掃描式探針顯微鏡使用及管理辦法

1、掃描式探針顯微鏡使用及管理辦法儀器名稱：Scanning Probe Microscopy 廠牌： NT-MDT Co., Russia型號： Solver P47A. 儀器簡介儀器簡介(附件一)B. 使用前注意事項(xiàng)及操作步驟1. 使用注意事項(xiàng)(附件二)2. 操作步驟(附件三)C. 儀器管理1. 校外使用者請?zhí)顚戀F儀中心委託檢測單(附件四)2. 管理、服務(wù)人員職責(zé) (附件五)(附件一)掃描式探針顯微鏡實(shí)驗(yàn)儀器簡介一、 實(shí)驗(yàn)?zāi)康模鹤詮木哂性咏馕龆鹊膾呙璐┧盹@微術(shù)於1982年發(fā)明以後，藉著不同的探針與樣品之間的交互作用，各式的掃描探針顯微數(shù)在隨後數(shù)年間不斷地被發(fā)展出來，其中堪稱最重要的便是在19

2、86年出現(xiàn)的原子力顯微術(shù)。由於此項(xiàng)技術(shù)不但具有原子分辨率，並解可以應(yīng)用於各種材料上，與掃描穿隧顯微術(shù)受限於導(dǎo)電材料不同，因此立刻被引入各種不同的領(lǐng)域。本實(shí)驗(yàn)將介紹原子力顯微術(shù)的基本原理、儀器構(gòu)造及其在材料上的應(yīng)用。二、 實(shí)驗(yàn)設(shè)備：SPM Solver P47是由一個避震系統(tǒng)，掃描器模組，組成各種類型量測頭，並且透過界面卡連接至個人電腦的一個裝置。如圖 1. 所示。圖 1. SPM Solver P47 量測系統(tǒng)。1.AFM量測頭圖 2.為AFM的量測頭。AFM量測頭是設(shè)計(jì)在大氣下量測，亦可控制適當(dāng)?shù)臍怏w和液體進(jìn)行量測， (液體中的操作是在量測頭上安裝的一個液體操作盒，如圖 3.所示) 。此系統(tǒng)

3、包含三個協(xié)調(diào)系統(tǒng)，掃描器、探針固定器和光學(xué)偏差的偵測器。量測頭也包括用於各種模式的校正系統(tǒng)。 圖 3. 圖 4 .2.STM量測頭底下為兩個 STM 量測頭類型，在掃描隧道顯微鏡模式中之操作方法，以一個標(biāo)準(zhǔn) (3pA-5nA) 和一個低電流 (3pA-5nA) 前置放大器。量測頭允許以下的量測模式: STM /低電流、STM /STM和光譜學(xué)/STM。 圖 5. 標(biāo)準(zhǔn)STM量測頭 (30pA-50nA) 圖 6. 低電流STM量測頭(3pA-5nA) 操作範(fàn)圍: 10pA-10nA 操作範(fàn)圍: 3pA-5nA 前置放大器雜訊: approx. 5 pA 前置放大器雜訊: <1.5 pA

4、頻寬: 12 kHz. 頻寬: 5.5 kHz. 3.Shear Force量測頭剪力量測頭是被設(shè)計(jì)來量測影像的輪廓 (如圖 7 ) 並且透過光纖設(shè)計(jì)利用光傳導(dǎo)來傳遞光學(xué)信號。這包括非光學(xué)的回饋控制系統(tǒng)，且由音叉和光傳導(dǎo)光纖組成連接到壓電元件，而能夠?yàn)?SNOM 操作做修改。圖 7.4.掃描模組這是一個方便樣品量測的量測頭設(shè)計(jì)，藉由步進(jìn)馬達(dá)移動樣品和量測頭的相對位置與步進(jìn)馬達(dá)接近探針到達(dá)樣品的位置，掃描器組件是由壓電掃描器和步進(jìn)馬達(dá)構(gòu)成懸掛在避震平臺上，piezoscanner 含有樣品的一個固定器和插銷式的加熱平臺，掃描器組件也含有可以用手操作的裝置。圖 8. 避震平臺上的掃描器模組5.避震

