PDP工藝設(shè)備介紹

1、第四編 等離子電視制造設(shè)備第一章 第一節(jié) 濕洗裝置 1.前言最近等離子電視在各地常能看到，機(jī)場(chǎng)、展示會(huì)等大型顯示器都用等離子電視。其屏幕大視角廣、精度高的特點(diǎn)很顯著，并且逐步解決了質(zhì)量輕、耗電量低、價(jià)格低的課題。清洗裝置也被要求具有高處理能力、高能清洗時(shí)要求節(jié)省空間、等離子電視向生產(chǎn)的低成本化發(fā)展也在不斷研究。2.關(guān)于清洗裝置的想法2.1高吞吐率 伴隨基板向大型化發(fā)展，高吞吐率是降低運(yùn)行成本的最重要的項(xiàng)目。為實(shí)現(xiàn)高吞吐能力就以下項(xiàng)目講述。去除粒徑大的微粒（10um以上）使用刷子及洗滌劑，如何提高效率是重要的。關(guān)于洗滌劑的選擇，要看微粒的性質(zhì)是有機(jī)質(zhì)還是無機(jī)質(zhì)、附著物是化學(xué)的還是物理的、是否與電

2、氣相結(jié)合，這些方面也要鑒別選擇。例如使用由無機(jī)堿系的界面活性劑與溶劑構(gòu)成的洗滌劑時(shí),如果是清洗只是由有機(jī)質(zhì)和無機(jī)質(zhì)構(gòu)成的微粒,其洗滌劑可以以前者為主體。即使是有機(jī)質(zhì)微粒,如果是樹脂系（含粘接劑）的微粒,也要選擇溶劑含有量多的。并且需要設(shè)定適當(dāng)?shù)臐舛葴囟葪l件。去除物理的附著微粒時(shí)刷子最適合，特別是線徑為0.150.2mm的尼龍刷子較好?？焖倥诺舸笮突迳系那逑此?，實(shí)現(xiàn)高處理率。各槽使用過的清洗水/洗滌水怎樣不會(huì)被帶入下一工序，如何保持含微粒的洗滌水的清潔性是很重要的。為此采用使用高壓縮空氣的液體切割（liquid cutter）。我公司作為別的解決方案，采用新開發(fā)出Air jet shower(

3、A/J)。如圖1所示。此方法即純凈水純凈水+空氣（2個(gè)水流）間歇高壓縮空氣的工序在數(shù)秒內(nèi)重復(fù)、純凈水挨著基板的部分不會(huì)形成多余的水膜，并且有防止帶入下一工序的作用。2個(gè)水流的噴頭還具有氣穴現(xiàn)象。該法有助于提高清洗度、增加排水效果、縮短清洗裝置的長(zhǎng)度,從而實(shí)現(xiàn)高處理效率。22 取代UV改質(zhì)的等離子改質(zhì)（常壓）清洗裝置表面改質(zhì)是重要項(xiàng)目、是在層壓或者電阻涂敷中必須進(jìn)行的。以往的依賴UV照射進(jìn)行改質(zhì),今后以等離子照射(常壓)主流。本公司從2001年開始開發(fā)銷售常壓等離子裝置。其理由是運(yùn)行成本低。為進(jìn)行表面改質(zhì),用空氣引起等離子也可以,一般需要N2、Ar、O2等氣體。即使使用價(jià)格高的氣體，預(yù)計(jì)運(yùn)行成本

4、能夠削減50%70%?，F(xiàn)在已經(jīng)在LCD的前工序、后工序、模塊工序、彩色過濾及OLED的制造工序或者ITO、Cr噴鍍前工序開始研究采用，我認(rèn)為接著將用于等離子電視工序中。 23 空氣切割刀干燥干燥以氣割刀為主體，氣割基板60英寸以上時(shí)的空氣消耗量也大。工廠需要配備大容量的壓縮機(jī)，增加運(yùn)行成本。因此氣割刀設(shè)置上下一對(duì)，空氣消耗量為3000Nl/min。但是也有用高壓環(huán)狀鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)行氣割的。需要更干燥的狀態(tài)的工序中，也有在裝置中加入熱空氣的。圖3是清洗裝置的外觀圖。3 清洗裝置的分類等離子電視制造工序中的清洗裝置分前、后基板的裝置，前基板的裝置種類有接納、厚膜印刷前、噴鍍前、漏網(wǎng)印刷前；后基板有接納、

5、漏網(wǎng)印刷前、層壓前、噴砂、感光漿料涂敷前的裝置。按照工序不同選擇清洗裝置以及使用的洗滌劑，增加與含改質(zhì)玻璃的粘結(jié)力，同時(shí)提高清洗能力，并且在層壓時(shí)能夠去掉異物突起。清洗機(jī)規(guī)格大致分為使用洗滌劑時(shí)、只用純凈水、或者干燥工序（干燥、表面改質(zhì)）所需的規(guī)格。任何情況都可以將滾刷、氣噴、高壓水槍、等離子改質(zhì)、等離子清洗、IR、CP等組合。關(guān)于清洗漏網(wǎng)罩用的裝置另外說明，有除去網(wǎng)眼堵塞物的甘油清洗劑、進(jìn)行浸漬、US、涮洗、干燥的裝置。4結(jié)束語 本章對(duì)等離子電視清洗裝置的高吞吐率、裝置的省空間化、新的等離子改質(zhì)、等離子清洗器進(jìn)行了介紹。這些都是今后有助于環(huán)保、安全的、能夠降低運(yùn)行成本的提案。第二章第一節(jié) 噴

6、鍍裝置1前言FPD 28英寸左右的電視稱a-siTFT(LCD),36英寸以上的大型FPD稱為等離子面板（等離子電視），作為民用的量產(chǎn)體制現(xiàn)在已就緒，現(xiàn)在各生產(chǎn)廠家都在積極地增加對(duì)大型高清晰度壁掛電視的設(shè)計(jì)。有關(guān)面板尺寸，不斷有5060英寸的大型面板達(dá)到實(shí)用化階段的公布發(fā)表，如何提高發(fā)光效率、達(dá)到高清晰度、低成本，成為制造大型面板技術(shù)的重要開發(fā)課題。等離子電視制造工序中，在設(shè)備及其成膜成本中，薄膜成膜裝置占有非常的地位。大型化基板對(duì)于噴鍍裝置的要求越來越高，下面對(duì)噴鍍裝置有代表性的要求列舉如下：能夠高速形成均勻膜質(zhì)、能夠安穩(wěn)搬運(yùn)60英寸以上的大型基板、裝置的占有面積小。本節(jié)針對(duì)大型面板制造技術(shù)

7、的薄膜成型工序中的噴鍍裝置進(jìn)行介紹。2 等離子電視用的并列式噴鍍裝置這里講述本公司的并列噴鍍裝置是如何適應(yīng)上述要求的。21 大型基板的均一高速鍍膜技術(shù)在以往的并列噴鍍裝置中，采用基板裝在稱作托架的臺(tái)車上，在噴鍍陰極前面以一定的速度使其通過，形成光膜的動(dòng)態(tài)成膜法（旁路成膜法）。在基板通過的高度方向?qū)δべ|(zhì)進(jìn)行調(diào)整的話、基板的長(zhǎng)度方面能夠鍍膜均勻，這種方法最適合大型基板的鍍膜。與本公司的并列式噴鍍搭載的陰極（cathode），靶使用效率達(dá)到百分之40以上。本公司準(zhǔn)備了能夠使用ITO低電壓噴鍍法（本公司已取得專利）的和Cu靶板厚30mm的長(zhǎng)期型兩種，能夠配合等離子電視用的大型基板。這一次裝載了新開發(fā)的

