ESD基礎(chǔ)知識(shí)培訓(xùn)講義(共55張)

1、防靜電知識(shí)防靜電知識(shí)2什么叫靜電什么叫靜電(ESD)什么是靜電什么是靜電?ESD-Electro Static Discharge靜電靜電: : 處于靜止?fàn)顟B(tài)下的帶電電荷處于靜止?fàn)顟B(tài)下的帶電電荷. .當(dāng)兩個(gè)不同的物體相互接觸時(shí)就會(huì)使得一個(gè)物體失去一些電荷如電子轉(zhuǎn)移到另一個(gè)物體使其帶正電，而另一個(gè)體得到一些剩余電子的物體而帶負(fù)電。若在分離的過程中電荷難以中和，電荷就會(huì)積累使物體帶上靜電。3梳頭、揭塑料紙、走路、冬天脫毛衣、手摸門把手、閃電等梳頭、揭塑料紙、走路、冬天脫毛衣、手摸門把手、閃電等.生活中常見的幾種靜電現(xiàn)象生活中常見的幾種靜電現(xiàn)象4 以物體抗靜導(dǎo)電性來區(qū)分材質(zhì)以物體抗靜導(dǎo)電性來區(qū)分材質(zhì)

2、 導(dǎo)電性 (Conductive)材質(zhì): 表面店電阻系數(shù)在 105/square 以下 靜電衰減性(Static Dissipative)材質(zhì):表面電阻系數(shù)介于105 109 /square 抗靜電性(Anti-Static)材質(zhì):表面電阻系數(shù)介于109 1012 /square 絕緣體(Insulator)材質(zhì):表面電阻系數(shù)介于 1012 /square以上 摩擦生電摩擦生電 7P+ 7P+ 7P+ 7P+e -e -e -e -e -e -e -平衡原子平衡原子 1e -平衡原子平衡原子 2帶負(fù)電原子帶負(fù)電原子 帶正電原子帶正電原子e -e -e -e -e -e -e -摩摩擦擦e -e

3、 -e -e -e -e -e -e -e -e -e -e -e -靜電及靜電的產(chǎn)生靜電及靜電的產(chǎn)生5 物質(zhì)產(chǎn)生靜電大小排列如下表，其中愈正性與愈負(fù)性物質(zhì)互相摩擦產(chǎn)生靜電愈大物質(zhì)產(chǎn)生靜電大小排列如下表，其中愈正性與愈負(fù)性物質(zhì)互相摩擦產(chǎn)生靜電愈大Air 空氣 Amber 琥珀Asbestos石棉Acetate Rayon 人造絲 Aluminum 鋁 Brass , Silver 黃銅 , 銀 Cotton 棉 Gold , Platinum金 , 白金 Fur 皮革 Hard Rubber 橡膠 Glass 玻璃 Orlon 奧龍 Hands 手 Polyester 多元脂 Human Ha

4、ir 頭發(fā) Poly urethane PU聚亞氨脂 Lead Hand 石墨 Polyvinyl PVC聚氯乙烯 Mica 云母石 Polyethylene PE聚乙烯 Nylon 尼龍 PolypropylenePE聚丙烯 Paper 紙 Sealing Wax 蠟 Rabbit Fur 兔毛 Silicon 硅 Silk 絲 Sulfur 硫磺 Steel 鋼 Teflon 鐵氟龍 Wool 羊毛 Nickel , Copper鎳 , 銅 Wood 木材Negative負(fù)負(fù) 性性 ( - )Positive 正正 性性 ( + )靜電及靜電的產(chǎn)生靜電及靜電的產(chǎn)生6 靜電就在您的周圍靜電就

