NH3半自動(dòng)特氣柜說明翻譯

1、上海韓科電子科技有限公司 Cabinet Manual(Simplified) 目錄1.安全1-1.常規(guī)1-1-1.危險(xiǎn)級(jí)別和強(qiáng)度1-1-2.危害類型1-2.重要的安全警告1-2-1.安全裝置1-2-2.運(yùn)行安全1-2-3.維修安全1-3.個(gè)人防護(hù)設(shè)備1-4.危害警告1-4-1.有毒氣體危害1-4-2.腐蝕性氣體的危害1-4-3.易燃?xì)怏w的危害1-4-4.氧氣及其他氧化劑的危害1-4-5.惰性氣體的危害1-4-6.高壓氣體1-4-7.汽缸操作的危害1-4-8.電氣危害1-4-9.清楚氣體回流的危害1-4-10.噪音1-5.安全措施1-5-1.安全注意事項(xiàng)1-5-2.安全互鎖系統(tǒng)1-5-2-1.

2、互鎖1-5-2-2.互鎖名單1-6.緊急停止（緊急停止）1-6-1.緊急停止（GMS）開關(guān)位置1-6-2.緊急停止（GMS）開關(guān)設(shè)計(jì)1-6-3.從緊急開關(guān)復(fù)位1-6-4.緊急開關(guān)演示1-6-5.緊急開關(guān)電路圖1-6-6.遠(yuǎn)程關(guān)閉演示1-7.安全連鎖裝置1-7-1.門連鎖控制1-7-2.火災(zāi)探測器1-7-3.高溫度開關(guān)1-7-4.氣體泄漏探測器1-7-5.閥門開關(guān)1-7-6.自動(dòng)警示1-7-7.噴灑器1-7-8.同軸泄露包檢測2.前言2-1.氣柜的作用2-2.應(yīng)用氣體3.制造商名稱及地址3-1.名稱3-2.地址3-3.品牌4.氣柜介紹4-1.外觀介紹4-1-1.控制部分4-1-2.多管路概述4-

3、1-3.部件名稱列表4-1-4.部件介紹4-2.說明書4-2-1.型號(hào)4-2-2.氣柜的外觀5.安裝5-1.安裝指導(dǎo)5-1-1.安裝安全5-1-2.氣柜的移動(dòng)5-1-3.系統(tǒng)安裝5-2.機(jī)械暗轉(zhuǎn)5-2-1.安裝孔位置5-2-2.外形尺寸5-2-3.管道連接5-3.電氣安裝5-3-1.環(huán)境條件范圍5-3-2.電力連接5-4.應(yīng)用條件5-4-1.管口5-4-2.制程管5-4-3.充氣供應(yīng)5-4-4.氣柜排氣系統(tǒng)需求5-4-5.城市供水5-5.應(yīng)用范圍5-6.安裝后檢查表6.控制面板開關(guān)&元件的作用6-1.面板元件的位置6-2.功能說明7.運(yùn)行7-1.系統(tǒng)框圖和流程圖7-1-1.系統(tǒng)框圖7-

4、2.管道加熱7-2-1. 管道加熱說明7-2-2. TZN4S說明7-3.程序7-3-1.程序7-3-2. MT4N說明8.標(biāo)記8-1.標(biāo)簽8-2.銘牌8-3.警告，警告標(biāo)志9.故障如何檢查9-1.機(jī)械故障檢查9-1-1.故障檢查9-1-2.無意識(shí)的解除線路9-2.電路故障檢查9-3.報(bào)警信息和狀態(tài)概要10.維護(hù)10-1.常規(guī)10-2.維護(hù)檢查項(xiàng)目10-3.周期檢查項(xiàng)目10-3-1.每日檢查項(xiàng)目10-3-2.半年檢查項(xiàng)目10-3-3.其他檢查項(xiàng)目10-4.零件的更換和維修10-4-1.如何更換傳感器10-4-2.去和更換零件10-5.基本的項(xiàng)目10-5-1.更換奇點(diǎn)（TASK1）10-5-2.

5、更換氣瓶頸圈的氣墊（TASK2）11.零件清單11-1.機(jī)械零件清單11-2.機(jī)械制圖11-3.電氣零件清單11-4.電氣制圖12.物質(zhì)安全資料1.安全1-1.常規(guī)1-2.重要的安全警告1-3.個(gè)人防護(hù)設(shè)備1-4.危害警告1-5.安全措施1-6.緊急停止（緊急停止）1-7.安全連鎖裝置1.安全操作設(shè)備之前，您應(yīng)該熟悉下面有關(guān)的警告和通知.安全.1-1. 常規(guī)以下內(nèi)容是各種符號(hào)的解釋，和說明，并且包含了設(shè)備和手冊的各章節(jié)的安全和警告.在設(shè)備和每章的手冊.1-1-1.危害級(jí)別和強(qiáng)度提醒：這符號(hào)指你應(yīng)該檢查商品的損失或者使用者的傷害，除非你承擔(dān)。以便你應(yīng)該遵守相關(guān)規(guī)定或者依照相關(guān)條例建立相關(guān)規(guī)章制度

6、.注意：這符號(hào)指告知你重要的或普通的信息以便讓你保持謹(jǐn)慎警告：這符號(hào)指你應(yīng)該檢查危急的破壞或者對使用者決定性的傷害，除非你承擔(dān)，以便你應(yīng)該遵守相關(guān)規(guī)定或者依照相關(guān)條例建立相關(guān)規(guī)章制度.危險(xiǎn)：這符號(hào)指你直接檢查對商品決定性的破壞或者對使用者決定性的破壞，除非你承擔(dān)。以便你應(yīng)該遵守相關(guān)規(guī)定或者依照相關(guān)條例建立相關(guān)規(guī)章制度。注意：上面的符號(hào)就標(biāo)記的項(xiàng)目當(dāng)你讀完并了解相關(guān)記錄，你能保護(hù)在商品和操作者在此環(huán)境中的安全1-1-2.災(zāi)害類型（標(biāo)志）這個(gè)標(biāo)志指你不擅自操作. 操作設(shè)備前，你應(yīng)該熟悉內(nèi)容，設(shè)備可被培訓(xùn)過的人操作。這個(gè)標(biāo)志指你在操作前應(yīng)帶好防護(hù)手套. 您在有毒氣體的地方工作時(shí)應(yīng)戴上口罩。 這個(gè)標(biāo)志