8、ITO用陰極，提高了以往的靶使用效率、鍍膜速度也提高了2倍。這樣可以減少了裝載陰極臺(tái)數(shù)、降低了運(yùn)行成本。本公司裝置中裝載的新開發(fā)的陰極的特征如下：鍍膜速度是本公司原來的陰極的2倍、由于裝載陰極臺(tái)數(shù)減少，裝置的長(zhǎng)度也縮短、使托架臺(tái).數(shù)減少成為可能。提高了靶的使用效率、靶的壽命延長(zhǎng)1.8倍、鍍膜速度是原來的2倍、靶的交換周期與現(xiàn)在使用的陰極同等。與以往的低電壓型陰極一樣，能夠得到同等程度的低電阻ITO膜。22 大型基板的均勻加熱技術(shù)并列式噴鍍裝置中一般采用成膜前基板預(yù)先加熱、降低排出氣體的操作。以往的并列噴鍍裝置中，在噴鍍室前的加熱室中進(jìn)行預(yù)先加熱，插入噴鍍室后由托架一邊進(jìn)行搬運(yùn)，最終進(jìn)行再次加熱

9、，來調(diào)整基板內(nèi)的溫度分布。新型并列式噴鍍裝置中，以更均勻的基板溫度分布和降低排放氣體為目標(biāo)，裝載了能夠在加熱室內(nèi)保持均勻的溫度、并且能夠快速升溫的新型加熱器，在噴鍍室以保溫為主的加熱方式。23大型基板的的安穩(wěn)搬運(yùn)技術(shù)在以往的并列噴鍍裝置中，在臺(tái)車兩邊的基板托架上，基板被垂直裝載。因此基板卸取時(shí)基板托架必須水平展開，使基板的光膜面朝下進(jìn)行卸貨。但是這種方式對(duì)超過60英寸的大型基板存在下列問題。對(duì)于超過60英寸的大型基板，在卸貨時(shí)水平支持基板會(huì)損傷基板?；逶谠O(shè)備上保持垂直，基板加熱或者成膜時(shí)基板會(huì)引起變形或翹起，相對(duì)于基板托架的變形，基板失去自由度，有損傷基板的危險(xiǎn)。本公司的新型并列噴鍍裝置是使

10、基板的托架整體傾斜、基板預(yù)先傾斜的方式，具有如下特征?；逍断聲r(shí)，基板的托架不需要水平展開、基板就能卸貨。同時(shí)、基板托架展開所需要的設(shè)備及時(shí)間可以免去，加快生產(chǎn)節(jié)奏。對(duì)于基板托架上的基板不需要積極的保護(hù)，對(duì)于加熱中/成膜中、或者基板托架的變形都能適應(yīng)。另外不需要基板的垂直設(shè)備、也省去了零件的清洗。24 占有面積小的裝置 以往的并列噴鍍裝置的構(gòu)成：真空槽（裝入室、加熱室、噴鍍室、取出室）縱向排列，托架在前后巡回、升降機(jī)（轉(zhuǎn)盤）與這些相連構(gòu)成空氣搬運(yùn)系統(tǒng)、并設(shè)有卸去基板的位置。因此設(shè)備較長(zhǎng)，60英寸級(jí)別的等離子電視的電極鍍膜裝置全長(zhǎng)約達(dá)到35米。本公司發(fā)揮前述托架整體傾斜方式的特征基板卸下時(shí)的位置

11、優(yōu)勢(shì)（可以縮短卸下時(shí)間），縮短了設(shè)備的間歇時(shí)間。而且，與以往的兩面同時(shí)鍍膜不同，采用單面鍍膜，即在鍍膜室的中途折回往返的鍍膜構(gòu)造，這樣雖然是大型基板的鍍膜設(shè)備但是占用面積小。3. 等離子電視用并列式噴鍍裝置的未來展望現(xiàn)在作為等離子電視用并列鍍膜裝置，幾乎都需要透明電極膜ITO和SiO2+ITO成膜裝置，以及Cr/Cu/Cr電極膜和Cr/ Al/Cr成膜裝置。但是，考慮到噴鍍方法的優(yōu)點(diǎn)即鍍膜均勻性（易控制型）以及修理維護(hù)方面，現(xiàn)在用熱蒸法鍍的氧化鎂將來有可能用噴鍍法鍍膜。本公司正在積極開發(fā)用噴鍍法來鍍氧化鎂的技術(shù)。關(guān)于Cr/Cu/Cr代表的電極膜、今后要使用高使用效率的陰極。為了實(shí)現(xiàn)等離子電視的

12、1英寸=1萬日元的目標(biāo)，需要進(jìn)一步降低電力消耗、節(jié)省設(shè)備空間。第二章第一（二）節(jié) 噴鍍裝置ATX-7001.前言在99年時(shí)等離子電視的生產(chǎn)數(shù)量達(dá)到10萬臺(tái)，當(dāng)時(shí)預(yù)測(cè)，按這樣的增長(zhǎng)速度，到2003年年產(chǎn)量會(huì)達(dá)到100萬臺(tái)。市場(chǎng)情況盡管沒有預(yù)期的那么好，但是對(duì)等離子電視的潛在需求應(yīng)當(dāng)是十分旺盛的。在降低銷售價(jià)格和具有魅力的節(jié)目?jī)?nèi)容出現(xiàn)后，市場(chǎng)的急速增長(zhǎng)是確定無疑的。現(xiàn)在許多等離子電視廠家都瞄準(zhǔn)未來的市場(chǎng)，開始建造新一代產(chǎn)品的生產(chǎn)工廠。在提高生產(chǎn)設(shè)備規(guī)模時(shí)，怎樣降低成本來生產(chǎn)高性能的面板，將成為要點(diǎn)。本節(jié)我們對(duì)用于PDP的薄膜材料與其成膜裝置進(jìn)行介紹。2.ITO 透明電極作為顯示器前面板的第一層透明

13、導(dǎo)電膜,許多等離子電視廠家都使用ITO。而且作為追加的堿性勢(shì)壘層是否有必要使用SiO2等，根據(jù)使用的玻璃基板的種類而變化。一般用于LCD的堿石灰玻璃基板，使需要SiO2層的。通常，膜的厚度是100300Å,此層使用RF噴鍍方法制成。ITO膜一般使用DC噴鍍。膜的電阻值和透光率的物理特性是最重要的特性。1.1mm厚的基板上鍍成電阻值10Å/sq的膜時(shí),透光率為89%。圖1顯示一般ITO膜的透光率和膜厚度的關(guān)系。ITO膜厚約為1500Å時(shí)，體(bulk)電阻平均為150cm。決定體電阻的主要要素是ITO膜的結(jié)晶性和化學(xué)計(jì)量。而且這些特性越是均勻，膜的老化性也越均勻，現(xiàn)

14、在各種溶液中，花費(fèi)多少時(shí)間以及每秒多少的老化率，從數(shù)Å到數(shù)百Å單位能夠正確地進(jìn)行預(yù)測(cè)。ITO成膜工藝中，靶的使用效率是非常重要的因素，現(xiàn)在多數(shù)鍍膜設(shè)備達(dá)到40%以上的效率。并且通過提高靶的壽命，除去球粒的附著也很重要。不使球粒產(chǎn)生，能夠發(fā)生擊穿及使其激減，其結(jié)果，成膜后的膠片上的附著異物及釘狀物變少，能夠得到非常光滑的膜表面。3.總線電極及旋轉(zhuǎn)陰極噴鍍鍍膜設(shè)備能制造的另一個(gè)PDP零件是總線電極材料。該零件采用CrCuCr或者CrAlCr,數(shù)m厚的Cu或者Al的導(dǎo)電層夾在10002000Å的鉻層中。這個(gè)多層的電阻率約為0.2Å/sq。這些金屬薄膜要求的特性

15、是膜厚的均勻性、電阻值、密封性、防止交叉污染、孔徑、老化特性、低膜應(yīng)力。這些各要求特性必須通過成膜設(shè)備的機(jī)械設(shè)計(jì)、工藝的最佳設(shè)置來解決。尤其是作為中間膜的Cu及Al鍍膜時(shí)，膜厚12m，要求高速成膜率和靶的較長(zhǎng)使用壽命，本公司引進(jìn)的旋轉(zhuǎn)靶可以作為有效的解決策略。（圖2）在今后面向低價(jià)格的研發(fā)中，要對(duì)于電極形成工藝采用噴鍍的真空工藝方式、由銀漿代表的非真空工藝進(jìn)行對(duì)比研究。一般認(rèn)為非真空方法具有廉價(jià)的優(yōu)點(diǎn)，如果重視性能方面則使用真空鍍膜方法較好。鍍膜方法的問題上，初期投資金額大、設(shè)備大小、靶的壽命等問題，今后等離子電視的精度不斷提高，需要在考慮總的成本的基礎(chǔ)上，對(duì)2種方法展開研究。4鍍膜設(shè)備ATX

