第二章電阻式傳感器原理與應(yīng)用

1、2本章教學(xué)本章教學(xué): :p理解電阻式傳感器的基本原理；理解電阻式傳感器的基本原理；p了解電阻式傳感器的常用類型；了解電阻式傳感器的常用類型；p掌握應(yīng)變片式、壓阻式傳感器的形式、特點(diǎn)、應(yīng)用掌握應(yīng)變片式、壓阻式傳感器的形式、特點(diǎn)、應(yīng)用方法和轉(zhuǎn)換電路。方法和轉(zhuǎn)換電路。3 電阻式傳感器的基本原理是將被測的非電量轉(zhuǎn)變電阻式傳感器的基本原理是將被測的非電量轉(zhuǎn)變成電阻值，通過測量電阻值達(dá)到測量非電量的目的。這成電阻值，通過測量電阻值達(dá)到測量非電量的目的。這類傳感器種類很多，大致可以分為電阻應(yīng)變式、壓阻式類傳感器種類很多，大致可以分為電阻應(yīng)變式、壓阻式和熱電阻式傳感器。利用電阻式傳感器可以測量形變、和熱電阻式

2、傳感器。利用電阻式傳感器可以測量形變、壓力、力、位移、加速度和溫度等非電量參數(shù)。本章主壓力、力、位移、加速度和溫度等非電量參數(shù)。本章主要介紹電阻應(yīng)變片和壓阻式傳感器的原理和應(yīng)用。要介紹電阻應(yīng)變片和壓阻式傳感器的原理和應(yīng)用。4 第一節(jié)第一節(jié) 應(yīng)變式傳感器應(yīng)變式傳感器 第二節(jié)第二節(jié) 壓阻式傳感器壓阻式傳感器 本章本章重點(diǎn)：應(yīng)變片電橋測量電路誤差分析；重點(diǎn)：應(yīng)變片電橋測量電路誤差分析；本章難點(diǎn)本章難點(diǎn)：應(yīng)變片電橋測量電路誤差分析。：應(yīng)變片電橋測量電路誤差分析。本章教學(xué)本章教學(xué): :5n優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、體積小、使用方便、性能穩(wěn)定、優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡單、體積小、使用方便、性能穩(wěn)定、可靠、靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、

3、適合靜態(tài)及動(dòng)態(tài)測可靠、靈敏度高、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、適合靜態(tài)及動(dòng)態(tài)測量、測量精度高等量、測量精度高等n構(gòu)成：彈性元件和電阻應(yīng)變片構(gòu)成：彈性元件和電阻應(yīng)變片n適用領(lǐng)域：冶金、電力、交通、石化、商業(yè)、生物適用領(lǐng)域：冶金、電力、交通、石化、商業(yè)、生物醫(yī)學(xué)和國防等部門，是進(jìn)行自動(dòng)稱重、過程檢測和醫(yī)學(xué)和國防等部門，是進(jìn)行自動(dòng)稱重、過程檢測和實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程自動(dòng)化不可缺少的工具之一。實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過程自動(dòng)化不可缺少的工具之一。6GX-1型懸臂梁稱重傳感器結(jié)構(gòu)尺寸與外形(1)(1)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng) 電阻應(yīng)變效應(yīng)：當(dāng)金屬絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)電阻應(yīng)變效應(yīng)：當(dāng)金屬絲在外力作用下發(fā)生機(jī)械變形時(shí)其電阻值將發(fā)

4、生變化其電阻值將發(fā)生變化AlRF l、A 、 R8(1)(1)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)AAllRR對(duì)于半徑為對(duì)于半徑為r r的圓導(dǎo)體，的圓導(dǎo)體，A A= =rr2 2，A A/ /A A=2=2r r/ /r r又由材料力學(xué)可知，在彈性范圍內(nèi)，又由材料力學(xué)可知，在彈性范圍內(nèi)， Errll/,/,/)21 (ERR為導(dǎo)體的縱向應(yīng)變，其數(shù)值一般很小，常以微應(yīng)變度量；為導(dǎo)體的縱向應(yīng)變，其數(shù)值一般很小，常以微應(yīng)變度量；為電阻絲材料的泊松比，一般金屬為電阻絲材料的泊松比，一般金屬=0.30.5=0.30.5；為壓阻系數(shù)，與材質(zhì)有關(guān)；為壓阻系數(shù)，與材質(zhì)有關(guān)；為應(yīng)力值；為應(yīng)力值；E E為材料的彈

