等離子蝕刻機(jī)使用說(shuō)明書(shū)

1、備使用說(shuō)明書(shū)設(shè)備名稱：等離子蝕刻設(shè)備設(shè)備型號(hào): KWT-200-1000FSK北京中聯(lián)科利技術(shù)股份有限公司Beijing China United Cleaning Technology Co.,Ltd.地址：北京市朝陽(yáng)區(qū)北苑路40#郵編：100012電話真、概述二、主要技術(shù)指標(biāo)三、工作原理及結(jié)構(gòu)特征 四、工藝特性及控制要點(diǎn) 五、使用說(shuō)明（一）、塾悉本機(jī)資料 （二）、開(kāi)機(jī)前的準(zhǔn)備六、操作說(shuō)明 七、使用注意事項(xiàng) 八、簡(jiǎn)單故障與排除 九、設(shè)備機(jī)械主要圖紙 十、設(shè)備電控原理圖 -3 -1.1 產(chǎn)品特點(diǎn)KWT-200-1000FSKS等離子體刻蝕

2、機(jī)具有占地面積小、裝片容量大、生產(chǎn)率高等優(yōu)點(diǎn)。同時(shí)，還具有手動(dòng)/自動(dòng)功能。除裝卸片要人工操作外，其余過(guò)程實(shí)現(xiàn)了全自動(dòng)，保證了工藝 的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，大大地提高了產(chǎn)品質(zhì)量。1.2 設(shè)計(jì)目標(biāo)、設(shè)計(jì)原理該設(shè)備主要用于太陽(yáng)能電池周邊摻雜硅的刻蝕，也可用于半導(dǎo)體工藝中多晶硅、氮化硅 的刻蝕和去膠。原理：等離子體刻蝕是采用高頻輝光放電反應(yīng)，使反應(yīng)氣體激活成活性粒子，如原子或游離 基，這些活性粒子擴(kuò)散到需刻蝕的部位，在那里與被刻蝕材料進(jìn)行反應(yīng)，形成揮發(fā)性生成物而被去除。它的優(yōu)勢(shì)在于快速的刻蝕速率同時(shí)可獲得良好的物理形貌。（這是各向同性反應(yīng)）在輝光放電條件下,CF4 - C4+4F-O2 - 2O2-F+SH

3、 SiF4SiF4揮發(fā)性高，隨即被抽走?？涛g過(guò)程的主要反應(yīng) 放電過(guò)程e-+CF4 CF3+F+2ee-+CF3-CF2+F+e-腐蝕過(guò)程Si+4F-SiF4 Te-+CF4-CF3+F+eQ+e- 2O+e-3Si+4C*4C+3SiF4 T 2C+3O- CO T +CO2 T表面移動(dòng)、NFCF屋團(tuán)反應(yīng)層5 nin / : 廠/*； ： ：/：可二-r ：后 廠： 二a-r 1CF；離子_co.iF- * «- r- s-i- -w 1 ,»»- 'r - j -, < I - r , t . . I "! 0 t <* ,

4、76; , < ' " J I I -II .B，g .注二不.J 二 LT， '： ；'' ' ； ' ' ，' ' - -SiO3> ；,黑埔85也#碎金二-;丁7.-。-. i-二、主要技術(shù)指標(biāo)我公司研制的等離子體刻蝕機(jī)規(guī)格：CUCKWD-SK-200CUCKWDSK2002 1 刻蝕介質(zhì)：2 2 刻蝕部位：2 3 產(chǎn)能 最大裝片量： 刻蝕速率：批處理時(shí)間：2 4 射頻電源2 5 氣路系統(tǒng)2 6 真空系統(tǒng)中聯(lián)科偉達(dá)高新轉(zhuǎn)換產(chǎn)品等離子體蝕刻機(jī)基片最大直徑200 nlm400Si、6 摻雜硅 /氮化