7、指你在設(shè)備區(qū)域應(yīng)帶上防毒面具 您在有毒氣體的地工作時(shí)應(yīng)帶上口罩。 這個(gè)標(biāo)志指有電危險(xiǎn) 當(dāng)你觸碰時(shí)當(dāng)心觸電 設(shè)備配置前請關(guān)閉電源 這個(gè)標(biāo)志指當(dāng)你在此區(qū)域呼吸時(shí)存在危險(xiǎn) 設(shè)備可用于培訓(xùn)過的人而你在處理設(shè)備時(shí) 應(yīng)知道相關(guān)內(nèi)容。 由于在此區(qū)域存在有毒氣體 由于與皮膚接觸是危險(xiǎn)的 在使用前你必須了解相關(guān)手冊 這標(biāo)志指引誘可燃?xì)怏w存在你必須謹(jǐn)慎 當(dāng)你無任何保護(hù)時(shí)可收到嚴(yán)重的傷害 在使用前你必須了解相關(guān)使用手冊 這個(gè)標(biāo)志指因有腐蝕氣體存在，你須謹(jǐn)慎 當(dāng)你無任何保護(hù)時(shí)可能受到嚴(yán)重傷害 在使用前你須了解相關(guān)使用手冊 這個(gè)標(biāo)志指因有爆炸氣體存在，你須謹(jǐn)慎 當(dāng)你無任何保護(hù)時(shí)可受到嚴(yán)重傷害 子使用前你須了解相關(guān)使用手

8、冊1-2. 重要的安全警告1-2-1.安全裝置警告你絕不應(yīng)該在設(shè)備周圍存放易燃材料警告氣體探測器應(yīng)安裝到包含危險(xiǎn)氣體的機(jī)架警告應(yīng)該在設(shè)備位置安裝一個(gè)滅火器或一個(gè)保護(hù)設(shè)備警告依照氣體的特性來連接系統(tǒng)的排風(fēng)注意安裝設(shè)備環(huán)境的允許溫度變化范圍為055注意安裝設(shè)備環(huán)境的允許濕度在1090%RH注意安裝設(shè)備環(huán)境的允許震動(dòng)在57HZ注意安裝設(shè)備環(huán)境的允許海拔在2000米范圍內(nèi)注意你不能是設(shè)備受到?jīng)_擊注意系統(tǒng)電源應(yīng)該從UPS所提供的穩(wěn)壓電源1-2-2.運(yùn)行安全警告在你沒熟悉此手冊前，你不應(yīng)擅自去運(yùn)行設(shè)備警告此設(shè)備應(yīng)該有專業(yè)操作人員警告在更換容器瓶后，沒做保壓測試前不能進(jìn)行供氣警告供氣前需進(jìn)行質(zhì)量檢測，檢測合

9、格后才能進(jìn)行供氣1-2-3.維修安全警告你絕不能是氣柜容器受到撞擊警告當(dāng)氣體管路維護(hù)后，你應(yīng)該對設(shè)備先吹掃再拆解警告當(dāng)控制電源開著時(shí)請勿維護(hù)警告當(dāng)更換容瓶，在沒有吹掃前請勿拆解氣體管路注意在安裝管路時(shí)不能過度用力擰注意在運(yùn)輸容瓶時(shí)，應(yīng)該對容瓶進(jìn)行密封1-3. 個(gè)人防護(hù)設(shè)備 穿戴防護(hù)手套 扎個(gè)標(biāo)簽貼在又腐蝕性氣體或液態(tài)氣體的氣柜上以引起人們的重視，而在維修時(shí)你應(yīng)帶上防護(hù)手套。如果在管道中又剩余氣體流出接觸到你的肢體，你將受到傷害 佩戴面具 這個(gè)標(biāo)簽應(yīng)貼在有毒的氣柜上以引起人們的重視，而在維修時(shí)你應(yīng)帶上佩戴面具.如果你呼吸到的有毒氣體達(dá)到允許濃度水平以上將對人的生命構(gòu)成危險(xiǎn)，請謹(jǐn)慎！當(dāng)你呼吸到有毒

10、氣體時(shí)盡快離開你所在的位置到含氧多的地方，并去求醫(yī) 穿戴防護(hù)服 這個(gè)標(biāo)簽應(yīng)貼在又可燃?xì)怏w或者爆炸氣體的氣柜上易引起人們的重視當(dāng)發(fā)生事故時(shí)你應(yīng)穿上防護(hù)服保護(hù)身體. 當(dāng)氣溫上升時(shí)可燃?xì)怏w和其它氣體容易引發(fā)火災(zāi)可能性將增大.你應(yīng)該與其他隔絕并遠(yuǎn)離火源.由于火災(zāi)極大的破壞性所以這種氣體在使用時(shí)特別規(guī)定 佩戴防護(hù)面罩 這個(gè)標(biāo)簽應(yīng)鐵在有腐蝕性氣體或者有毒氣體的氣柜上以引起人們的重視.你應(yīng)當(dāng)佩戴防護(hù)面罩. 液態(tài)氣態(tài)飛濺到眼睛有可能使你失明，當(dāng)你使用時(shí)應(yīng)特別小心.警告設(shè)備運(yùn)行前，客戶應(yīng)該準(zhǔn)備個(gè)人防護(hù)用品，以下是要準(zhǔn)備的東西*安全淋浴*緊急電話*洗眼器*氣體泄漏檢測系統(tǒng)*充足的通風(fēng)1-4.危害警告警告 在全面掌

