鍍膜機常見故障及分析解決預(yù)防措施

1、鍍膜機常見故障及分析解決預(yù)防措施一.常見故障，問題及解決方法下表對一些鍍膜時常見的故障、真空度問題、及掉膜和膜質(zhì)問題做了一些簡單分析，并給予解決方案及預(yù)防措施故障占八、故障現(xiàn)象故障原因解決及預(yù)防措施備注1.高壓和束流1.1.開槍有咼壓， 無束流1. 燈絲保險燒斷2. 燈絲燒斷3. 南光槍槍體右邊引 線碰到槍體底坐1. 檢查燈絲保險，燒斷則更換2. 保險正常則檢查燈絲更換槍 體.3. 調(diào)整引線與槍體底坐的間 距.在抽氣前檢查槍體.即高立關(guān)壓1.2.開咼壓顯示跳 動幅度大，并有束 流跳動1. 束流控制調(diào)在手動， 電位器未歸零2. 槍體短路3. 高壓電極保護罩或 屏蔽碰到咼壓引線造 成短路4. 電柜

2、故障1. 電位器歸零.在預(yù)熔完后應(yīng) 將燈絲電位器歸零2. 將連接燈絲變壓器的高壓引 線取下（注意引線不能碰到機 器應(yīng)懸空）開咼壓，正常則槍 體或咼壓電極保護罩或屏蔽短 路造成3. 放氣檢查電極保護罩或屏蔽4. 檢修電柜即高 立關(guān)壓1.3.開槍無高壓， 無束流1. 高壓保護不到位（偏 轉(zhuǎn).真空.柜門）2. 高壓電路出問題1. 檢查相應(yīng)的高壓保護2. 檢修高壓控制電路1.4.鍍膜時高壓會 下跌1. 真空繼電器燒壞2. 高壓電路出問題1. 更換真空繼電器2. 檢修高壓電路常見4號機1.5.鍍膜時燈絲突 然很亮（束流達到 滿格）1. BT138可控硅被 擊穿2. 槍體短路1. 更換 BT1382. 檢

3、查槍體常見4號機1.6有咼壓，有燈 絲電流，無光斑1. 柵極片短路2. 掃描出問題或掃描 線接反了1. 整理槍體2. 檢修掃描，正確連接掃描線1.7.束流上不去， 達不到以前的水平（同樣功率達不到 以前的速率）1. 燈絲位置不正或變 形2. 燈絲被氧化3. 連接槍體的各接頭 松動4. 坩堝轉(zhuǎn)速太快5. 材料被污染6. 晶片被擋住1. 重新安裝或更換燈絲.為了 更好的對燈絲定形及延長燈絲 使用壽命，在更換新燈絲后應(yīng) 對燈絲進行預(yù)熱處理2. 更換燈絲.為防止燈絲氧化 在放氣前應(yīng)注意檢查關(guān)閉燈絲 電源開關(guān)3. 擰緊各連接處.4. 調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速5. 取出被污染的材料或更換新 材料6. 調(diào)整晶片擋板位置

4、.抽氣應(yīng) 檢17.電柜出問題查晶片是否被擋7.檢修電柜1.8.阻蒸電流調(diào)不 上去1. 蒸發(fā)舟燒斷或松掉 造成接觸不良2. 空氣開關(guān)跳閘3. 調(diào)節(jié)電流的電位器 壞了4. 銅電極與真空室底 板下的引線接觸不良1. 更換蒸發(fā)舟或擰緊螺釘.為 了防止接觸不良，各電極和壓 塊應(yīng)清洗干凈.更換在蒸發(fā)舟 時應(yīng)將銅壓塊取下砂干凈再安 裝蒸發(fā)舟2. 打開空氣開關(guān)3. 更換電位器4. 清潔磨平接觸不良的地方并 擰緊螺釘1.9.速率不穩(wěn)定1. 晶片失效2. 料面不好3. 功率設(shè)置不合理4. 控制參數(shù)PID設(shè)置 不合理5. 燈絲接觸不好或老 化6. 高壓打火1. 選擇好的晶片，1.2槍的速率 要匹配2. 料要加平整，

