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碳化硅表面外延生長法制備石墨烯學校名稱：華南農業(yè)大學院系名稱：材料與能源學院時 間：2017年2月27日1.背景外延法是最有可能獲得大面積、高質量石墨烯的制備方法，所獲得的石墨烯具有較好的均一性，且與當前的集成電路技術有很好的兼容性，因此成為石墨烯制備科學的研究前沿與熱點。2.原理碳化硅表面會在高溫下碳化，從而形成多層，甚至單層石墨，該法通過加熱單晶碳化硅脫除硅，在單晶（001）面上分解出石墨烯片層。當碳化硅被加熱到1100以上，表面的硅原子就會蒸發(fā)逃逸，剩下的碳原子在表面重構，形成石墨烯。3.制備具體過程是：將經(jīng)氧氣或氫氣刻蝕處理得到的樣品在高真空下通過電子轟擊、高溫加熱，除去氧化物。用俄歇電子能譜確定表面的氧化物完全被移除后，將樣品加熱使之溫度升高至12501450后恒溫1min20min，從而形成極薄的石墨層.目前 Si C 外延法有在低壓惰性氣體氛圍和高真空下惰性氣體氛圍下加熱等多種方式。4、存在的缺陷經(jīng)過幾年的探索，克萊爾·伯格（Claire Berger）等人已經(jīng)能可控地制備出單層或是多層石墨烯。在C-terminated表面比較容易得到高達100層的多層石墨烯。其厚度由加

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