5、硅硅片方片周邊片 /批3N450nm/min摻雜硅200nm/min2030min；13.56MHz, 01000W!續(xù)可調(diào)2 7 電源2 8 周邊刻蝕均勻性2 9 設(shè)備可靠性：3PH手動(dòng)、 2 路質(zhì)量流量計(jì)、1 路浮子流量計(jì)標(biāo)準(zhǔn)配置3 路工藝氣體通路；2X-15機(jī)械泵，工作壓力自動(dòng)控制；本底真空度： 0.1 mbar；工藝壓強(qiáng)：0.52mbar；， 380V， 50HZ， 4KVA± 5%設(shè)備平均維修間隔時(shí)間 MTBF500小時(shí);設(shè)備平均維修時(shí)間MTTRU小時(shí)。- - 5 - -工作原理及結(jié)構(gòu)特征本設(shè)備由刻蝕系統(tǒng)、抽空系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)、高頻電源、匹配器等部分組成，如下圖:3. 2設(shè)備

6、系統(tǒng)圖I T-H 1中-花帆:I洲，: -?:J u- -r.CPCA-120/ZKhMFT 1電切氏管3 FAF-052KT5 PC'!. EU11 1.5K d L5L s 6x10-2KS90L-4-15001400r/min l.SKx SflOv7反應(yīng)室采用立式結(jié)構(gòu)，射頻功率通過(guò)電感耦合到反應(yīng)室內(nèi)，同時(shí)基片采用旋轉(zhuǎn)方式,保證周邊刻蝕均勻。 真空系統(tǒng)采用旋片式機(jī)械泵，具有主抽和預(yù)抽兩路抽氣管路，既保證本 底抽空的時(shí)間，又使氣氛擾動(dòng)減小，減少粉塵揚(yáng)起，保證基片清潔。送氣系統(tǒng)通、斷氣均采 用電磁閥控制，工藝氣體采用質(zhì)量流量計(jì)控制，可靠性高，重復(fù)性好。片架可旋轉(zhuǎn)，提高了 刻蝕的均勻性

7、。射頻電源的頻率和功率穩(wěn)定，并有阻抗匹配器可保證射頻輸出功率幾乎完全 耦合到反應(yīng)室內(nèi)。電氣控制具有手動(dòng)/自動(dòng)控制功能，在手動(dòng)狀態(tài)下，可以真空檢漏，不能進(jìn) 行工藝實(shí)驗(yàn)。采用PLC進(jìn)行工藝自動(dòng)控制，可靠性高，穩(wěn)定性好。各電氣元器件均采用插裝 式，便于維修和更換。四、工藝特征及控制要點(diǎn)4.1 工藝主要由以下幾個(gè)流程組成：運(yùn)行開(kāi)運(yùn)行關(guān)裝片一預(yù)抽一主抽一送氣一輝光一抽空一清洗一充氣一取片4.2 工藝說(shuō)明 預(yù)抽：主要通過(guò)預(yù)抽電磁閥，將反應(yīng)室的空氣抽走，壓力保持在0.01MPa以下； 主抽：主要通過(guò)主抽電磁閥和電子執(zhí)行器（微調(diào)氣壓裝置），將反應(yīng)室的氣壓保持在 10Pa 左右； 送氣：主要將輝光需要的氣體 C

8、F4和O2送到反應(yīng)室，該過(guò)程反應(yīng)室的氣壓穩(wěn)定在 100Pa左右；此狀態(tài)為動(dòng)態(tài)平衡，即通過(guò)送氣系統(tǒng)流量與抽氣速度的匹配，維 持100Pa的真空壓力。 輝光：通過(guò)射頻發(fā)生裝置，使硅片和 CF4、O2反應(yīng)，對(duì)硅片切面邊緣進(jìn)行化學(xué)腐蝕， 達(dá)到邊緣蝕刻目標(biāo)，該過(guò)程反應(yīng)室的氣壓保持在100Pa左右；在輝光放電條件下：CR-C4+4F-2O2-F+SHSiF4SiF4揮發(fā)性高，隨即被抽走。 抽空：輝光結(jié)束后，將殘留在反應(yīng)室的各種氣體抽走； 清洗：通適量的N2將殘留在反應(yīng)室的CF4、O2等氣體清洗出反應(yīng)室； 充氣：通適量的N2將反應(yīng)室內(nèi)的氣壓調(diào)整到外部的氣壓， 將內(nèi)外氣壓調(diào)整到完全一致，便于開(kāi)蓋裝取硅片。4.