5、在您的周圍 人在走路或跑步就可以產(chǎn)生可觀的靜電，下面是一個(gè)量測人體靜電的實(shí)驗(yàn) 靜電壓量表 不銹鋼板 人(不帶靜電環(huán)) (Static Locator) ( 12x 12)絕緣絕緣架架量測時(shí)溫度為24.5，相對(duì)濕度 RH 為55 %.一般地面一般地面鞋子鞋子(皮鞋或球鞋皮鞋或球鞋)導(dǎo)導(dǎo) 線線靜電及靜電的產(chǎn)生靜電及靜電的產(chǎn)生7 A) 上述條件測量結(jié)果上述條件測量結(jié)果 所穿鞋子所穿鞋子 動(dòng)動(dòng) 作作 產(chǎn)生靜電壓產(chǎn)生靜電壓(Volts) 皮 鞋 原地慢速踏步 150200 皮 鞋 原地快速跑步 200250 球 鞋 原地慢速踏步 200250 球 鞋 原地快速跑步 250350 B) 當(dāng)當(dāng)不同不同條條件

6、下，件下，靜電壓的變靜電壓的變化化 產(chǎn)產(chǎn)生方法生方法 10%20%相相對(duì)濕度對(duì)濕度 65%95%相相對(duì)濕度對(duì)濕度 走過地毯 35,000 1,500 走過塑膠地毯 12,000 250 在椅子上工作 6,000 100 拿起塑膠文件夾 7,000 600 工作椅墊摩擦 18,000 1,500靜電及靜電的產(chǎn)生靜電及靜電的產(chǎn)生8 工作場所中常見的靜電產(chǎn)生物質(zhì)或活動(dòng)工作場所中常見的靜電產(chǎn)生物質(zhì)或活動(dòng) ： 工作桌面 一般的塑料、上臘、上漆。 地 板 水泥地板、一般塑料地板。 衣 服 人造纖維衣服、一般非導(dǎo)電鞋、 抹布。 椅 子 木材椅、塑料椅、玻璃纖維椅。 包裝及運(yùn)送 塑料袋、泡棉、保麗龍、塑料盒。

7、 組裝、加工、測試、修理 噴霧清潔劑、吸錫器、鉻鐵、 刷子、塑料帶、 熱氣、烤箱、 復(fù)寫紙。 靜電及靜電的產(chǎn)生靜電及靜電的產(chǎn)生9 抗抗靜電能力的量測靜電能力的量測(Human Body Model) 依依 MIL-STD-883, Method 3015, 測試線路圖測試線路圖 1. Input (A) , Common (B) 2. Output (B) , Common (A)3. Input (A) , Output (B) 4. V+ (A) , Common (B)5. V+ (B) , Common (A)抗靜電能力的量測抗靜電能力的量測10 各類半導(dǎo)體材料抗靜電能力之比較各類半導(dǎo)

8、體材料抗靜電能力之比較(NEPCON/ WEST Report) 晶片晶片種類種類 靜電靜電破破壞電壓壞電壓(Volts) MOSFET 100200 EPROM 100 JFET 1407,000 Op-Amp 1902,500 CMOS 2503,000 SCHOTTKY DIODE 3002,500 TTL 3002,500 Bipolar Transistor 3807,000 ECL 500 SCR 68010,000 半導(dǎo)體產(chǎn)品抗靜電能力半導(dǎo)體產(chǎn)品抗靜電能力一般來說一般來說, 靜電電壓大于靜電電壓大于50伏伏, 一般零件都可能被損害或降低等級(jí)一般零件都可能被損害或降低等級(jí).11 依

9、上述量測方法得到的結(jié)果, 可將材料之抗靜電能力區(qū)分為類別 A與類別 B (早期MIL分法) 類別 耐電壓 (Min. Volts) 材料防靜電包裝保護(hù)需求 A 20 2000 防靜電管及導(dǎo)電袋 B 2000 防靜電管及防靜電袋 由上可知, 大體而言只要100V以上的靜電壓就可以對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)生傷害, 故 ESD 之防護(hù)工作, 我們不可不慎。 而基本上, 不同類別的半導(dǎo)體可以不同的等級(jí)來做ESD防護(hù), 但為方便于處理, 通常都以處理較嚴(yán)密的類別 A來做防護(hù)措施。 抗靜電能力分類抗靜電能力分類12ESD ( 靜電放射靜電放射 )及危害及危害13 家中的110V、240V常常因?yàn)槭褂貌簧髟斐蓚?那動(dòng)輒

