TFC膜系設(shè)計(jì)實(shí)例教程

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上TFC膜系設(shè)計(jì)實(shí)例教程TFC膜系實(shí)例設(shè)計(jì)步驟（首先以AR膜三層為例介紹）1 首選鍍膜材料：AL2O3 ZRO2 MGF2 2 AR膜技術(shù)要求：400-700 R13 運(yùn)行TFC軟件(如圖1)，選擇“取消”按鈕，如要打開已設(shè)計(jì)好的膜系文件，可按“打開”來調(diào)用文件。圖14 在File菜單中選擇New Coating選項(xiàng)（如圖2）。圖25 進(jìn)入環(huán)境編輯界面（Edit Environment）如圖3圖36.在環(huán)境編輯界面中，第一項(xiàng)為監(jiān)控波長(zhǎng)（Reference wavelength）,默認(rèn)設(shè)制為550（圖3）。如果設(shè)計(jì)400-700波段的AR的話，就可以用這個(gè)設(shè)制。如要設(shè)計(jì)紅

2、外波段的話，那就要改大點(diǎn)。設(shè)好后，點(diǎn)擊Analysis Parameters.項(xiàng)，進(jìn)入下一個(gè)波段的設(shè)制界面（Set Analysis Parameters）。（如圖4）圖46 在Set Analysis Parameters界面中選Wavelengths and Angles設(shè)計(jì)波段范圍，在第一個(gè)輸入框里輸入起始波段400，第二輸入框里輸入結(jié)束波段700，第三個(gè)輸入框里的為步長(zhǎng)，可以不改，其它的不動(dòng)（如圖4）。輸入完成后，按“OK”鍵確認(rèn)，返回到如圖3的界面，再按“OK”鍵，進(jìn)入設(shè)計(jì)界面（如圖5）圖57.在Modify菜單中選LayersFront(如圖6)，然后進(jìn)入添加膜層。（如圖7）圖6圖

3、77 選擇Options Front Layers.,添加層數(shù)，如圖7，在彈出的輸入框的第一個(gè)中輸入3代表3層，如圖8圖88 然后點(diǎn)“OK”，進(jìn)入，出現(xiàn)如圖9的畫面。圖99 現(xiàn)在把Material(材料)項(xiàng)中的，改成你所要的材料AL2O3 ZRO2 MGF2，把Optimize?(優(yōu)化否)項(xiàng)中的NO，全部改為YES（如圖10）圖1010.選擇Modify菜單中的Targetscontinuous項(xiàng)來設(shè)定優(yōu)化目標(biāo)（如圖11）圖1111 選擇Options中的Add Continuous targets.(如圖12)，點(diǎn)擊進(jìn)入，如果是創(chuàng)建一個(gè)優(yōu)化目標(biāo)的話就不用改，如果要?jiǎng)?chuàng)建幾個(gè)優(yōu)化目標(biāo)的話，就在第一個(gè)輸入框中輸入幾。如圖13圖12圖1312 如圖14，在Wavelength(begin)(起始波長(zhǎng))處輸入400，在Wavelength(end)（結(jié)束波長(zhǎng)）處輸入700其它不要?jiǎng)?。圖1413完成后，選Run菜單的Optimize Design選項(xiàng)進(jìn)行優(yōu)化，如圖15圖1514優(yōu)化界面如圖16圖1615優(yōu)化完成后，點(diǎn)擊Analyze查看優(yōu)化后的曲線，如圖17圖1716好了，這個(gè)AR的膜系已設(shè)計(jì)完成了，要查看每層的物理厚度，可以打開菜單Modify中選LayersFront如