9、3 控制要點(diǎn)1）主要通過(guò)PLC來(lái)實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備白開(kāi)關(guān)（預(yù)抽/主抽/抽氣/放氣等電磁閥）進(jìn)行量（時(shí)間）的控制，工藝氣體流量（CF4、O2模擬量讀寫(xiě)）設(shè)置及顯示、壓力（模 擬量）設(shè)置及實(shí)際值的實(shí)時(shí)顯示；2） 該設(shè)備有個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)是，在送氣、輝光幾個(gè)工藝進(jìn)行的過(guò)程中，反應(yīng)室的氣壓不能過(guò)高也不能過(guò)低，要穩(wěn)定在100Pa左右；為了實(shí)現(xiàn)這個(gè)功能，主要通過(guò)一個(gè)氣壓的微調(diào)裝置（電子執(zhí)行器）來(lái)控制，運(yùn)用 PID 模擬量控制來(lái)達(dá)到精確而穩(wěn)定氣壓的預(yù)期值；3） 全部過(guò)程通過(guò)運(yùn)用模擬量的讀寫(xiě)，與PLC 的通訊進(jìn)行精確控制，確保硅片蝕刻的精度和設(shè)備的穩(wěn)定性；4） 同時(shí)設(shè)有可操作的觸摸屏，客戶可根據(jù)自身的工藝特點(diǎn)進(jìn)行特性工藝的設(shè)

10、定。5工作環(huán)境與安裝要求5.1 工作環(huán)境a）環(huán)境溫度：5 c40C；b） 相對(duì)溫度:<70%；c） 環(huán)境凈化等級(jí)：優(yōu)于10000級(jí)；d）大氣壓強(qiáng)：86kPa106kPa；e） 電源：三相交流380（ 1± 10%） V ，頻率50（ 1± 1%） Hz；f） 所用工藝氣體壓力：工藝氣體：N2：純度 99.999% （推薦）,0.1 0.2MPa,最大流量 1000mL/min；CF4：純度 99.999% （推薦）,0.1 0.2MPa,最大流量 300mL/min ;O2：純度 99.999% （推薦）,0.1 0.2MPa,最大流量 30mL/min ;壓縮空氣壓

11、力：0.3MPA 0.6 MPa；g）有良好的接地點(diǎn)，接地電阻小于4Q0H ）排廢：反應(yīng)室架、機(jī)械泵上均要求有負(fù)壓抽氣口；總抽氣速率 >2000L/min5.2 安裝5.2.1 凈化等級(jí)高于1萬(wàn)級(jí)的凈化廠房?jī)?nèi)，面積：2.4 X（1.8+0.6）,其中凈化區(qū)面積：2.4 X1.8m2灰區(qū)面積:2.4 x 0.6m2。5.2.2 具有機(jī)械泵尾氣排放通道，045X1.5的軟管連接；具有臭氧排放、抽氣通道，內(nèi)徑100的不銹鋼管道連接。5.2. 3配置N2、CF4、02、壓縮空氣（氣動(dòng)閥用）工藝氣體， N2、CF4、02接口為 1/4'（外徑）內(nèi)外拋光不銹鋼管，與設(shè)備相連一端盤(pán)成約200m

12、m圓一圈后再留出約300mm長(zhǎng)直管，工藝氣體壓力0.1MPa0.2MPa；壓縮空氣進(jìn)氣管道 為外徑 6mmPVC軟管，壓力為0.3MPa0.5MPa；。5.2. 4三相+中相+地線，高頻電源獨(dú)立地線，接地電阻 <4。五使用說(shuō)明（一）、熟悉本機(jī)資料1、整機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖，見(jiàn)附圖一2、電原理圖，見(jiàn)附圖二（二）、開(kāi)機(jī)前的準(zhǔn)備1、檢查機(jī)器是否裝妥，將所有的支撐腳旋下，將機(jī)器調(diào)至水平位置；2、將所有電源開(kāi)關(guān)及電器開(kāi)關(guān)置于“關(guān)”的位置，檢查電源是否合乎要求，機(jī)殼接地是否可靠，射頻電源單獨(dú)接地是否已執(zhí)行，且接地電阻 <4Q ;3、檢查供氣與排氣管道連接是否正確，檢查各供氣壓力是否在規(guī)定值內(nèi)；4、當(dāng)總

