YMS-50D半導體泵浦激光劃片機說明書

1、 YMSYMS50D50D 半導體側泵激光劃片機半導體側泵激光劃片機 使用說明使用說明珠海市粵茂激光設備工程有限公司珠海市粵茂激光設備工程有限公司 版本號：V1.0 公司名稱：珠海市粵茂激光設備工程有限公司地 址：珠海市南屏科技工業(yè)園屏北二路 1 號郵 編：519060電 話8682610傳 真Http:/E-maill: 前言前言本說明書詳細介紹了 YMS-50D 激光劃片機的安裝，使用方法及相關維護步驟。在你打開包裝安裝并使用本機器以前，請注意以下要項：操作者應具備相關的技術培訓，或有專人指導；本說明書將幫助你了解這部機器并能照章操作

2、；本說明書中包含了很多幫你安全、經濟、因地制宜進行操作的重要提示。如果你能遵循這些提示，不僅可以避免危險事故，降低維修費用，減少停車檢修時間，還可以提高機器的可信度和工作壽命；本說明書中包括工傷預防和環(huán)境保護等事宜，用戶可以根據本國的具體情況補充進去；說明書應存放在機器旁以供隨時查閱；建議每一位與本機器有關的工作人員都要閱讀這本說明書，例如：操作人員。操作人員。包括裝配、排除日常工作故障、清除工作垃圾、保養(yǎng)機器和處理廢料的人員； 維修保養(yǎng)。維修保養(yǎng)。 （包括保養(yǎng)、檢修、維修）人員； 運輸人員運輸人員。除操作指南和用戶所在國對事故預防作出的各項規(guī)定外，操作人員還需遵守公認的安全合理操作原則。YM

3、S-50D 激光劃片機使用說明書 1 目錄目錄一一簡介簡介 .1二主要技術指標二主要技術指標 .2三標志說明三標志說明 .3四控制面板及說明四控制面板及說明 ..控制面板控制面板..控制面板說明控制面板說明.4五五CNCCNC 程序界面說明程序界面說明 ..開關機開關機..加工程序新建與編輯加工程序新建與編輯..直線軌跡快速生成直線軌跡快速生成..加工程序調入加工程序調入..程序備注添加程序備注添加..加工程序運行加工程序運行..試運行試運行.85.8

4、.5.8.參數設置參數設置..手動控制手動控制.0.重復次數重復次數 .1.速度選擇速度選擇 .2.工作臺回零工作臺回零 .3.計時器與記數器計時器與記數器 .4.快捷鍵的使用快捷鍵的使用 .10六冷卻系統(tǒng)六冷卻系統(tǒng) .11七工作環(huán)境及安裝步驟七工作環(huán)境及安裝步驟 ..工作環(huán)境工作環(huán)境..安裝要求安裝要求..安裝步驟安裝步驟..各部件測試步驟各部件測試步驟.12八操作步驟八操作步驟 ..開機順序開

5、機順序..關機順序關機順序..緊急關機緊急關機.14九日常維護九日常維護 .149.1.光學諧振腔光學諧振腔.14十故障現象及排除方法十故障現象及排除方法 .15十一使用注意事項十一使用注意事項 .1711.1.光學系統(tǒng)光學系統(tǒng).17YMS-50D 激光劃片機使用說明書2 11.2.其它其它.17十二附錄十二附錄 .17.數控系統(tǒng)編程說明數控系統(tǒng)編程說明 .17.系統(tǒng)原理及電路圖系統(tǒng)原理及電路圖 .2.單元簡圖及零部件表單元簡圖及零部件表 .3.易損件表易損件表 .33YMS-50D

6、 激光劃片機使用說明書 1 一簡介YMS-50D 型激光劃片機是一種集光、機、電為一體的設備，采用國際上最先進的半導體泵浦激光技術，用波長為 808nm 的半導體激光二極管泵浦 Nd:YAG 晶體，使 YAG 棒產生大量的反轉粒子，在 Q 開關的作用下形成波長為 1064 nm 的脈沖激光束輸出，激光束通過擴束、聚焦，使用 CNC 數控系統(tǒng)控制機器運行。由于 808nm 半導體激光二極管泵浦的使用壽命 20000 H 故本機激光器的工作壽命：3 年。本機具有外觀新穎，結構合理，操作簡便，調制頻率寬，切割速度快，精度高，性能穩(wěn)定等優(yōu)點，適用于太陽能半導體硅片，陶瓷片等材料的切割劃片。YMS-50

