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1、微電概論 綱要 唐睿第一章 緒論1. 電子工業(yè)增長(zhǎng)率一般為GDP增長(zhǎng)率的3倍,而集成電路工業(yè)增長(zhǎng)率又是電子工業(yè)增長(zhǎng)率的2倍。幾十年來(lái),世界集成電路業(yè)的產(chǎn)值以大于13%,集成度以46%的年增長(zhǎng)率持續(xù)發(fā)展。2. 集成電路的定義 (P7)3. 微電子學(xué)的作用 (P9)4. 集成電路的分類:(1)按器件結(jié)構(gòu)分類,以及各自優(yōu)缺點(diǎn)(3種) (2)按集成電路規(guī)模分類(6種) (3)按結(jié)構(gòu)形式分類(2種) (4)按電路功能分類(3種) (P9)5. 集成電路分類總結(jié)圖 (P12)6. 微電子學(xué)的主要研究什么,以什么為目的,特點(diǎn)是什么 (P13)7. 微電子技術(shù)的定義及包括的內(nèi)容(四種)第二章半導(dǎo)體物理和器件物

2、理基礎(chǔ) 1.半導(dǎo)體器件的定義和分類(兩種) 2. 半導(dǎo)體的主要特點(diǎn)(四種) (P15) 3. 硅、鍺、砷化鎵晶體中共價(jià)鍵上的電子擺脫束縛所需能量 (P16) 4. 電子、空穴、載流子 (P17) 多子、少子 (P27) 5. N型、P型半導(dǎo)體的概念 (P17) 6. 遷移率是反映半導(dǎo)體載流子導(dǎo)電能力的重要參數(shù),同樣的參雜濃度,載流子的遷移率越大,半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率越高,遷移率的大小不僅關(guān)系著導(dǎo)電能力的強(qiáng)弱,而且還直接決定著載流子運(yùn)動(dòng)(飄逸和擴(kuò)散)的快慢。它直接影響了半導(dǎo)體器件的工作速度。遷移率大小與參雜濃度和溫度有關(guān)。 7.載流子的定義,運(yùn)動(dòng)形式(三種)和散射形式(兩種) 8.pn節(jié)的定義、特

3、性 突變節(jié)與緩變節(jié) PN節(jié)的單向?qū)щ娦?平衡PN節(jié) (P33) 9.PN節(jié)的擊穿及原理 (P41) 10.三極管(雙極晶體管) (P43) 11.MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管的結(jié)構(gòu)(圖)、工作原理、別稱 (P55) 12MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管的種類,四種MOSFET的截面圖及其轉(zhuǎn)移和輸出特性曲線(P63) 13.反相器和存儲(chǔ)器第三章 1.評(píng)價(jià)集成電路性能的主要方面及其個(gè)自定義和作用 (P66) 2.串、與、并、或及其電路圖的畫法 3.IC的制造簡(jiǎn)要流程(四步) 第四章 1.光刻三要素 光刻的工藝流程 (P89) 2正負(fù)膠的工作原理 (P95) 3.幾種常見的光刻方法及其優(yōu)缺點(diǎn)(根據(jù)曝光方法的不同分為三類)

4、超細(xì)線條光刻技術(shù)的分類 (四類) (P97) 4刻蝕技術(shù)的種類及各自的優(yōu)缺點(diǎn) (P99)氧化硅層的主要作用(六種) (P101) (P101) 7.二氧化硅的制備方法及原理(四種) (P102)8化學(xué)氣相淀積方法(三種) (P109)9.參雜的方法(2種)的步驟(六步) (P112) 10.金屬膜的形成方法(2種) 少數(shù)金屬可采用CVD方法淀積 (P113) 11.集成電路工藝小結(jié) (P122)第五章 1.摩爾定律 (P124)基于分層分級(jí)設(shè)計(jì)思想的設(shè)計(jì)過程(四個(gè)階段) 從域的角度分(三個(gè)方面) (P125)公式及含義 (P134) 4.版圖的檢查與驗(yàn)證(3布) (P133)集成電路的兩種設(shè)計(jì)規(guī)則 (P135) 第七章1.SOC指什么 (P215)第八章 1.光電導(dǎo)體的定義 光電導(dǎo)的基本工作原理 2光伏效應(yīng) 3.光電效應(yīng)(2類) 光電效應(yīng)和光伏效應(yīng)屬于內(nèi)光電效應(yīng) 光生載流子第九章 1.MEMS指什么 (P267) 2.廣義上MEMS的定義 MEMS的應(yīng)用 (P267) 3.幾種重要的MEMS器件(6種) (P270)(4種) (P289) 5.制作MEMS器件的3種重要技術(shù) (P28

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