防靜電檢測(cè)規(guī)范

1、精品防靜電檢測(cè)規(guī)范可編輯1 、目的：2、適用范圍：3、定義4、職責(zé)5、程序6、相關(guān)文件和記錄7、附錄5、程序目錄.錯(cuò)誤.!未定義書簽。錯(cuò)誤. !未定義書簽。錯(cuò)誤!未定義書簽。錯(cuò)誤!未定義書簽。2.15155.1 測(cè)試方法：5.1.1 測(cè)試環(huán)境：環(huán)境溫度23 ± 5 C ,相對(duì)濕度40%70% 。5.1.2測(cè)試儀器使用方法5.1.2.1 靜電場(chǎng)測(cè)試儀（TREK520）靜電場(chǎng)測(cè)試儀是感應(yīng)式的，該儀器表面有可通過按“2 個(gè)按鍵：“POWER”、“RANGE/ZERO ”、HOLD” , 按“POWER” 鍵開機(jī)/關(guān)機(jī)。該儀器有兩個(gè)量程：02KV 、 020KV,RANGE/ZERO”鍵進(jìn)行

2、切懶顯示3位小數(shù)時(shí)，量程范圍為02KV ;當(dāng)顯示2位小數(shù)時(shí)，量程范圍為020KV。每次測(cè)試時(shí)都應(yīng)進(jìn)行讀數(shù)清零工作，方法為：將 sensor對(duì)準(zhǔn)一個(gè)已知的電壓為0V的導(dǎo)體上，按“ RANGE/ZERO”鍵短秒鐘。為保證測(cè)試值的準(zhǔn)確性，測(cè)試時(shí)人體必須戴靜電環(huán)或穿防靜電鞋。測(cè)試前，先將待測(cè)物放置在絕緣的物體上（如干燥的硬紙板），手持干燥并干凈的棉布以每 分鐘120次的速度，施加適當(dāng)?shù)膲毫Γ?4千克力），單向摩擦待測(cè)物表面20 次，然后用儀器測(cè)量電壓（senor距離被測(cè)物表面的距離為2.54CM及兩個(gè)紅燈 重合在一起），將顯示的讀數(shù)乘以1000即得實(shí)際的電壓值，例如讀數(shù)為“.018則實(shí)際電壓為18V。

3、5.1.2.2 表面電阻測(cè)試儀（ACL-385 ）ACL-385為簡(jiǎn)易表面電阻測(cè)試儀，該儀器兩個(gè)測(cè)試電極間距根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)不變，測(cè)試時(shí)將被測(cè)物放于絕緣的平面上，表面電阻測(cè)試儀平置在材料表面上，手指施加適當(dāng)壓力（24KG）于測(cè)試按鈕上，使測(cè)試電極與材料表面接觸良好，指示燈發(fā)亮檔即為讀數(shù)。如果被測(cè)材料為軟性材料，可施加 46kg的壓力進(jìn)行測(cè)試。5.1.2.3 接地電阻測(cè)試儀（EMI-20780 ）精品EMI-20780 可以測(cè)試點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻（RTT）,接地電阻（RTG）、體積電阻，和表面 電阻率，配套兩點(diǎn)測(cè)試電極可測(cè)量微小物體表面電阻.測(cè)試范圍為：1x 103?-1012?;測(cè)試電壓為：10V或100V+

4、/-5% ;測(cè)試精度為：+/-10%；測(cè)試時(shí)間為15 秒；測(cè)試時(shí)：把2條連接線分別插入測(cè)試表上端的“ A”插口，注意白色連接線和 黑色連接線的插頭不同，不要插錯(cuò).然后連接線另一端分別插入點(diǎn)對(duì)點(diǎn)重錘電極； 按下“D”測(cè)試按鍵15秒，這時(shí)LCD屏幕按順序顯示如下：華氏溫度攝氏溫度相對(duì)濕度 電阻值 所采用的測(cè)試電壓電阻測(cè)試結(jié)果由“ B”顯示屏和“C”冥數(shù)LED指示燈共同顯示，例如電阻值為175 , 000 , 000 Q,顯示如下：1.75顯示在“B”顯示屏上，同時(shí)“C” LED指示燈的8會(huì)亮，表示測(cè)試結(jié)果為：1.75 x 108Qo如果LCD顯示屏顯示“ 1 :,說明超過該儀器測(cè)試范圍。測(cè)試電壓為