7、D 型激光劃片機具有以下特點：使用壽命： 20000 H能耗： 2KW電光轉換效率高： 35%激光輸出模式：基模或多階模功率穩(wěn)定性： 3%維護周期： 3 年工作臺采用精密 X、Y 兩軸電動平移臺，絲桿、導軌、電機均采用進口器件，機座采用襯有鋼板的大理石平臺，具有切割速度快，精度高，剛性高等特點?？刂栖浖捎霉咀灾鏖_發(fā)的切割軟件，自動化程度高，集成性好。整機依照人體工程學原理采用一體化設計，外形美觀、操作方便。重要光學部件均為歐美原裝進口，光路系統(tǒng)采用全密封結構、具有光路預覽和焦點指示功能、為機器長時間連續(xù) 24 小時工作提供了可靠的保障。二主要技術指標 激光器： 半導體泵浦激光器 波長： 1

8、064nm 輸出功率： 50W光束質量： M25kW。若當地電壓不夠穩(wěn)定 , 需安裝穩(wěn)壓器。7.2.2 本機安裝地點及位置的選擇：機器的安裝地點應該選在通風良好、干燥、太陽不能直接照射、不能雨淋、方便管路安裝和接線的地方;機器的四周必須留有足夠的空氣流通和維修保養(yǎng)。.安裝步驟安裝步驟.1打開包裝打開包裝本機所有部件均用特制木箱打包運送至客戶處。安裝之前將機器連同包裝箱運至安裝房間，然后小心注意：注意：本機主機柜及冷水機均必須可靠地接地保護！本機主機柜及冷水機均必須可靠地接地保護！YMS-50D 激光劃片機使用說明書12 拆開外包裝。仔細檢查各部件有無損壞及缺失。若

9、有此類情況，須馬上聯系相應貨運公司并立即通知本公司。檢查完畢后將機器移至需要位置。移動機器時請務必小心，不可使工作臺部分機柜承受巨力（可能導致工作臺部分變形，影響工作臺精度） ，盡量使用叉車等工具。.2連接各部件電源線連接各部件電源線機內端子排按從左至右的順序依次為 L、N、PE、L22、N1、L13、FL、ALC、302、ALO 端子，其中L、N、PE 端子接主電源輸入(220V50Hz)，L22、N1 端子接冷水機電源(冷水機電源電纜棕色線接 L22,藍色線接 N1,黃綠線接 PE)，L13、FL、ALC、302、ALO 接冷水機保護信號線(L13-藍色,FL-綠色,ALC

10、-棕色,302-紅色,ALO-黑色)。主機柜電源通過主機柜后方線孔，連接主電源至機內端子排。本機所需電源線為單相三芯電源線。連接時請按端子排上方的標簽一一對應連接：L，N 及 PE 線。工頻離心風機電源工頻離心風機用于抽取切割硅片或太陽能片所產生的粉塵。安裝離心風機于合適地點，通過電源線連接至工作臺下接線端子排（115，N，PE） 。為防止空氣污染，可在風機的出口處加一個空氣過濾器來凈化所抽取的氣體。.3冷卻系統(tǒng)冷卻系統(tǒng)取出尼龍水管與喉箍、生料帶，用尼龍水管把冷水機與激光機連接起來，效果為不漏水。.4電腦系統(tǒng)電腦系統(tǒng)從包裝箱內取出電腦主機，置于顯示器下電腦柜內。

11、將鍵盤與鼠標放置于鍵盤托盤上的適當位置。連接電腦后部所提供的所有接線至電腦相應接口，包括電腦電源線，顯示器，鍵盤，鼠標以及控制板卡數據線。.5激光系統(tǒng)激光系統(tǒng) 取出設備附件中的聚焦鏡，小心打開包裝。取出時用手拿住外壁，請勿觸碰兩端的鏡面。小心將其安裝于工作臺正上方的導光系統(tǒng)下端。(注:在安裝聚焦鏡時,請盡量戴上乳膠手套,以免弄臟鏡片.).各部件測試步驟各部件測試步驟首先打開外部總電源開關（若輸入電壓來自穩(wěn)壓器，需等穩(wěn)壓器輸出電壓穩(wěn)定才可進行下一步操作） ，合上主機柜右側的空氣開關，整機處于通電狀態(tài)。然后按順序試運行各個部件：.4.1.電腦電腦YMS-