16、-700業(yè)界全體的PDP TV鍍模年目標(biāo)是鍍膜面積達(dá)到100萬平米,考慮到鍍膜成本、吞吐率,采用并列式鍍膜設(shè)備有希望達(dá)到。一般的并列噴鍍裝置一個(gè)月以42型面板換算能夠制造22000以上的面板。本公司開發(fā)的并列噴鍍裝置ATX-700以42型面板換算，能夠每月鍍膜24000片。ATX-700是為了提供所有成本、最適合等離子電視用而開發(fā)出來的設(shè)備。此設(shè)備是以容易操作和維護(hù)為目的進(jìn)行設(shè)計(jì)的。由于并列裝置被設(shè)計(jì)為由往返操作分割，在基板投入和鍍膜后呈真空狀態(tài)下使基板翻轉(zhuǎn)、搬出與投入從同一側(cè)進(jìn)行。托架按照傾斜7度設(shè)置，基板不但安裝容易，自動(dòng)化操作（機(jī)器人）也變得容易。托架的驅(qū)動(dòng)由磁力聯(lián)軸器進(jìn)行，鏈條等不需要

17、放在真空氛圍內(nèi)，也可以完全防止從最容易產(chǎn)生異物的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)進(jìn)來的污染。為了使各操作室、靶的交換和維護(hù)容易進(jìn)行，采取向陰極及屏蔽存儲(chǔ)容易的設(shè)計(jì)。而且此裝置是模塊式，可以在短時(shí)間內(nèi)設(shè)置。5搬運(yùn)系統(tǒng)的改善等離子電視使用的標(biāo)準(zhǔn)型高彎曲玻璃不經(jīng)撞擊，即使是小的裂紋也會(huì)造成基板破裂，拿放時(shí)要非常慎重。因此為了防止破損，在這種玻璃的取放設(shè)備中必須引進(jìn)新的搬運(yùn)系統(tǒng)。展望將來的批量生產(chǎn)前景，將會(huì)不可避免地要使用完全自動(dòng)的搬運(yùn)系統(tǒng)，需要由機(jī)器人等對(duì)基板進(jìn)行裝卸、并在成膜裝置內(nèi)采取防止破損的對(duì)策。尤其是在成膜工序中，基板的前加熱處理溫度是ITO膜300攝氏度前后、氧化鎂膜在200攝氏度以上、電極在150攝氏度以上的高

18、溫，施加在基板上的加熱壓力太大。ATX-700的最大特點(diǎn)是基板托架呈7度角。這樣基板玻璃的裝卸容易進(jìn)行，不用像以往那樣基板上留出夾子的位置。這樣可以緩和對(duì)玻璃的壓力、搬運(yùn)時(shí)可以防止玻璃基板的破損。而且也方便機(jī)器人搬進(jìn)搬出基板。（圖4）前述的磁力驅(qū)動(dòng)搬運(yùn)裝置可以進(jìn)行無振動(dòng)的平穩(wěn)搬運(yùn)，降低對(duì)玻璃基板的損傷。6結(jié)束語為了使等離子電視降低價(jià)格，成膜裝置的所有成本必須進(jìn)一步下降。因此需要組建完全自動(dòng)的生產(chǎn)線、開發(fā)免維護(hù)的系統(tǒng)。而且需要進(jìn)一步發(fā)揮真空系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)，對(duì)非真空系統(tǒng)不具備的方面提出解決方案。例如對(duì)于不斷向大型化發(fā)展的等離子電視,噴濺成膜技術(shù)是比較容易應(yīng)付的。新的陰極設(shè)計(jì)可以說在節(jié)省連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間、容

19、易維護(hù)方面比印刷手法先進(jìn)。但是在初期投資金額、設(shè)備占有面積等方面還需要改進(jìn)。ITO成膜要求靶使用效率比現(xiàn)狀的效率提高40%以上。而且在高溫處理時(shí)要求電阻值不變化、膜不變色、與介質(zhì)層親和性好。關(guān)于總線電極，近年用戶對(duì)環(huán)境問題很關(guān)心，要求削減工序數(shù)，電極希望使用無Cr層的物質(zhì)。第三章第一節(jié) 氧化鎂成膜裝置C-3600S系列1 前言最近市場(chǎng)上出現(xiàn)的薄型、具有震撼效果的等離子電視很引人注目。作為等離子電視的保護(hù)膜使用氧化鎂膜，一直廣泛使用電子熱蒸（EB）法。但是為了提高生產(chǎn)率以及氧化鎂的膜質(zhì)，提出了新的成膜方法。氧化鎂膜是吸濕性非常高的材料，量產(chǎn)裝置中確保穩(wěn)定的成膜環(huán)境很重要。C-3600S系列（照片

20、1）是融合了穩(wěn)定成膜環(huán)境的TOSS（transfer only substrate system）技術(shù)以及中外爐工業(yè)公司的離子電鍍技術(shù)SUPLaDUO的氧化鎂成膜裝置。利用SUPLaDUO技術(shù)實(shí)現(xiàn)了更高的成膜速度，利用TOSS技術(shù)能夠形成穩(wěn)定的膜。已經(jīng)有幾家大型工廠的量產(chǎn)生產(chǎn)線上，今后為了進(jìn)一步普及等離子電視，必須提高生產(chǎn)率、提高膜質(zhì)。本節(jié)介紹本設(shè)備的特征及提高生產(chǎn)率所作的研發(fā)情況。2SUPLaDUO的概要21 構(gòu)成與原理SUPLaDUO是使用壓力傾斜型的等離子的離子電鍍成膜系統(tǒng)。圖1是離子槍的構(gòu)造和系統(tǒng)的基本構(gòu)成。陰極射線管部分產(chǎn)生的高密度電子光束是低電壓、大電流，高效率地激勵(lì)氬氣和蒸發(fā)的氧

21、化鎂，形成離子化，陰極射線管與成膜室之間設(shè)置壓力傾斜，防止從成膜室出來的氣體和離子的逆流對(duì)陰極射線管的損傷。電子光束是薄板化的磁鐵被壓大成薄板狀，以此為坩堝下的陽極磁鐵實(shí)現(xiàn)廣范圍的蒸發(fā)。而且為得到基板上的所定模厚度及膜質(zhì)分布，入射光束可以用陽極磁鐵等進(jìn)行調(diào)整。22 成膜特性一般用EB熱蒸法增加投入功率的話就容易發(fā)生濺水現(xiàn)象，難以增加成膜速度。與此相對(duì)，SUPLaDUO離子的生成電壓為100V，與EB方法比較，是低電壓，光束的薄片化使得能量分散，能夠高效率地組成穩(wěn)定的氧化鎂膜。圖2是氧化鎂成膜時(shí)的等離子槍的放電電力和成膜速度的關(guān)系。成膜速度達(dá)到14nm/s，與EB熱蒸法比較，無濺水現(xiàn)象發(fā)生、能夠

22、得到穩(wěn)定的膜。氧化鎂膜的耐噴鍍性是決定等離子電視壽命的主要因素之一，有報(bào)告說結(jié)晶配向性按照（220）（200）（111）的順序較好。SUPLaDUO由于變更流程條件，能夠分別獨(dú)立控制具有（111）、（200）、（220）的結(jié)晶配向性的氧化鎂膜的形成。而且即使是形成同樣(111)配向膜，用SUPLaDUO比用EB熱蒸法形成的膜密度大，并且能夠形成耐噴鍍性的大膜。這樣可以推斷使用SUPLaDUO方法，蒸發(fā)粒子的激勵(lì)、離子化效率高。而且從面板的特性上有報(bào)告說，與（111）配向面比較，工作函數(shù)較小的（220）配向面2次電子放出系數(shù)大、放電壓力小。在實(shí)際應(yīng)用上還有許多應(yīng)該研究的，期待著利用（220）配向