11、握以下手冊的警告以后，你方可處理和正常工作.警告 除非參照以下警告目錄，不然你將嚴(yán)重?fù)p壞設(shè)備和作業(yè)人員.1-4-1.有毒氣體的危害 這標(biāo)簽是用于有毒氣體的支架，在處理有毒氣體時(shí)十分重要的提示，如果你呼吸到的有毒氣體高于允許吸入密度的級(jí)別（份量級(jí)）將危害到人身安全，所以當(dāng)你在處理時(shí)，應(yīng)特別小心謹(jǐn)慎！ 一旦你吸入有毒氣體時(shí)，請你盡可能的逃離目前所處位置到氧氣充足的地方，并求醫(yī)。 這標(biāo)簽應(yīng)貼在有毒氣體的支架上 在維護(hù)時(shí)須佩戴面具.1-4-2.腐蝕性氣體的危害 這標(biāo)簽是用于由腐蝕性氣體的支架，在處理有腐蝕性氣體時(shí)十分重要的提示。因?yàn)槊糠N氣體具有各自的反應(yīng)特性，所以你在處理時(shí)，請依照氣體的特性。 一旦你

12、與該氣體接觸，你應(yīng)該用干凈的誰沖洗并咨詢醫(yī)生 這標(biāo)簽應(yīng)貼在液態(tài)氣體的支架上以引起重視. D 當(dāng)你維護(hù)時(shí)，應(yīng)穿戴上防護(hù)手套. 這標(biāo)簽貼在有腐蝕性氣體或有毒氣體支架上，以引起重視. 當(dāng)在維護(hù)時(shí)或發(fā)生重大事故時(shí)，應(yīng)當(dāng)佩戴防毒面具.1-4-3.易燃?xì)怏w的危害 這標(biāo)簽貼在有易燃?xì)怏w的支架上，在處理有易燃?xì)怏w時(shí)有重要的提示。 當(dāng)氣溫上升時(shí)客人氣體和其它氣體結(jié)合容易引發(fā)火災(zāi)可能性將增大.你應(yīng)該與其他隔絕并遠(yuǎn)離火源. 由于火災(zāi)時(shí)重大災(zāi)難，所以在處理這種氣體時(shí)的特別提示 這標(biāo)志貼在易燃?xì)怏w或爆炸性氣體支架上. 當(dāng)發(fā)生重大事故或系統(tǒng)維護(hù)時(shí)，須穿防護(hù)服. 1-4-4.爆炸性氣體的危害 這標(biāo)簽貼在有爆炸性氣體的支架，

13、在處理有爆炸性氣體時(shí)十分重要的提示 在溫度增高的情況下，爆炸性氣體易和空氣或其他氣體結(jié)合，所以極易發(fā)生火災(zāi)或爆炸，造成重大災(zāi)難。 這標(biāo)簽貼在易燃性氣體或爆炸性氣體支架上，以引起重視. 當(dāng)發(fā)生重大事故或維護(hù)系統(tǒng)時(shí)，你應(yīng)當(dāng)穿防護(hù)服。1-4-5.氧氣及其它氧化劑的危害 系統(tǒng)使用氧氣或其他氧化劑對特定的設(shè)備有特定的要求，材料結(jié)構(gòu)或者系統(tǒng)潔凈可能導(dǎo)致傷害或死亡*在使用氧氣或氧化劑按照安全慣例*僅用于氧氣或氧化劑設(shè)計(jì)的設(shè)備檢修*在任何時(shí)候都應(yīng)該保持氧氣潔凈*無明火，煙火，或火花靠近氧氣設(shè)備*不可用氧氣替代壓縮空氣1-4-6.惰性氣體的危害 當(dāng)N,H或者其它惰性氣體濃縮在一個(gè)狹小的空間，人就有可能因?yàn)槿毖醵?/p>

14、窒息 工作場所應(yīng)該有足夠的新鮮空氣 當(dāng)你在狹小空間維護(hù)時(shí)，你應(yīng)該帶上面具1-4-7.高壓氣體的危害警告 高壓氣體會(huì)破壞設(shè)備，并給操作者帶來危害警告 在加壓環(huán)境中，你不應(yīng)該解開或者松開他按照典型的最小停工/掛牌系統(tǒng)程序根據(jù)職業(yè)安裝健康管理Laborpara.1910.147在1.5節(jié)找到本手冊1-4-8.氣瓶操作的災(zāi)害警告 對高壓氣瓶不當(dāng)?shù)奶幚硪讓?dǎo)致未知的危險(xiǎn)警告 當(dāng)人員維護(hù)培訓(xùn)時(shí)，對高壓氣體設(shè)備進(jìn)行保壓測試，是為了增強(qiáng)操作者的安全提醒 為了防止氣瓶跌落，被存的氣瓶應(yīng)放在一個(gè)指定區(qū)域。如果充滿高壓的氣瓶被跌落遭受重撞，閥門被破壞，將使人受到重大傷害提醒 當(dāng)你備存氣瓶時(shí)，應(yīng)將氣瓶用CAP密封保存提

15、醒 當(dāng)您運(yùn)輸氣瓶超過20公斤，應(yīng)使用集裝箱運(yùn)輸提醒 你應(yīng)通過CAP SEALED運(yùn)輸氣瓶 1-4-9.電氣危險(xiǎn)為主系統(tǒng)控制單元供電，代表電力部分說明書應(yīng)遵循系統(tǒng)的規(guī)格要求一般來說從UPS供應(yīng)穩(wěn)壓電源為AC220伏電壓按照典型的最小停工/掛牌系統(tǒng)程序由職業(yè)安全健康管理Laborpara.1910.147在本手冊1.5節(jié)找1-4-10.清除氣體回流的危害警告 因?yàn)榍宄龤怏w為低壓，你應(yīng)該使高壓氣體在氣瓶內(nèi)不倒流通過在設(shè)備上安裝單向閥，防止氣體倒流1-4-11.噪音注意 系統(tǒng)運(yùn)行82db以下1-5.安全措施當(dāng)此系統(tǒng)通過各種不同的安全措施被保護(hù)包含互鎖裝置，為確保設(shè)備安全運(yùn)行，以下基本安全預(yù)防措施需要落

