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1、電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-1頁 共10頁工序槽名體積分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式化學(xué)沉銅線PTH清潔1線886L2線820LC D-2101次/班(1)取5ml槽液加入250ml錐形瓶中加50ml純水及甲酚紅指示劑用0.1N鹽酸滴至綠黃為終點(diǎn)體積為V (2)計(jì)算:CD-210(N)=0.2*N*V (3)補(bǔ)加:CD-210(L)=(0.20-測(cè))*0.263V槽微蝕 1線886L 2線900LSPS65-95g/l3次/班(1) 取樣品2ml加DI水50ml、10% H

2、2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml. (2)用0.1N KMnO4滴定至淺紅色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)A. (3)取DI水代替樣品,重復(fù)上述步驟,滴定毫升數(shù)為B. (4)計(jì)算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)補(bǔ)加:SPS(kg)=(80-測(cè))*V槽/1000H2SO42.0-3.0%(1) 取樣品2ml加DI水50ml,加入甲基橙指示劑3-4滴. 用0.5NNaOH標(biāo)液滴定至黃色即為終點(diǎn).滴定毫升數(shù)為V. (2)計(jì)算H2SO4(%)=1.33NV% (3)補(bǔ)加:H2SO4(L)=(2.5-測(cè))*V槽/100Cu2+25g/l(1)取樣品2ml加

3、入DI水50ml, 加入20ml PH=10的緩沖液, 加PAN指示劑2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黃色即為終點(diǎn). (2)計(jì)算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2微蝕速率30-50U1次/班(1) 取abcm的覆銅基板經(jīng)酸性除油水洗在120烘干30分鐘,冷卻稱重W1. (2) 經(jīng)微蝕槽(與流程微蝕槽時(shí)間一樣)水洗,吹干在120烘干30分鐘,冷卻稱重W2. (3)計(jì)算:U=(W1-W2)*106/(2ab*8.92*2.54)電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-2頁 共10頁工序

4、槽名體積分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式化學(xué)沉銅線PTH化 學(xué) 銅 (1線2000L 2線2526L)Cu2+3次/班(1) 取試樣20ml于錐形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸鈉至淡黃色,加10%KSCN 20ml加數(shù)滴淀粉并用0.1N硫代硫酸鈉滴至白色為終點(diǎn),體積為V。 (2)計(jì)算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V . (3)補(bǔ)加:EC-251A(L)=(2-測(cè))*26.67NaOH8-10g/l(1) 取試樣5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升數(shù)為A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至

5、PH=10.5滴定數(shù)為B (2)計(jì)算:NaOH(g/l)=8*A*N HCHO(g/l)=6*B*N (3)補(bǔ)加:EC-251B(L)=(9-測(cè)值)*6.67 EC-251C(L)=(6-測(cè)值)*8.33HCHO5-7g/l絡(luò)合劑0.05N(1) 取5ml槽液放入錐形瓶中加0.2gMX指示劑搖勻用0.01N硫酸銅標(biāo)液滴至綠色為終點(diǎn)(2)計(jì)算:絡(luò)合劑(N)=0.002v+0.0158Cu2+ (3)補(bǔ)加:EC-251M(L)=(0.06-測(cè))*2667沉積速率0.4-0.6m1次/班(1) 將ab的無銅基板按化銅正常流程走出后,將試驗(yàn)板放入250ml燒杯中,加20ml PH=10緩沖液和7-8滴

6、H2O2,加50mlDI水和5滴PAN指示劑用0.05N EDTA滴定至蘋果綠為終點(diǎn).滴定數(shù)為V. (2)沉積厚度(m )=635NV/(2ab*8.92)除 膠 渣 總錳60-70g/l1次/班(1) 取1ml槽液于250ml錐形瓶中,加50mLDI水,加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3 (2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黃色加1%淀粉指示劑5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至無色,記下一共所需毫升數(shù). (3)計(jì)算:Mn(g/l)=31.6NV (4)補(bǔ)加:KMnO4(kg)=(65-測(cè)值)*V/1000水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3