23、膜，降低面板成本。3C-3600S系列設(shè)備的特征C-3600S系列分為大規(guī)模生產(chǎn)用的G類型、小規(guī)模生產(chǎn)用的E型、研究試作用的B型3種。這里介紹大規(guī)模生產(chǎn)用的G型、成膜室1室構(gòu)成的C-3601SG的概要。3 1基本構(gòu)成C-3601SG是玻璃基板一片一片地連續(xù)水平搬運(yùn)移動(dòng)進(jìn)行成膜的并列式通過式成膜方式。對(duì)于氧化鎂膜的吸濕性方面，為了盡量排除成膜時(shí)水分的影響，采用本公司獨(dú)自開發(fā)的TOSS基板搬運(yùn)方式。32 TOSS基板搬運(yùn)方式圖3是TOSS的概念。從LL室來的基板經(jīng)過預(yù)備加熱后、裝在CR室的罩托架上，進(jìn)行鍍膜。成膜后的基板在CR室被托架分離，向空氣側(cè)排出。這種方式是帶著氧化鎂膜的托架在設(shè)備內(nèi)循環(huán)，不

24、暴露在空氣中、阻擋水分進(jìn)入設(shè)備內(nèi)，從而保證膜質(zhì)的穩(wěn)定性。并且托架在真空中保持加熱、溫度穩(wěn)定、能夠有效地防止微粒的產(chǎn)生。4 結(jié)束語為了要提高生產(chǎn)率，需要提高成膜率、基板向大型化發(fā)展。本設(shè)備中，等離子槍并列幾組，能夠應(yīng)付這種發(fā)展需求。圖4是50英寸基板并列2片成膜時(shí)測(cè)定的成膜率和膜厚均勻數(shù)據(jù)，其中成膜速度約為12nm/s，膜厚度均勻在±6%以內(nèi)。本設(shè)備的可以裝載基板尺寸一直到65英寸。本公司今后還要使蒸發(fā)源的構(gòu)成與成膜條件達(dá)到最佳配合，進(jìn)一步適應(yīng)基板的大型化發(fā)展、并提高生產(chǎn)率。第三章第二節(jié) 氧化鎂成膜裝置ECH系列1 前言主要以業(yè)務(wù)用途為主開始生產(chǎn)的等離子電視，歷經(jīng)了對(duì)彩色等離子電視的證

25、實(shí)階段，2001年開始以民用為目標(biāo)，進(jìn)入成本競(jìng)爭(zhēng)時(shí)代。面板價(jià)格這一年從1英寸=2.02.5萬日元降低到1.5萬日元，預(yù)計(jì)將降到1英寸=1.0萬日元。對(duì)于成膜裝置要求高吞吐率和合理價(jià)格、能夠達(dá)到各個(gè)面板廠家需要的膜質(zhì)。現(xiàn)在成為主流的AC型等離子電視，其保護(hù)膜使用2次電子放出系數(shù)高、耐噴鍍性好的氧化鎂膜。氧化鎂成膜方法有電子光束蒸干、反應(yīng)性孔陰極蒸（HCD）干、等離子槍蒸干以及反應(yīng)性噴鍍方法等。從生產(chǎn)設(shè)備膜質(zhì)及連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的穩(wěn)定性考慮，使用皮爾斯式電子槍的電子光束蒸干方法是主流。本節(jié)對(duì)量產(chǎn)使用的本公司的氧化鎂成膜用并列式蒸干設(shè)備的概要和將來展望進(jìn)行講述。2 氧化鎂蒸干設(shè)備21等離子電視用氧化鎂蒸干設(shè)

26、備的概念等離子電視用氧化鎂蒸干設(shè)備是基板放在托架上、在蒸發(fā)源上一邊通過一邊鍍膜的并列式設(shè)備。采用并列式通過鍍膜方式可以與搬運(yùn)方向垂直的方向配置多個(gè)蒸發(fā)源，對(duì)于60英寸、70英寸的大面積基板也能夠比較容易地均勻鍍膜（圖1）。在與搬運(yùn)方向平行方向配置蒸發(fā)源，可以容易地實(shí)現(xiàn)高吞吐率。（圖2）下面是本公司等離子電視用氧化鎂蒸干設(shè)備ECH系列的特征。 對(duì)大型基板均勻鍍膜 高速成膜、高吞吐量 能夠長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn) 能夠配合成批的批量生產(chǎn) 縮短維護(hù)時(shí)間及待機(jī)時(shí)間本設(shè)備對(duì)于最大基板70英寸、膜厚度700nm的標(biāo)準(zhǔn)，可以連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)2周左右。22 蒸發(fā)源的概要氧化鎂的蒸干是由皮爾斯電子槍進(jìn)行的。電子槍獨(dú)立設(shè)置在蒸

27、干室，由于設(shè)置了專用的排氣系統(tǒng)，電子槍本身的壓力始終比成膜周圍空氣約低2位數(shù)，這樣減少了燈絲的氧化消耗，能夠長(zhǎng)時(shí)間地連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。為了能夠長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)中保持穩(wěn)定的蒸發(fā)速度，蒸發(fā)面經(jīng)常要保持一定的狀態(tài)。氧化鎂是升華性物質(zhì)，固定式的電子光束集中在一點(diǎn)，蒸發(fā)材料局部減少，不能得到均勻厚度的膜。為了防止這種現(xiàn)象的發(fā)生，采用旋轉(zhuǎn)式環(huán)狀裝置和顆粒進(jìn)料器。成膜過程中環(huán)狀物旋轉(zhuǎn)，抑制蒸發(fā)面局部的變化。并且由顆粒進(jìn)料器按量供給蒸發(fā)材料，由刮板刮平保持一定的蒸發(fā)面，這樣形成了能夠得到穩(wěn)定的蒸發(fā)速度的構(gòu)造。3氧化鎂成膜設(shè)備的未來展望現(xiàn)在的生產(chǎn)裝置是從量產(chǎn)試作生產(chǎn)線發(fā)展起來的，具有高吞吐能力，是成本低、性能優(yōu)秀的生產(chǎn)裝

28、置。下一代的設(shè)備將可能進(jìn)一步配合改進(jìn)面板特性、提高生產(chǎn)率、提高制造流程的控制性、以及是節(jié)省能源、節(jié)省空間的、能夠連續(xù)流程操作的設(shè)備?，F(xiàn)在、前面板經(jīng)氧化鎂鍍膜后，基板被一度那到空氣中與后面板調(diào)整后，投入密封/排氣裝置。由于氧化鎂是吸濕性高的膜，成膜后拿到空氣中的前面板在吸濕密封/排氣工序不但需要排氣時(shí)間，也會(huì)對(duì)面板帶來不利影響。本公司與神港精機(jī)共同開發(fā)出氧化鎂成膜與密封/排氣流程在真空中或者與大氣分離的環(huán)境下能夠連續(xù)自動(dòng)處理的設(shè)備，是生產(chǎn)率高的連貫處理設(shè)備。設(shè)備構(gòu)成如圖3。4結(jié)束語為了確立作為家庭用的等離子電視的地位，面板價(jià)格必須降到一英寸0.5萬日元以下。本公司作為設(shè)備廠家將為實(shí)現(xiàn)此目標(biāo)積極進(jìn)

29、取。第四章第一節(jié) 漏網(wǎng)(絲網(wǎng))印刷裝置LZ-1800HTVA / SG-1600(1800)1前言漏網(wǎng)印刷裝置由于其印刷特性，在本行業(yè)使用的是具有代表性的厚膜形成裝置。等離子面板的結(jié)構(gòu)是在厚膜形成工序上積累的，因此漏網(wǎng)印刷機(jī)被多用，用在電極、介質(zhì)體、障壁（拱）、黑條、熒光體等的制造工序中。從80年代后半期開始的單色發(fā)光1213英寸等離子電視電視、到現(xiàn)在超過60英寸的高清晰度全彩成為薄型大屏幕的代表電視、本公司的漏網(wǎng)印刷機(jī)適應(yīng)各個(gè)時(shí)代的要求，成為制造等離子電視不可缺的裝置一直被使用。本節(jié)講述漏網(wǎng)印刷機(jī)的基礎(chǔ)、最新的等離子電視漏網(wǎng)印刷機(jī)(LZ-1800HTVA)（照片1、表1）、滑動(dòng)臺(tái)研磨裝置SG