10、幾KV之ESD呢?是否會(huì)對(duì)人體造成傷害呢？ 造成肌肉或心臟麻痹主要的是電流, 尤其是交流電流。 電流對(duì)人體傷害分析表 (MIL-STD-454) 。 電 流 大 (毫安培 、mA) AC (60Hz) DC 結(jié) 果 0-1 0-1 有知覺 1-4 4-15 感到驚訝 4-21 15-80 有反射動(dòng)作 21-40 80-160 肌肉麻痺 40-100 160-300 休克 100 以上 300 以上 立即死亡ESD 對(duì)對(duì)人體人體會(huì)會(huì)造成造成傷害嗎傷害嗎14靜電對(duì)產(chǎn)品的損害靜電對(duì)產(chǎn)品的損害小心點(diǎn)！兩種方式兩種方式15 1. 人體放電模式人體放電模式(Human Body Model , HBM)

11、顧名思義此為借由人體于走動(dòng)摩擦產(chǎn)生靜電, 而影響到組件的模式人 體元 件( HBM )-ESD 影響質(zhì)量方式影響質(zhì)量方式162. 電場感應(yīng)模式電場感應(yīng)模式(Field Induced Model , FIM) 指由于外來電場感應(yīng)產(chǎn)生電荷, 巧遇機(jī)緣而將電荷引導(dǎo)接地引起的模式 3. 充電組件模式充電組件模式(Charged Device Mode,CDM) 上述FIM模式中當(dāng)組件被移離開電場或接地時(shí),就變成CDM模式 元元 件件外在外在電場感應(yīng)電荷電場感應(yīng)電荷接地造成接地造成ESD放放電電 (FIM)(Field)E(Grounded)元元 件件接地消失接地消失移離電場(CDM)(Field)E

12、SD 影響質(zhì)量方式影響質(zhì)量方式17 ESD破壞的原因：破壞的原因：1. 功率產(chǎn)生：功率產(chǎn)生：如熱崩潰、 金屬被熔融2. 電壓產(chǎn)生：電壓產(chǎn)生：如介電質(zhì)崩潰、表面崩潰3. 潛在性故障：潛在性故障：如功能劣化、降級(jí)元件被元件被ESD 破壞原因破壞原因18 1. 接面崩熔接面崩熔(Junction Burnout) 過大的電流通過接面時(shí), 產(chǎn)生極大的熱量, 使得接面崩熔. 此種破壞是屬于接面短路, 并有二個(gè)特性:A. 即使ESD的能量未能打穿接面(Junction Burnout),也能造成元件的失效。B. 正向偏壓的ESD破壞能量是負(fù)向偏壓的515倍。 2. 氧化層貫穿針引線氧化層貫穿針引線(Oxi

13、de Punch Through) 通常在金屬氧化層半導(dǎo)體(MOS)上可以發(fā)現(xiàn)此類型之破壞,這是由于外加的靜電壓超過了氧化層的崩潰電壓所致, 其現(xiàn)象亦是短路。 EBCEBCESD破壞之型態(tài)破壞之型態(tài)193. 金屬層崩熔金屬層崩熔(Metalization Burnout) 由于過大的電流流經(jīng)金屬層, 并在較脆弱的地方產(chǎn)生, 由于此種破經(jīng)常是伴隨著接面短路或是氧化層短路之后發(fā)生故屬于所謂的二次崩潰(Secondary Breakdown).而其現(xiàn)象為斷路。ESD破壞之型態(tài)破壞之型態(tài)20負(fù)傷而行負(fù)傷而行 負(fù)傷而行(Walking Wounded) 許多實(shí)驗(yàn)證實(shí)靜電能使半導(dǎo)體負(fù)傷, 但不會(huì)立即完全破