13、電源改變或相序變化時(shí)，請(qǐng)先卸下真空泵傳送帶，確認(rèn)好電機(jī)方向才能運(yùn)行，否則真空泵反轉(zhuǎn)，將可能導(dǎo)致?lián)p壞真空泵的嚴(yán)重后果 ；5、檢查真空泵油面觀察窗口，當(dāng)油面低于標(biāo)準(zhǔn)或較渾濁時(shí)，會(huì)影響真空泵運(yùn)行性能，請(qǐng) 添加或更換同型號(hào)真空泵油；-12 -1、QF0、 QF1、QF2 為總電源 空氣開(kāi)關(guān) 和控制電 源斷路器；六操作說(shuō)明圖A.下圖為設(shè)備電氣控制元件底板分布簡(jiǎn)圖:QF0KM1KM2FR1FU1FU2FU3QF1 QF224所關(guān)電源KA1ka2KA3KA4KA5濾波 器FX2N-32MRF2N-4ADF2N-4AD_15V開(kāi)關(guān)電源3.此紅色電源停 止按鈕開(kāi)關(guān)紅色 指示燈在總空開(kāi) 閉合后應(yīng)該顯示！ 否則請(qǐng)檢

14、查總電 源是否打開(kāi)或外尊B(yǎng) .電用閣遁談番臊，面板各部件功能及作用: 通!！1.觸摸屏:控制設(shè)備的人機(jī)界面！2.操作電源 啟動(dòng)按鈕 開(kāi)關(guān)！6.報(bào)警器：為聲 光報(bào)警器，在設(shè) 備故障或工藝 周期完成時(shí)給 出聲光報(bào)警提觸摸屏1、開(kāi)啟設(shè)備的外部總電源空開(kāi)，然后打開(kāi)設(shè)備內(nèi)部總電源開(kāi)關(guān)，如本節(jié)圖A-1所示各空開(kāi)。最后將外圍供氣閥門(mén)全部打開(kāi)，并檢查各壓力是否在正常范圍內(nèi)；2、目視“電源停止”按鈕紅色指示燈是否亮燈，如無(wú)亮燈，則應(yīng)檢查外部電源和內(nèi)部電源空氣開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)。如亮燈，即可開(kāi)啟“電源啟動(dòng)”按鈕（如本節(jié)圖B-1所示按鈕開(kāi)關(guān)），此時(shí)“電源啟動(dòng)”按鈕綠色指示燈應(yīng)亮燈，觸摸屏應(yīng)顯示如下圖LOGO；面后約6秒進(jìn)

15、入系統(tǒng)主畫(huà)面；確認(rèn)系統(tǒng)射頻電源的的黃色開(kāi)關(guān)是否開(kāi)啟及亮燈，射頻電源進(jìn)入約5分鐘的預(yù)熱；預(yù)熱完成時(shí)，射頻電源的紅色按鈕給出亮燈提示，設(shè)備即可進(jìn)入工作狀態(tài)，否則請(qǐng)勿操作設(shè)備，待故障排除后方可運(yùn)行；3 .系統(tǒng)主畫(huà)面如下圖所示，主要顯示當(dāng)前設(shè)備運(yùn)行參數(shù)及運(yùn)行狀態(tài)：包括自動(dòng)運(yùn)彳楫1./Lb、I 丁 / I 為甯熊發(fā)較寤發(fā)狀況時(shí)，按下使系統(tǒng)停止工作，正常情況下為旋起狀0藝進(jìn)行時(shí)間及工藝氣體流量參數(shù)顯示；手動(dòng)狀態(tài)為聲光報(bào)警器蜂鳴時(shí)按其可使其止鬧；4 .此選擇開(kāi)關(guān)為設(shè) 備“手動(dòng)/自動(dòng)”運(yùn) 轉(zhuǎn)模式轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)各工藝時(shí)間顯示為5 .自動(dòng)運(yùn)行開(kāi)關(guān)：為 設(shè)備自動(dòng)運(yùn)轉(zhuǎn)模式 下的啟動(dòng)開(kāi)關(guān)靜音自動(dòng)工作狀態(tài)反畫(huà)室壓力預(yù)抽0 S0