5、性模量；為材料的彈性模量； 9(1)(1)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)金屬的電阻應(yīng)變效應(yīng)/210RRk/0k材料的幾何尺寸變化引起的材料的幾何尺寸變化引起的材料的電阻率材料的電阻率隨應(yīng)變引起的（壓阻效應(yīng)）隨應(yīng)變引起的（壓阻效應(yīng)）金屬材料：金屬材料：k k0 0以前者為主，則以前者為主，則k k0 01+21+2=1.71.73.63.6半半 導(dǎo)導(dǎo) 體：體：k k0 0值主要是由電阻率相對(duì)變化所決定值主要是由電阻率相對(duì)變化所決定0kRR2110(2)(2)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)與種類 11(2)(2)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)與種類 根據(jù)應(yīng)變片的類型和材料 進(jìn)行分類n金屬絲式金屬絲式 n金屬箔式金屬箔式 n金屬薄膜式金屬

6、薄膜式回線式回線式短接式短接式：敏感柵平行排列，兩端用直徑：敏感柵平行排列，兩端用直徑比柵線直徑大比柵線直徑大5 51010倍的鍍銀絲短接而成，倍的鍍銀絲短接而成，其優(yōu)點(diǎn)是克服了橫向效應(yīng)。其優(yōu)點(diǎn)是克服了橫向效應(yīng)。12(2)(2)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)與種類 1)金屬絲式應(yīng)變片 金屬電阻絲應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)金屬電阻絲應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu) 1-1-基片；基片；2-2-電阻絲；電阻絲；3-3-覆蓋層；覆蓋層；4-4-引出線引出線 絲式應(yīng)變片敏感柵常用的材料有絲式應(yīng)變片敏感柵常用的材料有: :康銅、鎳鉻合金、鎳鉻康銅、鎳鉻合金、鎳鉻鋁合金，以及鉑、鉑鎢合金等。鋁合金，以及鉑、鉑鎢合金等。 13(2)(2)應(yīng)變片的

7、基本結(jié)構(gòu)與種類 1)金屬絲式應(yīng)變片金屬電阻應(yīng)變片，材料電阻率隨應(yīng)變產(chǎn)生的變化很小，可忽略金屬電阻應(yīng)變片，材料電阻率隨應(yīng)變產(chǎn)生的變化很小，可忽略 0)21 (KRR應(yīng)變片電阻的相對(duì)變化與應(yīng)變片縱向應(yīng)變成正比，應(yīng)變片電阻的相對(duì)變化與應(yīng)變片縱向應(yīng)變成正比， 并且對(duì)同一電阻材料，并且對(duì)同一電阻材料， K K0 0=1+2=1+2是常數(shù)。是常數(shù)。其靈敏度系數(shù)多在其靈敏度系數(shù)多在1.71.73.63.6之間。之間。 14(2)(2)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)與種類 2)金屬箔式應(yīng)變片 在絕緣基底上，將厚度為在絕緣基底上，將厚度為0.0030.0030.01mm0.01mm電阻箔材，利用照電阻箔材，利用照相制板或光刻

8、腐蝕的方法，制成適用于各種需要的形狀相制板或光刻腐蝕的方法，制成適用于各種需要的形狀 15(2)(2)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)與種類 2)金屬箔式應(yīng)變片優(yōu)點(diǎn)：（優(yōu)點(diǎn)：（1 1）尺寸準(zhǔn)確，線條均勻，適應(yīng)不同的測量要求，）尺寸準(zhǔn)確，線條均勻，適應(yīng)不同的測量要求， （2 2）可制成多種復(fù)雜形狀尺寸準(zhǔn)確的敏感柵）可制成多種復(fù)雜形狀尺寸準(zhǔn)確的敏感柵 （3 3）與被測試件接觸面積大，粘結(jié)性能好。）與被測試件接觸面積大，粘結(jié)性能好。 散熱條件好，允許電流散熱條件好，允許電流大，靈敏度提高。大，靈敏度提高。 （4 4）橫向效應(yīng)可以忽略。）橫向效應(yīng)可以忽略。 （5 5）蠕變、機(jī)械滯后小，疲勞壽命長。）蠕變、機(jī)械滯后小，