30、-1600(1800)。雖說是等離子電視用的，但不是什么特殊的漏網(wǎng)印刷機(jī)。作為最大尺寸的精密漏版印刷機(jī)，為了在1700mm以上的玻璃基板上進(jìn)行高精度印刷，我們提高了印刷機(jī)的強(qiáng)度和可操作性，還附加了各種補(bǔ)充構(gòu)件、增加了此印刷設(shè)備功能。另外熒光體印刷采用了特殊的方法，將與必備構(gòu)件一起說明。 表1的主要設(shè)計(jì)和規(guī)格適應(yīng)基板的尺寸1,710×1,710mm漏網(wǎng)邊框（最大）2,500×2,500mm設(shè)備尺寸(W)5,135×(D)3,775×(H)1,710mm主要用于等離子電視的裝置2階段版離開構(gòu)造除去滲出物的裝置漿料的供給裝置滑動(dòng)臺(tái)頭旋轉(zhuǎn)構(gòu)造滑動(dòng)臺(tái)自動(dòng)平行構(gòu)造滑

31、動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)構(gòu)造2 漏網(wǎng)印刷機(jī)的基礎(chǔ)漏網(wǎng)印刷是借助于漏版進(jìn)行的印刷，版通常是聚酯纖維或者是不銹的細(xì)絲網(wǎng)成的。稱作滑動(dòng)臺(tái)的橡膠片通過網(wǎng)將墨壓出，印刷到被印刷物上。稱作版框的框狀鋁管施加張力使其粘接，漏網(wǎng)的兩面涂上感光乳劑、防止印刷部的負(fù)片被曝光。曝光后、沖洗印刷乳劑制成版。版從它的構(gòu)造上，具有伸縮性、網(wǎng)線的粗細(xì)和密度、感光乳化劑的厚度大體決定印刷膜的厚度。使用具有此種特性的版進(jìn)行良好印刷，印刷機(jī)需要具備以下基本性能。 滑動(dòng)臺(tái)無震動(dòng)能夠平穩(wěn)運(yùn)作 印刷臺(tái)與滑動(dòng)臺(tái)的平行度好 含調(diào)整的定位以及反復(fù)精度高為了滿足這些基本性能的要求，防止因印刷機(jī)向大型化發(fā)展而不易操作，等離子電視的制造工序必須使用達(dá)到要求的印刷

32、機(jī)。而且印刷機(jī)還必須能夠應(yīng)付新的制造工藝的變化。3作為等離子電視規(guī)格的設(shè)備31 版離開的構(gòu)造（離開構(gòu)造）漏網(wǎng)印刷通常版和印刷品之間留出幾毫米的間隙，具有伸縮性的版由滑動(dòng)臺(tái)壓下，使印刷品與網(wǎng)線一邊接觸、滑動(dòng)臺(tái)在漏網(wǎng)上一邊擺動(dòng)，由此印刷和版離開(與印刷物接觸的版自身的張力使印刷物離開的現(xiàn)象)同時(shí)進(jìn)行。但是在遍涂（全部涂滿）印刷或者漿料粘性高的情況下，印刷結(jié)束后即使滑動(dòng)臺(tái)上升、但也有版不會(huì)離開的時(shí)候。這種版框的一邊抬起、使版離開的裝置稱作版離開構(gòu)造。這是漏網(wǎng)印刷機(jī)的一般構(gòu)造，在用于等離子電視的20002500mm角尺寸的版時(shí)，采用遍涂印刷，為了得到均勻的膜，有時(shí)必須做到極細(xì)微的版離開動(dòng)作。本公司版離

33、開動(dòng)作可以通過2階段來控制，能夠根據(jù)漏網(wǎng)和漿料的狀態(tài)的變化，改變版離開動(dòng)作。32熒光體印刷以及取出滲出物的裝置（照片2）漏網(wǎng)印刷的滲出是漏網(wǎng)里面帶有漿料造成的。主要原因是從漏網(wǎng)版壓出的漿料沒有全部被印刷上、清理時(shí)取得太多、印壓（對(duì)滑動(dòng)臺(tái)的壓入力）施加過大等。其中等離子電視的熒光體印刷時(shí)是特殊的滲出。熒光體印刷光的3原色redgreenblue的漿料在障壁之間每一種顏色分三次進(jìn)行漏網(wǎng)印刷的方法，障壁和障壁之間設(shè)置有版的開口部，用滑動(dòng)臺(tái)將漿料從障壁的谷間壓出。障壁谷被填充了漿料、與障壁接觸的漏網(wǎng)里面粘有漿料。這樣接下來的印刷中，障壁被弄臟，需要對(duì)版進(jìn)行清潔，取出版里面的滲出物。取出方法有膠帶卷成磙

34、子狀安裝在版邊框，版的里面向著粘的一面，從卷中拉出膠帶，使粘結(jié)部分與版里面的滑動(dòng)臺(tái)粘緊，這樣膠帶將版里面的墨臨摹、進(jìn)行清潔。取出滲出物的構(gòu)造不是僅限于等離子電視的印刷，由于漏網(wǎng)太大、人工進(jìn)行清潔困難等原因，這成為熒光體印刷的必備構(gòu)件。本公司此裝置取得許多實(shí)際成效、受到用戶的好評(píng)。33 漿料的供給設(shè)備等離子電視印刷工序由于版大、全涂滿的印刷多，使用漿料也多，版面需要足夠的漿料。但是如果向版供應(yīng)過多的漿，其重量會(huì)使版松懈，影響印刷。這里為了保證適當(dāng)?shù)臐{料量，需要供給裝置。此供給裝置是由密閉壓力容器（罐）和噴嘴構(gòu)成，漿料放入罐，從上部對(duì)其加壓，由噴嘴前端供給。噴嘴是透明的柔軟樹脂，是前端由汽缸夾板的

35、構(gòu)造。按照供給、停止要求，夾板打開、關(guān)閉。漿料的供給量可以由壓力、時(shí)間、印刷撞擊次數(shù)控制。34 滑動(dòng)臺(tái)頭等離子電視印刷尺寸大，為了減輕操作者的負(fù)擔(dān)，研究了種種的構(gòu)造，下面介紹幾例。3.4.1滑動(dòng)臺(tái)頭的旋轉(zhuǎn)構(gòu)造（照片3）漏網(wǎng)印刷機(jī)的滑動(dòng)臺(tái)、刮板是在各支架由下向上安裝固定的。按照這種方式安裝超過1000mm的滑動(dòng)臺(tái)、刮板時(shí)，要一只手支撐十幾公斤的重物操作，操作者負(fù)擔(dān)大。這是滑動(dòng)臺(tái)、刮板橫向或者斜著能從上部安裝、容易兩手操作的旋轉(zhuǎn)構(gòu)造。3.4.2 滑動(dòng)臺(tái)自動(dòng)平行調(diào)整構(gòu)造滑動(dòng)臺(tái)與桌面是否平行地移動(dòng)是得到均勻厚度的膜的前提條件。因此操作者要對(duì)滑動(dòng)臺(tái)相對(duì)于的桌面平行進(jìn)行調(diào)整。此裝置在桌上設(shè)置有傳感器監(jiān)視滑

36、動(dòng)臺(tái)的左右兩端的間隙、自動(dòng)調(diào)整其平行。3.4.3 滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)裝置得到均勻的印刷膜的前提是漿料涂層無斑點(diǎn)。斑點(diǎn)是在用刮板涂漿料時(shí)，粘到滑動(dòng)臺(tái)上的漿料滴到版面而形成的。這是使滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)，防止粘在滑動(dòng)臺(tái)上的漿料直接滴到版面上的滑動(dòng)臺(tái)擺動(dòng)裝置。35 滑動(dòng)臺(tái)研磨裝置滑動(dòng)臺(tái)與版面接觸的部分稱作邊刃，這個(gè)部分在版面上一邊擺動(dòng)一邊壓出漿料進(jìn)行印刷。邊刃的形狀影響印刷的結(jié)果，邊刃經(jīng)常和版面摩擦產(chǎn)生磨損。因此邊刃部由于損耗在超過印刷變化的容許范圍前就要使其再生。作為大型等離子電視用滑動(dòng)臺(tái)邊刃的自動(dòng)再生裝置，本公司準(zhǔn)備了滑動(dòng)臺(tái)研磨裝置SG-1600、1800TA（照片4）。兩者都可以對(duì)橫狀邊刃、各對(duì)1600mm、1

