《傳感器技術(shù)與應(yīng)用》第三章 電感式傳感器

1、2022-1-11 第第3 3章章 電感式傳感器電感式傳感器2022-1-12電感式傳感器電感式傳感器n電感式傳感器可用來測量位移、壓力、流量、振動等非電量，電感式傳感器可用來測量位移、壓力、流量、振動等非電量，其主要特點是結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、靈敏度高；測量精度高、其主要特點是結(jié)構(gòu)簡單、工作可靠、靈敏度高；測量精度高、輸出功率較大；可實現(xiàn)信息的遠(yuǎn)距離傳輸、記錄、顯示和控輸出功率較大；可實現(xiàn)信息的遠(yuǎn)距離傳輸、記錄、顯示和控制，在工業(yè)自動控制系統(tǒng)中被廣泛應(yīng)用。但其靈敏度、線性制，在工業(yè)自動控制系統(tǒng)中被廣泛應(yīng)用。但其靈敏度、線性度和測量范圍相互制約；傳感器自身頻率響應(yīng)低，不適用于度和測量范圍相互制約

2、；傳感器自身頻率響應(yīng)低，不適用于快速動態(tài)測量?？焖賱討B(tài)測量。n電感式傳感器是建立在電磁感應(yīng)的基礎(chǔ)上，利用線圈自感或電感式傳感器是建立在電磁感應(yīng)的基礎(chǔ)上，利用線圈自感或互感來實現(xiàn)非電量的檢測?；ジ衼韺崿F(xiàn)非電量的檢測。 本章主要介紹：本章主要介紹：n自感式傳感器（利用自感原理）；自感式傳感器（利用自感原理）；n差動變壓器式傳感器（利用互感原理）；差動變壓器式傳感器（利用互感原理）；n電渦流式傳感器（利用渦流原理）。電渦流式傳感器（利用渦流原理）。2022-1-13自感式傳感器自感式傳感器 n自感式傳感器由線圈、鐵心和銜鐵三部自感式傳感器由線圈、鐵心和銜鐵三部分組成。鐵心和銜鐵由導(dǎo)磁材料制成。分組成

3、。鐵心和銜鐵由導(dǎo)磁材料制成。自感式傳感器是把被測量的變化轉(zhuǎn)換成自感式傳感器是把被測量的變化轉(zhuǎn)換成自感自感L的變化，通過一定的轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換的變化，通過一定的轉(zhuǎn)換電路轉(zhuǎn)換成電壓或電流輸出。按磁路幾何參數(shù)變成電壓或電流輸出。按磁路幾何參數(shù)變化形式的不同，自感式傳感器可分為變化形式的不同，自感式傳感器可分為變氣隙式、變截面積式和螺線管式三種氣隙式、變截面積式和螺線管式三種2022-1-14內(nèi)容內(nèi)容n3.1.1 基本工作原理基本工作原理 n3.1.2 自感式傳感器的測量電路自感式傳感器的測量電路 n3.1.3 自感式傳感器應(yīng)用自感式傳感器應(yīng)用2022-1-15電感傳感器的基本工作原理演示氣隙變小，電感變

4、大，電流變小F F2022-1-163.1.1 基本工作原理基本工作原理n線圈的自感量等于線圈中通入單位電流線圈的自感量等于線圈中通入單位電流所產(chǎn)生的磁鏈數(shù)，即線圈的自感系數(shù)所產(chǎn)生的磁鏈數(shù)，即線圈的自感系數(shù)n 為磁鏈，為磁鏈， 為磁通（為磁通（Wb），），I為流過為流過線圈的電流（線圈的電流（A），），N為線圈匝數(shù)。根據(jù)為線圈匝數(shù)。根據(jù)磁路歐姆定律：磁路歐姆定律： ， 為磁導(dǎo)率，為磁導(dǎo)率，S為為磁路截面積，磁路截面積， 為磁路總長度。為磁路總長度。/LININ/NIS ll2022-1-17002sRm線圈的電感量線圈的電感量 n 為磁路的磁阻為磁路的磁阻 變磁阻式傳感器 2022SNRNLm