5、系統(tǒng)Vibroprotection 系統(tǒng)設(shè)計(jì)主要是用來降低基座到樣品外部振動比例的量測系統(tǒng)。包含 3 個支撐架和厚實(shí)的基座所構(gòu)成，上端的高度可調(diào)整並且利用粗棉線作為掃描器組件懸浮的吸收器，基底含有量測頭和掃描器組件相關(guān)的連接頭。如圖 9. 所示。圖 9. 避震平臺6.介面卡為把電子組件連接在提供 SPM 控制軟體的個人電腦上使用。圖 10. 介面卡三、 實(shí)驗(yàn)原理：(一)基本原理原子力顯微鏡（atomic force microscope,AFM）是由Binnig、Quarter及Gerber1986所發(fā)明的，具有原子級解像能力，可應(yīng)用於多種材料表面檢測，並能在真空中、氣體與液體環(huán)境中操作，屬於

6、掃描探針顯微術(shù)（scanning probe microscope, SPM），此類顯微術(shù)都是利用特製的微小探針，來偵測探針與樣品表面之間的某種交互作用，穿隧電流、原子力、磁力、近場電磁波等等，然後使用一個具有三軸位移的壓電陶瓷掃描器，使探針在樣品表面做左右前後掃描（或樣品做掃描），並利用此掃描器的垂直微調(diào)能力及迴饋電路，讓探針與樣品間的交互作用在掃描過程中維持固定，此時(shí)兩者距離在數(shù)至數(shù)百Å之間，而只要紀(jì)錄掃描面上每的垂直微調(diào)距離，我們便能得到樣品表面的等交互作用圖像，這些資料便可來推倒出樣品表面特性。AFM的探針是由針尖副在懸臂樑（cantilever）前端所組成，當(dāng)探針尖端與樣品

7、表面接觸時(shí)，由於懸臂樑的彈性係數(shù)與原子間的作用力常數(shù)相當(dāng)，因此針尖原子與樣品表面原子的作用力便會使探針在垂直方向移動，簡單的說就是樣品表面的高低起伏使探針作上下偏移，而藉著調(diào)整探針與樣品距離，便可在掃描過程中維持固定的原子力，此垂直微調(diào)距離，或簡稱為高度，便可當(dāng)成二維函數(shù)儲存起來，也就是掃描區(qū)域的等原子力圖，這通常對應(yīng)於樣品的表面地形（surface topography），一般稱為高度影像（height image）。AFM的操作模式可約略分為以下三種。1. 接觸式(contact mode)在接觸式的操作下，探針與樣品間的作用力是原子間的排斥力（repulsive force），這是最早被

8、發(fā)現(xiàn)出來的，由於排斥力對距離非常敏感，所以接觸式AFM較容易接觸得到解析度，而其他兩種則頗為困難，尤其在空氣中，樣品表面都存在一層水薄膜，由於毛細(xì)現(xiàn)象（capillary effect）的作用，探針與樣品間存有很強(qiáng)的黏滯力，因此增加高解析度影像取得的困難度。在一般接觸式量測中，探針與樣品間的作用力很小，約為10-6至10-10N（Newton），但由於接觸面積極小，因此過大的作用力仍損壞樣品，尤其是軟性材質(zhì)；不過較大的作用力通常會得到較佳的解析度，所以選擇適當(dāng)?shù)淖饔昧Ρ闶种匾玫阶饔昧Φ拇笮?，必須取得力對距離曲線（force-distance curve），詳情可參閱文獻(xiàn)4。2. 非接