37、800mm長(zhǎng)的滑動(dòng)臺(tái)進(jìn)行研磨。此裝置能夠調(diào)整研磨石的旋轉(zhuǎn)數(shù)和送出速度，研磨石的角度能夠在045度設(shè)定，這樣可以根據(jù)最適當(dāng)?shù)难心l件、印刷狀況來調(diào)整角度。4結(jié)束語這幾年等離子電視迅速普及，作為少數(shù)的需求成長(zhǎng)型產(chǎn)品引人注目。能夠普及的主要原因是畫質(zhì)提高、同時(shí)價(jià)格被降低。幾年前1英寸=3萬日元，現(xiàn)在降低到1英寸=2萬日元，實(shí)際銷售價(jià)格比這還低。實(shí)現(xiàn)這一步是由于廠家的技術(shù)力量增加、生產(chǎn)設(shè)備得到改進(jìn)。在生產(chǎn)設(shè)備中，集中了厚膜技術(shù)的等離子電視生產(chǎn)用漏網(wǎng)印刷機(jī)發(fā)揮的作用較大。為了進(jìn)一步普及等離子電視，需要繼續(xù)提高品質(zhì)、降低價(jià)格，今后本公司將努力提供符合這種要求的漏網(wǎng)印刷機(jī)。第二節(jié) 漏網(wǎng)印刷機(jī)1前言與銷售初期

38、相比較，這一兩年來，等離子電視電視由于其價(jià)格降低而備受關(guān)注，即將實(shí)現(xiàn)普及的目標(biāo)價(jià)格（每英寸1萬日元），然而大型等離子電視電視的制造成本被嚴(yán)格制約，看不到降低的跡象，面板廠家正在進(jìn)行苦戰(zhàn)。另一方面，由于漏網(wǎng)罩、漿料、印刷裝置的飛躍進(jìn)步，在等離子電視開發(fā)初期制造面板時(shí)采用的漏網(wǎng)印刷技術(shù)也有很大改進(jìn)。在環(huán)境保護(hù)成為焦點(diǎn)的今天,對(duì)廢棄物少、無多余工藝流程的再次設(shè)置成為重大課題。本節(jié)講述漏網(wǎng)印刷的可能性，及本公司所提倡的印刷條件的合理化方法、應(yīng)付70英寸的等離子電視的本公司印刷裝置的技術(shù)規(guī)格。2 漏網(wǎng)印刷的實(shí)力聚酯漏網(wǎng)印刷技術(shù)是這十年經(jīng)過很多改進(jìn)的新的技術(shù)。本公司稱為ASPT(Advanced scre

39、en printing technology)。這種技法使用高張力·高解析度的漏網(wǎng)罩、與粘性穩(wěn)定的高精度漿料和高精度印刷機(jī)組合而成的。應(yīng)用這種技法并配合印刷條件，即將實(shí)現(xiàn)L/S=10m。而且經(jīng)確認(rèn)，玻璃基板尺寸為1500×1290mm(印刷面積1410×810mm)上面、全部涂滿印刷的膜厚度的偏差在±1m以內(nèi)，對(duì)這種技法的實(shí)力以及今后的改進(jìn)報(bào)以很大的期待。3 適當(dāng)?shù)挠∷l件隨著印刷機(jī)的改進(jìn)，為最大發(fā)揮版/漿的性能，正在使印刷機(jī)達(dá)到高精度、能夠簡(jiǎn)單地設(shè)定合適的印刷條件、可操作性強(qiáng)的程度。適當(dāng)?shù)挠∷l件是：清除率、印壓、滑動(dòng)臺(tái)角度以及滑動(dòng)速度的適當(dāng)，通過漿料

40、和漏網(wǎng)規(guī)格配合，實(shí)現(xiàn)高精度的印刷。4 70英寸的等離子電視用漏網(wǎng)印刷機(jī)70英寸的等離子電視用漏網(wǎng)印刷機(jī)的特征如下： 使用2500×2500mm的漏網(wǎng)版框，印刷70英寸玻璃基板 硬性高的鑄鐵制的底座，4根柱（鋁鑄造）支撐、印刷機(jī)框保持平衡的構(gòu)造。這是為了最小限度降低多年使用的印刷機(jī)對(duì)印刷精度影響而設(shè)計(jì)的、可以長(zhǎng)期維持印刷精度的構(gòu)造。 作為滑動(dòng)臺(tái)的驅(qū)動(dòng)方式，不使用印刷時(shí)容易引起震動(dòng)的動(dòng)態(tài)帶和球狀螺釘，而是采用表面平滑的鋼帶的超低震動(dòng)的驅(qū)動(dòng)方式。這種構(gòu)造在介質(zhì)層形成時(shí)不會(huì)有印刷斑點(diǎn)、能夠形成均勻厚度的膜。 版框部分的支架采用向操作者前面滑動(dòng)的方式，版的清掃、漿料的補(bǔ)充容易進(jìn)行。 以往難以進(jìn)

41、行的滑動(dòng)臺(tái)調(diào)整采用遠(yuǎn)隔離操作，使調(diào)整簡(jiǎn)單、縮短裝置時(shí)間。 采用低印刷壓力方式（垂直浮標(biāo)型的氣平衡方式），能夠適當(dāng)?shù)卦O(shè)定印壓。這樣，不會(huì)在過度的印刷壓力下印刷，可以抑制滲出、穩(wěn)定印刷后的尺寸精度、延長(zhǎng)漏網(wǎng)罩的壽命、減少滑動(dòng)臺(tái)的磨損。 使用本公司獨(dú)創(chuàng)的微型DB滑動(dòng)臺(tái)(角度為5刻度、滑動(dòng)臺(tái)本身的角度可以研磨)。這樣可容易地按漿料以及漏網(wǎng)罩的規(guī)格設(shè)定滑動(dòng)角度,控制印刷時(shí)漿料的吐出量。5 結(jié)束語以上講述了ASPT的概況，各漿料廠家、漏網(wǎng)廠家的開發(fā)熱情很高，我們堅(jiān)信能夠應(yīng)付更高的規(guī)格標(biāo)準(zhǔn)。本公司不滿足于現(xiàn)有技術(shù)，挑戰(zhàn)新的技術(shù)。為了符合今后關(guān)于廢棄物排放的規(guī)定，用全添加法的制造方法將會(huì)越來越引人注目。第五章

42、 第一節(jié) 漿料涂料機(jī) 臺(tái)上涂料機(jī)1前言中外爐工業(yè)96年4月開始銷售臺(tái)上涂料機(jī)I（定盤型狹孔臺(tái)式涂料機(jī)），以純平顯示器（FPD:flat panel display）為首，在印刷基板、照片框架、記錄信息用紙等廣泛領(lǐng)域內(nèi)，銷售業(yè)績(jī)達(dá)到40多臺(tái)，設(shè)備的完成程度也從當(dāng)初的研究開發(fā)用到并列式的試做試驗(yàn)用、發(fā)展到量產(chǎn)使用設(shè)備。尤其是最近家電商店引人注目的等離子顯示器面板，幾乎都是由這種涂料機(jī)處理制造出來的。（平板顯示器）等離子顯示器的例子可以列舉如下：等離子電視面板；液晶顯示器；有機(jī)EL顯示器；電場(chǎng)放電型顯示器本節(jié)說明本公司的具有現(xiàn)有功能的試做/量產(chǎn)用漿料涂料器和臺(tái)式涂料器。并且介紹為對(duì)亞維細(xì)粒程度的膜進(jìn)

