JEM2100透射電鏡簡(jiǎn)易操作說明

1、 JEM-2100 操作說明一、 合軸操作1 照明系統(tǒng)合軸（1）.找亮：當(dāng)打開燈絲，并且燈絲電流發(fā)射之后，應(yīng)該在熒光屏上找到電子束，若打開燈絲后沒有發(fā)現(xiàn)電子束，請(qǐng)進(jìn)行以下操作：將放大倍數(shù)降低到10K左右，移動(dòng)軌跡球，撤除所有光闌，基本上以上操作可以解決大多數(shù)沒亮的情況若仍然找不到亮，則需調(diào)整GUN TILT進(jìn)行找亮當(dāng)然，也可以在用戶模式下直接對(duì)GUN進(jìn)行清零操作NTRL！正常情況下就能找到電子束了。(2) 燈絲像調(diào)節(jié):放大倍數(shù)為X40K，將光斑用beam shift移動(dòng)到屏幕中心，慢慢降低燈絲電流，并且用BRIGHTNESS旋鈕將光斑聚到最小，隨著燈絲電流下降，可以觀察到燈絲像出現(xiàn)。 如圖所示

2、標(biāo)準(zhǔn)的六硼化闌燈絲像是均勻?qū)ΨQ的四瓣花型的，若發(fā)現(xiàn)花瓣不對(duì)稱，說明燈絲偏了，需要用GUN TILT調(diào)節(jié)到對(duì)稱即可。調(diào)節(jié)完畢后將燈絲電流升高到正常數(shù)值，即稍能看到一點(diǎn)燈絲像陰影。（3）1、5合軸：將束斑調(diào)到SPOTSIZE 5，用beam shift 將束斑移動(dòng)至屏幕中間， 切換至SPOTSIZE 1 ，用gun shift將偏移的束斑移動(dòng)至屏幕中間，重復(fù)此過程直到當(dāng)切換SPOTSIZE1到5時(shí)束斑基本上不發(fā)生偏移即可。（4）聚光鏡消象散：觀察各個(gè)束斑形狀，如果發(fā)現(xiàn)束斑形狀橢圓，則用CONDSTIG鍵將束斑調(diào)圓即可。（5）加聚光鏡光闌：聚光鏡光闌紅點(diǎn)位置表示退出，其余的點(diǎn)的大小表示當(dāng)前所加入的光

3、闌孔大小，順時(shí)針加入光闌至合適的孔徑，一般用1號(hào)或2號(hào)光闌孔，加完后用beam shift 將光斑移動(dòng)至屏幕中心，這時(shí)順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)BRIGHTNESS將光斑放大到與屏幕同大，若光闌沒有加正，則光斑不是均勻覆蓋屏幕，即光斑補(bǔ)隨BRIGHTNESS同心放大，此時(shí)調(diào)節(jié)光闌前端和右側(cè)的兩個(gè)旋鈕使光斑圓心與屏幕同心即可。（6）樣品高度調(diào)節(jié)：找一處樣品，按下IMAGE WOBBLE X或Y，觀察圖像震動(dòng)，調(diào)節(jié)Z鍵直至將圖像震動(dòng)幅度最小即可2 成像系統(tǒng)合軸（1） 電壓中心調(diào)節(jié)：找一樣品尖端處，將尖端移動(dòng)到屏幕中間黑點(diǎn)處。按下HT WOBBLE讓樣品振顫，用BRIGHT TILT調(diào)節(jié)樣品尖端在振顫時(shí)不偏離屏幕中

4、間黑點(diǎn)，即樣品同心收縮即可。 （2） 細(xì)聚焦：調(diào)節(jié)OBJ FOCUS 按鈕，使要觀察的樣品調(diào)至正交處，可通過欠交，正交，過交現(xiàn)象來確認(rèn)正交。找一處孔的邊界，在欠交下，孔邊緣會(huì)出現(xiàn)亮邊，而在過交下，孔的邊緣會(huì)出現(xiàn)黑邊，介于欠、過交之間，無黑、亮邊時(shí)就是正交處。（3） 物鏡消象散：物鏡象散的消法是在X300K以上找一處微柵，邊緣有非晶顆粒，不斷變化欠交和過交位置，觀察非晶顆粒形狀有無方向性拉伸，若有拉伸則說明有物鏡象散，用OLSTIG調(diào)節(jié)至無方向拉伸即可。二、 插拔樣品桿插入樣品桿時(shí)，先將桿插入樣品室，手微微向里頂住，將開關(guān)撥至PUMP狀態(tài)，然后等待樣品室皮拉尼軌抽到30以下（綠燈亮了就可以了），然后順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)樣品桿一個(gè)小角度，此時(shí)樣品桿會(huì)到第一個(gè)轉(zhuǎn)換點(diǎn)，并被負(fù)壓吸入樣品室一小截，然后再次轉(zhuǎn)動(dòng)樣品桿至轉(zhuǎn)不動(dòng)為止，再慢慢將樣品桿完全送入樣品室。拔樣品桿前注意先將樣品室位置歸零，勻速拔除樣品桿至拔不動(dòng)為止，逆時(shí)針轉(zhuǎn)至轉(zhuǎn)不動(dòng)，再拔一小段距離，再轉(zhuǎn)回起始位置，將開關(guān)撥至AIR處放氣，至皮拉尼值為220以上，即可將桿拔出。三、 加高壓 將高壓HT設(shè)置為160KV后點(diǎn)HT ON ，等高壓加載完畢暗電流穩(wěn)定后點(diǎn)自動(dòng)升高壓AUTO HT 設(shè)步長(zhǎng)STEP為0.5左右，時(shí)間為10sec目標(biāo)