9、觸式(non-contact mode)為了解決接觸式AFM可能損壞樣品的缺點(diǎn)，便有非接觸式AFM發(fā)展出來，這是利用間的長距離吸引力-凡德瓦爾力（Van der Waals force）來運(yùn)作，由於探針與樣品沒有接觸，因此樣品沒有被損傷的顧慮，不過凡德瓦爾力對距離的變化非常小，因此必須使用調(diào)變技術(shù)來增強(qiáng)訊號對雜訊比，其基本構(gòu)想是讓探針與一陶瓷震盪片接觸，在加入弦波電壓至震盪波，使探針在其共振頻率作小震盪，然後偵測其振幅或相位，當(dāng)探針與樣品靠近時(shí)，由於凡德瓦爾力的作用，振幅便會變小，而相位也會改變，因此只要將振幅或相位送至迴饋電路，便能得到等作用力圖像，這也就是樣品的高度影像。由於空氣中樣品表面

10、水薄膜的影響，非接觸式AFM一般只有約50nm（10-9m）的解析度，不過原子解析度卻可在真空中得到。3. 輕敲式（tapping mode or intermittent contact mode）第三種輕敲式AFM則是將非接觸式加以改良，其原理就是將探針與樣品距離加近，然後增大振幅，使探針在振盪至波谷時(shí)接觸樣品，由於樣品的表面高低起伏，使得振幅改變，再利用類似非接觸式的迴饋控制方式，便能取得高處影像。與非接觸式比較，由於輕敲式AFM直接接觸樣本表面，因此解析度提高為5至10nm，而與接觸式比較，雖然解析度較差，但破壞樣品的機(jī)率大為降低，同時(shí)也較不受摩擦力的干擾。不過由於高頻率敲擊的影響，對

11、很硬的樣品而言，探針針尖可能受損，而對很軟的樣品，尤其是生物活體，則樣品仍可能遭破壞。以上接觸式也可稱為DC模式，而非接觸式及輕敲式則屬於AC模式。除了以作用力來區(qū)分AFM，在實(shí)際操作上，又可依讀取的數(shù)據(jù)種類來區(qū)分，最常見的稱為等力模式（constant force mode），這是在前面已經(jīng)敘述過了，所得到的結(jié)果是高度影像，在此模式下，取得影像所需時(shí)間一般為二、三分鐘。第二種稱為等高模式（constant height mode），在此模式中，迴饋電路在掃描過程中不作用，而探針偏移量或其振幅被記錄下來，當(dāng)然這也是對應(yīng)於表面地形影像，由於不需做迴饋，所以掃描速度可提高數(shù)倍至數(shù)十倍，不過缺點(diǎn)是作

12、用力大小在掃描過程中隨時(shí)改變，因此樣品很容易受到損害。第三種稱為誤差訊號模式（error signal mode），所讀取數(shù)據(jù)也是偏移量或振幅，不過迴饋電路在掃描過程中仍發(fā)生作用，因此所得影像其實(shí)是高度影像的一次微分，這對於表面上的小起伏，具有最佳的分辨力。(二)結(jié)構(gòu)示意圖AFM的主要結(jié)構(gòu)可分為探針、偏移量偵測器、掃描器、迴饋電路及電腦控制系統(tǒng)，對接觸式而言，最常見的機(jī)構(gòu)如圖1所示，其噌光由二極體雷射出來後，聚焦在鍍有金屬薄膜的探針尖端背面，然後光束被反射至四象限光電二極體，在經(jīng)過放大電路轉(zhuǎn)成電壓訊號後，垂直部分的兩個電壓訊號相減得到差分訊號，當(dāng)電腦控制x、y軸驅(qū)動器使樣品掃描時(shí)，探針會上下偏

13、移，差分訊號也跟著改變，因此迴饋電路便控制z軸驅(qū)動器調(diào)整探針與樣品距離，此距離微調(diào)或其他訊號送入電腦中，紀(jì)錄成x、y的函數(shù)，便是AFM 影像。由於使用四象限光電二極體，因此也可得到水平差分訊號，這相對於探針左右偏移量，與表面摩擦力有關(guān)，所以接觸式AFM可同時(shí)得到摩擦力影像。對非接觸式或輕敲式，則必須再加上震盪裝置及調(diào)變電路。圖1. 接觸式AFM結(jié)構(gòu)示意圖。(三)儀器規(guī)格與特徵AFM真是利用微電子技術(shù)直接在矽晶片上所製成，有不同規(guī)格作選擇，在圖2的照片中，我們可看到接觸式常用的氮化矽（Si3N4）探針尖放大圖，其長度為85至320m（10-6m），彈性係數(shù)在0.01至0. 5N/m間，尖端曲率半

