單晶切方滾磨機(jī)操作指導(dǎo)書_第1頁(yè)
單晶切方滾磨機(jī)操作指導(dǎo)書_第2頁(yè)
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1、1、目的: 規(guī)范切方滾磨機(jī)的操作工藝,使該工序處于受控狀態(tài)。2、范圍:Part B:制造二部 本指導(dǎo)書適用于DQMF08單晶切方滾磨機(jī)操作工序3、職責(zé):3.1、 工程師3.1.1、負(fù)責(zé)制訂切方滾磨機(jī)的操作工藝,指導(dǎo)操作人員進(jìn)行生產(chǎn)。3.1.2、對(duì)設(shè)備進(jìn)行檢修與調(diào)試。3.2、 操作員3.2.1、嚴(yán)格按照切方滾磨機(jī)操作工藝操作。3.2.2、發(fā)現(xiàn)異常及時(shí)處理或匯報(bào)記錄。4.作業(yè)內(nèi)容: Part B Operation 操作規(guī)程 4.0、開機(jī)準(zhǔn)備 4.1、 試車 、清洗機(jī)床,首次使用要徹底清洗干凈出廠時(shí)機(jī)床上的防銹油及安裝過(guò)程中的贓物。以后在使用過(guò)程中,開機(jī)前要檢查并清除上次使用過(guò)程留下的雜物。 、檢

2、查液壓油箱內(nèi)是否有足夠的液壓油;檢查渦輪減速箱油面高度。 、檢查冷卻水系統(tǒng),保證水流牢靠暢順。 、啟動(dòng)油泵,使各油缸作往復(fù)運(yùn)動(dòng),檢查保壓是否牢固可靠,是否對(duì)工件作出可靠壓緊,切割鋸片是否牢固到位。 、啟動(dòng)磨頭電機(jī)及鋸片電機(jī),檢查是否運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定可靠,啟動(dòng)橫向伺服電機(jī),由低速至高速,再有高速至低速運(yùn)動(dòng),檢查調(diào)速系統(tǒng)是否穩(wěn)定可靠。 4.2、切方準(zhǔn)備4.2.1、量取晶棒最大直徑及長(zhǎng)度(最好記錄下來(lái))4.2.2、注意:察看晶棒兩端是否平整,如果端面平整度較差,建議用金剛砂錘修理平整。4.2.3、將單晶棒的參考面在定向儀上測(cè)量升在端面上劃出平行線,找平行結(jié)束,并旋轉(zhuǎn)45°。注 意:找行結(jié)束后,要把

3、A軸旋轉(zhuǎn)關(guān)閉,并把床頭箱使用按鈕打到“有”的位置4.2.4、將單晶棒裝夾在機(jī)床上,調(diào)整單晶棒對(duì)回轉(zhuǎn)中心的跳動(dòng)量,其值越小越好,一般保證兩端跳動(dòng)量小于0.5mm,將工件回轉(zhuǎn)伺服電機(jī)的運(yùn)動(dòng)設(shè)置在可調(diào)界面,用高度尺將參考面找正,將工件回轉(zhuǎn)角度調(diào)整為零,在將工件轉(zhuǎn)位450、裝晶棒時(shí)要把手輪松開,壓力在P。推力分為兩檔,為工件加緊壓力P2,為工件調(diào)整加緊力P2(P1>P2),最大加緊行程為160mm。、找正時(shí),壓力在P,找正后壓力在P,并把手輪索緊。 4.2.7、用限位對(duì)好刀,準(zhǔn)備切注 意:1.刀片下來(lái)時(shí),不要碰到晶棒和防水護(hù)罩。2對(duì)好刀后要把刀片上升 4.3、切割程序 4.3.1、切晶棒,啟動(dòng)程

4、序“AAA”注 意:1、觀察水的位置2、切完一面后,量下尺寸;如果正常繼續(xù)切另一面3、二面都切完后,按“CCC”鍵退出程序。4.3.2、保護(hù)罩安裝到位,按“自動(dòng)”程序開始切方,切到位后鋸片返回,取邊料,按“自動(dòng)”程序開始切到另兩個(gè)面,切到位后自動(dòng)停機(jī),取出邊料,等待進(jìn)入下一個(gè)滾磨單晶程序。 4.4、磨外圓、先對(duì)好磨頭,晶棒兩端都空出一個(gè)刀的距離(距離可以略大一點(diǎn))4.4.2、調(diào)整縱向工作臺(tái)右邊接近開關(guān)感應(yīng)塊的位置。使行程與單晶棒加工長(zhǎng)度相符。調(diào)整時(shí)保證磨輪由足夠的出刀量,將縱向工作臺(tái)左邊感應(yīng)塊移至所在滑槽條的右邊, 使工作臺(tái)滾磨外圓右移時(shí)整個(gè)磨輪移出,此時(shí)工作臺(tái)的行程單晶棒的長(zhǎng)度+2倍磨輪直徑

5、出刀余量(1515mm)。如單晶棒只滾磨外圓,則裝夾單晶棒后,需調(diào)整工件對(duì)回轉(zhuǎn)中心的跳動(dòng)量,其值越小越好,一般保證兩端跳動(dòng)量小于0.5mm,確保單晶棒加緊機(jī)構(gòu)在壓力選擇旋鈕的高壓位置。4.4.3、調(diào)整磨頭中心高,根據(jù)鋼直尺讀數(shù),調(diào)整磨頭上下手輪,使磨頭回轉(zhuǎn)中心在單晶棒回轉(zhuǎn)中心下方35mm處。、對(duì)水,讓水噴到磨頭的上部的位置上、在“自動(dòng)方式”里啟動(dòng)“標(biāo)準(zhǔn)件加工”方式,輸入相應(yīng)的單晶棒直徑規(guī)格,選擇粗加工量(一般為1mm)。磨削速度精加工量(一般為0.2mm),精磨削速度。、將護(hù)罩安裝到位后開始自動(dòng)滾磨加工。4.4.7、程序結(jié)束,加工完畢停機(jī),取下加工好的單晶棒,量下尺寸是否符合要求。4.5、 磨方、找垂直1.用角尺給晶棒找垂直;2找完垂直后把床頭箱使用打到“有”的位置、對(duì)磨頭,晶棒兩邊分別空出一個(gè)磨頭的距離、對(duì)水,讓水噴到磨頭中間的位置、啟動(dòng)程序“CCC”,磨的過(guò)程中觀察水的位置、程序結(jié)束,加工完畢停機(jī),取下加工好的單晶棒,量取尺寸是否合格。5.0、注意事項(xiàng)及問(wèn)題處理、參數(shù)輸入一定要正確、在輸入毛坯尺寸時(shí),要輸入的數(shù)比量取的毛坯尺寸略大些。(可以在1-2mm左右)、在磨的過(guò)程中,要觀察水的位置是

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