14、壞其功能, 而且有多數(shù)這些負(fù)傷而行的組件都能通過測試直到這些組件送到客戶之后, 隨時(shí)會(huì)從負(fù)傷而行變成完全失效。 下面是一ESD累積破壞的試驗(yàn)：應(yīng)用前述HBM接線方式(僅略去人體的電阻R2=1.5K)來量測54S163 IC 試驗(yàn)條件： 試驗(yàn)結(jié)果： 材料：54s163 測試前 I=2.883APASS 人體電容：100pf 第一次 I=2.883A PASS 每次放電：50V 第二次 I=2.890A PASS 放電次數(shù)：5次 第三次 I=2.890A PASS 測試點(diǎn)：Vin=Pin2 (A) 第四次 I=1.872mA FAIL GND=Pin8 (B) 第五次 I=2.147mA FAIL

15、靜電的累積破壞靜電的累積破壞21 ESD破壞分析破壞分析 找出PCB上之故障組件 對(duì)故障組件進(jìn)行基本電性量測 功能測試 參數(shù)測試 X-ray做表層分析 去封膠(Decapsulate)檢視內(nèi)部 去除各層(玻璃層、鋁層)層層檢視幾種遭ESD破壞案例參考ESD元器件分析22去鋁層之后的接合窗接合窗放大10,000之后可見貫穿現(xiàn)象A金屬接合窗橫 切 面 放 大 (2,000)橫 切 面 放 大 (10,000)ESD元器件分析23 芯片設(shè)計(jì)的靜電防護(hù)芯片設(shè)計(jì)的靜電防護(hù)(治本方法治本方法) 本方法乃是靜電防護(hù)最好的辦法, 但在設(shè)計(jì)半導(dǎo)體的抗靜電電路時(shí), 必 須考慮到電路產(chǎn)生熱的影響、反應(yīng)時(shí)間、 最大電

16、壓、 能量傳導(dǎo)、 寄生 電容等等因子, 故并非隨心所欲可以辦到。因此靜電防護(hù)仍必須靠一些 治標(biāo)的方法。 靜電防護(hù)的基本原則靜電防護(hù)的基本原則 1. 避免靜電產(chǎn)生 2. 疏導(dǎo)或中和所產(chǎn)生之靜電 3. 摒蔽靜電場 逐一介紹說明如下：逐一介紹說明如下：ESD靜電防護(hù)靜電防護(hù)241. 避免靜電產(chǎn)生避免靜電產(chǎn)生(A) 潮濕法(Moisturing)水氣本身會(huì)有導(dǎo)電現(xiàn)象，故可降低絕綠體表面電阻，達(dá)到靜電防護(hù)目的 (B) 抗靜電涂布法(Anti-Static Coating) 有部份溶液可噴灑于綠體青面降低物體表面電阻，達(dá)到靜電防護(hù)的目的。但此種涂層，日久會(huì)脫落而漸漸失去其效果，故必須考慮其有效期。 (C)

17、 內(nèi)部靜電劑法(Imbeded Anfi-Static Agent) 這是在材料中加入具有導(dǎo)電性或吸濕性的物質(zhì)，使其外層具有輕微導(dǎo)電性。此方法可以不必考慮有效期，但成本較高。2. 疏導(dǎo)或中和靜電法疏導(dǎo)或中和靜電法 (A) 疏導(dǎo)法(Bleed-Off) 典型的疏導(dǎo)法就是配帶靜電環(huán)(Wrist Strap)，是將人體產(chǎn)生之靜電電荷，藉由導(dǎo)線將所產(chǎn)生之電荷傳導(dǎo)出去。通常靜電環(huán)中會(huì)接一1M之接地電阻，以保護(hù)人員工作之安全。ESD靜電防護(hù)靜電防護(hù)25(B) 中和法(Neutralization) 利用靜電消除器(Ionizer)來釋出正、負(fù)離子以中和消除靜電效應(yīng)。目前常用的靜電消除器有下列幾種： a.

