FSI清洗機(jī)培訓(xùn)材料.doc

1、FSI 清洗機(jī)培訓(xùn)材料FSI 清洗機(jī)培訓(xùn)材料目錄1、 FSI 清洗機(jī)介紹:2、 FSI 的構(gòu)成和結(jié)構(gòu)功能:三、軟件操作介紹:四、程序和輸出功能:五、流量控制:六、化學(xué)自動(dòng)填充功能介紹:七、常見(jiàn)故障及維修方法:首先， FSI 清洗機(jī)介紹了FSI 的用途 :FSI 用于晶片的表面清潔系統(tǒng)，可以去除顆粒、金屬離子并剝離一些氧化膜。Fsi 設(shè)備全名:水星表面狀況分割系統(tǒng)，F(xiàn)SI 早期的噴霧系統(tǒng)產(chǎn)品；Fsi 工作原理:在密封室中，晶片對(duì)稱地放置在轉(zhuǎn)盤上，當(dāng)轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，N2 被用來(lái)將化學(xué)物質(zhì)噴射到晶片表面上的高霧化或低霧化。有兩個(gè)噴嘴:噴桿和側(cè)面-1、 FSI 清洗機(jī)介紹:2、 FSI 的構(gòu)成和結(jié)構(gòu)功能:

2、三、軟件操作介紹:四、程序和輸出功能:五、流量控制:六、化學(xué)自動(dòng)填充功能介紹:七、常見(jiàn)故障及維修方法:首先， FSI 清洗機(jī)介紹了FSI 的用途 :FSI 用于晶片的表面清潔系統(tǒng)，可以去除顆粒、金屬離子并剝離一些氧化膜。Fsi 設(shè)備全名:水星表面狀況分割系統(tǒng)，F(xiàn)SI 早期的噴霧系統(tǒng)產(chǎn)品；Fsi 工作原理:在密封室中，晶片對(duì)稱地放置在轉(zhuǎn)盤上，當(dāng)轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)時(shí)，N2 被用來(lái)將化學(xué)物質(zhì)噴射到晶片表面上的高霧化或低霧化。有兩個(gè)噴嘴:噴柱和側(cè)面:主要有 5 種化學(xué)物質(zhì):硫酸、鹽酸、氫氟酸、氨水、雙氧水；還有去離子水、N2和壓縮空氣。FSI 通用工藝菜單:還有去離子水、N2 和壓縮空氣。FSI 通用工藝菜單:

3、設(shè)備的每個(gè)部分都配有一個(gè)聯(lián)鎖開關(guān)。在此過(guò)程中，禁止打開門、蓋子和其他部件。如果聯(lián)鎖開關(guān)打開，設(shè)備將被關(guān)閉，過(guò)程將被中斷。警告 :在此過(guò)程中，不允許對(duì)FSI 清洗機(jī)的任何部件進(jìn)行操作。設(shè)備學(xué)習(xí)參考資料: FSI 清洗機(jī)操作規(guī)范；6” FS情洗機(jī)PM操作規(guī)范；第二， FSI 的構(gòu)成和結(jié)構(gòu)功能FSI 是由五個(gè)部分組成的，每個(gè)單元都是相互獨(dú)立的:電子控制臺(tái)；過(guò)程控制臺(tái)；罐式控制臺(tái)；增壓泵；Hellos 52去離子水加熱器.（前兩部分在白色區(qū)域，后三部分在灰色區(qū)域）結(jié)構(gòu)和功能:1.電子控制臺(tái):監(jiān)控程序的運(yùn)行是系統(tǒng)的核心部分。內(nèi)部由 7 個(gè)抽屜組成，可以拉出方便查看。主要部分有:286 微控制器及控制元件

4、、觸摸屏（觸摸屏）、軟盤驅(qū)動(dòng)器、流量控制元件和N2 管道過(guò)濾器及壓力調(diào)節(jié)閥；2.過(guò)程控制臺(tái):它主要由蓋子、處理室、電機(jī)、轉(zhuǎn)盤、下部管道和用于流量控制的 FOLW 拾取器組成。每次操作可清洗6 批晶圓。噴桿安裝在門蓋上，側(cè)面警告安裝在室壁上。在此過(guò)程中，不允許對(duì)FSI 清洗機(jī)的任何部件進(jìn)行操作。設(shè)備學(xué)習(xí)參考資料: FSI 清洗機(jī)操作規(guī)范；6” FS情洗機(jī)PM操作規(guī)范；第二，F(xiàn)SI 的構(gòu)成和結(jié)構(gòu)功能FSI 是由五個(gè)部分組成的，每個(gè)單元都是相互獨(dú)立的:電子控制臺(tái)；過(guò)程控制臺(tái)；罐式控制臺(tái)；增壓泵；Hellos 52去離子水加熱器.（前兩部分在白色區(qū)域，后三部分在灰色區(qū)域）結(jié)構(gòu)和功能:1 .電子控制臺(tái):