16、實(shí)危險(xiǎn)遵從以下系統(tǒng)指示操作后，如果不符合以下指示可能導(dǎo)致身體受傷或危險(xiǎn)事故的發(fā)生1. 操作運(yùn)行前，請仔細(xì)閱讀和理解本手冊2. 在維修過程中，運(yùn)行設(shè)備前，注意設(shè)備附近正在工作的人員3. 在使用適當(dāng)工具時(shí)，嚴(yán)格遵守流程4. 穿適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)裝備5. 不單獨(dú)操作，在運(yùn)行時(shí)操作時(shí)，確保其他人員能明顯或清洗的條件作業(yè)人員聲音6. 記住緊急通道和避難所7. 確保任何繁重的貨物是由兩個(gè)或兩個(gè)以上的人進(jìn)行8. 工作以后，檢查所有零件和螺絲將返回到之前的工作地方9. 當(dāng)生病或醉酒后，禁止操作，以免意外事故發(fā)生10. 當(dāng)維修手冊中沒有提到的發(fā)生時(shí)，禁止操作1-5-2.安全互鎖裝置系統(tǒng)1-5-2-1.互鎖裝置當(dāng)系統(tǒng)發(fā)生

17、異常時(shí)，該系統(tǒng)通過互鎖裝置提供保護(hù)，以致使損失降到最低程度不要禁用或更改任何一個(gè)互鎖裝置當(dāng)一個(gè)互鎖裝置被禁用，對于此系統(tǒng)的部分或者整個(gè)系統(tǒng)的功能都是不正常的。（不用互鎖裝置操作類型和引發(fā)異常檢測都是同的，請參考下頁的互鎖裝置）解決方法是激活互鎖裝置，然后進(jìn)行適當(dāng)?shù)幕謴?fù)操作 危險(xiǎn)嘗試安全互鎖裝置的重寫不僅損害系統(tǒng)而且非常危險(xiǎn)，只有經(jīng)過培訓(xùn)的工程師或 維修工作人員被允許暫時(shí)屏蔽的安全互鎖裝置工作系統(tǒng)運(yùn)行前，依照安全互鎖裝置清單檢查互鎖裝置正常運(yùn)行1-5-2.聯(lián)鎖清單聯(lián)鎖類型檢測方式警告信息輸入信號(hào)原因狀態(tài)備注陳列蜂鳴器空氣閥緊急開關(guān)緊急開關(guān)緊急開關(guān)緊急開關(guān)被按下00關(guān)閉標(biāo)準(zhǔn)安全連鎖裝置排氣開關(guān)排氣

18、出錯(cuò)當(dāng)排氣比設(shè)定值低時(shí)開始運(yùn)行00警報(bào)標(biāo)準(zhǔn)火災(zāi)檢測高溫警報(bào)由于在系統(tǒng)內(nèi)部有火災(zāi)探測器00關(guān)閉參考操作手冊11高溫檢測高溫傳感器警報(bào)由于在系統(tǒng)內(nèi)部有高溫探測器00關(guān)閉煙霧檢測煙霧傳感器警報(bào)由于在系統(tǒng)內(nèi)部有煙霧探測器00關(guān)閉N/A氣體檢測泄露警報(bào)由于在系統(tǒng)內(nèi)部氣體泄漏00關(guān)閉參考操作手冊11超流量開關(guān)超流量開關(guān)(2)出錯(cuò)由于系統(tǒng)運(yùn)行瞬時(shí)超流量00警報(bào)參考操作手冊11同軸開關(guān)同軸開關(guān)開由于系統(tǒng)內(nèi)部具有同軸開關(guān)檢測00關(guān)閉N/A安全警報(bào)壓縮壓力開關(guān)真空低警報(bào)由于氮?dú)獗仍O(shè)定壓力低00警報(bào)標(biāo)準(zhǔn)縱向壓力開關(guān)縱向消除出錯(cuò)在縱向控制壓力變低00警報(bào)標(biāo)準(zhǔn)管路加熱器及RTD傳感器加熱器高溫警報(bào)由于管路加熱器溫度比設(shè)

19、定值高00警報(bào)參考操作手冊11加熱器低溫警報(bào)由于管路加熱器溫度比設(shè)定值低00警報(bào)參考操作手冊11加熱器A(B)出錯(cuò)RTD傳感器不正常00警報(bào)參考操作手冊11氣體檢測泄露檢測警報(bào)系統(tǒng)內(nèi)存具有氣體泄漏檢測00警報(bào)參考操作手冊11外部信號(hào)洗滌塔出錯(cuò)外部輸入終端部正常00警報(bào)N/A聯(lián)鎖類型檢測方式警告信息輸入信號(hào)原因狀態(tài)備注陳列蜂鳴器空氣閥吹掃&保壓警告重量表W/S 1s low limit穩(wěn)定的配置設(shè)定值變成了汽缸內(nèi)部氣體存在的重量值00參考操作手冊11W/S 2s low limit壓力傳感器(PT1)1s low limit穩(wěn)定的配置設(shè)定值變成了系統(tǒng)內(nèi)部的穩(wěn)定壓力值00(PT2)2s l

20、ow limit(PT3)1s low limit00(PT3)2s low limit(PT1)1s high limit00(PT1)2s high limit關(guān)閉質(zhì)量表&壓力傳感器Cylinder change fail當(dāng)自動(dòng)更換氣瓶后發(fā)生的00Cylinder changeA<->BPLC&觸摸屏Force Change由于臨時(shí)停工，停止或強(qiáng)制改變00Process Pause StopProcess Stop00系統(tǒng)警告壓力傳感器&PLCRemain Gas Error由于管道中存在殘余氣體Line Vaccum Error由于正空未建立00Lin

21、e Error由于正空未建立N2 Error吹掃 N2值比設(shè)定值低00L/C He Error在氣體保壓檢測時(shí)比配置設(shè)定值低Negative L/C Error在正壓保壓時(shí)出錯(cuò)00Positive L/C Error In在正保壓時(shí)出錯(cuò)PLCPLC CPU Memory L/C Error由于PLC內(nèi)存溢出00PLC Battery Low L/C Error由于PLC電池電量低Mementery Power off緊急停止開關(guān)被按下00關(guān)閉Ars PLC Fail由于PLC內(nèi)存溢出或者無輸入信號(hào)1-6.緊急停止開關(guān)本節(jié)介紹緊急停止開關(guān)及其重要作用，緊急停止和遠(yuǎn)程關(guān)閉有毒氣體.一旦有人按下其中

