43 氣壓EPA內(nèi)大氣壓力應(yīng)在86106kpa范圍內(nèi)。不能滿足上述要求時,應(yīng)采取調(diào)壓措施5 44 靜電消除器在工作臺面上方的適當部位或其他必要部位,應(yīng)裝設(shè)靜電消除器,以消除未打開的包裝件上的靜電荷和在 操作過程中因人體、工具及其他物品相互摩擦在工作上所產(chǎn)生的靜電荷,靜電消除器應(yīng)能消除任何一種極 性的電荷,并在其有效防護區(qū)域內(nèi)使靜電位保持在規(guī)定值以內(nèi),中和能力應(yīng)優(yōu)于± 250V/s。5 45 潔凈度(必要時)需使用潔凈環(huán)境的EPA加工場所,廠房空氣潔凈級別按有關(guān)工藝設(shè)計文件規(guī)定
9、。55 接地EPA應(yīng)具備滿足其使用功能要求的防靜電接地分系統(tǒng),并通過大地電極分系統(tǒng)接到大地。此外,EPA通常還需設(shè)置若干其他接地分系統(tǒng),例如雷電保護、故障保護、信號、參考等分系統(tǒng)。這些接地分系統(tǒng)的作用、 配置、安裝方法接地電阻要求及測量方法等,參見GJB/Z25第59章。551 防靜電接地分系統(tǒng)EPA的防靜電接地分系統(tǒng)包括人體防靜電接地、地坪防靜電接地和操作裝置、儀器的防靜電接地等。除個 別指明需采用硬接地者外,一般采用軟接地方式,其接地電阻可由外接電阻、材料內(nèi)固有電阻或它們的組 合構(gòu)成。各種防靜電接地的接地電阻要求見 5.6條。5. 5. 2接地安裝注意事項5. 5. 2 . 1防靜電接地分
10、系統(tǒng)可利用故障保護地線或信號參考地線(直流工作地線)作為接地母線5. 5. 2 . 2不允許交流線路的走線與直線地線緊貼或平行鋪設(shè),以防以直流信號造成干擾。5. 5. 2 . 3各接地分系統(tǒng)的連線之間應(yīng)當相互隔離,為此應(yīng)使用帶絕緣外皮的導線。5. 5. 2 . 4各接地干線之間的連接應(yīng)采用釬焊、熔焊或壓力連接件、卡箍等進行搭接連接5. 5. 2. 5防靜電工具、裝置等接地端子允許使用易于裝拆的各種夾式連接器,例如鱷魚夾、插頭座等, 但應(yīng)確保電氣連接可靠。5. 5. 2 . 6防靜電工作臺和裝置、 設(shè)備等的故障保護地線應(yīng)采用最小截面積不小于1.25mm的多股敷塑導線,外皮顏色為黃綠色。.6各種器
11、材、用具的靜電性能5.6.1 ESD防護工作臺面除非制造工藝要求需要使用導(靜)電工作臺面,EPA內(nèi)的ESD防擴工作臺面應(yīng)使用靜電耗散材料制成并接地良好。推薦工作臺面尺寸為1200mM 600mm。ESD防護工作臺面的對地電阻和表面(點對點)電阻要求見表1。對地電阻測量原理按 SJ/T10694的圖7,測量電表的一端接到腕帶接地插孔上,另一個電極距此0.9m,測量5個點(測量電極以 0.9m為半徑的繞接地插孔旋轉(zhuǎn)移動),取其平均值。表面(點對點)電阻測量原理按SJ/T106409的圖6a,二測試電極相距0.9m,共測量5組數(shù)據(jù)取平均值。測量時一個電極以0.9m的半徑繞固定的電極旋轉(zhuǎn)移動。表1
12、EPA內(nèi)各種器材的靜電性能要求物品章條號表面(點對點) 電阻或端以端電阻對地電阻穿戴狀態(tài)下 對地電阻說明工作臺面5.6.17.5X1051.0x1010597.5x10 1.0x10地板、地墊5.6.21x1051.0x1010591x10 1.0x10腕帶5.6.3 1.0x10從內(nèi)表面對地測量577.5x10 3.5x10567.5x10 5.0x10腕帶連線端 對端測量鞋束5x1041.0x108存放架,運輸小車5.6.47.5X1051.0x1010597.5x10 1.0x10周轉(zhuǎn)容器5.6.57.5X1051.0x1010工作椅5.6.61.0x10°597.5x10 1