43、行穩(wěn)定涂敷而開發(fā)的臺(tái)上涂料器（商品名FLOLIA）。2臺(tái)上涂料機(jī)的特征和基本產(chǎn)品說明近年來，在以許多電子產(chǎn)品為首的各種領(lǐng)域，涂料機(jī)都引人注目。理由是伴隨著環(huán)境保護(hù)問題和激烈的價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)、適應(yīng)涂敷材料和涂敷液體的技術(shù)革新、以及新產(chǎn)品的開發(fā)需求，本涂料機(jī)具有以下特征，而且能夠?qū)σ酝糠笤O(shè)備不能做到的涂敷規(guī)格進(jìn)行涂敷。21設(shè)備的特征能夠進(jìn)行與旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)相比擬的高精度涂敷。涂敷范圍廣，從低黏度到高黏度均可。從薄膜到厚膜都可適用。由于是全量涂敷，可以最小限度地降低涂敷液體的損耗。由封閉回路液體供給系統(tǒng)將涂敷液體的時(shí)間變化控制到最小。 從玻璃板、金屬板到膠片、金屬箔、紙，對(duì)廣泛的材料都可以涂敷。22設(shè)備的基

44、本規(guī)格涂敷精度：±5%以內(nèi) 涂膜厚度：1500m濕） 液體黏度：110000mPa·s 涂敷速度：最高 50mm/s 機(jī)械速度：最高100mm/s 涂敷幅度：最大1600mm 基板尺寸：最大1600×1600mm作為能夠涂敷幅度寬的例子，圖1是1400mm寬幅的高黏度漿料的涂敷結(jié)果。3涂料機(jī)的概要31 設(shè)備的基本構(gòu)成基板測(cè)定槽模平移涂敷方向槽模架間隙傳感器間隙槽模升降涂敷液固定臺(tái)涂敷液罐待機(jī)位置基板吸附PP槽模頭清洗自動(dòng)歸零膜厚圖2是涂料機(jī)的大概構(gòu)成。本設(shè)備是由帶有吸附功能的固定臺(tái)（固定盤）吸附基板、槽模前端與基板表面保持適當(dāng)?shù)拈g隙、涂料一邊定量供給槽模，由槽模移

45、動(dòng)進(jìn)行涂敷的設(shè)備。 圖2 涂料機(jī)的大概構(gòu)成下面說明設(shè)備構(gòu)成和功能：槽模本公司經(jīng)過對(duì)流體的分析，為使槽模橫的方向的吐出量均勻，對(duì)槽模的形狀進(jìn)行了最佳化設(shè)計(jì)。這樣，槽模本身不附帶特別的槽調(diào)整配件。因此構(gòu)造簡(jiǎn)單，容易分解/清洗/組裝。而且槽模安裝在模座上，能夠簡(jiǎn)單裝卸。間隙傳感器如圖2所示，槽模座的橫的方向安裝了2臺(tái)間隙傳感器，用來測(cè)量涂敷前基板表面與模前端的距離。按照其測(cè)量結(jié)果控制涂敷間隙。涂敷后，傳感器測(cè)量涂膜表面和槽模的距離，演算與基板測(cè)定值的差，得到涂敷厚度?；逦綐?gòu)件操作臺(tái)上安裝有真空吸附構(gòu)件，可以防止基板翹起、能夠在最佳狀態(tài)下進(jìn)行涂敷。槽模涂敷是使模的前端接近基板進(jìn)行的。因此為了得到均

46、勻厚度的涂敷表面，需要精度高的臺(tái)緊緊吸附基板、不能翹起是非常重要的。吸附構(gòu)造根據(jù)涂敷材料不同有各種操作，能夠隨著基板的尺寸自動(dòng)調(diào)整吸附區(qū)域。 模的移動(dòng)/升降構(gòu)件涂敷時(shí)由模平移構(gòu)件控制已設(shè)定的涂敷速度；前面敘述的以間隙傳感器的測(cè)定數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)設(shè)定的間隙由模的升降構(gòu)件來控制槽模。 槽模頭的清洗構(gòu)件涂敷剛完了時(shí)槽模頭殘留微量的涂液，此殘留涂料會(huì)影響后面的涂敷再現(xiàn)性，不管使用何種方法必須除去。本涂料機(jī)采用使用刀片（blade）去除，除去的液體由真空泵回收到吸引罐中的方式。而且這個(gè)構(gòu)件自動(dòng)反復(fù)運(yùn)轉(zhuǎn)，也可以用于在待機(jī)過程中防止槽模頭的液體的干燥。涂敷液的供給泵/罐槽模涂敷屬于涂敷前事先計(jì)量涂液，之后使基板移

47、動(dòng)的前計(jì)量系統(tǒng)。因此濕膜厚度的穩(wěn)定性受涂料液體的供給精度的影響很大。臺(tái)式涂料機(jī)不是壓送方式，使用計(jì)量精度高的定量泵，只設(shè)定目標(biāo)厚度就能夠得到穩(wěn)定厚度的膜。自動(dòng)歸零構(gòu)件本構(gòu)件中定盤表面與槽模頭的距離自動(dòng)恢復(fù)到零，可以作為涂敷前的初次設(shè)定使用。槽模橫的方向的兩端設(shè)置了歸零傳感器，使槽模的升降構(gòu)件自動(dòng)下降，為使槽模頭的高度達(dá)到目標(biāo)高度，由歸零傳感器測(cè)定高度、自動(dòng)調(diào)整升降構(gòu)件。32 設(shè)備的動(dòng)作前面講述了各構(gòu)件的功能。這里說明自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)的各構(gòu)件的動(dòng)作。基板安裝從上面工序送來的基板，由列入固定盤的升降pin或者運(yùn)送滾軸接收后、下降、基板置于臺(tái)上，由定位裝置定位。其后、基板吸附構(gòu)件吸附基板、矯正基板的起翹。

48、基板厚度變動(dòng)的測(cè)定待機(jī)狀態(tài)下的槽模在基板上面移動(dòng)、下降到基板測(cè)定的位置。槽模的平移，由模座上安裝的間隙傳感器測(cè)定基板厚度的變動(dòng)。涂敷基板測(cè)定結(jié)束后，槽模移到涂敷開始位置，涂敷間隙下降。由泵供給涂料，槽模平移進(jìn)行涂敷。涂敷方式有平均間隙方式、追從間隙方式和固定間隙方式三種。根據(jù)基板表面狀態(tài)和精度、涂料的物理性質(zhì)（黏度、表面張力）、涂敷速度、膜的厚度來決定。模頭的清洗涂敷結(jié)束后模返回待機(jī)位置，頭的殘留液體由清洗構(gòu)件撥去。濕膜厚度測(cè)定/厚度調(diào)整對(duì)于涂敷厚度在50m以下、常溫下干燥速度慢的涂料，與涂敷后馬上測(cè)定基板表面厚度的變動(dòng)一樣，可以用間隙傳感器測(cè)定膜的表面。此測(cè)定值與基板表面的測(cè)定值的差，能夠自

49、動(dòng)輸出膜厚度。圖3顯示自動(dòng)厚度測(cè)定數(shù)據(jù)的輸出例子。此厚度數(shù)據(jù)可以用來評(píng)價(jià)涂敷，也可以用于涂敷的微調(diào)整。其一是使用以膜厚度為準(zhǔn)的厚度反饋功能、自動(dòng)調(diào)整泵的供給量以達(dá)到目標(biāo)厚度。使用厚度反饋功能，經(jīng)過2次左右的試涂敷能夠容易地得到目標(biāo)濕厚度。另一個(gè)是使用始終端的厚度側(cè)面（profile）調(diào)整功能，能夠得到所希望的涂敷開始和終了的profile。33 涂敷方式的分類比較一般的涂敷方式大致分為平坦化涂敷（leveling coater）和輪廓涂敷（contour coater）（圖4）。平坦化涂敷是與材料無關(guān)、涂敷表面呈平滑的面的涂敷方式。但是涂敷膜的厚度受材料表面形狀的影響，不能均勻。這就意味著涂敷

50、材料的厚度精度、涂料機(jī)計(jì)量部件的機(jī)械精度直接決定膜的厚度精度。輪廓涂敷是在材料表面形狀顯露于涂敷表面，涂敷膜的厚度均勻的涂敷方式。另外按照計(jì)量系統(tǒng)區(qū)分，大致分為前計(jì)量涂敷方式和后計(jì)量涂敷方式。前計(jì)量涂敷方式是事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上的方式。后計(jì)量涂敷方式是將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。涂敷面的形狀分類平坦化涂敷（leveling coater）輪廓涂敷（contour coater）與材料表面形狀無關(guān)、涂后的表面光滑材料表面形狀的輪廓被保留、既是涂后的面計(jì)量的分類前計(jì)量涂敷后計(jì)量涂敷平坦化涂敷輪廓涂敷前計(jì)量涂敷照相凸版+