5、10V或100V,按下“ F”鍵，采用10V電壓測(cè)試，如果不按下“ F”鍵，儀 器會(huì)根據(jù)不同測(cè)試材料自動(dòng)選擇測(cè)試電壓.阻值在105 Q以下時(shí)采用10V測(cè)試電壓，阻 值在106Q以上時(shí)采用100V測(cè)試電壓5.1.2.4人體綜合電阻測(cè)試（腕帶測(cè)試、鞋測(cè)試）測(cè)試步驟：1 .員工進(jìn)入車間前應(yīng)首先確認(rèn)靜電手腕佩戴正確，靜電鞋鞋底干凈，穿戴正確。左右兩腳分別踏上靜電測(cè)試儀的左右兩個(gè)金屬腳踏板，然后將防靜電手腕插入靜電測(cè)試儀面板的手環(huán)插口。2 .掃描工卡后，電腦會(huì)顯示你的身份資料，同時(shí)儀器的 LCD面板提示“請(qǐng)您按下測(cè)試鍵”。手指按下測(cè)試鍵，（確保手指與按鈕金屬鍵的完全接觸） 開始測(cè)試，3秒后儀器將測(cè)試完畢

6、。3 .如果受測(cè)對(duì)象合格，儀器“嘟”長(zhǎng)響一聲，同時(shí)儀器的 LCD面板顯示“通 過”，如果測(cè)試不合格，儀器”嘟嘟嘟嘟”短響8聲，同時(shí)儀器的LCD面 板顯示“不通過”。不通過時(shí)可連續(xù)測(cè)試 4次，若還是不合格，員工立即 到IPQA處更換。4 . IPQA應(yīng)維持測(cè)試秩序并監(jiān)督每位員工的測(cè)試過程。都試百斗酒品二一定要已礴隅 酊于耳并把插頭 入播孔（住意選 舞左右捅孔）斯梵嘀.的再音說囿咸功，fM并離謂1,贅大于4清枝瞅仗鼎時(shí) 板小岬I,的中支捉小操作:則以幽刷員工kf幻請(qǐng)注意一打中文作方法投5.1.2.5接地樁電阻測(cè)試儀（ZC29B型號(hào)）1 .沿被測(cè)接地極E'使電位探棒P'和電流探棒C&

7、#39;依直線0娜匕相地位探棒P'系在E'和C之間。2 .E端鈕接5m導(dǎo)線，P端鈕接20m導(dǎo)線，C端鈕接40m導(dǎo)線。3 .將儀表放置水平后檢查檢流計(jì)是否指零，否則可將零位調(diào)正器調(diào)節(jié)零位。4 .將“位率標(biāo)度”置于最大倍率慢慢轉(zhuǎn)動(dòng)發(fā)動(dòng)的搖把，同時(shí)旋動(dòng)電位器刻度盤，使檢流計(jì)指針指“0”。5 .當(dāng)檢流計(jì)的指針接近平衡時(shí)，加快發(fā)電機(jī)搖柄轉(zhuǎn)速，使其達(dá)到每分鐘150轉(zhuǎn)。再轉(zhuǎn)支電位器刻度盤，使檢流計(jì)平衡，此時(shí)刻度盤的讀數(shù)乘以倍率檔即為被測(cè)接地電阻數(shù)值。6 .當(dāng)刻度盤讀數(shù)小于1時(shí)應(yīng)將倍率開關(guān)置于較小倍率，重新調(diào)整刻度盤以得正確讀數(shù)。7 .當(dāng)測(cè)量小于1歐的接地電阻時(shí)，應(yīng)將2個(gè)印的聯(lián)結(jié)片打開，分別用