5、養(yǎng)成停坩堝的 好習(xí)慣3. 預(yù)熔功率及最大功率設(shè)置合 理（最大功率為略大于蒸發(fā)時 所需功率）4. 設(shè)置合理的PID參數(shù)5. 緊固或更換燈絲6. 解決打火現(xiàn)象1.10.高壓打火1. 槍體污染，雜物掉入 槍體2. 各接線處未擰緊3. 聚四氟套管太臟4. 槍體陽極，柵極變形5. 高壓電極太臟6. 屏敝不佳或未屏敝7. 光斑位置不合理，掃 描狀態(tài)不好8.2槍高壓干擾9. 材料污染有雜物10. 咼壓打仕10KV11. 預(yù)熔不夠充分12. 功率設(shè)置不合理1. 整理槍體，在吹槍體時應(yīng)用 吸塵器邊吸使吹出的雜物吸走 不被落在槍體里2. 擰緊各連接處，使其接觸良 好3. 清洗或更換套管，應(yīng)定時清 洗4. 調(diào)整或更

6、換陽極，柵極片5. 更換高壓電極6. 調(diào)整屏蔽或加裝屏蔽7. 調(diào)整好光斑，檢查掃描8. 蒸鍍1槍時應(yīng)關(guān)閉2槍高壓9. 將被污染的材料去除或更換 新材料10. 將咼壓調(diào)在正確的檔位（中 檔8KV .在觸摸屏上操作時（如 調(diào)整坩堝轉(zhuǎn)速時）應(yīng)注意是否 誤碰到咼壓調(diào)節(jié)檔位11. 預(yù)熔時間及加的束流應(yīng)合 理（束流最后應(yīng)加到接近鍍第 一套時所需束流坩鍋轉(zhuǎn)一到兩 圈）12. 設(shè)置合理的功率,預(yù)熔功率 不應(yīng)太大，最大功率應(yīng)與速率相匹配，注意在第一套時速率 較小時功率的設(shè)置22.掃 描和 光斑2.1.光斑不能調(diào)整1. 掃描引線或線圈短 路2. 整流橋擊穿3. 引線或線圈斷路4. 遙控盒上的連線松 脫或電位器壞了

7、1. 檢查引線及線圈，引線間不 能碰在一起，抽氣前應(yīng)檢查引 線是否互相觸碰和松動2. 更換整流橋3. 檢查引線及線圈4. 接好連線或更換電位器2.2光斑及掃描狀 態(tài)不好1. 燈絲變形2. 極靴位置不正3. 掃描頻率不合適4. 短路條多或少了，位 置不好5. 咼壓檔位不對6. 掃描連接線有誤1. 更換燈絲2. 調(diào)整極靴位置.在拆下清洗 時要做好記號避免安裝時位置 不止3. 調(diào)整合適頻率，頻差和密度4. 調(diào)整短路條的位置及數(shù)量5. 調(diào)整正確的高壓檔位6. 止確連接掃描線,維修時應(yīng) 做好記號3.坩 堝和 工轉(zhuǎn)3.1坩堝轉(zhuǎn)動不靈 或不轉(zhuǎn)1. 坩堝周邊間隙太小2. 坩堝間隙有材料（卡料）3. 軸承銹死4

8、. 減速器出問題5. 電機出問題6. 防污底板頂?shù)桔釄澹?槍）7. 連接鍵脫落1. 調(diào)整坩堝周邊的間隙2. 清理間隙中的材料.注意料 不要加得太高，預(yù)熔時數(shù)量不 要加得太快，防止材料飛濺掉 入間隙里使坩堝卡住或轉(zhuǎn)得不 順暢3. 清洗或更換軸承.在打掃真 空室及洗機時應(yīng)將坩堝下面的 料渣清除，防止料渣太多影響 軸承的性能4. 檢查減速器5. 維修或更換電機6. 調(diào)整好大門底板的位置（稍 高于坩堝）,關(guān)門時感到異常（如較平時緊）應(yīng)檢查底板及防 污板的位置7. 重新安裝好鍵3.2工轉(zhuǎn)噪音大， 光動大1. 電機軸承壞了2. 大軸承干磨性能下 降3. 電機與減速箱連接 不好4. 傳動齒輪磨損1. 更換電