51、穩(wěn)定器槽模涂料機(jī)、屏蔽涂料機(jī)后計(jì)量涂敷欠圓涂料機(jī)、blade涂料機(jī)旋轉(zhuǎn)涂料機(jī)、氣割涂料機(jī)將比希望量多的涂料直接涂敷在材料上，在涂敷的同時(shí)按涂敷幅度方向計(jì)量。是輪廓涂敷、存在剩余的涂料（涂料損失）涂敷方式分類事先按照涂敷幅度方向均勻計(jì)量所希望的涂料量，其后涂敷在材料上。不存在剩余的涂料（全量涂敷）具有代表性的涂料機(jī)按照上述四類分類，見圖4。 圖4 涂敷方式的分類槽模方式從前述的試驗(yàn)值、解析值、實(shí)績(jī)值進(jìn)行考察，相對(duì)于涂敷厚度，在某種程度上容許涂敷間隙存在，所以基本上說是輪廓涂敷?？梢哉f是某種程度的基板厚度變化及涂料機(jī)的機(jī)械精度變動(dòng)被涂敷間隙吸收，在不會(huì)直接影響膜厚度的狀態(tài)下進(jìn)行涂膜的涂敷方式。正如

52、圖3自動(dòng)膜厚度測(cè)定數(shù)據(jù)顯示的那樣，基板厚度變化（圖下部）約為20m，其上面經(jīng)過涂敷的膜厚度（圖上部）保持一定的精度。 而且槽模方式不是旋轉(zhuǎn)那樣的后計(jì)量、是由內(nèi)部開縫部橫方向均勻計(jì)量吐出量的前計(jì)量方式，具有涂料不浪費(fèi)、能夠全量涂敷的優(yōu)點(diǎn)。4臺(tái)上涂料機(jī)（FLOLIA）41 概念FLOLIA是Table Coater with Float and Linear Technology Application的略稱，是對(duì)以前的臺(tái)上涂料機(jī)的平移系統(tǒng)改進(jìn)后的第二代臺(tái)上涂料機(jī)（照片1）。42 設(shè)備的特征和規(guī)格FLOLIA繼承了涂料機(jī)的特征，此外還具有以下特征。1）能夠進(jìn)行亞微細(xì)粒水平的涂敷。2）涂敷厚度精度為

53、±3%。3）能夠采用劃時(shí)代的基板搬運(yùn)系統(tǒng)。43 平移系統(tǒng)的革新涂料機(jī)I在槽模平移系統(tǒng)中使用AC伺服等的旋轉(zhuǎn)馬達(dá)，球狀螺絲、LM導(dǎo)向等的接觸式導(dǎo)向系統(tǒng)的傳達(dá)構(gòu)件。FLOLIA使用了直動(dòng)式馬達(dá)，采用非接觸式的導(dǎo)向。因此飛躍性地提高了平移穩(wěn)定性和相對(duì)于固定盤的高度方向的穩(wěn)定性，涂敷平移方向上使膜厚度的精度更加穩(wěn)定。以往的旋轉(zhuǎn)型馬達(dá)+球螺絲的驅(qū)動(dòng)中，驅(qū)動(dòng)傳達(dá)部由于旋轉(zhuǎn)偏心引起旋轉(zhuǎn)不均、速度變動(dòng)率在±2%左右，采用直動(dòng)線性馬達(dá)后，F(xiàn)LOLIA控制在±0.03%以內(nèi)。而且以往的LM導(dǎo)向中構(gòu)造上存在制約驅(qū)動(dòng)部分的部件，涂敷平移時(shí)制約部件引起高度變動(dòng)，采用非接觸導(dǎo)向后，高度方向的

54、變動(dòng)明顯減少。進(jìn)行了這些構(gòu)造改革，消除了至今為止未能解決的超薄涂層（濕膜5m以下）的橫段不均，得到很好的涂敷表面。其涂敷膜厚度的例子（干燥后測(cè)定）見圖5。5結(jié)束語以上說明了涂料機(jī)I以及FLOLIA的構(gòu)成和運(yùn)作、涂敷條件的決定因素、實(shí)績(jī)事例。等離子領(lǐng)域，涂料機(jī)I已經(jīng)被認(rèn)可，作為量產(chǎn)用機(jī)國(guó)內(nèi)外多數(shù)主要面板廠家都已經(jīng)購(gòu)買，也有用于有機(jī)EL、LCD領(lǐng)域的事例。葉片式涂敷設(shè)備的兩個(gè)涂料機(jī)具備了較高的廣泛性和高涂敷精度。并且性能進(jìn)一步提高的FLOLIA涂料機(jī)，已經(jīng)達(dá)到旋轉(zhuǎn)等電阻用涂料機(jī)的涂敷精度，正在不斷跨越新障礙。本公司將追求亞微細(xì)粒的涂敷世界，發(fā)揮臺(tái)上涂料機(jī)的寬幅性、高再現(xiàn)性、操作簡(jiǎn)單性和省維護(hù)的優(yōu)點(diǎn)

55、，確立在技術(shù)上領(lǐng)先于其他公司的地位。今后確實(shí)捕捉客戶的涂敷需求，按照要求規(guī)格開發(fā)更高性能的設(shè)備、在更廣泛的領(lǐng)域內(nèi)發(fā)展。第六章 第一節(jié) 曝光設(shè)備 PA-1650VAH一、前言縱型曝光設(shè)備PA-1650VAH是高強(qiáng)度、高吞吐量、高性能且成本低的設(shè)備。本設(shè)備被使用在3060（75）英寸的高精度等離子電視流程中，其中前面板工序的ITO電極、photo Ag、黑條形成工序、以及后面板中的尋址電極、障壁制成工序里。清和光學(xué)制作所擁有53年的歷史，很早以前就作為光學(xué)廠家、以顯微鏡為中心、全力開發(fā)特殊光學(xué)產(chǎn)品、特別是產(chǎn)品交貨時(shí)使用CORRECT的商標(biāo)。生產(chǎn)曝光設(shè)備是從10年前受委托開發(fā)等離子電視曝光設(shè)備的手工

56、設(shè)備開始的,到現(xiàn)在為止，我們?cè)诋a(chǎn)品交貨和組裝試做階段與客戶共同積累了許多技術(shù)。現(xiàn)在已經(jīng)具有30臺(tái)等離子曝光設(shè)備的銷售業(yè)績(jī)，最近向一家月產(chǎn)3萬片的工廠銷售高吞吐率（運(yùn)轉(zhuǎn)周期35s以下），這將有助于來年春天的生產(chǎn)。本公司FPD曝光事業(yè)，以等離子電視為中心向OELD、FED展開。其他種類的產(chǎn)品有在2002年新公開的musk分析儀, 擴(kuò)展曝光裝置的事業(yè)領(lǐng)域。275型等離子電視（XGA）對(duì)應(yīng)的曝光裝置PA-1650VAH縱型曝光裝置的標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品說明見表1，外觀如照片1，能夠用于最大基板尺寸1250×1750mm，以及最大75英寸的面板。尺寸1,100×1,700mm框的尺寸1,250×1,750mm曝光方式貼近光源超高壓水銀燈16Kw框縱型照射度15mW/cm2照度分布±5%以下degree角1.1°瞄準(zhǔn)半角1°曝光波長(zhǎng)中心波長(zhǎng)=365nm調(diào)整精度±5m（3m）調(diào)整圖象處理圖像配合（pattern match）解析度L&S=30m間隙范圍50500m運(yùn)行時(shí)間35s溫度均一性±1外形尺寸5,100(W)×5,300(D)×2,380(H)mm重量12,000kg操作框儲(chǔ)藏其構(gòu)成如下：裝貨部：基板由水平到垂直搬入設(shè)備內(nèi)。搬運(yùn)轉(zhuǎn)盤機(jī)