16、 Pa主播0 SCF.流量送氣0 Spu 0 seen輝光。Ssu ib0 seen抽空e s02流量清洗0 Spv 0 seen充氣e sSt 20 seen等離子體蝕刻系統(tǒng)子動(dòng)操作五數(shù)設(shè)定4 .工藝時(shí)間及參數(shù)設(shè)定：在主畫(huà)面中點(diǎn)擊“參數(shù)設(shè)定”按鈕，畫(huà)面切換進(jìn)入如下圖所示 的參數(shù)設(shè)定界面，根據(jù)工藝要求點(diǎn)擊各灰底紅字區(qū)域即可設(shè)定各相應(yīng)參數(shù)；CF.流量 pu e seen su ibe seen口之流量0 seen£0 seen空洗抽清s s¥千fi flt +f預(yù)主WRI I反應(yīng)室壓力1025 Pa送氣|&& S 充氣|25 S輝光I 5降S壓力偏差I(lǐng) 2g

17、pa開(kāi)機(jī)延時(shí)I 300 S主畫(huà)面|匚車功操作| g西國(guó)5 .手動(dòng)調(diào)試操作工藝流程：將如本節(jié)圖 B-4所示的模式選擇開(kāi)關(guān)選擇置于“手動(dòng)”狀態(tài)，點(diǎn)擊主畫(huà)面中的“手動(dòng)操作”按鈕，畫(huà)面切換進(jìn)入如下圖所示的手動(dòng)操作界面；（在此之前請(qǐng)確認(rèn)設(shè)備反應(yīng)室內(nèi)是否真空未破除， 如未破除請(qǐng)按以下“充氣”工藝流程進(jìn)行操作，以能打開(kāi)反應(yīng)室蓋為準(zhǔn)）；-11 -真空泵(1)預(yù)抽：依次點(diǎn)擊打開(kāi)如下圖所示的觸摸屏“真空泵”、“預(yù)抽閥”和“旋轉(zhuǎn)電機(jī)” 按鈕,打開(kāi)后各按鈕如下圖顯示狀態(tài)，設(shè)備將通過(guò)預(yù)抽電磁閥以較緩的抽速進(jìn)入預(yù)抽真 空階段4劭標(biāo)蚱'真空泵|反應(yīng)室壓力.預(yù)抽閥 s.：I主抽閥ILEE法氣閥充氣閥1 輝光I旋轉(zhuǎn)電機(jī)

18、主畫(huà)面每數(shù)設(shè)定| ?雷駕跖(2)主抽：當(dāng)預(yù)抽開(kāi)啟后，機(jī)械式相對(duì)真空表指針指示為 -0.09Mpa (絕對(duì)真空度為0.01Mpa)以下時(shí)，即可打開(kāi)觸摸屏“主抽閥”按鈕，同時(shí)關(guān)閉“預(yù)抽閥”按鈕，如下圖所示各按鈕顯示狀態(tài)；設(shè)備以較快的抽速進(jìn)入主抽真空階段；4劭瘠作真空電|反應(yīng)室壓力I預(yù)抽閥11。p*二I主抽閥I氮?dú)忾y法氣閥II充氣閥輝光旋轉(zhuǎn)電機(jī)1主畫(huà)面|參數(shù)設(shè)定(3)送氣:(4)輝光:當(dāng)主抽開(kāi)啟后，反應(yīng)室壓力顯示為 10Pa及以下時(shí)，點(diǎn)擊“送氣閥”按鈕，系統(tǒng) 以所設(shè)定的氣體流量將工藝氣體 CF4及O2送入反應(yīng)室，如下圖所示各按鈕顯示狀 態(tài)：(此流程中須注意使反應(yīng)室壓力保持在 100Pa左右，如壓力高

19、于標(biāo)準(zhǔn)，可通 過(guò)調(diào)節(jié)數(shù)顯真空表的開(kāi)率將電動(dòng)蝶閥的開(kāi)度適當(dāng)加大，如小于標(biāo)準(zhǔn)，則適當(dāng)減少,直至達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)范圍)；笄劭據(jù)作一真空京| 反應(yīng)富壓力一|碉190 Pq J主抽閥I I I氮?dú)忾yI送氣閥|I充氣陋I輝3|旋轉(zhuǎn)電機(jī)1主畫(huà)面二納鼠寶當(dāng)送氣開(kāi)啟后，反應(yīng)室壓力保持在 100Pa左右時(shí)，點(diǎn)擊“輝光”按鈕，如下圖所示各按鈕開(kāi)啟狀態(tài)；射頻電源綠色按鈕運(yùn)行指示燈亮燈，觀察射頻電源各參數(shù)是 否正常，反應(yīng)室輝光顏色正常時(shí)應(yīng)為乳白色；-17 -21輝光工作時(shí)反應(yīng)寶的壓力范圍?反應(yīng)室壓力1的Pd氮?dú)忾yI旋轉(zhuǎn)電機(jī)主畫(huà)面|藍(lán)都殳審|1整防1輝光時(shí)如反應(yīng)室壓力超出設(shè)定范圍，系統(tǒng)會(huì)停止輝光，并彈出如下畫(huà)面給出提示，此時(shí)應(yīng)返