9、機軸承2. 清洗或更換大軸承3. 將電機與減速箱連接好4. 更換齒輪3.3工轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)不了1. 電機損壞2. 電機與傳動部分的 鍵脫落或磨損3. 傳動的齒輪磨損4. 單向器壞了5. 電路出問題1. 更換電機2. 重裝或更換鍵3. 更換齒輪4. 更換或維修單向器（2樓）5. 檢修電路33.4.工轉(zhuǎn)電壓調(diào)不 上,電壓顯示指針 跳動大1. 調(diào)節(jié)電位器損壞2. 控制器出問題3. 工轉(zhuǎn)傳動不穩(wěn)4. 碳刷接觸不良5. 電壓表有冋題1. 更換電位器2. 檢修控制器3. 維修傳動部分4. 整理碳刷接觸面或更換5. 維修或更換電壓表4.閥門4.1.閥門打不開1. 氣壓不夠2. 控制閥門的氣動閥 有問題3. 閥門間互鎖

10、1. 調(diào)高氣壓到適當(dāng)位置2. 維修或更換氣動閥3. 檢查與其互鎖的閥門.應(yīng)注 意閥門指示燈顯示關(guān)閉但實際 閥門并未關(guān)閉的現(xiàn)象4.2.閥門打開后會 自動關(guān)閉1. 氣壓不夠2. 氣動閥閥芯內(nèi)的橡 皮松脫1. 調(diào)高氣壓到合適位置2. 更換閥芯或氣動閥4.3.放氣取膜,放 氣閥打不開1. 高閥沒關(guān)到位2. 放氣閥的氣動閥有 問題1. 檢查高閥沒關(guān)到位的原因 ， 不能強行手動關(guān)閉2. 更換或維修氣動閥5.真空度5.1.在鍍膜過程中 真空度突然下跌1. 高閥,預(yù)閥等閥門自 動關(guān)閉2. 擴散泵斷相或跳閘3. 坩堝卡料強行轉(zhuǎn)動 造成漏氣1. 檢查氣壓是否正常，正常則 是相應(yīng)的閥門問題，一般為氣 動閥的閥芯松脫

11、2. 合上閘刀，斷相表現(xiàn)為三相 指示燈有一或兩個燈不亮,更 換電爐盤3. 維修坩堝,當(dāng)卡料時不能強 行轉(zhuǎn)坩5.2 .低真空突然抽 不動1. 機械泵摻氣閥沒關(guān)2. 真空室門壓到東西3. 并路閥（旁通閥）,截 止閥自動關(guān)閉4. 機械泵出問題5. 羅茨泵出問題6. 管道漏氣7. 機械泵上的機放閥 漏氣8. 真空室漏氣1. 關(guān)閉摻氣閥2. 檢查大門密封.關(guān)門抽氣時 應(yīng)檢查大門是否壓到東西或密 封圈上有雜物3. 檢查相應(yīng)的閥門及控制閥門 的氣動閥和氣壓4. 維修機械泵5. 維修羅茨泵6. 維修管道7. 更換或維修機放閥8. 按5.4步驟檢漏5.3抽氣慢1. 真空室太臟，沒換防 污板2. 擴散泵太久沒洗3

12、. 擴散泵出氣口擋油 板被吸起4. 機械泵沒摻氣5. 真空測量表基準不 準6. 機械泵,羅茨泵有冋 題1. 更換防污板或清洗真空室2. 清洗擴散泵（大約一年洗一次）3. 調(diào)整擋油板4. 給機械泵摻氣或換油5. 調(diào)節(jié)真空表基準或更換真空 表6. 檢修機械泵，羅茨泵47. 真空室暴露在大氣 時間過長或玻片未烘 干8. 漏氣7. 盡量減少敞大氣時間，玻片 應(yīng)完全烘干8. 按5.4步驟檢漏54真空度低1. 真空表測量不準2. 真空規(guī)管測量口被 百葉窗擋住3. 真空室大門沒關(guān)好4. 真空泵出問題5. 管道漏氣6. 動密封如坩堝,工 轉(zhuǎn),觀察窗，擋板等密 圭寸漏氣7. 洗機或維修時動過 的部件或附近有松動