7、009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-3頁 共10頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式化學(xué)沉銅線PTH除 膠 渣 ( 1線1800L 2線2616L)六價(jià)錳1.145用量程為1.1-1.2的比重計(jì)測(cè),直接讀數(shù).速化1線886L2線900LAL-242B0.9-1.3%1次/班(1)取加速槽液5mL于錐形瓶中加入50mL水加入6N鹽酸25mL,加入20%碘化鉀10ml用0.1N硫代硫酸鈉標(biāo)液滴定至黃色, 加入淀粉指示劑繼續(xù)滴至無色為終點(diǎn)。(2)計(jì)算:AL-242B(%)=1.2NV% (3)補(bǔ)加:AL-242B(L)=(1.2%-測(cè)

8、)*V槽PH用PH計(jì)直接測(cè)量電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-5頁 共10頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式脈 沖 電 鍍 線銅槽1500LH2SO4210-230g/L1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線銅槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線硫酸銅CL-55-85ppm1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線CL-光劑3-5mL/L1次/周計(jì)算與分析方法同一銅線光劑哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ,記時(shí)5min,由赫爾槽打哈氏片判定,哈氏看板三

9、個(gè)月一換污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測(cè)定酸洗700LH2SO49-11%1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線酸洗脫銅600LHNO3300-500mL/L1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線脫銅電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-6頁 共10頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式填 孔 電 鍍 線銅槽H2SO4210-230g/L1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線銅槽硫酸CuSO4.5H2O60-80g/L1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線硫酸銅CL-55-85ppm1次

10、/3天計(jì)算與分析方法同一銅線CL-光劑1次/周計(jì)算與分析方法同一銅線光劑潤(rùn)濕劑7-11mL/L1次/周1) 用 8mL/L的潤(rùn)濕液作標(biāo)準(zhǔn)曲線并保存2) 把槽液放在吸管下,把VMS液放在電極下,按分析即可,記錄數(shù)據(jù)整平劑6-10mL/L1次/周1) 作整平劑曲線并保存2) 用50mL的含LEVER標(biāo)準(zhǔn)液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光劑(6-光劑測(cè)值)/20毫升,潤(rùn)濕劑 (25-潤(rùn)濕測(cè)值)/20毫升,按分析即可,記錄數(shù)據(jù)哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ,記時(shí)5min,由赫爾槽打哈氏片判定,哈氏看板三個(gè)月一換污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測(cè)定預(yù)浸預(yù)浸劑9-11%1次/周1) 用

11、75mL的INTERCEPT標(biāo)準(zhǔn)液作空白2) 加入25mL的預(yù)浸槽液按分析即可,記錄數(shù)據(jù)酸洗H2SO49-11%1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線酸洗脫銅HNO3300-500mL/L1次/3天計(jì)算與分析方法同一銅線脫銅電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-7頁 共10頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式一 次 電 鍍 銅 1# 線電 鍍 銅 槽 (12000L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲

12、基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2) 計(jì)算:H2SO4=49*N*V (3) 補(bǔ)加:H2SO4=(220-測(cè))*7.9CuSO45H2O55-75g/l(1) 取1ml樣于錐形瓶中加PH=10的緩沖液至溶液呈深藍(lán)色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示劑用0.05N EDTA-2Na滴至黃綠色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V (2) 計(jì)算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3)補(bǔ)加: CuSO45H2O(Kg)=(65-測(cè))*5.5Cl-40-80ppm(1)取樣25ml置入錐形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3搖勻,作其后之比較

13、(2)重復(fù)上述步驟,將測(cè)試液加5-6滴0.1N AgNO3標(biāo)液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰為止,再滴1-2滴,如澄清則已到終點(diǎn),如渾濁則繼續(xù)滴直到清晰,清晰度與此液比較核實(shí). (4)計(jì)算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-測(cè))*14.5哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ,記時(shí)5min,由赫爾槽打哈氏片判定,哈氏看板三個(gè)月一換光劑含量1-3mL/L1次/周由CVS儀直接測(cè)定污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測(cè)定脫銅(2800L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取樣1ml于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙

14、指示劑0.5NNaOH滴至黃色為終點(diǎn),記下NaOH之毫升數(shù)V. (2)計(jì)算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)補(bǔ)加:HNO3(L)=(400-測(cè))*V槽/1000酸洗(1600L)H2SO46-8%同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析養(yǎng)板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-8頁 共10頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式一 次 電 鍍 銅 2# 線電 鍍 銅 槽 (5500L)H2