5、監(jiān)控程序的運(yùn)行是系統(tǒng)的核心部分。內(nèi)部由7 個(gè)抽屜組成，可以拉出方便查看。主要部分有:286 微控制器及控制元件、觸摸屏（觸摸屏）、軟盤驅(qū)動(dòng)器、流量控制元件和N2 管道過(guò)濾器及壓力調(diào)節(jié)閥；2 .過(guò)程控制臺(tái):它主要由蓋子、處理室、電機(jī)、轉(zhuǎn)盤、下部管道和用于流量控制的 FOLW 拾取器組成。每次操作可以清洗六批晶片。門蓋上設(shè)有噴淋柱，室壁設(shè)有側(cè)邊:主要用于儲(chǔ)存五種化學(xué)液體。它有兩個(gè)儲(chǔ)物柜，每個(gè)儲(chǔ)物柜儲(chǔ)存三個(gè)罐。每個(gè)罐連接四條管道，依次為酸液輸入管道、酸液輸出管道、爆破閥連接管道和N2 輸入管道（通過(guò)閥門22 實(shí)現(xiàn)增壓和泄壓）。電源級(jí)通過(guò)SDC 液體供應(yīng)系統(tǒng)均勻供應(yīng)化學(xué)溶液。在每個(gè)過(guò)程結(jié)束時(shí)，系統(tǒng)發(fā)送

6、自動(dòng)加酸指令“ 50。酸液從動(dòng)力管道注入酸”桶罐，然后在此過(guò)程中，酸從酸桶液壓注入腔室。4.增壓泵:去離子水加壓系統(tǒng) 酸液輸入管道、酸液輸出管道、截止閥連接管道、N2輸入管道（加壓和泄壓通過(guò)閥門22實(shí)現(xiàn)）。power class通過(guò) SDC 液體供應(yīng)系統(tǒng)均勻供應(yīng)化學(xué)溶液。在每個(gè)過(guò)程結(jié)束時(shí)，系統(tǒng)發(fā)送自動(dòng)加酸指令“ 50。酸液從動(dòng)力管道注入酸桶罐，然后在此過(guò)程 ”中，酸從酸桶液壓注入腔室。4.增壓泵:去離子水加壓系統(tǒng):100-去離子水220-h2so 4230-HCl 250-H2O2400-HF 760-nh4oh五、流量控制系統(tǒng)對(duì)流量的控制主要通過(guò)以下幾個(gè)部分:流量傳感器、DAC、ADC、E/

7、P、歧管閥等。流量控制示意圖如下:原則分析:流量傳感器安裝在每種溶液的管道中，分析流動(dòng)液體的流量，并將流量從物理量轉(zhuǎn)換為模擬電信號(hào)，然后通過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換器將模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，將比較器與菜單設(shè)定值進(jìn)行比較，得到數(shù)字信號(hào)偏差值， 然后通過(guò)數(shù)模轉(zhuǎn)換器將數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)換為模擬信號(hào)。然后將模擬信號(hào)發(fā)送到日P（電信號(hào)和壓力轉(zhuǎn)換器），通過(guò)E/P將電信號(hào)轉(zhuǎn)換成壓力信號(hào)，最后通過(guò)壓力控制歧管閥的開度大小，從而實(shí)現(xiàn)流量控制。六、化學(xué)自動(dòng)填充功能介紹:由于每個(gè)程序中使用的化學(xué)品量相對(duì)較大，自動(dòng)填充的指令代碼“ 50會(huì)添加到程序的末尾。 ”每個(gè)配方完成后，系統(tǒng)將通過(guò)液位傳感器檢查瘡面液位。如果傳感器顯示不滿意，打開電磁

8、閥，將酸倒入酸罐，直到傳感器檢測(cè)到液位已滿。下圖是自動(dòng)填充的簡(jiǎn)化圖:設(shè)備噴灑完化學(xué)品后，關(guān)閉閥門。電視22 關(guān)閉，罐中的氣體通過(guò)電視 22 的排氣管道釋放壓力，電視 22 是一個(gè)二位三通閥。在此過(guò)程中， 22 號(hào)電磁閥打開，虛線所示的管道中的氣體使電視22 在較低的位置工作，N2 進(jìn)入碳罐，當(dāng)壓力增加到一定水平時(shí)，酸通過(guò)管道輸送到反應(yīng)室。在此過(guò)程中，如果罐的壓力過(guò)高，達(dá)不到45 磅 /平方英寸，爆破片將破裂，壓力將被釋放，然后過(guò)程將被中斷，并出現(xiàn)流量超標(biāo)警報(bào)。如果壓力達(dá)到60 磅 /平方英寸，罐的蓋子將會(huì)破裂，因此將用于雙重保險(xiǎn)。如果酸液有過(guò)流現(xiàn)象，存儲(chǔ)柜中的傳感器會(huì)檢測(cè)到并發(fā)出過(guò)流報(bào)警，從而停止自動(dòng)加注功能，起到安全保護(hù)的作用。七、常見(jiàn)故障及維修方法:在實(shí)際設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，F(xiàn)SI 清洗機(jī)主要有三種故障報(bào)警?，F(xiàn)在，OCAP 文件已被寫入，以根據(jù)報(bào)警提示正確處理問(wèn)題