13、8. 堵頭沒裝好9. 通了水的如坩堝,工 轉(zhuǎn),探頭等地方有漏點10. 高閥，低閥氣缸漏 氣11. 金屬焊縫漏1. 更換真空表2. 關(guān)閉咼閥，若此時真空室真 空度比較穩(wěn)定，則放氣調(diào)整百 葉窗的位置3. 用酒精注射大門密封看真空 度變化，如有變化則放氣整理 真空室門密封4. 維修或更換真空泵5. 維修管道6. 更換或重裝動密封快速連續(xù)轉(zhuǎn)動看真空度是否 有較大的變化，有則是該轉(zhuǎn)動 部動密封有問題7. 檢查動過的部件及附近，確認后緊固8. 用酒精注射堵頭，若真空度 有變化則緊固或重裝該堵頭9. 通過用高壓氣來沖水管看真 空度是否有變化，有則檢查水 路10. 通過開關(guān)高閥，低閥或用酒 精注射閥門確認后更

14、換閥體或 密封圈11. 用酒精注射各焊縫來確認 是否有漏,有則補焊焊縫掉問S膜題6.1.掉膜1. 真空室或玻片潮濕 （更換防污板后）2. 玻片沒洗干凈3. 更換新玻片，玻片上 有油污4. 真空度低5. 打火嚴重，造成膜厚 不均勻引起應(yīng)力大6. 真空室有油污7. 蒸發(fā)速率過高8. 脫膜劑鍍得過多9. 擴散泵返油造成高 閥蓋及冷井處有油污1. 烘烤玻片及防污板的時間要 適當(dāng)2. 用干凈的布清洗好玻片，清 洗時應(yīng)認真仔細3. 先用洗潔精清洗干凈玻片，再用清水將玻片沖洗干凈4. 檢漏5. 解決打火現(xiàn)象6. 清洗真空室7. 降低速率到合適位置8. 減少脫膜劑的厚度9. 擦洗高閥蓋及冷井.給擴散 泵加熱時

15、間不能少于90分鐘.62周一掉膜嚴重 且膜質(zhì)不好1. 洗機時產(chǎn)生的一些 粉塵在抽氣時飛到玻 片上2. 洗機時的潮氣及防 污板的潮氣未干1. 用酒精仔細擦干凈真空室2. 延長轟擊時間，防污板應(yīng)徹 底烘干后才裝入真空室7.膜 質(zhì)7.1.膜質(zhì)發(fā)黑不亮 澤1.U5材料鍍少了（有 時有銀灰色）2.2槍光斑能量太散（掃描頻率有冋題）3.U3材料鍍多了（膜 質(zhì)稀爛）4.2槍坩堝位置不合 適5. U5材料太舊或氧化6. 真空度低1. 適當(dāng)增加U5厚度2. 調(diào)節(jié)光斑和掃描頻率3. 適當(dāng)減少U3厚度4. 將2槍坩堝位置移到適當(dāng)位 置5. 更換新料6. 檢查真空度7.2.膜發(fā)銀1. U5材料鍍多了2. 跳程序或假速

16、率造 成U5材料沒鍍上或鍍 少3. U3材料蒸發(fā)過快造 成U5沒鍍上或鍍少1. 適當(dāng)減少U5厚度2. 發(fā)現(xiàn)時應(yīng)適當(dāng)加鍍一些 U5, 在鍍2.6層時應(yīng)特別注意有無 此現(xiàn)象3. 鍍U3材料時速率不要過高, 鍍完U3材料時應(yīng)稍微停頓5秒 再鍍U57.3.膜質(zhì)發(fā)硬,打 卷1. 玻片太臟2. 玻片表面光潔度差3. U3材料鍍的過少1. 仔細清洗玻片，玻片放入真 空室經(jīng)抽氣未使用應(yīng)更換或清 洗后才能使用.應(yīng)打掃完真空 室衛(wèi)生后再裝玻片，減少污染2. 更換好的玻片3. 適當(dāng)增加U3厚度8.膜 厚控 制儀8.1.晶片失效1. 晶片使用壽命已到2. 晶片壓簧損壞3. 連接探頭的各接觸 點接觸不良4. 探頭冷卻水

17、過小或 水溫過咼5. 探頭擋板碰到工1. 更換好的晶片.在用超聲波 清洗晶片時應(yīng)注意打晶片的時 間及方法，延長晶片的使用壽 命2. 更換晶片壓簧.在取壓簧時 應(yīng)輕拿輕放3. 整理各連接處4. 調(diào)大探頭冷卻水流量或開啟 冷凍機降水溫,水溫小于28度5. 調(diào)在探頭擋板與工轉(zhuǎn)的距離8.2.開始鍍膜控制 儀無工作1. 程序清零2. 沒選擇到鍍膜程1. 重新設(shè)置程序.在操作膜厚 控制儀時動作不應(yīng)過快，控制 儀要有良好的接地2. 選擇好鍍膜程序.在調(diào)程序 時應(yīng)注意光標是否在對應(yīng)的鍍 膜程序上8.3.手動遙控盒不 受控1. 連接控制儀的接頭 沒接好2. 遙控盒上的按鍵的 接線脫焊1. 接好接頭2. 焊好接線

