原子力顯微鏡簡(jiǎn)易中文操作手冊(cè)

1、美國(guó)Asylum Research 原子力顯微鏡MFP-3D-SA 標(biāo)準(zhǔn)型原子力顯微鏡簡(jiǎn)易中文操作手冊(cè)第一版杭州葛蘭帕科技AC Mode in Air 輕敲模式大氣1. 開啟原子力顯微鏡控制器、電腦以及減震臺(tái)。檢查各個(gè)系統(tǒng)是否正常啟動(dòng)。2. 進(jìn)入 WindowsXP 系統(tǒng)，啟動(dòng) Igor pro 軟件，在 Igor pro 軟件的下方，開啟視頻窗口， 由原子力顯微鏡 CCD 提供光學(xué)觀察窗口， 為觀察樣品、 選取下針位置以及 “對(duì)光作業(yè) 提供條件。對(duì)光作業(yè)指的是將定位激光正確的對(duì)準(zhǔn)到探針懸臂外表適宜位置， 確保力學(xué)信號(hào)反應(yīng) 的準(zhǔn)確度。3. 開啟位于控制器上的激光光源及為樣品提供照明用的氙燈光纖

2、光源。 氙燈光源亮度可以根據(jù)實(shí)際需求自由設(shè)定， 以可以準(zhǔn)確觀察樣品以及探針為標(biāo)準(zhǔn)。 在正 式進(jìn)入原子力顯微鏡掃描過程中，可以將其關(guān)閉，以延長(zhǎng)其燈泡使用壽命。4. 裝針作業(yè)：將探針夾持器 cantilever holder 按照呈三角形排布的定位小球位置卡入探針臺(tái)cantilever holder stand 上。然后用螺絲啟子把 can tilever holder 上的螺絲松開34圈，不可過松，防止螺絲 滑脫。翻開探針盒，用鑷子拾取探針， 注意夾取探針時(shí)的角度， 要保住垂直夾取， 夾取探 針的位置也要中間偏前段一點(diǎn)，為將探針尾部推入螺絲夾具口提供足夠操作空間。 探針插入夾具口后，根據(jù)實(shí)際情況

3、，再精細(xì)調(diào)整位置，使其大致處于正中間位置。 最后用大拇指和中指夾住螺絲刀， 進(jìn)行旋緊。 使用兩個(gè)手指的目的， 就是確保力量 不要太大，防止夾碎探針或者把螺絲螺紋破壞。擰緊的原那么是感覺有阻力后再擰 1/4 圈，要視具體情況定再用鑷子輕輕觸碰探針側(cè)面，看其是否因?yàn)闆]有夾緊而發(fā)生移動(dòng)。 裝入朝上放置的掃描器頭部圓形槽口，注意定位小球的位置。5. 樣品臺(tái)準(zhǔn)備工作拿起 MFP-3D 原子力顯微鏡掃描器頭部。露出原子力顯微鏡平板式掃描板上的樣 品臺(tái)。將承載有樣品的載玻片或者功能模塊 功能模塊具體安裝另行說明 放入樣品臺(tái)大 致正中位置。用提供的兩塊磁鐵分別吸住載玻片兩端，起到固定作用。 將掃描器頭部放回，

4、 注意持握手法， 用手托住后端， 先將兩個(gè)后腳放入樣品臺(tái)上的 孔洞位置， 然后逐步放下前段的那個(gè)支腳， 主要是防止裝有探針的頭部因?yàn)榕c樣品 間距不夠，直接砸在樣品上，導(dǎo)致探針損壞。三個(gè)支腳之間的上下需要重視， 一般先將兩個(gè)后腳之間調(diào)平， 前腳稍高于后腳， 以 便最后的下針調(diào)整動(dòng)作。 可以通過使用水準(zhǔn)儀或者在隔音柜背后貼一張白紙， 通過 機(jī)器上下間縫，還是可以比擬容易的校對(duì)平衡。前腳放下去的時(shí)候注意樣品和針尖之間的距離， 確認(rèn)放下去不會(huì)碰到后， 再調(diào)整前腳高度，間隙調(diào)整到大致 1mm 左右。 假設(shè)后腳明顯偏高，需先調(diào)高前腳，再提高后腳，然后再調(diào)低前腳。6. 對(duì)光作業(yè)通過掃描器頭部后面 CCD 反

5、射鏡上的兩個(gè)旋鈕， 上下左右調(diào)整運(yùn)動(dòng)來尋找到探針， 使其出現(xiàn)在視頻窗口，調(diào)節(jié)掃描器頭部后反射鏡附近的聚焦旋鈕, 對(duì)探針聚焦以使探針清晰。調(diào)整掃描器頭部上的 LDx 及 LDy 旋鈕，一邊觀察視頻窗口，一邊觀察 SUM 值大 小，使 Sum 值到達(dá) Max 。SUM 值最大后，調(diào) PD 旋鈕頭部左面 ，使 Deflection 趨于 0。調(diào) DeflectionLDx 及 LDy 旋鈕，使 Sum時(shí)，假設(shè) Sum 值發(fā)生偏移變化太大，就必須重新調(diào)調(diào)整值到達(dá) Max 。否那么進(jìn)行 thermal tune 時(shí)找不到共振峰。 關(guān)于真光斑與假光斑之分因?yàn)閵A持器透射三角棱鏡的關(guān)系， 在實(shí)際對(duì)光作業(yè)中，