14、徑約為50nm：非接觸式或輕敲試探針大多由矽製成，針尖曲率半徑約為10nm，其共振頻率都在數(shù)百kHz。掃描器由於壓電材料的非線性特性，因此大範(fàn)圍掃描器製作困難，價(jià)格昂貴，使用者可依用途選擇適當(dāng)?shù)膾呙杵?，一般掃描?fàn)圍約略分三種：1m、10m、100m，精確度約在2%；另外也分樣品掃描或探針掃描，前者適用於小樣品，後者適用於大樣品，如晶片檢測。在電腦軟體及控制系統(tǒng)方面，一般提供128×128、256×256及512×512三種解析度，可顯示高度，偏移量、振幅、頻率、及相位等多種訊號影像，並有基本影像處理功能，另外有額外類比至數(shù)位轉(zhuǎn)換器（ADC），可同時(shí)顯像利用其他儀器

15、所得電壓訊號，而除了基本掃描模式外，不同廠牌有提供特殊掃描模式，已量測表面力學(xué)特性。 (a) (b)圖2. 接觸式AFM常用的(a)氮化矽探針及(b)針尖放大圖。(四)應(yīng)用與用途由於AFM具有原子級的解析度，是各種薄膜粗糙度檢測，及微觀表面結(jié)構(gòu)研究的重要工具，並且也很適合掃描電子顯微鏡相搭配成為從mm至Å尺度的表面分析儀器；而在液體中操作的能力，更可用來觀測材料表面在化學(xué)反應(yīng)過程中的變化，以及生物活體的動態(tài)行為；另外就是奈米結(jié)構(gòu)製作，目前已有多種可行方法，應(yīng)用於超高密度記憶裝置及次微米電子元件製作。四、操作步驟 : AFM的操作模式可約略分為以下三種，可依欲使用之模式進(jìn)行量測，表1.

16、為AFM之基本模式，表2.為量測模式，操作者可依照此操作參數(shù)，以及底下所列之量測模式，進(jìn)行實(shí)驗(yàn)量測。Basic Modes (Settings for approach)Mode nameFB input signalSetPoint rule ModulationContact AFMDFLSP=DFL(0)+1(2)nASemicontact AFMMag (RMS)SP=Mag(0)/2ProbeSTMIpr-low (Ipr-log)SP=0.1nA(1nA)表1. 基本模式1) SetPoint rules give only optimal value for approach a

17、nd getting first scan. For best resolution and quality adjust SetPoint level as a result of scanning.2) DFL(0), Mag(0) signal values before approach (or with FeedBack off.)Measuring modes Mode nameBasic modeMasuring signalModulationFrequencyAdditional settingsTopographyContact AFMHeightoffLateral fo

18、rce (Friction force)Contact AFMLateral forceoffForce modulation (local elasticity)Contact AFMMag (RMS)Z18 30 kHzAdjust frequencySpreading ResistanceContact AFMCurrentoffApply Bias voltageAdjesion ForceContact AFMSnap Back (=>)Two pass (see settings)TopographySemicontact AFMHeightProbecantilever r

19、esonant frequencyPhase ImageSemicontact AFMPhase1, Phase2, Mag*sin, Mag*cosProbeMFM (magnetic force)Semicontact AFMMag, Phase1, Phase2, Mag*sin, Mag*cosProbeTwo pass (=>),FB off, Z=1000AEFM (electrostatic force) Semicontact AFMMag, Phase1, Phase2, Mag*sin, Mag*cosProbeTwo pass (=>),FB off, Z=1