9、疲勞壽命長。 （6 6）生產(chǎn)效率高，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。金屬箔的材料常用康銅和）生產(chǎn)效率高，便于實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化生產(chǎn)。金屬箔的材料常用康銅和鎳鉻合金等。鎳鉻合金等。 缺點(diǎn)：缺點(diǎn)：電阻值的分散性大電阻值的分散性大 阻值調(diào)整阻值調(diào)整 16(2)(2)應(yīng)變片的基本結(jié)構(gòu)與種類 3)薄膜應(yīng)變片n采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法在薄的絕緣基片上形成厚度在采用真空蒸發(fā)或真空沉積等方法在薄的絕緣基片上形成厚度在0.1m0.1m以下的金屬電阻材料薄膜敏感柵，再加上保護(hù)層，易實(shí)以下的金屬電阻材料薄膜敏感柵，再加上保護(hù)層，易實(shí)現(xiàn)工業(yè)化批量生產(chǎn)現(xiàn)工業(yè)化批量生產(chǎn) n優(yōu)點(diǎn)：應(yīng)變靈敏系數(shù)大，允許電流密度大，工作范圍廣，易實(shí)優(yōu)點(diǎn)：應(yīng)變

10、靈敏系數(shù)大，允許電流密度大，工作范圍廣，易實(shí)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)n問題：難控制電阻與溫度和時(shí)間的變化關(guān)系問題：難控制電阻與溫度和時(shí)間的變化關(guān)系 17 實(shí)際應(yīng)用中，選擇應(yīng)變片時(shí)，要考慮應(yīng)變片應(yīng)變片的性能參實(shí)際應(yīng)用中，選擇應(yīng)變片時(shí)，要考慮應(yīng)變片應(yīng)變片的性能參數(shù)主要有：數(shù)主要有：電阻值電阻值、靈敏度靈敏度、允許電流允許電流和和應(yīng)變極限應(yīng)變極限等。等。 應(yīng)變片的電阻值 R是指應(yīng)變片在未經(jīng)安裝也不受外力情況下，應(yīng)變片在未經(jīng)安裝也不受外力情況下，于室溫下測得的電阻值于室溫下測得的電阻值 電阻系列：電阻系列：6060、120120、200200、350350、600600、10001000 可以加大應(yīng)變

11、片承受電壓，可以加大應(yīng)變片承受電壓， 電阻值大電阻值大 輸出信號(hào)大，輸出信號(hào)大， 敏感柵尺寸也增大敏感柵尺寸也增大 18(1)(1)靈敏系數(shù)RRk/“標(biāo)稱靈敏系數(shù)標(biāo)稱靈敏系數(shù)”：一批產(chǎn)品中只能抽樣：一批產(chǎn)品中只能抽樣5 5的產(chǎn)品來測定，取的產(chǎn)品來測定，取平均值及允許公差值。平均值及允許公差值。電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)k k 電阻絲的靈敏系數(shù)電阻絲的靈敏系數(shù)k k0 0 粘結(jié)層傳遞變形失真粘結(jié)層傳遞變形失真還存在有橫向效應(yīng)還存在有橫向效應(yīng) 原因：原因：19(2)(2)橫向效應(yīng)敏感柵是由多條直線和圓弧部分組成敏感柵是由多條直線和圓弧部分組成直線段：沿軸向拉應(yīng)變直線段：沿軸向拉應(yīng)變x