6、我們會(huì)發(fā)現(xiàn)三個(gè)光斑， 兩個(gè) 假光斑，一個(gè)真光斑。其位置關(guān)系如下：光斑在探針上的位置大致在探針懸臂前部位置，不要太靠前，以取得最大SUM為宜。關(guān)于Deflection與SUM關(guān)系原子力顯微鏡光電傳感器采用的是四象限傳感器。SUM值最大是指從懸臂反射回來的激光打在了四象限板SUM=A+B+C+DDeflectio n=(A+B)_(C+D)Sum :表示光斑打到光電傳感器上的總強(qiáng)度大小。所以當(dāng)我們調(diào)整 SUM值最大后，在調(diào)整 Deflection時(shí)，SUM有時(shí)會(huì)發(fā)生變化,這時(shí)我們需要再調(diào)整下，以使兩個(gè)值都到達(dá)相對(duì)完美狀態(tài)。7. 探針定標(biāo)：Thermal tune 熱定標(biāo)法選擇操作框 Tune ,對(duì)

7、話框中有兩種形式，Auto Tune和Manual Tune。大氣模式選用Auto Tune，液相模式選用 Manual Tune。做之前現(xiàn)在 Append phase 打鉤，確保共振峰準(zhǔn)確性。Do thermal 后，等到 Current samples > 20 ,stop thermal ，在圖中用 Ctrl+i 取點(diǎn)，放到Max，圖下方的X值即為共振頻率。進(jìn)行Auto tune的參數(shù)的設(shè)定。根據(jù)前面求得的共振頻率來設(shè)置Auto tune hight 以及Auto tune low兩個(gè)最高最低頻率范圍，其選值的大致標(biāo)準(zhǔn)是以之前獲得的共振頻率為中心，上下各放寬50KHz ,即卩Aut

8、o tune hight在共振頻率根底上加 50kHz ,Auto tune low 在共振頻率根底上減 50kHz。共振位置調(diào)整，一般情況下設(shè)置為Tagget pesent = - 5.0% ,最頂峰值左偏5%。其左偏的意義是表示力的作用區(qū)域在斥力范圍，這主要是為了首先確保探針工作在一個(gè)力學(xué)區(qū)域內(nèi)斥力區(qū)。關(guān)于工作在哪個(gè)區(qū)的問題為了獲得形貌信號(hào)，一般要工作在斥力區(qū)，其在掃描過程中也表達(dá)在phase信號(hào)槽一直處于中間偏左位置。當(dāng)我們要表達(dá)引力特征時(shí)，可以在掃描過程中，通過調(diào)整驅(qū)動(dòng)振幅以及set point來調(diào)整，具體參數(shù)設(shè)置需要參照當(dāng)時(shí)情況的Phase信號(hào)反應(yīng)以及圖像質(zhì)量。8. 調(diào)整Main中的

9、參數(shù)。set point設(shè)置，在大氣環(huán)境中， set point應(yīng)設(shè)置為Sum&Deflection 對(duì)話框中的 Amplitude 值的 0.9 倍，即 Set point = 0.9 Ampitude = 900 左右；在液相環(huán)境時(shí)， Set poi nt= 0.8 Ampitude=800 左右。設(shè)置掃描范圍Scan size,以及掃描速率 Scan rate，輕敲模式一般在 1Hz左右，如果重合率不好，圖像質(zhì)量不理想，可以酌情降低。關(guān)于Scan Angle設(shè)定，其原那么是盡可能與樣品垂直，這樣能夠盡可能反映出樣品9. 下針點(diǎn)擊 Sum&Deflection 對(duì)話框中的

10、Engage ，此時(shí) Z Voltage 一般為最大值 150 ， 即 Z 軸方向上的壓電陶瓷長(zhǎng)度伸到了最長(zhǎng)，也意味著其在伸到最長(zhǎng)的情況下，還 是沒有觸及到樣品外表。 這是正常的，否那么探針已趴在樣品外表?yè)p壞掉了。 調(diào)整探針高度，逆時(shí)針調(diào)節(jié)掃描器頭部前段的大旋鈕，調(diào)整過程中，注意Sum&Deflection 對(duì)話框各項(xiàng)指標(biāo)， 在驅(qū)動(dòng)振幅 Amplitude=1 時(shí)，系統(tǒng)會(huì)發(fā)出一個(gè) 清脆的提示音，此時(shí)發(fā)生“叮聲。在注意 Zvoltage 的情況下，繼續(xù)逆時(shí)針調(diào) holder 前面的大旋鈕，同時(shí)使 Z voltage=30 左右。注：調(diào) amplitude 及 z voltage 的同時(shí)關(guān)