5、2022-1-18結(jié)論結(jié)論n只要被測非電量能夠引起空氣隙長度或只要被測非電量能夠引起空氣隙長度或等效截面積發(fā)生變化，線圈的電感量就等效截面積發(fā)生變化，線圈的電感量就會隨之變化。會隨之變化。n電感式傳感器從原理上可分為變氣隙長電感式傳感器從原理上可分為變氣隙長度式和變氣隙截面式兩種類型，前者常度式和變氣隙截面式兩種類型，前者常用于測量直線位移，后者常用于測量角用于測量直線位移，后者常用于測量角位移。位移。 2022-1-19自感式傳感器自感式傳感器2022-1-1101變氣隙式（閉磁路式）自感傳感器變氣隙式（閉磁路式）自感傳感器 n由電感式可知，變氣隙長度式傳感器的由電感式可知，變氣隙長度式傳感

6、器的線性度差、示值范圍窄、自由行程小，線性度差、示值范圍窄、自由行程小，但在小位移下靈敏度很高，常用于小位但在小位移下靈敏度很高，常用于小位移的測量。移的測量。 1線圈 2鐵芯 3銜鐵2022-1-1112螺線管式（開磁路式）自感式傳感器螺線管式（開磁路式）自感式傳感器 n螺線管式自感式傳感器常采用差動式。螺線管式自感式傳感器常采用差動式。 n它是在螺線管中插入圓柱形鐵芯而構(gòu)成的。其它是在螺線管中插入圓柱形鐵芯而構(gòu)成的。其磁路是開放的，氣隙磁路占很長的部分。有限磁路是開放的，氣隙磁路占很長的部分。有限長螺線管內(nèi)部磁場沿軸線非均勻分布，中間強，長螺線管內(nèi)部磁場沿軸線非均勻分布，中間強，兩端弱。插

7、入鐵芯的長度不宜過短也不宜過長，兩端弱。插入鐵芯的長度不宜過短也不宜過長，一般以鐵芯與線圈長度比為、半徑比趨于一般以鐵芯與線圈長度比為、半徑比趨于1為為宜。鐵磁材料的選取決定于供橋電源的頻率，宜。鐵磁材料的選取決定于供橋電源的頻率，500Hz以下多用硅鋼片，以下多用硅鋼片，500Hz以上多用薄以上多用薄膜合金，更高頻率則選用鐵氧體。從線性度考膜合金，更高頻率則選用鐵氧體。從線性度考慮，匝數(shù)和鐵芯長度有一最佳數(shù)值，應(yīng)通過實慮，匝數(shù)和鐵芯長度有一最佳數(shù)值，應(yīng)通過實驗選定。驗選定。 2022-1-112結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)n差動式電感傳感差動式電感傳感器對外界影響，器對外界影響，如溫度的變化、如溫度的變化、電源

8、頻率的變化電源頻率的變化等基本上可以互等基本上可以互相抵消，銜鐵承相抵消，銜鐵承受的電磁吸力也受的電磁吸力也較小，從而減小較小，從而減小了測量誤差。了測量誤差。 1測桿 2銜鐵 3線圈 2022-1-113特性特性n從輸出特性曲線（如從輸出特性曲線（如圖圖4-5所示）可以看所示）可以看出，差動式電感傳感出，差動式電感傳感器的線性較好，且輸器的線性較好，且輸出曲線較陡，靈敏度出曲線較陡，靈敏度約為非差動式電感傳約為非差動式電感傳感器的兩倍。感器的兩倍。 1、2L1、L2的特性 3差動特性 2022-1-1143.1.2 自感式傳感器的測量電路自感式傳感器的測量電路n自感式傳感器的測量電路用來將電