13、.0x10工作服5.6.81x1051.0x10105101.0x10 1.0x10防靜電鞋、襪5.6.95x1041.0x10 10雙腳測量手套、指套5.6.10r 廠"5107.5x10 1.0x10單只測量5.6.2 ESD防護地板、地墊除非制造工藝要求需要使用導(靜)電地板,EPA應(yīng)采用靜電耗散地板或地墊并接地良好,其對地電阻和表面(點對點)電阻的要求見表1。對地電阻的測量原理按 SJ/T10694的圖5。表面(點對點)電阻的測量原理按 SJ/T10694的圖4,每4m2隨機抽取5點并取中心對四角 4次測 量結(jié)果的平均值,測量點遺著 板的邊緣不得小于 10mm。5.6.3 E
14、SD防護腕帶、鞋束(足跟帶)在ESD防護工作臺面的二個角落上應(yīng)配置供腕帶接地用的插孔(即EBP)二個,一個供操作人員使用,另一個供其他相關(guān)人員使用。腕帶內(nèi)表面(與手腕的接觸面)對地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定,其測量原理及方法按SJ/T10694第6.9.1條。在腕帶被除數(shù)佩戴情況下,對地電阻應(yīng)符合表1的規(guī)定,其測量原理及方法按SJ/T10694第6.9.3 條。供連接腕帶用的腕帶連線,其端對端之間的電阻應(yīng)符合表1規(guī)定,其測量原理及方法按SJ/T10694 第 6.9.2 條。在使用腕帶不方便的情況下,在使用鞋束(足跟帶)進行人體防護接地。鞋束(足跟帶)應(yīng) 由靜電耗散材料制作,其系統(tǒng)電阻值應(yīng)符合表1,
15、測量原理及方法按 SJ/T10694第6.10條。5.6.4物品存放架、內(nèi)部運輸小車(物流車)應(yīng)能通過支腳或輪子接地,它與工件接觸的表面應(yīng)由靜電耗散材料制作。對地電阻和表面(點對點)電阻值應(yīng)符合不1。對地電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.8條。表面臨著點對點)電阻的測量原理及方法近SJ/T10694第6.4.1條。5.6.5轉(zhuǎn)容器(箱、盤、盒)其內(nèi)、外表面(點對點)電阻應(yīng)符合表1規(guī)定。電阻的測量原理及方法按 SJ/T10694第6.7條。5.6.6工作椅工作椅應(yīng)能通過支腳或輪接地,在正常操作情況下與人體接觸的表面應(yīng)由耗散材料制作。工作椅的對地電阻和表面(點對點)電阻值應(yīng)符合表1規(guī)定
16、。對地電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.5.1條。表面(點對點)電阻的測量原理及方法按SJ/T10694第6.5.2條2Q5.6.7電烙鐵焊頭部位應(yīng)進行硬接地,從焊頭到接地系統(tǒng)的電阻應(yīng)不大于568工作服工作服應(yīng)符合GB12014的規(guī)定,其各部分之間應(yīng)存在著電氣連續(xù)性。工作服的設(shè)計應(yīng)能保持其在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。必要時,其上應(yīng)設(shè)置專門的接地連接點 (見圖3),1其測量原理在穿用過程中通過導線接地。工作服的以地電阻和表面(點對點)電阻要求按表 分別見圖3和圖4。測量電極為圓柱形,直徑 50mm,重量2kg。BS4點鄧戊)電轉(zhuǎn)拯國5 . 6. 9防靜電鞋、襪進入EPA的