8、導(dǎo)線聯(lián)接到 被測(cè)接地體上，以消除測(cè)量時(shí)聯(lián)接導(dǎo)線電阻的附加誤差，操作步驟同上。8 .當(dāng)檢流計(jì)的靈敏度過高時(shí)，可將二根探棒插入土壤中淺一些，當(dāng)檢流計(jì)靈敏度過低時(shí)，可沿探棒注水使其濕潤(rùn)。5.1.2.6 離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀（3M-718 /3M-718A）1、 打開測(cè)試儀（718 ）電源，將測(cè)試儀（718 ）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A ）金屬端相連接，同時(shí)按下靜電產(chǎn)生儀“+ ”按鈕和測(cè)試儀“HOLD ”鍵，測(cè)試儀顯靜電值應(yīng)大于“ +1000V ”。2、 在離子風(fēng)機(jī)下不超過30cm 處水平移動(dòng)靜電測(cè)試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測(cè)試儀顯示值應(yīng)大于-40V 小于 +40V 。3、 打開測(cè)試儀（718 ）

9、電源，將測(cè)試儀（718 ）金屬板一端與靜電產(chǎn)生儀（718A ）金屬端相連接，同時(shí)按下靜電產(chǎn)生儀“-”按鈕和測(cè)試儀“HOLD ”鍵，測(cè)試儀顯靜電值應(yīng)小于“ -1000V ”。4、 離子風(fēng)機(jī)下不超過30cm 處水平移動(dòng)靜電測(cè)試儀3秒鐘（金屬板向上），再看測(cè)試儀顯示值應(yīng)大于-40V 小于 +40V 。5、 在檢測(cè)表中記錄顯示值，注明檢測(cè)日期，調(diào)節(jié)后的值。注意：要求平衡電壓為-40 0平衡電壓040V5.1.2.7 手腕監(jiān)視器電容測(cè)試儀(SAML1800 ) ：測(cè)試時(shí)，開關(guān)旋轉(zhuǎn)至“ 1801 FALL”檔，SALM1801S-I的LED變成紅色，蜂鳴器發(fā)出報(bào)警聲響；旋轉(zhuǎn)開關(guān)至“ 1801 PASS”檔

10、，SALM1801S-I的LED變成綠燈，蜂鳴器停止發(fā)出報(bào)警聲響。此為合格。5.2 測(cè)試項(xiàng)目5.2.1 靜電接地極電阻測(cè)試每半年使用ZC29B進(jìn)行一次測(cè)試，要求靜電接地極對(duì)地電阻小于1Q ,將測(cè)試結(jié)果記錄在 ESD 點(diǎn)檢記錄表格中。5.2.2 設(shè)備、儀器接地電阻測(cè)試每月由ESD專員或指定人員用萬用表測(cè)試設(shè)備儀器接地電阻一次(新建工位或工位調(diào)整后要立即測(cè)試)測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。1 .設(shè)備儀器接地電阻：設(shè)備儀器外殼與靜電接地線之間的阻抗要小于100M試頻率：每月。2 . 電烙鐵：對(duì)使用中的電烙鐵進(jìn)行接地電阻測(cè)試，要求烙鐵頭與靜電接地線之間的阻抗要小于10QO測(cè)試頻率：每天。1.1.

11、3 靜電接地線接地電阻：每半年由廠務(wù)或指定人員對(duì)靜電接地線的接地電阻進(jìn)行檢測(cè)。要求每條線都要測(cè)。測(cè)試方法：在每條靜電接地線上任意找一個(gè)點(diǎn)，將萬用表的一端連在這個(gè)點(diǎn)上，另一端插在電源地線孔里。要求電阻值小于10 Q。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格 中。1.1.4 防靜電工服PET程師或指定人員，每季度對(duì)員工的工衣用EMI-20780測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)試，要求表面電阻1X 152?<Rs< 1 X 19?（上衣做點(diǎn)對(duì)點(diǎn)、袖對(duì)袖、片對(duì)片測(cè)試，褲子做褲腳 對(duì)褲腳、點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)試），“每次全檢，測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。 如檢測(cè)到不合格的情況，在此防靜電服的胸口處蓋上“此防靜電服不合格”章