9、感量的變化自感式傳感器的測量電路用來將電感量的變化轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓或電流信號，以便供放大器轉(zhuǎn)換成相應(yīng)的電壓或電流信號，以便供放大器進(jìn)行放大，然后用測量儀表顯示或記錄。進(jìn)行放大，然后用測量儀表顯示或記錄。n測量電路有交流分壓式、交流電橋式和諧振式測量電路有交流分壓式、交流電橋式和諧振式等多種，常用的差動式傳感器大多采用交流電等多種，常用的差動式傳感器大多采用交流電橋式橋式 。n交流電橋的種類很多，差動形式工作時其電橋交流電橋的種類很多，差動形式工作時其電橋電路常采用雙臂工作方式。兩個差動線圈電路常采用雙臂工作方式。兩個差動線圈Z1和和Z2分別作為電橋的兩個橋臂，另外兩個平衡臂分別作為電橋的兩個橋

10、臂，另外兩個平衡臂可以是電阻或電抗，或者是帶中心抽頭的變壓可以是電阻或電抗，或者是帶中心抽頭的變壓器的兩個二次繞組或緊耦合線圈等形式。器的兩個二次繞組或緊耦合線圈等形式。 2022-1-1151變壓器交流電橋變壓器交流電橋 n電橋有兩臂為傳感電橋有兩臂為傳感器的差動線圈的阻器的差動線圈的阻抗，所以該電路又抗，所以該電路又稱為差動交流電橋稱為差動交流電橋 變壓器式交流電橋電路圖 2022-1-116分析分析n設(shè)設(shè)O點為電位參考點，根據(jù)電路的基本分點為電位參考點，根據(jù)電路的基本分析方法，可得到電橋輸出電壓為析方法，可得到電橋輸出電壓為n當(dāng)傳感器的活動鐵芯處于初始平衡位置當(dāng)傳感器的活動鐵芯處于初始平

11、衡位置時，兩線圈的電感相等，阻抗也相等，時，兩線圈的電感相等，阻抗也相等，即，其中表示活動鐵芯處于初始平衡位即，其中表示活動鐵芯處于初始平衡位置時每一個線圈的阻抗。置時每一個線圈的阻抗。 n電橋輸出電壓，電橋處于平衡狀態(tài)。電橋輸出電壓，電橋處于平衡狀態(tài)。 1oABAB2121()2ZUUVVUZZ2022-1-117變化時變化時n當(dāng)鐵芯向一邊移動時，則一個線圈的阻當(dāng)鐵芯向一邊移動時，則一個線圈的阻抗增加抗增加 ，10ZZZ20ZZZ0o22001()222ZZZUUUZZ 2022-1-118變化后的電壓變化后的電壓n當(dāng)傳感器線圈為高當(dāng)傳感器線圈為高Q值時，則線圈的電阻遠(yuǎn)小值時，則線圈的電阻遠(yuǎn)

12、小于其感抗于其感抗 n當(dāng)活動鐵芯向另一邊（反方向）移動時當(dāng)活動鐵芯向另一邊（反方向）移動時 n差動式自感傳感器采用變壓器交流電橋為測量差動式自感傳感器采用變壓器交流電橋為測量電路時，電橋輸出電壓既能反映被測體位移量電路時，電橋輸出電壓既能反映被測體位移量的大小，又能反映位移量的方向，且輸出電壓的大小，又能反映位移量的方向，且輸出電壓與電感變化量呈線性關(guān)系。與電感變化量呈線性關(guān)系。 o202LUUL 2022-1-1192帶相敏整流的交流電橋帶相敏整流的交流電橋 n上述變壓器式交流電橋中，由于采用交上述變壓器式交流電橋中，由于采用交流電源，則不論活動鐵芯向線圈的哪個流電源，則不論活動鐵芯向線圈的

13、哪個方向移動，電橋輸出電壓總是交流的，方向移動，電橋輸出電壓總是交流的，即無法判別位移的方向。即無法判別位移的方向。n常采用帶相敏整流的交流電橋常采用帶相敏整流的交流電橋.n 2022-1-120結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)帶相敏整流的交流電橋電路 2022-1-121（1）初始平衡位置時）初始平衡位置時n當(dāng)差動式傳感器的當(dāng)差動式傳感器的活動鐵芯處于中間活動鐵芯處于中間位置時，傳感器兩位置時，傳感器兩個差動線圈的阻抗個差動線圈的阻抗Z1=Z2=Z0，其，其等效電路如圖所示。等效電路如圖所示。 鐵芯處于初始平衡位置時的等效電路 2022-1-122（2）活動鐵芯向一邊移動時）活動鐵芯向一邊移動時 n當(dāng)活動鐵芯向當(dāng)活