12、 x，電阻，電阻圓弧段：沿軸向壓應(yīng)度圓弧段：沿軸向壓應(yīng)度y y 電阻電阻 K K ( (箔式應(yīng)變片箔式應(yīng)變片) )yyxxy20(2)(2)橫向效應(yīng) 應(yīng)變片的橫柵部分將縱向絲柵部分的電阻變應(yīng)變片的橫柵部分將縱向絲柵部分的電阻變化抵消了一部分，從而降低了整個(gè)電阻應(yīng)變片的化抵消了一部分，從而降低了整個(gè)電阻應(yīng)變片的靈敏度，帶來測量誤差，其大小與敏感柵的構(gòu)造靈敏度，帶來測量誤差，其大小與敏感柵的構(gòu)造及尺寸有關(guān)。敏感柵的縱柵愈窄、愈長，而橫柵及尺寸有關(guān)。敏感柵的縱柵愈窄、愈長，而橫柵愈寬、愈短，則橫向效應(yīng)的影響愈小。愈寬、愈短，則橫向效應(yīng)的影響愈小。21(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 1 1）試件材料的線

13、膨脹引起的誤差。當(dāng)溫度變化）試件材料的線膨脹引起的誤差。當(dāng)溫度變化t t時(shí)，因試件時(shí)，因試件材料和敏感柵材料的線膨脹系數(shù)不同，應(yīng)變片將產(chǎn)生附加拉長材料和敏感柵材料的線膨脹系數(shù)不同，應(yīng)變片將產(chǎn)生附加拉長（或壓縮），引起的電阻相對(duì)變化（或壓縮），引起的電阻相對(duì)變化 。0000()TTgsRR KR KT2200TTgllllT210()TTTgsllllT 0()TTgslTlTllllsTT001122(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 2 2）敏感柵電阻隨溫度的變化引起的誤差。當(dāng)環(huán)境溫度變化）敏感柵電阻隨溫度的變化引起的誤差。當(dāng)環(huán)境溫度變化T T 時(shí)，敏感柵材料電阻溫度系數(shù)為時(shí)，敏感柵材料電阻溫度系

14、數(shù)為 ，則引起的電阻相對(duì)變化，則引起的電阻相對(duì)變化為。為。00TTRRRRT其中其中)1 (0TRRT0TTT23(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 相應(yīng)的虛假應(yīng)變輸出為相應(yīng)的虛假應(yīng)變輸出為000/()TTgsRRTTKK可得由于溫度變化而引起的總電阻變化為可得由于溫度變化而引起的總電阻變化為000()TTTgsRRRRTR KT 24(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 單絲自補(bǔ)償法 自補(bǔ)償法 組合式自補(bǔ)償法 線路補(bǔ)償法電橋補(bǔ)償法、熱敏電阻溫度補(bǔ)償溫度補(bǔ)償 25(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 電橋補(bǔ)償法 U0R1R4R3URbFFR1Rb0143()BUA R RR R01143()()0tBBtUA RR

15、RRRR 011143()()0tBBtUA RRR RRRR 11RR K26(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 電橋補(bǔ)償法 n優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)：簡單、方便，在常溫下補(bǔ)償效果較好簡單、方便，在常溫下補(bǔ)償效果較好n缺點(diǎn)：缺點(diǎn)：在溫度變化梯度較大的條件下，很難做到工作片與補(bǔ)償在溫度變化梯度較大的條件下，很難做到工作片與補(bǔ)償片處于溫度完全一致的情況，因而影響補(bǔ)償效果。片處于溫度完全一致的情況，因而影響補(bǔ)償效果。27(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 應(yīng)變片的自補(bǔ)償法 n粘貼在被測部位上的是一種特殊應(yīng)變片，當(dāng)溫度變化時(shí)，粘貼在被測部位上的是一種特殊應(yīng)變片，當(dāng)溫度變化時(shí)，產(chǎn)生的附加應(yīng)變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒?，這種應(yīng)變片稱為溫度