18、放射性靜電消除器 使用放射性物質(zhì)釙或元素之輻射能來撞擊空氣使 之分裂成等量的正、負(fù)離子。使用此Ionizer必須加防護(hù)結(jié)構(gòu)。其優(yōu)點(diǎn) 是不需電源容易裝置, 具有防炸功能; 缺點(diǎn)是使用壽命短(每年更換),必 須離使用遇火警時(shí)極危險(xiǎn)。 b. 高壓靜電效應(yīng)消除器 利用針點(diǎn)高壓(5KV左右)尖端放電來電離空氣 分子。此種裝置具有高效率及高安全性之特點(diǎn), 所產(chǎn)生之電流僅幾微安 培(A), 不會(huì)產(chǎn)生電擊。 c. 感應(yīng)靜電效應(yīng)消除器 這是利用帶電物質(zhì)之高電壓(對(duì)接地點(diǎn))來電離 空氣離子。 ESD靜電防護(hù)靜電防護(hù)263. 摒蔽靜電場摒蔽靜電場(Field Shielding) 此種方法乃利用Farady Cag

19、e 之原理使靜電場被摒蔽在容器之外圍。左圖是5KV電場下各種容器內(nèi)測得的靜電場, 右圖是一摒蔽電場之模型。 電場無法貫穿僅分布表面電 壓 (kv)時(shí)間 (秒)01.02.03.01.02.03.0導(dǎo)電袋防靜電袋一般PE袋金金 屬屬 容容 器器ESD靜電防護(hù)靜電防護(hù)27各類常用靜電防護(hù)材料各類常用靜電防護(hù)材料 1. 靜電環(huán) 由伸縮拉環(huán), 內(nèi)含1Mega10%電阻之導(dǎo)線及接頭所構(gòu)成。 配帶靜電環(huán)時(shí)必須注意到： (a) 靜電環(huán)必須與手緊密接觸， 不可松脫或套于衣袖上 (b) 與接地之間必須保持1M 10%之電阻 (c) 接頭必須固定妥當(dāng)， 當(dāng)接頭未接地妥當(dāng)時(shí)，不得碰觸材料 2. 抗靜電材料(袋、管、

20、管塞、盒等) 在材料上涂布抗靜電液， 使材料不會(huì)產(chǎn)生靜電荷, 或僅產(chǎn)生微量的靜電荷(通常在100V以下)。此 類材料表面電阻要求在1012/square以下, 靜電消散時(shí)間2sec。 使用此材料應(yīng)： (a) 此材料僅能防止本身產(chǎn)生靜電，而卻無法防止靜電場破壞 (b) 表面涂層必須考慮其有效期 (c) 一般工業(yè)界會(huì)將此類產(chǎn)品制成粉紅色常用靜電防護(hù)材料常用靜電防護(hù)材料28 3. 靜電遮蔽材料(袋、管、管塞、盒等) 此種材料一般含有二或三層, 上下(或外)層是抗張力強(qiáng)的抗靜電化學(xué)合成物質(zhì)(R1012/square, 靜電消散時(shí)間2sec) , 中間(或內(nèi))層是一層薄薄的金屬箔(105 R 109 /

21、square)。使用時(shí)需注意：(a) 避免使用尖銳物品刮壞金屬層.(b) 封閉的導(dǎo)電袋或容器才有完全之保護(hù). 4. 靜電消除器 利用儀器所產(chǎn)生的大量離子, 將絕緣體表面的靜電予以中和。使用靜電消除器必須注意：(a) 靜電消除器必須在工作范圍45呎內(nèi)方為有效區(qū)域.(b) 靜電消除器必須定期清理所積聚之灰塵，至少3個(gè)月內(nèi)清理一次.(c) 靜電消除器必須定期檢查其離子是否平衡.(d) 靜電消除器會(huì)產(chǎn)生臭氧(O3) 對(duì)人體無害(有益), 但臭氧濃度不可 超過0.1DPP M, 否則其異味會(huì)使人難以忍受.常用靜電防護(hù)材料常用靜電防護(hù)材料29三種不同類型的防護(hù)包裝三種不同類型的防護(hù)包裝:靜電屏蔽材料靜電屏