12、，并郵件通知該員工經(jīng)理讓其當(dāng)天之內(nèi)到庫房更換。IPQA監(jiān)督有無不合格靜電服流入產(chǎn)線。1.1.5 防靜電工作臺(tái)PET程師或指定人員負(fù)責(zé) 每月使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求表面電阻 在1 x 151 x 1G歐姆和接地電阻在fl w 1G歐姆。每塊工作臺(tái)面測(cè)試3個(gè)點(diǎn)，將測(cè)試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。1.1.6 地板由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試表面電阻一次，要求地板的表面電阻在 1*10 51*10 9? 之間。每100 平米地面測(cè)5個(gè)點(diǎn)（對(duì)于面積小于100平方米的獨(dú)立區(qū)域如：IQC、RD實(shí)驗(yàn)室、來料倉，每個(gè)區(qū)域要測(cè)5個(gè)點(diǎn)）。測(cè)試時(shí)兩個(gè)電極距 離為0

13、.6米1米，測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。同時(shí)由廠務(wù)或指定人員每半年測(cè)試地板的接地電阻一次，接地電阻在1*10 5-1*10 9Q之間。測(cè)試方法：將EMI-20780的一個(gè)電極放在地板上，另一端 插入電源地線插孔里。每100平米測(cè)試1個(gè)點(diǎn)。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表 格中。1.1.7 物流器具（如：周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)車、貨架）1.1.7.1 由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用TREK520和EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求摩擦電壓小于100V,周轉(zhuǎn)箱表面電阻：3?<- 10X 10?,每次每種器具抽檢，每1條線抽檢10Pcs ,如果有1Pcs不合格則全檢。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表

14、 格中。1.1.7.2 由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求周轉(zhuǎn)車，貨 架表面電阻小于1畛,10g地電阻在1哭?101 x 10?之間。測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。1.1.8 腕帶、工鞋性能檢測(cè)操作類員工每日進(jìn)入車間前要進(jìn)行手環(huán)、工鞋測(cè)試，測(cè)試結(jié)果由電腦自動(dòng)保存，產(chǎn)線專門人員進(jìn)行存檔管理；在車間辦公的職員，每日上班進(jìn)入車間前要進(jìn)行工鞋測(cè)試，對(duì)于有可能接觸產(chǎn)品的職員（如生產(chǎn)主管、工藝、設(shè)備、質(zhì)控人員）每日上班也必須使用人體綜合電阻測(cè)試儀，測(cè)試記錄由電腦自動(dòng)保存。如有測(cè)試不合格者需立即到IPQA處更換。測(cè)試合格后方能進(jìn)入產(chǎn)線。腕帶系統(tǒng)電阻：800K Q10M Q

15、;工鞋系統(tǒng)電阻：100KQ-35M Q。1.1.9 靜電場(chǎng)檢測(cè)由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用靜電場(chǎng)測(cè)試儀（TREK520）對(duì)車間各工位的靜電場(chǎng)強(qiáng)進(jìn)行一次 測(cè)試，并將測(cè)試結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。測(cè)試要求：距工作臺(tái)30CM 范圍內(nèi)，靜電值要小于+/- 100 V1.1.10 離子風(fēng)機(jī)測(cè)試由ESD專員負(fù)責(zé)每季度使用3M-718與3M-718A對(duì)車間的離子風(fēng)機(jī)性能進(jìn)行測(cè)試，測(cè)試內(nèi)容包括“平衡電壓”、“消電時(shí)間”，并將結(jié)果記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中測(cè)試要求：測(cè)試儀器距離離子風(fēng)扇正前方 30厘米；合格標(biāo)準(zhǔn)：1000V降到100V的消電時(shí)間小于 3秒，平衡電壓絕對(duì)值小于40V。注： CPM 要分別在正、

16、負(fù)兩種充電狀態(tài)下測(cè)試1.1.11 防靜電工作椅子由ESD專員負(fù)責(zé)每月使用EMI-20780測(cè)試儀測(cè)試一次，要求表面電阻和接地電阻都在1 X 10-1 X 10歐姆之間，。將測(cè)試結(jié)果平均值記錄在ESD點(diǎn)檢記錄表格中。1.1.12 傳送帶測(cè)試由 ESD 專 員 負(fù) 責(zé) 每 季 度 使 用 表 面 阻 抗 測(cè) 試 儀 測(cè) 試 一 次 ， 要 求 表 面 電 阻 在1 X105-1 X109歐姆之間。每條傳送帶測(cè)試3個(gè)點(diǎn)，將測(cè)試結(jié)果平均值記錄在ESD 點(diǎn)檢記錄表格中。1.1.13 手腕監(jiān)視器測(cè)試由ESD專員負(fù)責(zé)每半年使用SAML1800校正儀對(duì)手腕監(jiān)視器的電容進(jìn)行一次。測(cè)試不合格立即更換。5.3 防靜