22、一個(gè)緊急開關(guān)主要電源和所有氣體閥門全部被關(guān)閉注意：積極開關(guān)盒互鎖裝置按下復(fù)位開關(guān)后重新運(yùn)行. 警告：不要再非緊急情況下使用緊急開關(guān)，這種嘗試對設(shè)備和系統(tǒng)是有損害的！1.6.1.緊急停止開關(guān)位置緊急停止開關(guān)系統(tǒng)分布在以下地點(diǎn)，當(dāng)你正在系統(tǒng)前工作，按下靠你最近的緊急開關(guān) 1-6-2.緊急停止開關(guān)設(shè)計(jì)緊急停止開關(guān)具有下述功能和作用緊急停止電路是一個(gè)獨(dú)立的電路.一旦何一個(gè)緊急停止開關(guān)被按下時(shí)，所有空氣閥關(guān)閉一旦何一個(gè)緊急停止開關(guān)被按下時(shí)，開關(guān)的接觸點(diǎn)斷開恢復(fù)緊急停止的情況下，順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)開關(guān)復(fù)位.這種復(fù)位使得系統(tǒng)重新啟動(dòng)1-6-3.恢復(fù)緊急停止開關(guān)危險(xiǎn)：在緊急停止開關(guān)恢復(fù)時(shí)，確認(rèn)系統(tǒng)無任何人操作此外

23、，在系統(tǒng)重新啟動(dòng)前，請確保沒有任何工具或系統(tǒng)以外的物品存在，安全模塊啟動(dòng)，該系統(tǒng)才能安全運(yùn)行危險(xiǎn)：只有經(jīng)過訓(xùn)練的人員才可以從緊急停止中復(fù)位系統(tǒng)，客戶要求任何人或者工作附近的人都完全知道后，緊急停止開關(guān)才能恢復(fù)安全生產(chǎn)按順時(shí)針方向旋轉(zhuǎn)緊急開關(guān)復(fù)位后，電源重新啟動(dòng)然后電源啟動(dòng)后，緊急停止開關(guān)按鈕突起1-6-4.緊急停止開關(guān)演示當(dāng)在氣體支架發(fā)生緊急情況時(shí)，按下緊急停止按鈕，此時(shí)系統(tǒng)所有閥門關(guān)閉，停止氣體供應(yīng)。此時(shí)屏幕上顯示緊急狀態(tài)，并且信號(hào)燈和蜂鳴器同時(shí)警告。通過硬寫入來確保緊急開關(guān)的功能。1-7.安全聯(lián)鎖裝置注意：僅當(dāng)你把緊急停止開關(guān)或安全連鎖裝置復(fù)位后，這系統(tǒng)被再次運(yùn)行。1-7-1.門聯(lián)鎖控制有

24、控制門被打開，門聯(lián)鎖控制則切斷電源1-7-2.火災(zāi)傳感器定義：此裝置時(shí)為了通過警告和連續(xù)的步驟防止大災(zāi)難的產(chǎn)生，如果是那樣的話，在氣柜中易燃?xì)怏w，爆炸性氣體的泄露或者其它原因?qū)е掳l(fā)生火災(zāi)工作原理:原理是用超聲波檢測特定頻段的光波的信號(hào)使用：安裝支架內(nèi)部的頂部，例如易燃?xì)怏w，爆炸性氣體導(dǎo)致警報(bào)或者聯(lián)動(dòng)自動(dòng)停止被安裝在如易燃?xì)怏w，爆炸性氣體的特殊氣體的氣體支架上部里面使用，當(dāng)檢測溫度升高，則轉(zhuǎn)換成電信號(hào)去控制發(fā)出警報(bào)并且緊急投入自動(dòng)執(zhí)行一系列行動(dòng)1-7-4.氣體泄漏探測器定義：該器件在大氣中檢測到的存量超過標(biāo)準(zhǔn)值并警告信號(hào)報(bào)警或氣體檢測報(bào)告工作原理在大氣中測量部分超過的特定氣體是在傳感器校準(zhǔn)完成后

25、通過特定氣體與大氣之間的化學(xué)反應(yīng)。您可以指定的標(biāo)準(zhǔn)值做出警報(bào)，如果被檢測氣體比配置設(shè)定值更高則發(fā)出電子信號(hào)，使輸出報(bào)警信號(hào)JEIL氣體架配備端口（選配），可以收到這些警告信號(hào)并在收到預(yù)警信號(hào)的事件發(fā)生供應(yīng)中斷和報(bào)警功能或其它設(shè)備的警告通知.使用：被安裝在專門指定的領(lǐng)域（氣體架，氣體室等），以通過檢測防止有毒氣體泄露損害人，貴重物品.1-7-5.閥門快門定義：自動(dòng)鎖定裝置被安裝在汽缸頂部在處于氣體準(zhǔn)備供應(yīng)狀態(tài)或者氣體供應(yīng)時(shí)在特定的錯(cuò)誤或緊急裝置設(shè)備鎖自動(dòng)鎖閉使用：被直接安裝在有毒，易爆缸蓋，和腐蝕性氣體.當(dāng)特性錯(cuò)誤和緊急在氣體支架發(fā)生，這一個(gè)裝置避免對人們和日用品的傷害和從汽缸蓋自動(dòng)鎖定不斷惡化