22、蔽材料 可防止靜電釋放穿透包裝進(jìn)入組件引起的損害.抗靜電材料抗靜電材料 可作為ESD敏感元件廉價(jià)的中轉(zhuǎn)包裝或暫存使用.它在使用中不產(chǎn)生電荷, 但是如果發(fā)生了靜電釋放, 它能穿透包裝進(jìn)入組件,導(dǎo)致ESD敏感元器件的 損害.靜電消散材料靜電消散材料 具有足夠的傳導(dǎo)性,使電荷能通過其表面消散.常用靜電防護(hù)材料常用靜電防護(hù)材料305. 防靜電工作桌1. 人體2. 靜電環(huán)3. 防靜電桌面4. 儀器5. 靜電鞋6. 導(dǎo)電地板常用靜電防護(hù)材料常用靜電防護(hù)材料31注：各接地點(diǎn)之標(biāo)準(zhǔn)接法注：各接地點(diǎn)之標(biāo)準(zhǔn)接法6. 其它常用抗靜電材料：其它常用抗靜電材料： (a) 防靜電手套、指套 (b) 抗靜電手套、袖套 (c

23、) 靜電消除劑 (d) 靜電鞋常用靜電防護(hù)材料常用靜電防護(hù)材料32三種不同類型的防護(hù)包裝三種不同類型的防護(hù)包裝:靜電屏蔽材料靜電屏蔽材料 可防止靜電釋放穿透包裝進(jìn)入組件引起的損害.抗靜電材料抗靜電材料 可作為ESD敏感元件廉價(jià)的中轉(zhuǎn)包裝或暫存使用.它在使用中不產(chǎn)生電荷, 但是如果發(fā)生了靜電釋放, 它能穿透包裝進(jìn)入組件,導(dǎo)致ESD敏感元器件的 損害.靜電消散材料靜電消散材料 具有足夠的傳導(dǎo)性,使電荷能通過其表面消散.常用靜電防護(hù)材料常用靜電防護(hù)材料33 設(shè)備要求設(shè)備要求 1. 設(shè)備機(jī)殼：設(shè)備機(jī)殼： AC-INPUTU一律使用三插頭有接地端子電源線, 設(shè)備外殼一律接地。 (AI 、 RI、SMD

24、、加工成型機(jī)、測試儀器、錫爐等) 2. 外加工治具：外加工治具： 一律使用金屬制作, 并接地處理。(含散熱片鎖附治具) 3. 維修站：維修站： 工作臺(tái)表面, 需鋪上靜電墊, 其表面阻值為105109/ SQUARE , 人 員、儀器皆需確實(shí)接地 4. 鉻鐵：鉻鐵：外殼需接地處理 5. 零件盒：零件盒： 半導(dǎo)體之零件被裝置或取出時(shí), 作業(yè)人員需配帶靜電環(huán), 零件放于導(dǎo) 電容器或?qū)щ娭慵兄?。半?dǎo)體零件嚴(yán)禁放置于塑料容器(非靜電 盒)或保麗龍容器中。 ESD要求要求34 搬運(yùn)要求搬運(yùn)要求1. 靜電盒：靜電盒：石墨型(黑色，永久型)規(guī)格為105109/SQUARE, 可使用 期限一年以上.2. 金

25、屬盒：金屬盒：手插件段(HI)放置小零件之料盒, 一般為不銹鋼導(dǎo)體, 必須接 地使用.3. 籃子：籃子：防靜電盒如使用一般塑料籃, 則需加上防靜電之隔離使用. 4. 輸送帶：輸送帶：生產(chǎn)線若以輸送帶方式作業(yè)時(shí),輸送帶及其各裝置需確實(shí)接地.5. 臺(tái)車：臺(tái)車：A/I室及生產(chǎn)線的搬運(yùn)臺(tái)車, 一般必須使用導(dǎo)體材質(zhì), 并在臺(tái)車底 部加接地鏈條，鏈條必須與地面接觸. 儲(chǔ)存要求儲(chǔ)存要求1. 濕度：濕度：儲(chǔ)存空間之相對(duì)濕度需控制于50%60%的范圍之內(nèi).2. 保存架：保存架：必須使用導(dǎo)體材質(zhì), 及具備接地設(shè)施.3. 取放材料：取放材料：儲(chǔ)存人員取放材料時(shí)必須配帶靜電環(huán)并接地. 4. 裝取容器：裝取容器：拆封之