14、動鐵芯向線圈的一個方線圈的一個方向移動時，傳向移動時，傳感器兩個差動感器兩個差動線圈的阻抗發(fā)線圈的阻抗發(fā)生變化，等效生變化，等效電路如圖電路如圖4-9所示。所示。 鐵芯向線圈一個方向移動時的等效電路 2022-1-123結(jié)果結(jié)果oDCii20001221 ()2ZZUVVUUZZZZoDCi200121 ()2ZUVVUZZZ在Ui的正半周 在Ui的負(fù)半周 2022-1-124n只要活動鐵芯向一方向移動，無論在交只要活動鐵芯向一方向移動，無論在交流電源的正半周還是負(fù)半周，電橋輸出流電源的正半周還是負(fù)半周，電橋輸出電壓均為正值。電壓均為正值。 2022-1-125（3）活動鐵芯向相反方向移動時）

15、活動鐵芯向相反方向移動時n當(dāng)活動鐵芯向線圈的另一個方向移動時，當(dāng)活動鐵芯向線圈的另一個方向移動時，用上述分析方法同樣可以證明，無論在用上述分析方法同樣可以證明，無論在的正半周還是負(fù)半周，電橋輸出電壓均的正半周還是負(fù)半周，電橋輸出電壓均為負(fù)值。為負(fù)值。 2022-1-126應(yīng)用應(yīng)用n采用帶相敏整流的采用帶相敏整流的交流電橋，其輸出交流電橋，其輸出電壓既能反映位移電壓既能反映位移量的大小，又能反量的大小，又能反映位移的方向，所映位移的方向，所以應(yīng)用較為廣泛。以應(yīng)用較為廣泛。 1理想特性曲線 2實際特性曲線2022-1-1273.1.3 自感式傳感器應(yīng)用自感式傳感器應(yīng)用n用于測量位移，還可以用于測量

16、振動、用于測量位移，還可以用于測量振動、應(yīng)變、厚度、壓力、流量、液位等非電應(yīng)變、厚度、壓力、流量、液位等非電量。量。 2022-1-1281自感式測厚儀自感式測厚儀 n采用差動結(jié)構(gòu)，其測量電采用差動結(jié)構(gòu)，其測量電路為帶相敏整流的交流電路為帶相敏整流的交流電橋。當(dāng)被測物體的厚度發(fā)橋。當(dāng)被測物體的厚度發(fā)生變化時，引起測桿上下生變化時，引起測桿上下移動，帶動可動鐵芯產(chǎn)生移動，帶動可動鐵芯產(chǎn)生位移，從而改變了氣隙的位移，從而改變了氣隙的厚度，使線圈的電感量發(fā)厚度，使線圈的電感量發(fā)生相應(yīng)的變化。此電感變生相應(yīng)的變化。此電感變化量經(jīng)過帶相敏整流的交化量經(jīng)過帶相敏整流的交流電橋測量后，送測量儀流電橋測量后，

17、送測量儀表顯示，其大小與被測物表顯示，其大小與被測物的厚度成正比。的厚度成正比。 1可動鐵芯 2測桿 3被測物體2022-1-1292位移測量位移測量 n測量時測頭的測端測量時測頭的測端與被測件接觸，被與被測件接觸，被測件的微小位移使測件的微小位移使銜鐵在差動線圈中銜鐵在差動線圈中移動，線圈的電感移動，線圈的電感值將產(chǎn)生變化，這值將產(chǎn)生變化，這一變化量通過引線一變化量通過引線接到交流電橋，電接到交流電橋，電橋的輸出電壓就反橋的輸出電壓就反映被測件的位移變映被測件的位移變化量?；?。 1引線 2線圈 3銜鐵 4測力彈簧 5導(dǎo)桿 6密封罩 7測頭2022-1-130其他電感測微頭2022-1-13

