SEM和TEM各自的優(yōu)缺點(diǎn)和使用條件

1、精品文檔SEM和 TEM各自的優(yōu)缺點(diǎn)和使用條件姓名:譚偉學(xué)號(hào)：SEM: 即掃描電子顯微鏡，是 1965 年發(fā)明的較現(xiàn)代的細(xì)胞生物學(xué)研究工具，主要是利用二次電子信號(hào)成像來觀察樣品的表面形態(tài)， 即用極狹窄的電子束去掃描樣品，通過電子束與樣品的相互作用產(chǎn)生各種效應(yīng)， 其中主要是樣品的二次電子發(fā)射。二次電子能夠產(chǎn)生樣品表面放大的形貌像， 這個(gè)像是在樣品被掃描時(shí)按時(shí)序建立起來的，即使用逐點(diǎn)成像的方法獲得放大像。SEM的優(yōu)點(diǎn) :( 一)能夠直接觀察樣品表面的結(jié)構(gòu)， 樣品的尺寸可大至120mm× 80mm× 50mm。 ( 二) 樣品制備過程簡單， 不用切成薄片。 ( 三 ) 樣品可以在

2、樣品室中作三度空間的平移和旋轉(zhuǎn)， 因此，可以從各種角度對(duì)樣品進(jìn)行觀察。 ( 四)景深大，圖象富有立體感。 掃描電鏡的景深較光學(xué)顯微鏡大幾百倍， 比透射電鏡大幾十倍。 ( 五) 圖象的放大范圍廣， 分辨率也比較高。 可放大十幾倍到幾十萬倍，它基本上包括了從放大鏡、 光學(xué)顯微鏡直到透射電鏡的放大范圍。 分辨率介于光學(xué)顯微鏡與透射電鏡之間，可達(dá) 3nm。 ( 六) 電子束對(duì)樣品的損傷與污染程度較小。 ( 七) 在觀察形貌的同時(shí)， 還可利用從樣品發(fā)出的其他信號(hào)作微區(qū)成分分析。SEM的缺點(diǎn)：異常反差。 由于荷電效應(yīng)， 二次電子發(fā)射受到不規(guī)則影響， 造成圖像一部分異常亮，另一部分變暗。圖像畸形。 由于靜電

3、場(chǎng)作用使電子束被不規(guī)則地偏轉(zhuǎn)， 結(jié)果造成圖像畸變或出現(xiàn)階段差。圖像漂移。由于靜電場(chǎng)作用使電子束不規(guī)則偏移引起圖像的漂移。亮點(diǎn)與亮線。 帶電樣品常常發(fā)生不規(guī)則放電， 結(jié)果圖像中出現(xiàn)不規(guī)則的亮點(diǎn)和亮線。TEM: 即透射電子顯微鏡， 簡稱透射電鏡， 是把經(jīng)加速和聚集的電子束投射到非常薄的樣品上，電子與樣品中的原子碰撞而改變方向，從而產(chǎn)生立體角散射。散射角的大小與樣品的密度、厚度相關(guān)，因此可以形成明暗不同的影像。通常，透射電子顯微鏡的分辨率為 0.1 0.2nm，放大倍數(shù)為幾萬百萬倍，用于觀察超微結(jié)構(gòu)，即小于 0.2 微米、光學(xué)顯微鏡下無法看清的結(jié)構(gòu)， 又稱“亞顯微結(jié)構(gòu)”。TEM的優(yōu)點(diǎn) : 光學(xué)鏡和透

4、射電子顯微鏡都使用用薄片的樣品，而透射電子顯。1歡迎下載精品文檔微鏡的優(yōu)點(diǎn)是，它比光學(xué)顯微鏡更大程度的放大標(biāo)本。放大 10000 倍或以上是可能的，這使科學(xué)家可以看到非常小的結(jié)構(gòu)。 對(duì)于生物學(xué)家，如線粒體和細(xì)胞器，細(xì)胞，內(nèi)部運(yùn)作都清晰可見。 透射電鏡標(biāo)本的晶體結(jié)構(gòu)提供了出色的分辨率，甚至可以顯示樣本內(nèi)的原子排列。TEM的缺點(diǎn)： 透射電子顯微鏡需要在一個(gè)真空室制備標(biāo)本。由于這一要求，在顯微鏡可以用來觀察活標(biāo)本，如原生動(dòng)物， 。 一些微妙的樣品也可能被損壞的電子束，必須先用化學(xué)染色或涂層來保護(hù)他們。 這種治療有時(shí)會(huì)破壞試樣。使用條件 ：在以存儲(chǔ)器器件為代表的集成電路芯片的電子顯微分析中， 掃描電子顯微鏡由于使用方便，往往是微觀分析的首選。另外不需要得到體內(nèi)信號(hào)，結(jié)構(gòu)信號(hào)，制樣方便，制樣周期短，需要非破壞性的分析的樣品表面結(jié)構(gòu)保存好，沒有變形和污染，樣品干燥并且有良好導(dǎo)電性能使用 SEM比較合適。對(duì)于目標(biāo)更小的分析需求以及要求高精度的場(chǎng)合， 則必須進(jìn)行 TEM分析，那些需要你得到樣品內(nèi)部結(jié)構(gòu)的也需要選用 TEM。以前 TEM只是作為一種重要的科研儀器，然而當(dāng)今的半導(dǎo)體制造由于采用了各種先進(jìn)技術(shù)，器具逐漸縮小， TEM 得到了更多的應(yīng)用。在要求精度不是很高，制樣方便，有良好的形貌，不需要得到體內(nèi)信號(hào)，結(jié)構(gòu)信號(hào)場(chǎng)合將掃描電鏡和透射電鏡有機(jī)的結(jié)合起來， 相互補(bǔ)充，將能得