26、的狀況.1-7-6.自動(dòng)控制定義：這個(gè)裝置時(shí)程序控制，防止操作員未處理而開啟貨柜更換易爆性氣體或者劇毒性氣體.工作原理：裝置在空氣中運(yùn)行，空氣供應(yīng)被電磁閥控制這個(gè)裝置只能由操作者拿六角螺母連接器的圓筒容器斷開.使用：被安裝在具有特別管理以防止意外發(fā)生的氣體，這讓操作者斷開后，直至調(diào)節(jié)水平1-7-7.噴灑器定義：系統(tǒng)防止因火災(zāi)或者其它錯(cuò)誤造成溫度超過72額外事故，通過噴漆機(jī)以防意外工作原理：當(dāng)溫度升高時(shí)，噴灑器運(yùn)行通過高壓噴嘴噴水使用：被安裝在支架頂部，當(dāng)檢測到熱源對氣瓶搖動(dòng)噴水1-7-8.同軸保溫套檢漏儀定義：裝置停止提供處理氣體或發(fā)送電信號(hào)，當(dāng)泄露再次在分流處理時(shí)出現(xiàn)探測器檢測泄露.工作原理

27、：裝置在高壓火低壓相對探測器壓了一半時(shí)產(chǎn)生電信號(hào)運(yùn)行使用：氣體用雙管覆蓋是因?yàn)橛卸静⑶椅ｋU(xiǎn)2.前言2-1.氣柜的作用2-2.天然氣的應(yīng)用2-1.系統(tǒng)的作用該氣體柜是一個(gè)在安全情況下提供高純無污染的氣體，為半導(dǎo)體制程所需高純氣體，調(diào)整氣體的具體壓力是在高壓力或者發(fā)送到被控VMB/P（閥組盒/組）或者為制程裝置直接提供而被用于晶片制造.VMB/P允許一系列柜臺(tái)裝置布高純度氣體被從氣柜提供并發(fā)送到不同的設(shè)備.隨著半導(dǎo)體技術(shù)的日益提高，制程需要的是得到所需純度的高純度氣體，該裝置盡可能的降低其中的污染并使之降到最低純度.2-2.氣體的應(yīng)用注釋：C：腐蝕性F：可燃性O(shè)：氧化性T：有毒性P：易燃性I：惰性

28、警告：對于危險(xiǎn)氣體因標(biāo)明“YES”，你應(yīng)該參考MSDS報(bào)告，準(zhǔn)備各種個(gè)人防護(hù)用品.警告：你應(yīng)當(dāng)根據(jù)氣體類型對個(gè)人防護(hù)設(shè)備進(jìn)行分類（依據(jù)1.安全章節(jié)1-3個(gè)人防護(hù)設(shè)備）3.制造商名及地址3-1.名稱3-2.地址3-3.銘牌3.制造商名稱及地址如全面的半導(dǎo)體設(shè)備制造商，這個(gè)系統(tǒng)目前正在生產(chǎn)和提供氣體供應(yīng)團(tuán)隊(duì).因制造設(shè)備被JELT通過一系列安全測試，所以提供高質(zhì)量并為高新技術(shù)部門制造高性能產(chǎn)品。3-1.名稱Jeil Eng Co.,Ltd.3-2.詳細(xì)地址FACTORY :119-1, Deokcheon-Ri, Paltan-Myeon, Hwaseong-Si, Kyonggi-Do, Kore

29、aTel : +81-31-350-9777 Fax : +81-31-350-97783-3.銘牌（立體式氣柜）4.氣柜介紹4-1.外觀介紹4-1-1.控制部分4-1-2.多管路概述4-1-3.部件名稱列表4-1-4.部件介紹4-2說明書4-2-1.型號(hào)4-2-2.氣柜外觀4.系統(tǒng)介紹4-1.外觀介紹下圖是氣柜外貌，機(jī)身構(gòu)造和控制.內(nèi)部鏈接面板和氣瓶，上面鏈接應(yīng)用面板的控制.通常，上部控制可被組建為第2章第1節(jié)4-1-1.控制部分Main Power : 220V, 1, 50/60Hz, 5A Heater : 15APLC : N / ATouch Screen : N / APower

30、 Supply : S8VM-10024C (Omron)4-1-2.多管路概述4-1-3.部件名稱列表4-1-4.部件介紹1.AV1A,AV1B：吹掃氣體隔離閥此閥為在更換氣瓶前N2吹掃2. AV2A,AV2B：制程氣體隔離閥此閥為氣瓶供氣第一個(gè)控制閥.尤其在吹掃期間內(nèi)包吃吹掃3. MV3A,MV3B：制程氣體輸送手動(dòng)隔離閥此閥通過調(diào)節(jié)后自動(dòng)傳送提供制程氣體，因此，此閥的設(shè)計(jì)，對氣瓶的交換過程沒有影響.4. MV4A,MV4B：制程氣體輸送手動(dòng)排氣閥此閥為調(diào)節(jié)后制程氣體排氣，其目的是黨壓力超過了標(biāo)準(zhǔn)壓力值使控制器自動(dòng)排出.5.MV5AMV5B：工藝氣體供應(yīng)手動(dòng)排氣閥門.此閥用于氣瓶供氣或者N

31、2吹掃.此閥用于“制程氣體保壓檢查”，和“凈化N2保壓檢查”可中斷的排氣管連接6.MV6：保壓測試此閥用于系統(tǒng)更換氣瓶后保壓檢查在保壓檢查時(shí)通過系統(tǒng)的正常N2壓力規(guī)格執(zhí)行“保壓檢查”7.MV7：吹掃氣體循環(huán)閥此閥是在更換氣瓶前用N2吹掃8.MV8：真空建立閥門此閥通過真空發(fā)生器提供氮?dú)庹{(diào)節(jié)9.MV9：吹掃氣體流量閥在換瓶，此閥的安裝以防腐蝕和污染里面的工具,排出受污染的空氣并維持免使外部空氣進(jìn)入。10.PT1A,PT1B：壓力傳感器此閥起到了重要作用，通過檢查并讀出在鋼瓶的氣體交換時(shí)的傳送氣體實(shí)際壓力，當(dāng)容器壓力比自動(dòng)開關(guān)值小時(shí)通過電信號(hào)自動(dòng)更換鋼瓶.11. PT3A,PT3B：壓力傳感器此裝