18、13.2 差動變壓器式傳感器差動變壓器式傳感器n把被測的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感變化的傳把被測的非電量變化轉(zhuǎn)換為線圈互感變化的傳感器稱為互感式傳感器。因這種傳感器是根據(jù)感器稱為互感式傳感器。因這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的，并且其二次繞組都變壓器的基本原理制成的，并且其二次繞組都用差動形式連接，所以又叫差動變壓器式傳感用差動形式連接，所以又叫差動變壓器式傳感器，簡稱差動變壓器。器，簡稱差動變壓器。 n有變隙式、變面積式和螺線管式等有變隙式、變面積式和螺線管式等 n在非電量測量中，應(yīng)用最多的是螺線管式的差在非電量測量中，應(yīng)用最多的是螺線管式的差動變壓器，它可以測量動變壓器，它可以測量11

19、00mm范圍內(nèi)的范圍內(nèi)的機械位移，并具有測量精度高、靈敏度高、結(jié)機械位移，并具有測量精度高、靈敏度高、結(jié)構(gòu)簡單、性能可靠等優(yōu)點。構(gòu)簡單、性能可靠等優(yōu)點。 2022-1-1323.2.1 基本工作原理基本工作原理 變隙式差動變壓器原理圖螺線管式差動變壓器原理圖2022-1-133輸出特性輸出特性n當(dāng)鐵芯位于中心位置，輸出當(dāng)鐵芯位于中心位置，輸出電壓電壓U2并不等于零，這個電并不等于零，這個電壓稱為零點殘余電壓壓稱為零點殘余電壓 。它的。它的存在使傳感器的輸出特性曲存在使傳感器的輸出特性曲線不經(jīng)過零點，造成實際特線不經(jīng)過零點，造成實際特性和理論特性不完全一致。性和理論特性不完全一致。零點殘余電壓使

20、得傳感器的零點殘余電壓使得傳感器的輸出特性在零點附近不靈敏，輸出特性在零點附近不靈敏，給測量帶來誤差，它的大小給測量帶來誤差，它的大小是衡量差動變壓器性能好壞是衡量差動變壓器性能好壞的重要指標(biāo)。的重要指標(biāo)。輸出特性曲線輸出特性曲線2022-1-134零點電勢零點電勢n零點殘余電動勢使得傳感器在零點附近零點殘余電動勢使得傳感器在零點附近的輸出特性不靈敏，為測量帶來誤差。的輸出特性不靈敏，為測量帶來誤差。為了減小零點殘余電動勢，可采用以下為了減小零點殘余電動勢，可采用以下方法。方法。n（1）盡可能保證傳感器尺寸、線圈電氣）盡可能保證傳感器尺寸、線圈電氣參數(shù)和磁路對稱。參數(shù)和磁路對稱。n（2）選用合

21、適的測量電路。）選用合適的測量電路。n（3）采用補償線路減小零點殘余電動勢。）采用補償線路減小零點殘余電動勢。2022-1-135測測 量量 電電 路路 n差動變壓器輸出的是交流電壓，若用交差動變壓器輸出的是交流電壓，若用交流電壓表測量，只能反映銜鐵位移的大流電壓表測量，只能反映銜鐵位移的大小，而不能反映移動方向。另外，其測小，而不能反映移動方向。另外，其測量值中將包含零點殘余電壓。為了達(dá)到量值中將包含零點殘余電壓。為了達(dá)到能辨別移動方向及消除零點殘余電動勢能辨別移動方向及消除零點殘余電動勢目的，實際測量時，常常采用差動整流目的，實際測量時，常常采用差動整流電路和相敏檢波電路。電路和相敏檢波電

22、路。 2022-1-1361差動整流電路差動整流電路 n是把差動變壓器的兩個次級輸出電壓分別整流，然后是把差動變壓器的兩個次級輸出電壓分別整流，然后將整流的電壓或電流的差值作為輸出，這樣二次電壓將整流的電壓或電流的差值作為輸出，這樣二次電壓的相位和零點殘余電壓都不必考慮。的相位和零點殘余電壓都不必考慮。n差動整流電路同樣具有相敏檢波作用，圖中的兩組差動整流電路同樣具有相敏檢波作用，圖中的兩組（或兩個）整流二極管分別將二次線圈中的交流電壓（或兩個）整流二極管分別將二次線圈中的交流電壓轉(zhuǎn)換為直流電，然后相加。由于這種測量電路結(jié)構(gòu)簡轉(zhuǎn)換為直流電，然后相加。由于這種測量電路結(jié)構(gòu)簡單，不需要考慮相位調(diào)整