20、000ASCM (capacitance image)Semicontact AFMMagBiasVoltageHalf of cantilever resonant frequencyTwo pass (=>),FB off, Z=1000A,Harm=2SKMSemicontact AFMBVprobeBiasVoltagecantilever resonant frequencyTwo pass (=>),FB input-Mag*cos, FBoutput Bias VoltageZ=1000ASemicontact AFMTopographySTMHeightoffdI/

21、dZSTMMagZ18 30 kHzAdjust frequencydI/dUSTMMagBV20 kHz表2. 量測模式dI/dV1)如何使用和得到 STM 的掃描模式;2)開啟右圖畫面;3)連接Generator output 到BV(如右圖藍(lán)線所示)4)設(shè)定Generator 的頻率範(fàn)圍大約20 kHz;在掃描選擇選單中5)從視窗 “B” 中，設(shè)定 “Mag” 項(xiàng)目;6)離開掃描選擇選單;7)關(guān)掉視窗;8)按下 “RUN” 進(jìn)行掃描;dI/dZ1)如何使用和得到 STM 的掃描模式;2)開啟右圖畫面;3)連接Generator output 到 Z;4)設(shè)定Generator 的頻率範(fàn)圍

22、大約20 kHz;5)使用 “F-Scan”;6)尋找某共鳴值並把頻率設(shè)定成共鳴值;在掃描選擇選單中7)從視窗 “B” 中，設(shè)定 “Mag” 項(xiàng)目;8)離開掃描選擇選單;9)關(guān)掉視窗;10)按下 “RUN” 開始掃描;MFM (EFM) setting1)改變使用半接觸模式;2)開啟右圖畫面;3)切換至第二模式 “2”;4)設(shè)定成與第一模式相同 “=1”;5)關(guān)掉feedback;6)在掃描選擇選單視窗中 “=>” set “delta Z”=1000.7)切換again t到 “1-st pass”.8)在掃描選擇選單視窗中“Scan”設(shè)定為 “Phase1” “=2=>” ,

23、for test set “None” for “Subtract”;9)關(guān)掉此視窗到第二個視窗10)按下 “RUN” 開始掃描;11) 增加signal 和 resolution，減少“delta Z”直到接觸樣品，並且直到訊號再次出現(xiàn)SCM setting 1)改變使用半接觸模式;2)開啟右圖畫面;3)切換至第二模式 “2”;4)設(shè)定成與第一模式相同 “=1”;5)關(guān)掉feedback;6)設(shè)定generator output 到 “Bias Voltage”,並且把樣品接地, unpress “I”;7)設(shè)定掃描範(fàn)圍，大約是resonant frequency的一半; look-in-a

24、mplifier harmonic “2”;8)“FSCAN”,改變頻率，增加magnitude到 2-5 nA.9)切換到 “1”.10)在掃描選擇選單中設(shè)定“Mag” “=2=>”, for test set “None” for “Subtract”;11)關(guān)掉此視窗到第二個視窗12)按下 “RUN” 開始掃描;13)增加signal 和 resolution，減少“delta Z”直到接觸樣品(訊號消失在視窗B)並且直到訊號再次出現(xiàn)SKM setting1)改變使用半接觸模式;2)開啟右圖畫面;3)切換至第二模式 “2”;4)設(shè)定成與第一模式相同 “=1”;5)關(guān)掉feedbac

25、k;6)設(shè)定generator output 到 “Bias Voltage”,並且把樣品接地, unpress “I”;7)設(shè)定 “BiasVoltage” 大約 3 V;8)“FSCAN”,改變頻率，增加magnitude到 2-5 nA.9)設(shè)定 “Mag*sin” 到 0， 再藉由 “Phase”調(diào)整校正 (“Mag*cos”<0).10)設(shè)定 “Mag*cos” as “FeedBack 輸入訊號”, “SetPoint”=0, FeedBack output switch to “BiasVoltage”.11)切換在 FeedBack.12)切換回 “1”.13)在掃描選擇

