微電子學(xué)概論

1、會計學(xué)1微電子學(xué)概論微電子學(xué)概論2請?jiān)诮虒W(xué)網(wǎng)上下載該文獻(xiàn)。費(fèi)曼預(yù)言了微機(jī)電系統(tǒng)的出現(xiàn)以及它的基本原則。345智能交通遠(yuǎn)程醫(yī)療航天遙感智能家居智能手機(jī)World6傳感云計算核計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O計算DNA感知DNAI/O完美體系猜想一完美體系猜想二感知才是我們存在的證據(jù)和認(rèn)識世界的唯一途徑。7重力重力水空氣溫度磁場黏度化學(xué)化學(xué)生物聲音情緒情緒智能系統(tǒng)與真實(shí)世界的傳感紐帶：微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)89MEMSMicro-MachineMicro-System1011ControllerSensorActuator微電

2、子技術(shù)可以縮小控制部分MEMS機(jī)械部分的縮小是整個系統(tǒng)縮小的瓶頸。機(jī)械部分的縮小是整個系統(tǒng)縮小的瓶頸。12Electro-Mechanical system in microscope world.力學(xué)力學(xué)電子學(xué)電子學(xué)化學(xué)化學(xué)光學(xué)光學(xué)物理學(xué)物理學(xué)生物學(xué)生物學(xué)材料學(xué)材料學(xué)13MEMSMEMS is a Interdisciplinary Science which involves mechanics, electronics, chemistry, optics, physics, biology, material science etc.141516ADI制造制造171819Surface

3、 tensionMEMS微觀世界中物理法則微觀世界中物理法則20微加工微加工高深寬比刻蝕深谷21系統(tǒng)設(shè)計和集成系統(tǒng)設(shè)計和集成sensorControllerExecutionIntegrated System2223MEMS巨型機(jī)械制造小型機(jī)械；小型機(jī)械制造微機(jī)械（日本）微電子半導(dǎo)體加工工藝紫外光刻微電鑄模制造技術(shù)（德國）微機(jī)械微機(jī)械LIGA自頂向下自底向上2425各向異性腐蝕各向異性腐蝕深槽刻蝕深槽刻蝕26IC firstIC and MEMS mixedMEMS first272829303132333435363738394041怎樣將怎樣將MEMS和其他非電子系統(tǒng)以及和其他非電子系統(tǒng)以

4、及復(fù)雜電子系統(tǒng)在一個三維的芯片中集復(fù)雜電子系統(tǒng)在一個三維的芯片中集成？成？420.7X nodeX nodelogicmemoryanalogRFScaling down?SoCHigher value4332nm技術(shù)22nm65nm90nmlogicmemoryanalogRFSoCSiPMEMSmemorySystem in PackageSystem on chipHigher higher value44MEMS4546474849MEMSCMOSSolar CellFlexible electronicsBio-ChipAll in SiRFStorageMemory505152請?jiān)诮虒W(xué)網(wǎng)上下載該文獻(xiàn)。費(fèi)曼預(yù)言了微機(jī)電系統(tǒng)的出現(xiàn)以及它的基本原則。5354550.7X nodeX nodelogicmemoryanalogRFScaling down?SoCHigher value5632nm技術(shù)22nm65nm90nmlogicmemoryanalogRFSoCSiP