12、50D 激光劃片機使用說明書13 啟動電腦進入 windows 操作系統(tǒng)，若不能正常啟動，需檢查電腦主機內部各主要部件連接情況，例如：顯卡松脫（非集成顯卡） ，內存條松脫等。正常啟動進入 windows 操作系統(tǒng)后，運行 CNC 數控軟件（見第七章） ，若無法啟動并顯示控制卡沒插好，需檢查機箱內運動控制板卡（插于機箱內 PCI 插槽上）的連接情況。若重新插后仍找不到控制卡，可換另一條 PCI 插槽。.4.2.冷卻系統(tǒng)冷卻系統(tǒng)冷卻系統(tǒng)是依靠冷卻水的循環(huán)來帶走激光系統(tǒng)所產生的熱量，一旦循環(huán)水路的某部位漏水，有可能造成電路系統(tǒng)短路，損壞機器。因此，第一次運行本機器之前的冷卻系統(tǒng)試運行極

13、為重要。首先，打開鎖開關，在 CNC 控制軟件中打開冷卻系統(tǒng)（見 5.8 參數設置）,冷水機是否啟動，水壓是否正常（2-3kg/cm） ；若無問題，需肉眼觀察水路各個部位，特別是各水管連接處有無漏水，若有漏水現象發(fā)生，必須停止冷卻系統(tǒng)并對漏水處進行維護。.4.3.離心風機離心風機用手或者紙張蓋住工作臺上方的吸塵管測試吸力，若感覺吸力不夠，可將風機電源風機電源的 A，B 相線交換位置。.4.4.激光系統(tǒng)激光系統(tǒng)打開鎖開關，通過 CNC 控制程序上的“開機”按鈕啟動激光系統(tǒng)（見第五章 CNC 程序界面說明） 。若激光系統(tǒng)不能正常啟動，請馬上聯系粵茂激光粵茂激光以獲得協(xié)助

14、。若啟動正常，可等待數分鐘，冷水機上顯示的實際水溫到達設定溫度.上列所有步驟均檢查無問題，用戶方可開機使用激光進行試切。具體操作步驟見下一章：操作步驟。八操作步驟八操作步驟 .開機順序開機順序8.1.1.在檢查整機線路連接正確的情況下，合上控制柜右側的電源空氣開關，設備處于通電狀態(tài)。8.1.2.打開計算機進入 WINDOS 界面，點擊桌面快捷方式 CNC 圖標或者打開計算機 C 盤 YUEMAO 文件夾，點擊“CUT.EXE”執(zhí)行文件 ，運行 CNC 軟件。注意：注意：操作步驟不可隨意更改或顛倒，否則可能導致設備無法正常運行，嚴操作步驟不可隨意更改或顛倒，否則可能導致設備無法正常

15、運行，嚴重時可能造成設備損壞！重時可能造成設備損壞！YMS-50D 激光劃片機使用說明書14 8.1.3.打開控制面板上的鑰匙開關，控制電路通電，整機處于允許工作狀態(tài)。8.1.4.點擊 CNC 軟件界面上的“開機”按鈕，等待幾十秒后，出現頻率顯示，同時電腦彈出開機成功提示的對話框，表示開機成功。8.1.5.調節(jié)頻率至期望值。勾選程序界面右下方的激光選項，調節(jié)激光電源電流至期望值（緩慢地調高） 。8.1.6.打開控制面板上的吸氣開關（Vacuum）啟動吸塵風機。8.1.7.踩下腳踏開關,暫停吸氣，將工件在工作臺吸盤上放好后,松開腳踏.8.1.8.在程序界面的“文件”下拉框中選擇所需切割程序；8.

16、1.9.通過鍵盤上的四個光標鍵或程序界面上的“”按鈕對工作臺位置進行 X、Y 軸方向的手動調節(jié)，以確定工作臺位置符合該程序運行起始點位置后按下方向按鈕中心的“0”按鈕進行座標清零。 （在工作臺非自動運行情況下，按程序界面的“返回”按鈕，可使工作臺回到調用本程序時第一次手動確認的工作零點。計算機自動記憶下該零點位置。 ）8.1.10. 點擊程序界面上的“運行”按鈕即可運行整個程序進行切割。.關機順序關機順序8.2.1.將電流調節(jié)旋鈕逆時針旋(緩慢地)至最小，按下程序界面上的“關機”按鈕。8.2.2.關“鎖開關” ；拉下控制柜右側的電源總開關。8.2.3.點擊程序界面上的“退出”按鈕