32、置通過檢測氣體傳送實(shí)際壓力，當(dāng)實(shí)際壓力比設(shè)定壓力小時(shí)進(jìn)行調(diào)節(jié)12.PT4：真空壓力傳感器在更換氣瓶時(shí)此裝置在開啟制程管前能允許實(shí)際真空管在可使用的真空13.REG1A,REG1B：調(diào)節(jié)此裝置允許調(diào)節(jié)高壓，通過調(diào)節(jié)，從氣瓶提供需要的壓力14.VG：真空發(fā)生器改設(shè)備用于更換設(shè)備氣瓶時(shí)吹掃管道，允許通過“venturi的原則”建立管道內(nèi)的真空過程15.CV1：低吹掃N2單向閥該設(shè)備可用于N2氣體對“系統(tǒng)壓力保壓檢查時(shí)”，防止回流16.CV2A,CV2B：吹掃N2單向閥該設(shè)備在吹掃入口，可用于在吹掃狀態(tài)時(shí)防止自控氣體回流，防止N2反響流動(dòng)引起污染和事故17.CV3A,CV3B：傳遞排氣單向閥該設(shè)備可用

33、于在“吹掃或排氣時(shí)”防止回流，其中裝載單向閥后，以免造成污染氣體反響流動(dòng)的污染.18.CV5：venturi N2單向閥該設(shè)備可用于“排氣時(shí)”防止回流道制程氣體里，在venturi N2入口安裝，防止N2反向流動(dòng)引起污染和事故19.LF1A,LF1B：過濾該設(shè)備用于過濾在更換氣瓶時(shí)產(chǎn)生的粒子，以防止在更換氣瓶時(shí)氣管進(jìn)口產(chǎn)生比直徑0.5 µm大的顆粒20.LF2：終端過濾器此設(shè)備用于清除閥門操作，調(diào)整時(shí)，氣管中的流動(dòng)粒子和清除安裝其他部件產(chǎn)生的達(dá)0.01µm的小顆粒21.MV3A,MV3B：制程氣體輸送手動(dòng)分離閥此設(shè)備安裝后AV3A AV3B閥給最后的氣動(dòng)供應(yīng)，為該設(shè)備的手動(dòng)

34、操作部分.因此是設(shè)備維護(hù)時(shí)出于雙重安全考慮的設(shè)計(jì)22.MG：抽風(fēng)表你應(yīng)該對泄露的氣體（泄露氣體可能發(fā)生）快速排漏并在任何時(shí)刻對柜內(nèi)提供真空這是現(xiàn)實(shí)內(nèi)部真空而無需打開柜門的真空計(jì)， 23.MD：手動(dòng)調(diào)節(jié)閥你應(yīng)該對泄露的氣體（泄漏氣體可能發(fā)生）快速排漏，并保持柜內(nèi)提供真空.此組件與排氣管連接的擋板是能夠控制真空量4-2.說明書本章提供解釋技術(shù)指標(biāo)氣柜的特點(diǎn)下表為安排氣柜的規(guī)范.下表設(shè)置氣柜后安排所需的設(shè)備規(guī)范4-2-1.型號(hào)這種安全的氣體是JEIL自己標(biāo)記作為產(chǎn)品名稱，JEIL被貼在氣柜或者閥門管道盒、面板上JC800-M-0003 : All Manual Type(Display &

35、Alarm only, No control)02 : SemiAuto Controller With PLC01 : PLC Touch Auto Type Controller4-2-2.系統(tǒng)的外觀氣柜具有下述特性和功能，高安全系數(shù)的系統(tǒng).*控制器-能夠使用PLC構(gòu)建聯(lián)鎖和盡量減少操作者的失誤-無操作人員能夠自動(dòng)處理和手動(dòng)操作-具有自動(dòng)吹掃和排氣的功能-使用PLC的GMS可以在辦公室監(jiān)視氣柜-觸摸屏使用簡單-通過觸摸屏現(xiàn)實(shí)消息密碼安全科技安全驗(yàn)收*實(shí)用工具-吹掃，排氣，自動(dòng)更換時(shí)由程序自動(dòng)操作-能夠通過壓力傳感器確定氣壓，報(bào)警壓力出錯(cuò)警報(bào)并通過PLC關(guān)閉相關(guān)配置-使用AV9能夠盡量減少管

36、內(nèi)污染（Bleed Valve）-當(dāng)氣體超過流量時(shí)，通過過流量開關(guān)自動(dòng)停止工作-通過調(diào)節(jié)器使汽缸壓力變小-過濾器會(huì)移除粒子-通過凈化器能夠增加氣體純度*案例-附件：你必須使用以防止易燃?xì)怏w腐蝕性氣體由于存在延時(shí)問題，你必須使用“開放型”*應(yīng)用氣體-能夠應(yīng)用于每種惰性，腐蝕，有毒氣體的氣等等*選擇可以通過設(shè)置快門閥傳感器，高溫傳感器，檢漏火災(zāi)傳感器，氣體特性煙霧傳感器，提高安全水平4-2-2-1.零部件名稱4-2-2-2.部件說明*塔燈：顯示制程條件的系統(tǒng)，綠燈上出于正常狀態(tài)，并且通過肉眼確認(rèn)報(bào)警和緊急狀態(tài)的紅燈。*觸摸面板：改設(shè)備可以通過手指觸摸觸摸屏操作的系統(tǒng)只收過教育的指定操作人員可觸摸面

37、板*排氣開關(guān)&表：這是用肉眼確認(rèn)是否排氣系統(tǒng)的設(shè)備*電貼紙：對主要危險(xiǎn)的帶電控制系統(tǒng)通過標(biāo)簽警示*窗口鎖定：您可以通過窗口進(jìn)行簡單處理.當(dāng)您使用完成并關(guān)閉操作.裝置則出于鎖定狀態(tài)*顏色帶：根據(jù)氣體的特性將連接分成紅、黃、綠*銘牌：貼在系統(tǒng)表面的標(biāo)識(shí)牌是合格品*門柄：當(dāng)你完成氣瓶更換供應(yīng)，打開門后更換.剎車裝置被按好后關(guān)門*控制面板：關(guān)聯(lián)組件和系統(tǒng)主要控制相連接*氣體探測器：當(dāng)對人體有害氣體泄漏時(shí)，能夠通過檢測并發(fā)出通知*控制鎖：鎖定裝置時(shí)除了讓指定的人打開外，其他人禁止打開*型號(hào)牌： 歷史系統(tǒng)的管理*安全玻璃：安裝是為了當(dāng)門關(guān)閉時(shí)能明白內(nèi)部情況*安全工具貼紙：連接告知當(dāng)系統(tǒng)錯(cuò)誤發(fā)生時(shí)采