23、和零點殘余電壓的影響，且單，不需要考慮相位調(diào)整和零點殘余電壓的影響，且具有分布電容小和便于遠(yuǎn)距離傳輸?shù)葍?yōu)點，因而獲得具有分布電容小和便于遠(yuǎn)距離傳輸?shù)葍?yōu)點，因而獲得廣泛的應(yīng)用。但是，二極管的非線性影響比較嚴(yán)重，廣泛的應(yīng)用。但是，二極管的非線性影響比較嚴(yán)重，而且二極管的正向飽和壓降和反向漏電流對性能也會而且二極管的正向飽和壓降和反向漏電流對性能也會產(chǎn)生不利影響，只能在要求不高的場合下使用。產(chǎn)生不利影響，只能在要求不高的場合下使用。n一般經(jīng)相敏檢波和差動整流后的輸出信號還必須經(jīng)過一般經(jīng)相敏檢波和差動整流后的輸出信號還必須經(jīng)過低通濾波器，把調(diào)制的高頻信號衰減掉，只允許銜鐵低通濾波器，把調(diào)制的高頻信號衰

24、減掉，只允許銜鐵運動產(chǎn)生的有用信號通過。運動產(chǎn)生的有用信號通過。2022-1-137典型電路典型電路差動整流電路 2022-1-1382差動檢波電路差動檢波電路 差動相敏檢波電路 等效電路 2022-1-139（2）工作原理）工作原理n傳感器銜鐵上移傳感器銜鐵上移n傳感器銜鐵下移傳感器銜鐵下移L21L(2)LR uun RRL21L(2)LR uun RR 2022-1-140（3）波形圖）波形圖相敏檢波電路波形圖 2022-1-1413.2.3 差動變壓器式傳感器的應(yīng)用差動變壓器式傳感器的應(yīng)用 n差動變壓器不僅可以直接用于位移測量，差動變壓器不僅可以直接用于位移測量，而且還可以測量與位移有關(guān)

25、的任何機械而且還可以測量與位移有關(guān)的任何機械量，如振動、加速度、應(yīng)變、壓力、張量，如振動、加速度、應(yīng)變、壓力、張力、比重和厚度等。力、比重和厚度等。2022-1-142差動變壓器式傳感器的應(yīng)用差動變壓器式傳感器的應(yīng)用n差動變壓器式差動變壓器式加速度傳感器加速度傳感器是由懸臂梁和是由懸臂梁和差動變壓器構(gòu)差動變壓器構(gòu)成，其結(jié)構(gòu)如成，其結(jié)構(gòu)如圖所示。圖所示。 振動傳感器及其測量電路1彈性支撐 2差動變壓器2022-1-143差動變壓器式傳感器的應(yīng)用差動變壓器式傳感器的應(yīng)用n力平衡式差壓計力平衡式差壓計2022-1-144差動變壓器式傳感器的應(yīng)用差動變壓器式傳感器的應(yīng)用n力傳感器力傳感器 差動變壓器式

26、力傳感差動變壓器式力傳感器原理結(jié)構(gòu)圖如圖所器原理結(jié)構(gòu)圖如圖所示。它是利用力作用示。它是利用力作用下引起彈性元件形變，下引起彈性元件形變，然后彈性元件的形變?nèi)缓髲椥栽男巫儙硬顒幼儔浩鞯你晭硬顒幼儔浩鞯你曡F運動，從而產(chǎn)生相鐵運動，從而產(chǎn)生相應(yīng)地電流或電壓輸出應(yīng)地電流或電壓輸出的原理制成的。的原理制成的。2022-1-145差動變壓器式傳感器的應(yīng)用差動變壓器式傳感器的應(yīng)用n差動變壓器式電感測微儀差動變壓器式電感測微儀2022-1-1463.3 電渦流傳感器電渦流傳感器n根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理，塊狀金屬導(dǎo)體置于變根據(jù)法拉第電磁感應(yīng)原理，塊狀金屬導(dǎo)體置于變化的磁場中或在磁場中作切割磁力線運動時，