20、 回送氣流程檢查動(dòng)態(tài)平衡是否在100Pa左右;在力武建主畫(huà)面參數(shù)設(shè)定手動(dòng)操作1(5)抽空：當(dāng)輝光各參數(shù)正常后，將“送氣閥”及“輝光”按鈕點(diǎn)擊關(guān)閉，保持“真空泵”和“主抽閥”繼續(xù)開(kāi)啟，如下圖所示各按鈕狀態(tài)，使輝光后的殘留反應(yīng)氣體被抽出反應(yīng)室；I真空泵|反應(yīng)室壓力,前抽閥 |晅二主捕閥I送氣閥I， |充氣網(wǎng)I輝光|旋轉(zhuǎn)電機(jī)1主畫(huà)面I 土數(shù)設(shè)定I畫(huà)蠹重而|(6)清洗:充氣:當(dāng)抽空時(shí)反應(yīng)室壓力接近于 10Pa時(shí)，將“氮?dú)忾y”打開(kāi)，如下圖所示各按鈕狀 態(tài)，使氮?dú)膺M(jìn)入反應(yīng)室達(dá)到清洗反應(yīng)室的目的；笄劭據(jù)作真空巢！! 反應(yīng)室壓力J 加抽閥255 Pq J主抽閥I氮?dú)忾y翻送氣麗 I旋轉(zhuǎn)電機(jī)1主畫(huà)面 士戴設(shè)定當(dāng)反

21、應(yīng)室被清洗后，將 “真空泵”、“主抽閥”及“氮?dú)忾y”按鈕關(guān)閉，打開(kāi)“充 氣閥”如下圖所示各按鈕狀態(tài)，對(duì)反應(yīng)室內(nèi)充氮?dú)膺_(dá)到真空破除、便于開(kāi)啟反應(yīng) 室蓋的目的；I真空泵一應(yīng)室壓力-II預(yù)抽閥I 砒而 1I主抽閥I， I氮?dú)忾yI，I送氣河！I輝光I。|旋轉(zhuǎn)電機(jī)1主畫(huà)面參數(shù)設(shè)定確認(rèn)反應(yīng)室蓋能夠打開(kāi)后，將“充氣閥”和“旋轉(zhuǎn)電機(jī)”按鈕關(guān)閉，進(jìn)入手動(dòng)初始狀態(tài)！6 .自動(dòng)運(yùn)行操作：(1)請(qǐng)先確認(rèn)反應(yīng)室真空是否已破除，然后將如下面所示的模式選擇開(kāi)關(guān)選擇置于“自動(dòng)” 狀態(tài)，使觸摸屏畫(huà)面顯示主畫(huà)面，將待蝕刻工裝件放入反應(yīng)室內(nèi)的固定座上，并確 認(rèn)是否放置平整；(2)按下如下圖所示“自動(dòng)運(yùn)行”按鈕，系統(tǒng)會(huì)以所設(shè)定的工藝

22、時(shí)間 睦數(shù)自動(dòng)完成各流程, 并在完成后以報(bào)警器蜂鳴給予提示；打開(kāi)反應(yīng)室蓋后，取出工裝件；7 .在設(shè)備運(yùn)行過(guò)程中，如設(shè)備出現(xiàn)緊急狀況，可按下操作面板上的急停按鈕，系統(tǒng)會(huì)立即停止工作，并彈出如下界面提示；故障排除后請(qǐng)將急停按鈕旋起，設(shè)備才能運(yùn)行;孤常停止已勘作1 .請(qǐng)排除故障后，旋開(kāi)意停開(kāi)關(guān)！2 .如非人為按下，請(qǐng)檢查相關(guān)線路!返回8 .當(dāng)系統(tǒng)出現(xiàn)故障報(bào)警時(shí)，可以點(diǎn)出觸摸界面中的“報(bào)警記錄”，系統(tǒng)會(huì)彈出如下圖界面,以查看當(dāng)前報(bào)警項(xiàng)目及時(shí)間：救警祀錄|15二乙3H國(guó)B面| 參數(shù)設(shè)定|手動(dòng)操作9 .系統(tǒng)關(guān)機(jī)操作：與開(kāi)機(jī)操作正好相反，先確認(rèn)反應(yīng)室真空已破除，然后關(guān)閉操作面板上的 紅色電源停止按鈕，關(guān)閉外