38、取適當(dāng)?shù)谋Ｗo(hù)措施*氣體名稱牌：為了區(qū)別詞系統(tǒng)供應(yīng)氣體5.安裝5-1.安裝指導(dǎo)5-1-1.安裝安全5-1-2.氣柜的移動(dòng)5-1-3.系統(tǒng)安裝5-2.機(jī)械安裝5-2-1.安裝孔位置5-2-2.外形尺寸5-2-3.管道連接5-3.電氣安裝5-3-1.環(huán)境條件范圍5-3-2.電力連接5-4.應(yīng)用條件5-4-1.管口5-4-2.丘線5-4-3.制程管5-4-4.吹掃管5-4-5.充氣供應(yīng)5-4-6.排氣柜系統(tǒng)需求5-4-7.N2防泄管5-4-8.城市供水5-5.布置應(yīng)用&移除5-6.安裝后檢查列表5.安裝5-1.安裝說明5-1-1.安裝安全警告你絕不能在系統(tǒng)周圍堆放易燃材料警告應(yīng)該在對于危害柜體

39、中安裝氣體檢測器警告應(yīng)該在系統(tǒng)所在位置安裝滅火裝置和防護(hù)裝置警告應(yīng)該對特有氣體連接排風(fēng)系統(tǒng)提醒系統(tǒng)允許溫度范圍055提醒系統(tǒng)允許濕度范圍10-90%RH提醒系統(tǒng)允許脈沖57HZ內(nèi)提醒系統(tǒng)允許海拔高度在2000M提醒系統(tǒng)不能被碰撞提醒系統(tǒng)應(yīng)該從UPS提供穩(wěn)定電源（220AC,50/60HZ,3A）5-1-2.氣柜的移動(dòng)注意在搬運(yùn)系統(tǒng)時(shí)并不能過度撞擊并用額外安全搬運(yùn)尤其是，您應(yīng)該謹(jǐn)慎，并使用額外的連接以免設(shè)備掉下來5-1-3.系統(tǒng)安裝1.在安裝時(shí)，為了不影響側(cè)面和正面的氣體流動(dòng)應(yīng)該在側(cè)面和正面留適當(dāng)?shù)目臻g2.為不妨礙人們來往應(yīng)該在前面留足夠的空間3.為兩部妨礙系統(tǒng)正常工作應(yīng)該在系統(tǒng)上方留足夠的空間

40、4.系統(tǒng)應(yīng)安裝在氣體室，當(dāng)系統(tǒng)發(fā)生事故時(shí)以便立即逃離5.第二管路應(yīng)并行安裝，而絕不能交叉安裝6.在系統(tǒng)安裝時(shí)，在同一地方應(yīng)該考慮整體環(huán)境7.通過調(diào)節(jié)電壓和電流，使之能供給控制系統(tǒng)5-2.機(jī)械安裝5-2-1.安裝孔位置注意假如你擔(dān)任此系統(tǒng)安裝，你應(yīng)該使用固定栓固定，用沖擊鉆在地面打孔減少晃動(dòng).部分孔能被修飾，但是你應(yīng)該分那四等分并用固定栓固定5-2-2.外形尺寸5-2-3.管路連接所有管路系統(tǒng)包括通風(fēng)管必須按照相關(guān)的守則或者條例做保壓測試業(yè)主遵守的職責(zé)請參閱警告使用前操作者應(yīng)重新確認(rèn)連接管是否被接好5-3.電氣安裝5-3-1.環(huán)境條件范圍氣柜使用電源應(yīng)該由UPS提供適當(dāng)?shù)碾娫垂悍秶鷳?yīng)該在220

41、VAC 50/60HZ,對每個(gè)控制全載時(shí)的額定消耗電流大約3A更多詳細(xì)說明請聯(lián)系供應(yīng)商，對各個(gè)控制電源提供特殊電源在添加加熱器或添加特殊要求時(shí)，功耗應(yīng)分開估計(jì)加熱器供應(yīng)電源為220VAC 50/60HZ,對每個(gè)控制全載時(shí)的額定消耗電流大約25A5-3-2.電力連接在旗鼓安裝場所，電氣布線應(yīng)該由合格電工完成電源配線提供的大小，由所需電壓和額定電流決定5-4.應(yīng)用條件在更換氣瓶或其他部件前后，需要通過真空泵或者真空發(fā)生器把管內(nèi)殘留氣體排出柜內(nèi)中的管一般使用1/4不銹鋼管管口必須和清潔后通過排風(fēng)管的清潔器相連，應(yīng)使用每種的氣體洗滌器正確連接并連接時(shí)請參閱其公司你應(yīng)該依照各種氣體同合適的清潔器相連，當(dāng)你連接時(shí)參考清潔器資料5-4-2.制程管連接從氣柜出來的制程氣管用管路工具或者氣柜壓力應(yīng)該可調(diào)，氣柜和工具要求（大約80-100psi）和1/4不銹鋼管連接5-4-3.氣動(dòng)供應(yīng)G-N2的供應(yīng)是為了由于氣體鬼的氣動(dòng)閥運(yùn)行供應(yīng)壓力可被調(diào)節(jié)到大約80Psi, 1/4不銹鋼管，通過在氣柜上方的特殊閥完成連接，通過內(nèi)部調(diào)動(dòng)或者壓力開關(guān)，內(nèi)部文雅供給螺旋管閥或運(yùn)行氣動(dòng)閥.5-4-4.氣柜排氣系統(tǒng)要求排風(fēng)的作用是為了排出由氣體的微露引起的氣體煙霧，或者由