17、或按“X”鍵即可退出 CNC 軟件，然后關閉計算機。.緊急關機緊急關機在緊急情況發(fā)生時需要緊急關機。此時可按下面板上的緊急按鈕（見第四章控制面板及說明） ，立即切斷激光器電源，關閉激光輸出。問題解決后，順時針旋轉急停按鈕使其彈出。否則無法再次啟動機器。九日常維護九日常維護激光是集光、機、電技術為一體的新興學科，其設備精密，操作維護人員必須具有專業(yè)知識和技術。每半年需進行一次日常維護，內容包括檢查介質膜片是否清潔，諧振腔是否失調。9.1. 光學諧振腔光學諧振腔組成光學諧振腔的兩個介質膜片用專門儀器（內調焦望遠鏡、測角儀或二極管激光器）調整，工作時YMS-50D 激光劃片機使用說明書

18、15 兩膜片與模塊中的激光棒端面嚴格平行，因此光學諧振腔調好后，不允許碰動及隨意調動。若不得以需要對光路進行調整，比如更換前鏡、后鏡，可參照以下說明。9.1.1.打開激光器外罩，開機，勾選程序界面上的“激光”選項，關掉 Q 開關驅動器并把電流調至轉換片上可看到綠光為止。 （一般電流調至 11-13A 左右即可出光，切勿一開始就調節(jié)電流超過 15A） 。9.1.2.一只手拿轉換片置于前鏡與擴束鏡之間，另一只手拿細的內六角扳手或其它替代物，插入模片架的調節(jié)孔進行調整。模片架上有三個調節(jié)螺絲，其中，有一邊是兩個螺絲，下面那一個是固定螺絲，上面的螺絲用來上下調節(jié)膜片架，而另一邊的螺絲用于左右調節(jié)。 （

19、由于本激光器產生激光為不可見光，為了觀察激光光束，必須使用轉換片將不可見的激光束轉換為可見的綠光。 ）9.1.3.如果電流 15A 左右時調整無激光輸出，可適當增加電流，以便于調試。調出光后再減小電流至12A，并保證有激光出。9.1.4.調節(jié)時注意轉換片上的綠色光斑，應將其調整到大而圓。同時也要注意通過調整膜片架將綠色光斑調整與紅光同心。為了保證激光器的長時間正常運作，各光學表面必須保持高度清潔，否則激光束會使膜層損壞，影響光學質量甚至導致無激光輸出，因此不要隨意打開激光器外罩以隔絕灰塵進入光路系統(tǒng)。當激光輸出功率下降時（可通過觀察劃片效果得知） ，應首先檢查介質膜片是否清潔，如有污物，可用鏡

20、頭紙或脫脂棉沾清洗液（無水乙醇和乙醚各 50混合液，下同）輕輕擦除，然后再用內調焦望遠鏡或準直儀等儀器檢查諧振腔是否失調。清潔鏡片步驟如下：首先，取出需擦拭的鏡片，將鏡頭紙輕折起來，光滑的一面向外，用左手的食指和拇指卡住鏡片，右手拿住鏡頭紙壓在鏡片上，往一個方向擦拭。千萬不要來回擦。如鏡片太臟，就在鏡頭紙上滴少許清洗液。注意，前后鏡不要同時卸下，先卸下一片擦拭干凈后，裝上調出光，再擦另一片，并調出光。另外，對于聚焦鏡的擦拭要特別注意。工作時聚焦鏡離加工晶片比較近，由于晶片劃片過程中會產生很多灰塵，其中大部分會被風機抽走，但仍會有一小部分吸附在聚焦鏡上，所以要定期對聚焦鏡進行清潔，以免對激光損耗

21、過大，影響劃片質量。擦拭時將聚焦鏡旋出，用上面所述同樣的方法清潔鏡片。十故障現象及排除方法十故障現象及排除方法在使用過程中可能出現的故障現象及排除方法如下表所示：故障分析故障分析故障排除方法故障排除方法現象一：激光電源無法輸出現象一：激光電源無法輸出1、水溫過高，超過溫控器報警的上限輸出，使激光電源無法啟動檢查制冷系統(tǒng)，降低水溫后重新開機2、激光電源與外部電源或者面板的外控線路連接出現故障檢查各部件線路連接YMS-50D 激光劃片機使用說明書16 3、激光電源過流損壞維修或更換激光電源現象二：超過閥值電流無激光輸出現象二：超過閥值電流無激光輸出1、諧振腔光路發(fā)生了偏移重新調整光路2、Q 開關完