26、選單中設(shè)定 “BVprobe” “=2=>”, for test set “None” for “Subtract”;14)關(guān)掉此視窗到第二個視窗15)按下 “RUN” 開始掃描;16)增加signal 和 resolution，減少“delta Z”直到接觸樣品(看到訊號在視窗B)並且增加它直到訊號再次出現(xiàn)Local elasticity setting1)改變使用接觸模式;2)開啟右圖畫面;3)設(shè)定generator output 到 “Z”, 4)設(shè)定F-SCAN 頻率範(fàn)圍從17 到 30 kHz5) “FSCAN”, 調(diào)整頻率到一個的piks, 增加 magnitude 到 2-

27、5 nA.6)在掃描選擇選單中設(shè)定“Mag” “->”, for test set “None” for “Subtract”;7)關(guān)掉此視窗到第二個視窗8)按下 “RUN” 開始掃描;Snap Back (adhesion map) setting1)改變使用接觸模式;2)開啟右圖畫面;3)切換至第二模式 “2”;4)設(shè)定成與第一模式相同 “=1”;5)關(guān)掉feedback;6)再切換至“1-st pass”.7)在掃描選擇選單視窗中 “Scan” 設(shè)定 “SnapBack” “=2=>”, for test set “None” for “Subtract”;8)關(guān)掉此視窗到第

28、二個視窗9)按下 “RUN” 開始掃描;Spreading Resistance Setting1)使用AU006.2)改變使用接觸模式;3)開啟右圖畫面;4)連接樣品到Bias Voltage (藍(lán)線所示);5)設(shè)定你所需的 “BiasVoltage”;6)在掃描選擇選單中設(shè)定 “Current” “à”, for test set “None” for “Subtract”;7)關(guān)掉此視窗到第二個視窗8)按下 “RUN” 開始掃描;9)在掃描期間,調(diào)整 Bias Voltage 和SP (force) 使得影像最佳.參考文獻(xiàn)1. G.Binning, C. F. Quate, a

29、nd C. Gerber, Phys. Rev. Lett., 56,930 (1986).2. D.Rugar and P. K. Hansma, Physics Today, 43,23 (October 1990).3. 林鶴南, 李龍正, 劉克迅, 科儀新知,17(3), 29(1995).4. 林鶴南,表面分析儀器,行政院國家科學(xué)委員會精密儀器發(fā)展中心出版, p29-31 (1998)(附件二)使用注意事項(xiàng)管理者定期對儀器進(jìn)行維護(hù)與校正工作後，方可開放使用。雖然儀器有極限條件，為延長儀器使用壽命，本儀器將使用條件設(shè)限，所有的使用者務(wù)必遵守此設(shè)限條件。另外使用者也須遵守以下各點(diǎn)：1.

30、詳讀並完全遵守操作手冊及安全守則。2. 測試材料為乘載在一平整基材上，以利於探針之掃描。3. 樣品製備須由委託者自行準(zhǔn)備，且必須提供掃描式顯微鏡之橫截面影像，要求樣片表面平整度在1m內(nèi)，使得探針不因粗糙度太大而撞針毀損。4. 請務(wù)必遵守以上規(guī)條，如有使用不當(dāng)情事一律取消委託資格，若因此而造成儀器損壞，則須擔(dān)負(fù)修復(fù)費(fèi)用。校外預(yù)約程序若有需要委託測試單位，可先向本校貴儀中心提出委託單 委託測試 測試完成 向貴儀器中心交測試費(fèi)用 領(lǐng)取測試數(shù)據(jù)。(以上使用公告於96年4月26日以後，開始執(zhí)行)管理老師：林鴻明 教授管理學(xué)生：陳正瀚聯(lián)絡(luò)電話：02-25925252-3411-303(附件三)掃瞄式探針顯