18、.在用遙控時應(yīng)注 意連線不要用力過大拉扯連線9.其9.1.開槍鍍膜時發(fā)1.晶片被擋住1.放氣整理.關(guān)門抽氣時應(yīng)檢他現(xiàn)膜厚儀上沒速率2.槍擋板未打開查晶片是否被擋顯示3.高壓沒開2. 修理擋板3. 打開咼壓64.束流控制調(diào)在手動4.將束流控制調(diào)的自動9.2.槍擋板打不開1. 氣壓不夠2. 控制擋板的氣動閥 壞了3. 氣缸與擋板軸的連 接鍵或螺釘脫落1. 調(diào)高氣壓到合適位置2. 維修或更換氣動閥3. 重新裝上鍵或螺釘些基礎(chǔ)知識及注意事項和應(yīng)急措施1膜厚控制儀1.1.控制參數(shù)Soak power1 Soak power2- Maxpower -Fi nal Thk -Rise time -1.2.檢

19、測膜厚原理-預(yù)熔功率1約為蒸發(fā)功率的一半-預(yù)熔功率2也稱預(yù)蒸鍍功率略小于最大功率最大功率Dep Rate -蒸發(fā)速率膜厚（波長）Soak time-預(yù)熔時間功率上升時間De nsity -材料密度通過改變探頭上晶片的頻率（由于膜的蒸發(fā)改變了其重量，所以其震動頻率發(fā)生變 化）來計算膜厚，而探頭所處的位置和工具因數(shù)的設(shè)置都影響到測試精度，探頭的位置和測試膜厚的關(guān)系如?。海?）.探頭高了，測試得到的厚度 實際得到的膜厚（玻片上厚度）（2）.探頭低了，測試得到的厚度 實際得到的膜厚（玻片上厚度）（3）.工具因數(shù)調(diào)高,相當(dāng)于探頭位置降低,所以膜厚要增加2. 膜和材料間的關(guān)系2.1. U5吸收雜光，影響膜

20、質(zhì)和亮度.鍍的過多，膜會發(fā)銀；鍍的過少，膜發(fā)黑，不亮澤，有銀色； 沒鍍上,則為銀白2.2. U3 脫膜劑，影響膜質(zhì).鍍的過多,膜質(zhì)稀爛,易脫落;鍍的過少,膜會打卷,發(fā)硬2.3.SiO2決定顏色2.4.U6 基層,影響膜的鮮艷度和亮度3. 均勻性3.1. 徑向均勻性：同一玻片上部與下部的不均勻,與光斑的調(diào)節(jié)、材料的料面、坩堝轉(zhuǎn)速和 轉(zhuǎn)向、玻片的曲率有關(guān)3.2. 重復(fù)均勻性：同一鍋膜的每一套間的不均勻，與真空度的高低、操作者看顏色有關(guān)3.3. 整體均勻性：同一套膜四塊玻片上的均勻性，與光斑的穩(wěn)定性、工轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)速和蒸發(fā)速率 的匹配、真空度的高低、徑向均勻性有關(guān)4. 燈絲問題4.1. 放氣時要記住關(guān)燈絲電源，以免氧化燈絲4.2. 初次使用或更換新燈絲，應(yīng)進行燈絲預(yù)熱定型處理，以防燈絲加熱過快變形.預(yù)熱時,高 壓關(guān)閉,直接加熱燈絲,緩慢加燈絲電流，由幾安培加至15A時，維持3-5分鐘4.3. 燈絲安裝a. 燈絲不宜太高或太低：太高會造成光斑不可調(diào)，容易打爛柵極和陽極片；太低會造成 光斑能量太散，不易蒸發(fā)b. 柵極片應(yīng)略低于陽極片c. 各個壓塊、引線的接觸面應(yīng)清洗干凈避免造成接觸不良d. 打緊螺釘時應(yīng)松緊適當(dāng)，太松會接觸不良，太緊會造成“滑絲”5.