15、SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2) 計(jì)算:H2SO4=49*N*V (3) 補(bǔ)加:H2SO4=(220-測(cè))*17.1CuSO45H2O55-75g/l(1) 取1ml樣于錐形瓶中加PH=10的緩沖液至溶液呈深藍(lán)色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示劑用0.05N EDTA-2Na滴至黃綠色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V (2) 計(jì)算: CuSO45H2O(g/l)=250*N*V.(3) 補(bǔ)加: CuSO45H2O(Kg)=(65-測(cè))*12Cl-40

16、-80ppm(1) 取樣25ml置入錐形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3搖勻,作其后之比較 (2) 重復(fù)上述步驟,將測(cè)試液加5-6滴0.1N AgNO3標(biāo)液.(3) 用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰為止,再滴1-2滴,如澄清則已到終點(diǎn),如渾濁則繼續(xù)滴直到清晰, 清晰度與此液比較核實(shí). (4) 計(jì)算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5) 添加:HCl(mL)=(60-測(cè))*31.5哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ,記時(shí)5min,由赫爾槽打哈氏片判定,哈氏看板三個(gè)月一換光劑含量1-3mL/L1次/周由CVS儀直接測(cè)定污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測(cè)定脫銅(27

17、68L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取樣1ml于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示劑0.5NNaOH滴至黃色為終點(diǎn),記下NaOH之毫升數(shù)V. (2)計(jì)算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)補(bǔ)加:HNO3(L)=(400-測(cè))*V槽/1000酸洗(1600L)H2SO46-8%同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析養(yǎng)板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-9頁 共10

18、頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式一 次 電 鍍 銅 3# 線電 鍍 銅 槽 (3700L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2)計(jì)算:H2SO4=49*N*V (3)補(bǔ)加:H2SO4=(220-測(cè))*7.9CuSO45H2O55-75g/l(1)取1ml樣于錐形瓶中加PH=10的緩沖液至溶液呈深藍(lán)色,加50mlDI水加2-3滴PAN指示劑用0.05N EDTA-2Na滴至黃綠色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V (2)計(jì)算: CuS

19、O45H2O(g/l)=250*N*V.(3)補(bǔ)加: CuSO45H2O(Kg)=(65-測(cè))*5.5Cl-40-80ppm(1)取樣25ml置入錐形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3搖勻,作其后之比較 (2)重復(fù)上述步驟,將測(cè)試液加5-6滴0.1N AgNO3標(biāo)液.(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰為止,再滴1-2滴,如澄清則已到終點(diǎn),如渾濁則繼續(xù)滴直到清晰,清晰度與此液比較核實(shí). (4)計(jì)算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-測(cè))*14.5哈氏試驗(yàn)1次/周電流2A ,記時(shí)5min,由赫爾槽打哈氏片判定,哈氏看板三個(gè)月一換光

20、劑含量1-3mL/L1次/周由CVS儀直接測(cè)定污染指數(shù)120uA1次/周由CVS儀直接測(cè)定脫銅(780L)HNO3300-500ml/l1次/3天(1)取樣1ml于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙指示劑0.5NNaOH滴至黃色為終點(diǎn),記下NaOH之毫升數(shù)V. (2)計(jì)算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)補(bǔ)加:HNO3(L)=(400-測(cè))*V槽/1000酸洗(1200L)H2SO46-8%同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析養(yǎng)板槽(1000L)H2SO40.5-1.0%1次/班同PTH線微蝕槽中H2SO4的分析電鍍藥水化驗(yàn)操作規(guī)范制作單位:品保部 文件編號(hào):QY-QA3009-05制作日期:2010/01/20版 本 號(hào):D1總 頁 數(shù):第05-10頁 共10頁工序槽名(體積)分析項(xiàng)目控制范圍分析頻率分析方法及計(jì)算公式一 次 電 鍍 銅 4# 線電 鍍 銅 槽 (3700L)H2SO4200-240g/l1次/3天(1) 取1ml樣于250ml錐形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH標(biāo)準(zhǔn)液滴定至黃色為終點(diǎn),滴定毫升數(shù)為V .(2)計(jì)算:H2SO4=49*N*V (3)補(bǔ)加:H2SO4=(2

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