22、全關斷Q 驅動器或 Q 開關損壞，更換相應部件3、鏡片裝反鏡片的邊緣部分有明顯顏色的邊線，那么此面就是鍍膜面。鏡片的鍍膜面都是裝向半導體側泵激光模塊的。正確裝好鏡片后重新調光（8.1）現象三：激光很弱劃不了片現象三：激光很弱劃不了片1、焦距沒有調節(jié)到最佳位置調整聚焦鏡焦距2、前后鏡片、聚焦鏡污染嚴重擦拭干凈鏡片（8.1）3、Q 驅動器出現故障，導致無法正常調 Q 而表現功率很低更換 Q 驅動器現象四：硅片容易掰斷、碎片多現象四：硅片容易掰斷、碎片多1、光路沒有調整好重新調整光路（8.1）2、聚焦鏡污染，有灰塵清潔聚焦鏡（8.1）3、焦距調整的不正確切割不同厚度的硅片，焦距要做相應的調整4、激光

23、電源電流參數和 Q 驅動器調 Q 的頻率參數設置的不正確調整合理的參數。Q 驅動器調 Q 的頻率參數大致范圍 1014KHZ。激光電源電流參數根據氪燈的使用情況可做相應的增大5、水溫升高檢查冷卻系統(tǒng)或溫控器現象五：激光電源跳，無激光輸出現象五：激光電源跳，無激光輸出1、水溫過高導致激光電源過熱保護冷水機出故障，請冷水機的專業(yè)人員修理現象六：工作臺不動作或有一軸不動作現象六：工作臺不動作或有一軸不動作1、電機線路斷開檢查線路并重新連接2、電機或者驅動器損壞更換驅動器、電機3、電腦控制板卡松動或損壞重新壓緊板卡，必要時更換板卡4、CNC 控制軟件被意外刪除或破壞重新安裝程序5、編程錯誤檢查已編寫的

24、劃片程序下表為一些正常操作過程中需要注意的事項：序號序號 事項事項不良現象不良現象產生原因產生原因采取措施采取措施YMS-50D 激光劃片機使用說明書17 1循環(huán)水水質變臟產生灰塵污染。每三個月更換一次, 檢查冷卻系統(tǒng)。2激光器結露水溫過低溫控器溫度設置偏低。重新正確設置溫度。十一使用注意事項十一使用注意事項11.1.光學系統(tǒng)光學系統(tǒng)各光學零件表面嚴禁用手、棉紗、硬物觸擦，也嚴禁用嘴對著光元件吹氣，只能用洗耳球吹去灰塵，萬一污染，用長纖維脫脂棉或鏡頭紙沾專用清洗液輕輕擦拭。11.2.其它其它為了保證設備能長期有效的運行，使用過程中每 8 小時停機 20 分鐘，保證設備能有效的休息，防止設備因長

25、時間使用導致機內長期過熱。激光切割設備中光學部件對環(huán)境的要求相對較高，空氣中的濕度、粉塵不能太大，不能有強烈的干擾源和振動源。由于設備工作時產生大量的熱量，所以要保證室內恒溫。設備的安裝條件通常需要保證單獨的封閉工作間，地面要有地面漆或瓷磚，安裝空調。十二附錄十二附錄. 數控系統(tǒng)編程說明數控系統(tǒng)編程說明采用數控方法加工零件，首先必須將被加工零件的工藝順序、運動軌跡工藝參數等按其動作的順序，用數控機床規(guī)定的代碼程序格式編好加工程序，這個過程稱之為程序編制。通常一個加工程序由若干程序段構成，而程序段又是由一條或幾條數控代碼指令組成。以下為在本系統(tǒng)中采用的數控代碼列表：名稱（不分大

26、小寫）名稱（不分大小寫）功能功能格式格式G G 代碼代碼G01直線插補G01 Xa Yb FfG02順時針圓弧插補G02 Xa Yb Id Je FfG03逆時針圓弧插補G03 Xa Yb Id Je FfG90絕對坐標編程方式G90YMS-50D 激光劃片機使用說明書18 G91相對坐標編程方式G91M M 代碼代碼M02程序結束M02M04插入延時M04 tM12開 Q 開關M12M13關 Q 開關M13各代碼的具體說明如下：2.1.1.G G 代碼代碼.G01 (或 G1、 g01、 g1)功能：直線插補格式：G01 Xa Yb Ff說明：由直線的起點向終