26、半導(dǎo)體需使用防靜電袋分裝, 不可使用一般之塑料袋 包裝.ESD要求要求35 人員要求人員要求 人員：人員：工作人員一律配帶有線靜電環(huán)并接地, 靜電環(huán)需每日點(diǎn)檢兩次, 嚴(yán) 禁使用無線之靜電環(huán). ESD點(diǎn)檢點(diǎn)檢1. 點(diǎn)檢內(nèi)容：點(diǎn)檢內(nèi)容： 2. 做靜電測試定時(shí)需附記當(dāng)時(shí)之濕度及溫度。做靜電測試定時(shí)需附記當(dāng)時(shí)之濕度及溫度。 3. 若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的布使用時(shí)間。若使用靜電防止劑，需明確記錄下次的布使用時(shí)間。 4. 每日確認(rèn)作業(yè)員腕帶的接地狀況及是否有斷線。每日確認(rèn)作業(yè)員腕帶的接地狀況及是否有斷線。 ESD要求要求365. 保存用導(dǎo)電零件盒的外圍保存用導(dǎo)電零件盒的外圍, 需貼上任何作業(yè)員看

27、后均可明了之標(biāo)簽需貼上任何作業(yè)員看后均可明了之標(biāo)簽, 以標(biāo)以標(biāo)示其內(nèi)存有不耐靜電之零件。示其內(nèi)存有不耐靜電之零件。 6. 靜電盒上需貼上能負(fù)荷靜電量及檢驗(yàn)日期之標(biāo)簽。靜電盒上需貼上能負(fù)荷靜電量及檢驗(yàn)日期之標(biāo)簽。 7. 確實(shí)記錄點(diǎn)檢所得數(shù)據(jù)。確實(shí)記錄點(diǎn)檢所得數(shù)據(jù)。 【注注】靜電環(huán)點(diǎn)檢方法靜電環(huán)點(diǎn)檢方法1. 作業(yè)員在座位上坐好后, 帶上靜電環(huán)(右手操作者將靜電環(huán)戴于左手, 左手操作者將靜電環(huán)戴于右手)并將靜電環(huán)接地線插頭插于接地孔中。2. 在線作業(yè)長/班長、組長攜帶靜電環(huán)檢測器至各作業(yè)員作業(yè)位置, 將檢測器接地線插頭插于接地孔中。3. 作業(yè)員自行壓下檢測開關(guān)(靜電環(huán)戴于左手者, 用右手壓檢測開關(guān);

28、 靜電環(huán)戴于右手者, 用左手壓檢測開關(guān)), 直到訊號(hào)顯示完成。4-1. 檢測時(shí)“GOOD”綠色顯示燈亮, 表示該靜電環(huán)符合規(guī)格, 可正常使用.4-2. 檢測時(shí)“HIGH”紅色顯示燈亮, 表示該靜電環(huán)超出規(guī)格, 禁止使用.4-3. 檢測時(shí)“LOW”紅色顯示燈亮, 表示該靜電環(huán)超出規(guī)格, 禁止使用.ESD要求要求37 教育訓(xùn)練教育訓(xùn)練1. 所有從事ESD相關(guān)工作之人員, 都必須接受ESD訓(xùn)練, 并經(jīng)檢定考試認(rèn) 證合格者方可從事該項(xiàng)工作2. 認(rèn)證共分A、B、C三級(jí) A級(jí) 各廠訓(xùn)練講師、稽核員等及各工作區(qū)主管級(jí)以干部皆需具備之。 B級(jí) 各廠工作區(qū)之作業(yè)長/班長、組長、QC人員均需具備之。 C級(jí) 一般作