23、圍氣體閥門(mén)，最后將外部總電源空開(kāi)關(guān)閉；七使用注意事項(xiàng)1、注意開(kāi)啟設(shè)備前，對(duì)真空泵方向不能確定時(shí)，先確認(rèn)真空泵電機(jī)轉(zhuǎn)向后，才能運(yùn)行設(shè)備；2、系統(tǒng)的射頻發(fā)生裝置屬精密儀器，當(dāng)工藝及參數(shù)變化時(shí)，必須由指定維護(hù)人員調(diào)節(jié)，（調(diào) 節(jié)板壓時(shí)，請(qǐng)?jiān)谳x光停止時(shí)撥動(dòng)轉(zhuǎn)換開(kāi)關(guān)），當(dāng)校對(duì)好各參數(shù)后，不要隨意調(diào)節(jié)，否則將 導(dǎo)致?lián)p壞射頻發(fā)生裝置的嚴(yán)重后果！ ！ ！3、由于工裝夾具系金屬材料，在往反應(yīng)室放片、取片時(shí)，請(qǐng)注意輕拿輕放，避免碰到反應(yīng)室內(nèi)的石英管；4、定期檢查真空泵油面觀察窗口，當(dāng)油面低于標(biāo)準(zhǔn)或較渾濁時(shí)，請(qǐng)?zhí)砑踊蚋鼡Q同型號(hào)真空泵油；5、當(dāng)設(shè)備處于關(guān)機(jī)或待機(jī)狀態(tài)時(shí)，請(qǐng)確保反應(yīng)室真空已破除；八簡(jiǎn)單故障與排除1、系統(tǒng)控

24、制電源不能啟動(dòng)，請(qǐng)檢查供電電源、控制線的保險(xiǎn)及相關(guān)線路元器件；2、真空泵不能啟動(dòng)：請(qǐng)檢查三相電源是否正常、熱繼電器是否跳脫及相關(guān)控制線路是否正常；3、反應(yīng)室真空度或保壓達(dá)不到要求，請(qǐng)檢查真空泵油是否過(guò)少，各管道連接件是否緊固， 各密封件是否破損；4、輝光無(wú)法開(kāi)啟時(shí)，請(qǐng)檢查功率源黃色按鈕開(kāi)關(guān)是否開(kāi)啟，15A保險(xiǎn)管是否已燒毀，如不能確定故障時(shí)，請(qǐng)不要隨意開(kāi)啟射頻裝置外殼，通知專業(yè)人員維修；25九設(shè)備機(jī)械主要圖紙就邦般科'',-£:T-K，.-!.=Lr二洪 ”V2 殛-I;工_.三因落rMrn后工於*博心盤(pán)試第 1tx4.t>詠 SGB1804土 M品弄育M以咻國(guó)澳

25、二一S4-K *侔youto 干鍬“白 th»Sr m在 c#Gk- here4g PDF Primer至十-j*-, « 由雷；'7£F-11可金五 白P:53道十設(shè)備電控原理圖-28 -.jc-.N市一PDF' with' GO2P DF f c/l-,j.'iMr 口-rt HI 痛Hiit li'iy, illkk lu Ijuy Vnluiil PDr Pi in!t?iw * w: E N RmAOATKX二有能與 1 理F#ir n - 1.T,|_二八3IHII駟I- 11 .I史 E -仲飛丞共 一 -n 1年 Z7IWI 本二-B-棄舉奈隹先庫(kù)與*涮*融©Of PUF wiTi寸膏已口卜忙什白巴巾丁甲 wmh怕eniriw 加'In。rlirk 加gtn觸Lirhirr臼1卜口口帕j. I«ALJi修刀47,11 is事L忸7甚.17IS-241工電/4區(qū)2Q4C3tv*i廠"!修!4U氧1-SiA三二？I