16、產(chǎn)生的附加應(yīng)變?yōu)榱慊蛳嗷サ窒@種應(yīng)變片稱為溫度自補(bǔ)償應(yīng)變片。利用這種應(yīng)變片來實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ㄗ匝a(bǔ)償應(yīng)變片。利用這種應(yīng)變片來實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)姆椒ǚQ為應(yīng)變片自補(bǔ)償法。稱為應(yīng)變片自補(bǔ)償法。na. a. 選擇式自補(bǔ)償應(yīng)變片選擇式自補(bǔ)償應(yīng)變片nb. b. 雙金屬敏感柵自補(bǔ)償應(yīng)變片雙金屬敏感柵自補(bǔ)償應(yīng)變片 28(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 應(yīng)變片的自補(bǔ)償法-選擇式自補(bǔ)償應(yīng)變片 優(yōu)點(diǎn)：容易加工，成本低，優(yōu)點(diǎn)：容易加工，成本低，缺點(diǎn)：只適用特定試件材料，溫度補(bǔ)償范圍也較窄。缺點(diǎn)：只適用特定試件材料，溫度補(bǔ)償范圍也較窄。實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)臈l件為實(shí)現(xiàn)溫度補(bǔ)償?shù)臈l件為當(dāng)被測試件的線膨脹系數(shù)當(dāng)被測試件的線膨脹系數(shù)g g

17、已知時(shí)，通過選擇敏感柵材料，使已知時(shí)，通過選擇敏感柵材料，使下式成立下式成立即可達(dá)到溫度自補(bǔ)償?shù)哪康摹＜纯蛇_(dá)到溫度自補(bǔ)償?shù)哪康摹?)(0tKtsgt)(0sgK29(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 應(yīng)變片的自補(bǔ)償法-雙金屬敏感柵自補(bǔ)償應(yīng)變片 R1R2組合自補(bǔ)償法組合自補(bǔ)償法敏感柵絲由兩種不同溫度系數(shù)的金屬絲串接組成敏感柵絲由兩種不同溫度系數(shù)的金屬絲串接組成 選用兩者具有不同符號(hào)的電阻溫度系數(shù)調(diào)整選用兩者具有不同符號(hào)的電阻溫度系數(shù)調(diào)整R R1 1和和R R2 2的比例，使溫度變化時(shí)產(chǎn)生的電阻變化滿足的比例，使溫度變化時(shí)產(chǎn)生的電阻變化滿足 t2t1)()(RR 通過調(diào)節(jié)兩種敏感柵的長度來控制應(yīng)變片的溫

18、通過調(diào)節(jié)兩種敏感柵的長度來控制應(yīng)變片的溫度自補(bǔ)償，可達(dá)度自補(bǔ)償，可達(dá)0.45m/0.45m/的高精度。的高精度。)()(/111222112221ggttKKRRRRRR30(3)(3)溫度誤差及其補(bǔ)償 熱敏電阻補(bǔ)償T KRtUiR1RR4R3U0R2RtR5 分流電阻分流電阻 UU = Ui - URtK31（1）直流電橋直流電橋的工作原理直流電橋的工作原理 )()()(-214343214321L3241LRRRRRRRRRRRRRRRRRUI 時(shí)電橋平衡時(shí)電橋平衡平衡條件平衡條件 : :R R1 1R R4 4=R=R2 2R R3 3 R R1 1/R/R2 2=R=R3 3/R/R4

19、 4 R1+R1R2R4R3UILRLL0I 32（1）直流電橋采用等臂電橋，即采用等臂電橋，即R R1 1= = R R2 2= = R R3 3= =R R4 4= =R R 。此時(shí)式。此時(shí)式(2.1.24)(2.1.24)可寫為可寫為)2)(2()(4321324143210RRRRRRRRRRRRRRRUU當(dāng)當(dāng)R Ri i R R ( ( i i=1,2,3,4) =1,2,3,4) 時(shí)，略去上式中的高階微量，則時(shí)，略去上式中的高階微量，則 RRRRRRRRUU432104432104UKU33（1）直流電橋 R Ri i(1+) (1+)，故，故(1+)(1+)項(xiàng)可以忽略項(xiàng)可以忽略l