29、業(yè)人員。3. 重新訓(xùn)練認(rèn)證 凡經(jīng)認(rèn)定為認(rèn)證資格已失效者(違反ESD規(guī)定二次以上 者)及所有人員每年都必須接受重新訓(xùn)練及認(rèn)證。 ESD要求要求3834 稽核稽核1. 日點(diǎn)檢日點(diǎn)檢 由各ESD區(qū)域自行點(diǎn)檢、記錄, IPQC人員亦隨時(shí)對(duì)相關(guān)工作場合進(jìn)行ESD稽核.2.月稽核月稽核 由各廠協(xié)調(diào)員及各部門主管組成ESD稽核小組實(shí)施定期稽核. 3. 季稽核季稽核 每季并入季度制程稽查組來一并做ESD季稽核. 記錄保存記錄保存 ESD相關(guān)之記錄必須保存一年.ESD要求要求39防靜電工具/用具 功能粉紅色的膠袋.IC管.托盤 防止靜電的產(chǎn)生手帶.腳帶.防靜電鞋.地席.面席 移走靜電黑色的膠袋.膠箱.紙盒 加倍

30、防止靜電的產(chǎn)生防靜電用具防靜電用具公司常用到的防靜電工具:40防靜電手冊防靜電手冊 在保管或傳遞靜電敏感元件時(shí)，應(yīng)將元件保存在防靜電包裝中. 操作者從防靜電包裝中取出元件時(shí)，一定要佩戴防靜電手帶,穿著防靜電工鞋. 對(duì)敏感元件的處理，只限于指定的工作區(qū)，并且佩戴好手帶,穿防靜電工鞋. 保持工作臺(tái)面的整潔，不可放梳、雨衣等與工作無關(guān)的東西. 了解防靜電基礎(chǔ)知識(shí)，認(rèn)真對(duì)待手帶的測試工作.41手帶: 檢查手帶是否有三個(gè)完整的組成部分：鱷魚夾、電線、 手腕帶； 規(guī)范防靜電手環(huán)的佩戴,夾持方法: - 不銹鋼外殼應(yīng)戴在手腕內(nèi)側(cè),此處接觸電阻最小. - 要與皮膚緊密接觸,不得松馳,不得隔以衣物. - 鱷魚夾或

31、插頭應(yīng)夾在或插在指定的地線上或插孔中. - 下班或行走時(shí),操作員可摘下手環(huán), 流動(dòng)人員應(yīng)取下夾子. 防靜電手帶必須每天保持測試12次并記錄, 如果 測試不合 格應(yīng)及時(shí)通知組長更換一條新的正確佩戴防靜電手帶正確佩戴防靜電手帶42測試手帶簡單易行：將手帶貼緊手腕皮膚戴好，夾子夾在手帶測試儀的接觸點(diǎn)上，手按下金屬連擋板，如指示燈顯示綠色則 Pass(合格)，指示燈顯示紅色則Fail(不合格)。手帶不合格時(shí)，應(yīng)及時(shí)通知組長更換一條新的。正確測試防靜電手帶正確測試防靜電手帶43防靜電手帶的測試方法:正確測試防靜電手帶正確測試防靜電手帶將手帶上的插頭插入防靜電手帶測試儀中用手按住測試儀上的金屬盤從測試儀上指示燈狀態(tài)讀出結(jié)果(注:亮一 個(gè)綠燈合格,亮任何一個(gè)紅燈都是不合格的)面對(duì)儀器將開關(guān)打在右邊測試防靜電手鏈用手按住測試儀上的金屬盤從測試儀上指示燈狀態(tài)讀出結(jié)果(注:亮兩 個(gè)綠燈合格,亮任何一個(gè)紅燈都是不合格的)圖2圖144防靜電工鞋的測試方法防靜電工鞋的測試方法:正確測試防靜電鞋正確測試防靜電鞋 面對(duì)儀器將開關(guān)打在 左邊測試防