17、人員應(yīng)穿用防靜電鞋。 鞋的性能要求應(yīng)符合 GB4385的規(guī)定。在穿用狀態(tài)下,鞋、襪對地電阻值應(yīng)符合表1規(guī)定,測量原理及方法按SJ/T10694第6.11條。5.6.10防靜電手套、指套手套或指南應(yīng)由靜電耗散材料制作,在佩戴情況下其對地電阻要求就符合表1。對地電阻的測量5.7防靜電門必要時,門把手應(yīng)能導靜電,例如經(jīng)過防靜電處理或由靜電耗散材料制作,以便當人員進入EPA時通過手握把手來消除人體電荷。5.8墻壁、天花板墻壁、天花板應(yīng)選用靜電耗散材料制作。如選用石膏、石灰等材料,只要其摩擦起電電壓不大于該級EPA允許的對地靜電電位值(按 SJ/T10694第5條方法測試)是可以的,但不允許使 用普通塑
18、料或壁紙。5.9技術(shù)管理要求5.9.1人員培訓凡與EPA相關(guān)的工作人員,均需經(jīng)過基本防靜電知識的培訓操作人員應(yīng)掌握各種器具的使用 技能和操作規(guī)則與方法。5.9.2靜電源控制凡易于產(chǎn)生摩擦靜電的材料,例如普通塑料、橡膠、合成纖維等,在EPA內(nèi)不準使用。5.9.3包裝進入EPA的元器件或組件,必須使用防護罩或袋進行防靜電包裝(包括非ESDS產(chǎn)品)。即使已被發(fā)現(xiàn)為失效的元器件或組件,以送去修復或進行失效原因分析之前,同樣需要與正常品一樣進行防靜電包裝。并且,包裝與拆包裝操作均需在EPA內(nèi)進行。5.9.4人體防護5.9.4.1凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作服(見 5.6.8條)長頭發(fā)的人員應(yīng)佩戴由
19、防靜電 布料制作的工作帽,以防頭發(fā)與ESDS產(chǎn)品發(fā)生接觸放電。5.942凡與ESDS產(chǎn)品接觸的人員,包括操作人員、工程技術(shù)或管理人員、參見人員等,需 佩戴防靜電腕帶(見 5.6.3條)并應(yīng)保持其與人體、與接地系統(tǒng)都接觸可靠。當使用鞋束(足跟 帶)時(見5.63條),應(yīng)捆扎牢固,保持人體有可靠邊的接地。5.9.4.3凡進入EPA的人員必須穿防靜電工作鞋(見 5.6.9條),并應(yīng)保持與防靜電地板或地 墊妥善接觸以泄漏人體靜電荷。5.9.4.4必要時,應(yīng)佩戴防靜電手套或指套進行操作(見5.6.10條)。5.9.4.5在EPA內(nèi)的人員不準進行與工作無關(guān)的肢體活動。5.9.5文件資料防護在EPA內(nèi)使用的
20、文件資料, 其與別的物體之間或文件自身之間的接觸分離,所產(chǎn)生的靜電位不能大于該EPA所允許的對地靜電電位值。必要時,這些文件資料應(yīng)裝在透明防靜電包裝袋內(nèi)。5.9.6 EPA驗收要求新建成或經(jīng)過改建而成的EPA,投入使用前應(yīng)經(jīng)過技術(shù)驗收。驗收工作由使用單位負責人組織相關(guān)部門和人員進行。應(yīng)按第5章所列各項要求進行檢查或測量,確認其符合規(guī)定要求后方允許投入使用。檢查和測量的記錄應(yīng)存檔。5.9.7 EPA 維護與檢查要求對EPA各項技術(shù)要求,必須經(jīng)常性地進行檢查、監(jiān)測,以維持其各項性能符合本標準的規(guī)定。檢查的頻次如表 2所示。檢查頻次章條號項目名稱檢查方式每日一次每周1次每月1次每季度1次建成后第一年每季度1次,以后每21個月1次5.4.15.4.25.4.35.6.35.6.95.9.4.15.9.4.25.9.4.35.6.15.6.25.55.35.15.6.85.6.105.4.45.6.15.6.25.6.55.6.65.6.75.6.45.5環(huán)境溫度相對濕度氣壓佩戴腕帶情況下人體對
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