31、微鏡操作步驟01. 填寫實(shí)驗(yàn)記錄簿並確認(rèn)儀器狀況。02. 打開AFM儀器上方之透明保護(hù)罩。03. 確認(rèn)上下機(jī)座間之距離是否恰當(dāng)，取下上方探針座。 (機(jī)臺下方之Mover為反牙，旋轉(zhuǎn)時(shí)須特別注意機(jī)座與探針做之間之距離)04. 將試片放於白色支撐片上並將之成片放入機(jī)臺中。05. 從電腦打開S7_SPM軟體。06. 將device打開電源。07. 從軟體中將雷射及Scale打開進(jìn)行雷射校正。08. 將探針至於探針座上。(只能垂直夾探針兩側(cè)，必須避免探針震動)09. 校準(zhǔn)雷射光點(diǎn)位置，使其出現(xiàn)”干涉條紋”並使雷射光點(diǎn)”能量最大”。10. 輕輕將探針座放於機(jī)臺上，再次對雷色光點(diǎn)進(jìn)行校準(zhǔn)。11. 小心懸轉(zhuǎn)

32、機(jī)臺下方之Mover，將機(jī)座與探針間之距離相距約1 mm。12. 由軟體之”按鈕打開控制面版，先檢查探針之共振頻率位置，(一般良好探針之共振頻率大約落在100400 Hz之間。於此區(qū)間內(nèi)若無找到共振頻率則表示探針已損壞或雷射光源校準(zhǔn)有問題)將搜尋頻率範(fàn)圍設(shè)定在100400 Hz之間，按下F-Scan之按鈕。13. 找出共振頻率後，按下” <F< ”按鈕，並將頻率縮小至共振頻率附近(越近越好)，再按下”SEARCH”按鈕進(jìn)行再次搜尋，可得出探針共振頻率。14. 調(diào)整” X=0.1 1 10 “ 、 “ v ” 及” Gain ”之?dāng)?shù)值使” nA “左方之?dāng)?shù)值落於10.0，其中X約為0

33、.1 或1 ，v約為0.25左右，Gain則越小越好。15. 左方中間在進(jìn)行Semisontact Mode時(shí)調(diào)整為Hi。在將面版上之線路接通。16. 按下右方之FB鈕，並按其右方之”GO”。17. 由程式中之Operation > Approach > Prob / Landing 使探針接近待測試片表面。18. 由程式中之Operation > Scanning 進(jìn)行掃瞄，將step調(diào)整為90左右(決定掃瞄區(qū)域大小)；調(diào)整” VEL “數(shù)值使A/s數(shù)值落在12 Hz之間。 將A:之Dir調(diào)整為+X+，Substract調(diào)為1st-Slope，最後按下Run進(jìn)行掃瞄。19.

34、 掃瞄剛開始品質(zhì)不好，可使用上方功能鍵”restart”使掃瞄重新開始。20. 掃瞄完成後，需由Operation > approach / mover / remote 設(shè)定為1.5進(jìn)行退針的動作。21. 將主程式斷電(由程式主畫面中的連接符號斷電)22. 關(guān)閉雷射及device電源。23. 拿下探針座並取下探針。24. 實(shí)驗(yàn)設(shè)備歸位並於記錄簿上記錄儀器狀況。(附件三) 貴儀中心委託檢測單大同大學(xué)貴重儀器中心掃描式探針顯微鏡(SPM) 委託檢測單 委託操作序號：_ 委託者姓名：申請日期： 年 月 日 單 位：主管簽章： 取件方式： 自取 郵寄 e-mail收件日期： 年 月 日 聯(lián)絡(luò)電話：手機(jī)號碼： 聯(lián)絡(luò)地址（就讀系所）： e-mail address： 使用儀器之目的(請?jiān)斕?)： 期刊論文 研討會論文 畢業(yè)論文 建教案 專題研究報(bào)告 專書 ?？?其他 研究計(jì)劃名稱： 特性： 有毒 空氣不穩(wěn)定 熱不穩(wěn)定 無以上性質(zhì) 粉末 塊材 液體 其他 檢測項(xiàng)目： AFM SPM (使用條件限制：樣品表面平整度於1m之內(nèi)) (必須提供掃描式顯微鏡之橫截面影像，使得探針不因粗糙度太大而撞針毀損)簡述材料成份：檢測條件：樣品數(shù)： 件 審查結(jié)果： 不接受委託 原因： 可接受委託 預(yù)定完成日期： 年 月 日 收費(fèi)金