27、導(dǎo)化的磁場中或在磁場中作切割磁力線運動時，導(dǎo)體內(nèi)將產(chǎn)生呈渦旋狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦體內(nèi)將產(chǎn)生呈渦旋狀的感應(yīng)電流，此電流叫電渦流，這種現(xiàn)象稱為電渦流效應(yīng)。流，這種現(xiàn)象稱為電渦流效應(yīng)。 n根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱為電渦流式傳感根據(jù)電渦流效應(yīng)制成的傳感器稱為電渦流式傳感器。按照電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況，器。按照電渦流在導(dǎo)體內(nèi)的貫穿情況， 此傳感器此傳感器可分為高頻反射式和低頻透射式兩類，但從基本可分為高頻反射式和低頻透射式兩類，但從基本工作原理上來說仍是相似的。電渦流式傳感器最工作原理上來說仍是相似的。電渦流式傳感器最大的特點是能對位移、厚度、表面溫度、速度、大的特點是能對位移、厚度、表面溫

28、度、速度、應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接觸式連續(xù)測量，另外應(yīng)力、材料損傷等進(jìn)行非接觸式連續(xù)測量，另外還具有體積小、靈敏度高、頻率響應(yīng)寬等特點，還具有體積小、靈敏度高、頻率響應(yīng)寬等特點，應(yīng)用極其廣泛。應(yīng)用極其廣泛。 2022-1-1473.3.1 電渦流傳感器的工作原理電渦流傳感器的工作原理 n高頻反射式傳感器采用高頻信號源，高頻反射式傳感器采用高頻信號源，其原理及等效電路分別如圖所示。線其原理及等效電路分別如圖所示。線圈置于金屬導(dǎo)體附近，線圈中通以高圈置于金屬導(dǎo)體附近，線圈中通以高頻信號頻信號 ，則會產(chǎn)生正弦交變磁場，則會產(chǎn)生正弦交變磁場 ，產(chǎn)生的交變磁場作用下方的金屬塊，產(chǎn)生的交變磁場作用下方的金

29、屬塊，金屬塊內(nèi)就會產(chǎn)生渦流金屬塊內(nèi)就會產(chǎn)生渦流 ，變化的渦流，變化的渦流產(chǎn)生磁場產(chǎn)生磁場 ，又反作用于線圈，改變了，又反作用于線圈，改變了線圈的電感。電感變化程度取于線圈線圈的電感。電感變化程度取于線圈的外形尺寸，線圈至金屬板之間的距的外形尺寸，線圈至金屬板之間的距離，金屬板材料的電阻率和磁導(dǎo)率以離，金屬板材料的電阻率和磁導(dǎo)率以及電源頻率等及電源頻率等。 2022-1-148n為了充分有效地利用電渦流效應(yīng)，對于為了充分有效地利用電渦流效應(yīng)，對于平板型的被測體則要求被測體的半徑應(yīng)平板型的被測體則要求被測體的半徑應(yīng)大于線圈半徑的倍，否則就要降低靈敏大于線圈半徑的倍，否則就要降低靈敏度。當(dāng)被測物體是

30、圓柱體時，被測導(dǎo)體度。當(dāng)被測物體是圓柱體時，被測導(dǎo)體直徑必須為線圈直徑的倍以上，靈敏度直徑必須為線圈直徑的倍以上，靈敏度才不受影響。一般來說，被測體的磁導(dǎo)才不受影響。一般來說，被測體的磁導(dǎo)率越高，電阻率越低，則傳感器的靈敏率越高，電阻率越低，則傳感器的靈敏度越高。度越高。2022-1-1493.3.2 測量電路測量電路 n1電橋電路電橋電路 在進(jìn)行測量時，由于傳感器線圈的在進(jìn)行測量時，由于傳感器線圈的阻抗發(fā)生變化，使電橋失去平衡，而電阻抗發(fā)生變化，使電橋失去平衡，而電橋不平衡造成的輸出信號被放大并檢波，橋不平衡造成的輸出信號被放大并檢波，就可得到與被測量成正比的輸出。其電就可得到與被測量成正比