20、lERR54半導(dǎo)體材料的電阻值變化，主要是由電阻率變化引起的，半導(dǎo)體材料的電阻值變化，主要是由電阻率變化引起的，而電阻率而電阻率的變化是由應(yīng)變引起的的變化是由應(yīng)變引起的 半導(dǎo)體單晶的應(yīng)變靈敏系數(shù)可表示半導(dǎo)體單晶的應(yīng)變靈敏系數(shù)可表示ERRKl/半導(dǎo)體的應(yīng)變靈敏系數(shù)還與摻雜濃度有關(guān)，它隨雜質(zhì)的增加而減小半導(dǎo)體的應(yīng)變靈敏系數(shù)還與摻雜濃度有關(guān)，它隨雜質(zhì)的增加而減小551. 結(jié)構(gòu)型式及特點(diǎn) 主要優(yōu)點(diǎn)主要優(yōu)點(diǎn) 靈敏系數(shù)比金屬電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)大數(shù)十倍靈敏系數(shù)比金屬電阻應(yīng)變片的靈敏系數(shù)大數(shù)十倍 橫向效應(yīng)和機(jī)械滯后極小橫向效應(yīng)和機(jī)械滯后極小 溫度穩(wěn)定性和線性度比金屬電阻應(yīng)變片差得多溫度穩(wěn)定性和線性度比金屬電

21、阻應(yīng)變片差得多 56（2）測量電路 恒壓源恒壓源)/(0tRRRUU電橋輸出電壓與電橋輸出電壓與R R / / R R成正比，輸出電壓受環(huán)境溫度的影響。成正比，輸出電壓受環(huán)境溫度的影響。恒流源恒流源RIU0電橋輸出電壓與電橋輸出電壓與R R成正比，環(huán)境溫度的變化對(duì)其沒有影響。成正比，環(huán)境溫度的變化對(duì)其沒有影響。57壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡圖壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)簡圖1 1低壓腔低壓腔 2 2高壓腔高壓腔 3 3硅杯硅杯 4 4引線引線 5 5硅膜片硅膜片 采用采用N N 型單晶硅為傳感器的彈性元件，在它上面直接蒸型單晶硅為傳感器的彈性元件，在它上面直接蒸鍍半導(dǎo)體電阻應(yīng)變薄膜。鍍半導(dǎo)體電阻應(yīng)變薄膜。

22、58工作原理：工作原理： 膜片兩邊存在壓力差時(shí)，膜片產(chǎn)生變形，膜片上各點(diǎn)產(chǎn)生應(yīng)力。膜片兩邊存在壓力差時(shí)，膜片產(chǎn)生變形，膜片上各點(diǎn)產(chǎn)生應(yīng)力。 四個(gè)電阻在應(yīng)力作用下，阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡，四個(gè)電阻在應(yīng)力作用下，阻值發(fā)生變化，電橋失去平衡， 輸出相應(yīng)的電壓，電壓與膜片兩邊的壓力差成正比。輸出相應(yīng)的電壓，電壓與膜片兩邊的壓力差成正比。 四個(gè)電阻的配置位置四個(gè)電阻的配置位置： 按膜片上徑向應(yīng)力按膜片上徑向應(yīng)力r r和切向應(yīng)力和切向應(yīng)力t t的分布情況確定。的分布情況確定。 )31 ()1(83)3()1(8322022202rrhprrhptr設(shè)計(jì)時(shí)，適當(dāng)安排電阻的位置，可以組成差動(dòng)電橋。設(shè)計(jì)時(shí)，適當(dāng)安排電阻的位置，可以組成差動(dòng)電橋。 59特點(diǎn)n優(yōu)點(diǎn)優(yōu)點(diǎn): : 體積小，結(jié)構(gòu)比較簡單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)也好，靈敏體積小，結(jié)構(gòu)比較簡單，動(dòng)態(tài)響應(yīng)也好，靈敏度高，能測出十幾帕的微壓，長期穩(wěn)定性好，滯后和度高，能測出十幾帕的微壓，長期穩(wěn)定性好，滯后和蠕變小，頻率響應(yīng)高，便于生產(chǎn)，成本低。蠕變小，頻率響應(yīng)高，便于生產(chǎn)，成本低。n測量準(zhǔn)確度受到非線性和溫度的影響。智能壓阻式壓測量準(zhǔn)確度受到非線性和溫度的影響。智能壓阻式壓力傳感器利用微處理器對(duì)非線性和溫度進(jìn)