17、電包裝材料的測(cè)試5.3.1 認(rèn)證測(cè)試：首先要求供應(yīng)商送樣給 PE確認(rèn)，同時(shí)附上產(chǎn)品的相關(guān)參數(shù)說明書或產(chǎn) 品相關(guān)性能指標(biāo)認(rèn)定書，經(jīng) PE驗(yàn)證合格后方可采購。防靜電性能測(cè)試環(huán)境要求：溫度23 *5比5掘度測(cè)試項(xiàng)目材料表面電阻摩擦電壓屏蔽泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測(cè)試ESD標(biāo)志PE®VVVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有機(jī)保護(hù)屏VVV緩沖材料VV屏敝袋VVVVV防靜電膠帶VVVV防靜電防塵布VV打?yàn)楸販y(cè)項(xiàng)目高溫測(cè)試：在溫度為 60 c濕度為15%的干燥箱內(nèi)烘烤12天或在溫度為70 S,度為15%的干燥箱內(nèi)烘烤8天，然后放于室溫存放24小時(shí)再進(jìn)行表面電阻、摩擦電壓測(cè)試5.3.2 接收測(cè)試

18、PE部門對(duì)所有無物料代碼的ESD輔料進(jìn)行來料檢驗(yàn)。不定期全檢。檢驗(yàn)要求如下:防靜電性能測(cè)試環(huán)境要求：溫度23g57(01s測(cè)試項(xiàng)目材料表面電阻摩擦電壓屏敝泄漏電壓高溫環(huán)境模擬測(cè)試ESD標(biāo)志PE®VVV吸塑盒、物料盒VVVV汽珠袋、泡棉VV有機(jī)保護(hù)屏VVO緩沖材料VVO防靜電膠帶VVVV屏敝袋VVVV防靜電防塵布VV5.3.3 點(diǎn)檢測(cè)試由ESD小組人員每個(gè)月使用表面阻抗測(cè)試儀對(duì)各條線的防靜電袋、自制容器、防靜電膠、有機(jī)玻璃屏進(jìn)行抽檢。要求表面電阻在4-1 X 101歐奧之間，摩擦電壓小于100V。每條線測(cè)試5Pcs,若有3Pcs不合格則整條線全檢并更換相應(yīng)物料。以上這些物料必須有防靜電

19、標(biāo)識(shí)才可投入產(chǎn)線使用，一經(jīng)IPQA發(fā)現(xiàn)將沒收,找替代品或者做防靜電加工。5.4 各類防靜電物品、設(shè)施檢測(cè)指標(biāo)測(cè)試項(xiàng)目摩擦電壓表面電阻系統(tǒng)電阻防靜電工服、工帽1 x 1(5?WR S<1 X 109?工鞋1 X 10?WR s<1X 10?0.1 X 1(6?< R<3.5X 10?腕帶內(nèi)面v 1 x 510外面1X7100.8 X 1(6?< R<3.5X 10?防靜電地板0.1 x f?WR S<1 X 1(9?0.1 X f?WR<1 X 10?工作臺(tái)1 X 1(6?<R S<1 X 1(9?0.75 X fOW R<1 X

20、 10?周轉(zhuǎn)箱、周轉(zhuǎn)盒、托盤、料盒、防靜電刷子、防靜電鐐<100V1 X 1(3?<R S<1 X 1(9?子、防靜電推車傳送帶1 X106?WRs<1 X109?防靜電工作椅1 x 1(5?<Rs<1 X 109?1 X 1(6?<R<1 X 1(9?PEt<100V1 X 1(4?<R S<1 X 101?吸塑盒<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?汽珠袋、泡棉<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?緩沖材料<100V1 X 1(4?<R s<1X 101?屏蔽型防靜電袋<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?防靜電膠帶<100V1 X 1(4?<Rs<1 X 101?防靜電有機(jī)玻璃板<100V1 X 1(4?<R s<1 X 101?防靜電防塵布、手套、指<100V1 X