31、的輸出。其電路原理圖如圖路原理圖如圖3-20所示。所示。2022-1-1503.3.2 測量電路測量電路 nL1和和L2為傳感器兩線圈，為傳感器兩線圈，分別與選頻電容分別與選頻電容C1和和C2并并聯(lián)組成兩橋臂，電阻聯(lián)組成兩橋臂，電阻R1和和R2組成另外兩橋臂。靜態(tài)組成另外兩橋臂。靜態(tài)時，電橋平衡，橋路輸出電時，電橋平衡，橋路輸出電壓為壓為0。工作時，傳感器接。工作時，傳感器接近被測體，由于電渦流效應(yīng)近被測體，由于電渦流效應(yīng)引起傳感器線圈電感變化，引起傳感器線圈電感變化，電橋失去平衡，有電壓輸出。電橋失去平衡，有電壓輸出。經(jīng)放大后送至檢波器檢波，經(jīng)放大后送至檢波器檢波，輸出直流電壓輸出直流電壓U

32、0，U0的大的大小正比于傳感器的移動量，小正比于傳感器的移動量，以實現(xiàn)對位移量的測量。以實現(xiàn)對位移量的測量。2022-1-1513.3.2 測量電路測量電路 n把傳感器線圈與電容并聯(lián)組成把傳感器線圈與電容并聯(lián)組成LC并聯(lián)諧振電路。當(dāng)傳感器并聯(lián)諧振電路。當(dāng)傳感器接近被測金屬導(dǎo)體時，線圈電感發(fā)生變化，接近被測金屬導(dǎo)體時，線圈電感發(fā)生變化，LC回路的阻抗回路的阻抗和諧振頻率將隨著和諧振頻率將隨著L的變化而變化，因此可以利用測量回路的變化而變化，因此可以利用測量回路阻抗或諧振頻率的方法間接反映出傳感器的被測量，相對應(yīng)阻抗或諧振頻率的方法間接反映出傳感器的被測量，相對應(yīng)的就是調(diào)幅法和調(diào)頻法。的就是調(diào)幅法

33、和調(diào)頻法。2022-1-152調(diào)幅式調(diào)幅式n石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓（石英振蕩器產(chǎn)生穩(wěn)頻、穩(wěn)幅高頻振蕩電壓（100kHz1MHz）用于激勵電渦流線圈。金屬材料在高頻磁場中）用于激勵電渦流線圈。金屬材料在高頻磁場中產(chǎn)生電渦流，引起電渦流線圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、產(chǎn)生電渦流，引起電渦流線圈端電壓的衰減，再經(jīng)高放、檢波、低放電路，最終輸出的直流電壓檢波、低放電路，最終輸出的直流電壓Uo反映了金屬反映了金屬體對電渦流線圈的影響）。體對電渦流線圈的影響）。2022-1-1533調(diào)頻（調(diào)頻（FM）式電路（）式電路（100kHz1MHz）n當(dāng)電渦流線圈與被測體的距離當(dāng)電渦流線圈與被測體的距離x 改變時，電渦改變時，電渦流線圈的電感量流線圈的電感量L也隨之改變，引起也隨之改變，引起LC振蕩器振蕩器的輸出頻率變化，此頻率可直接用計算機測量。的輸出頻率變化，此頻率可直接用計算機測量。如果要用模擬儀表進(jìn)行顯示或記錄時，必須使如果要用模擬儀表進(jìn)行顯示或記錄時，必須使用鑒頻器，將用鑒頻器，將 f轉(zhuǎn)換為電壓轉(zhuǎn)換為電壓 Uo。 2022-1-1544.3.3 電渦流傳感器的應(yīng)用電渦流傳感器的應(yīng)用 n電渦流傳感器是以電渦流效應(yīng)為原理的非接觸電渦流傳感器是以電渦流效應(yīng)為原理的非接觸式位移、振動傳感器。可對進(jìn)入尤