27、點作一向量，向量在 X 方向的分量為 a, 在 Y 方向的分量為 b, 所以a、b 是帶符號的（單位：毫米） 。Ff 是可選項，f 為工作臺的運行速度（單位：毫米/分） 。如果在這一條代碼指令前執(zhí)行的代碼指令規(guī)定了速度值，而此時不改動的話，本項可省略。示例 1：G01 X100 Y0 F1000工作臺以 1000mm/min 的速度從(0,0,0)點運動到(100,0,0)點。示例 2：G01 X100 Y100 f2000工作臺以 2000mm/min 的速度從(0,0,0)點運動到(100,100,0)點。.G02 (或 G2、 g02、 g2)功能：順時針圓弧插補。格式：

28、G02 Xa Yb Id Je Ff說明：X、Y、F 三項同 G01。由圓弧的起點向終點作一向量，X 方向向量為 a，Y 方向向量為 b 由圓弧的起點向圓心作一向量，向量在 X 方向的分量為 d，在 Y 方向的分量為 e。示例 1：G02 X0 Y0 I2 J0 F1000工作臺以 1000mm/min 的速度走半徑為 2mm 的整圓。起點坐標為(0，0)，終點與起點重合，所以 x、y 坐標差為(0，0)；圓心坐標為(2，0)，所以從起點到圓心的向量在 x、y 方向的分量I、J 分別為(2，0)。YMS-50D 激光劃片機使用說明書19 1234示例 2：如圖所示，半徑為 R 的圓，起點分別為

29、：1、2、3、4 時，編程如下：G02 X0 Y0 I0 J-R FfG02 X0 Y0 I-R J0 FfG02 X0 Y0 I0 JR FfG02 X0 Y0 IR J0 Ff示例 3：如圖所示，半徑為 R 的 A、B、C、D 弧的編程如下：G02 XR Y-R I0 J-R FfG02 X-R Y-R I-R J0 FfG02 X-R YR I0 JR FfG02 XR YR IR J0 Ff.G03 (或 G3、 g03、 g3)功能：逆時針圓弧插補。格式：同 G02。說明：同 G02。 建議：Ff 參數最好單獨作為一行，放在 G 代碼之前，特別是在子程序中。示例：F2

30、0G01 X100 Y100.G90功能：絕對坐標編程方式，表明以下編程坐標為絕對坐標。此方式為缺省編程方式。.G91功能：相對坐標編程方式，表明以下編程坐標為相對坐標。YMS-50D 激光劃片機使用說明書20 建議：最好采用相對坐標編程方式，即在每一個程序文件的第一行，都鍵入 G92.1.2.M M 代碼代碼.M04 （或 m04）功能：插入一段延時。格式：m04 t說明：t 為延時時間（單位：毫秒） 。示例：m04 1000停留 1 秒。.其它M02：程序結束M12、M13：Q 開關開/關M17：子程序返回.

31、2.1.3.編程格式編程格式Q 代碼必須單獨作一行，其它的代碼無此限制，但每行最多只允許有 80 個字符（包括空格符在內） 。代碼的各項之間、代碼與代碼之間可用空格、逗號或“Tab”分隔，也可以不隔開。大小寫任意。本系統(tǒng)中的基本圖形有三種：直線、順時針圓弧、逆時針圓弧（與 G01、G02、G03 代碼對應） 。當圖形不變時，后面的 G 代碼可省去不寫，下列兩種格式是等效的：標準格式省略格式G01 X Y Z FG01 X Y Z FG01 X Y Z FX Y Z FG03 X Y I J FG03 X Y I J FG03 X Y I J FX Y I J F2.1.4.完整示例說明完整示例說明如圖形狀，CNC 編程如下：YMS-50D 激光劃片機使用說明書21 原原G91/程序為相對坐標F1800/設定加工速度G01 X10 Y0 /從原點移動到加工起始點M13/關 Q 開關M10 /開激光M12 /打開 Q 開關G01 X60 Y0/從起始點向右方直線運行G02 X10 Y10 I0 J-10/沿軌跡右上方弧形運行G01 X0 Y20/沿軌跡右方直線向下運行G02 X-10 Y10 I10 J0/沿軌跡右下方弧形運