11、注視場(chǎng)，當(dāng)視場(chǎng)中樣本逐漸清晰時(shí)，說明 探針接近樣品外表，此時(shí)降低調(diào)節(jié)速度選定 Set point ，逆時(shí)針控制器里拉出的一個(gè)便捷遠(yuǎn)程控制器白色大扭使 Zvoltage升高，直至不變，此時(shí)Z Voltage在5090為宜。假設(shè)Z Voltage接近150 時(shí)仍能上升，順時(shí)針回調(diào)白色大扭至 100 左右為掃描器的頭部的直接調(diào)整提供 空間，繼續(xù)逆時(shí)針調(diào)掃描器頭部前面的大旋鈕，使 Z voltage=30 左右，再調(diào)遠(yuǎn) 程控制器，直至滿足要求。此方法為軟下針方式，可越過“虛假水膜，保護(hù)探針，成像質(zhì)量以及對(duì)探針 的磨損最小，是我們所推薦的。10 點(diǎn)擊 Sum&Deflection 對(duì)話框中的 W

12、ithdraw, 關(guān)閉光纖光源，有隔音柜的情況，就合上 隔音罩。11. 開始掃描，選擇 Main 框中的 do scan 。12. 屏幕上出現(xiàn)三中圖像信號(hào)，我們首先檢查高度圖即HeightRetrace 圖中，檢查 trace 與retrace 的重合性。即紅線和藍(lán)線最好能夠大致吻合。假設(shè)重合性不好，有以下有四種方法 進(jìn)行調(diào)整：降低 Set point調(diào)高 integral gain ，但應(yīng)注意過高時(shí)會(huì)產(chǎn)生噪聲Scan rate 也有影響，一般是 1Hz ，也可調(diào)至 0.75Hz 或 0.5Hz ，對(duì)于粘彈性材料 或者有凸起的外表， Scan rate 數(shù)值降低在掃描過程中，先調(diào)高 Set p

13、oint ，再調(diào)高 Drive Amplitude ，然后調(diào)低 Set Point？，目的是使探針離樣品外表遠(yuǎn)些，同時(shí)擴(kuò)展 Set Point 的可調(diào)范圍。提高探 針振動(dòng)的振幅 增大敲擊力度 ，此方法適用于軟材料。 此法同時(shí)適用于相位調(diào)整， 調(diào)整探針工作在引力區(qū)或者是斥力區(qū)。調(diào)整過程中，選中slow scan disabled £掃一條線，來回掃一條線，直到來回軌跡線重 合后在進(jìn)行掃描。13. 全部調(diào)好后，點(diǎn)擊 stop,clear Image ，去除以前的調(diào)整期圖像，進(jìn)行正式掃描階段。14. 選擇 Frame Down/Up ，重新掃描。15. 保存圖片。16. 結(jié)束工作實(shí)驗(yàn)結(jié)束后

14、，調(diào) holder 前面的大旋鈕 5 下順時(shí)針方向 ，拿下 holder ，取下 glass slide sample 考前須知每次進(jìn)行 Thermal tune 或 Auto tune 都必須進(jìn)行 deflection 調(diào) 0。Phase>90 ° ,引力作用； Phase<90 ° ,斥力作用。一般在斥力作用模式下可獲得最好形 貌。調(diào)焦時(shí)能夠反映 3 相，探針、窗口和樣品。調(diào)整頻率時(shí)： 空氣使用 append phase ，液相時(shí)去掉 append phase ，加 append thermal 。 實(shí)驗(yàn)時(shí)注意頭部的光纜線不要一個(gè)方向轉(zhuǎn)太多，防止纜線扭起來。

15、參數(shù)含義及取值：1 ) Deflection ： 表 示 Tip 在 法 向 上 的 變 形 量 反 映 在 PD 上 的 數(shù) 值Deflection=(A+B)-(C+D)=0; 調(diào)節(jié)的目的是使光斑關(guān)于某一坐標(biāo)軸對(duì)稱。2) Set point ：探針?biāo)谖恢梅从吃诠怆妭鞲衅鞯碾妷?，相?dāng)于設(shè)定探針與樣品的距離。空氣中 set point = Amplitude x 90%，液相中 set point=Amplitude X80%。AC Mode ：由自由振蕩的振幅決定(其由驅(qū)動(dòng)電壓決定) ，振幅越小，距離樣品越近。空氣中，對(duì) 于硬物質(zhì)， Tip 與 sample 接觸時(shí)的 Set point

16、值應(yīng)大于未接觸時(shí)的 50% ，其中接觸時(shí) 的 Set point 值指最終遠(yuǎn)程控制器調(diào)節(jié)后的值，未接觸時(shí)的Set point 值指開始的Amplitude x 90%。對(duì)于軟物質(zhì)，最終的 Set point 值太小，那么要先調(diào)高 Set point 值，再 調(diào)高 drive amplitude 。注：上述的關(guān)系不適用液相。Contact Mode ：由未與樣本相互作用時(shí)的 Deflection 決定，一般在其根底上加 1-2V (電壓越大，相互 作用越強(qiáng)) ,視探針和樣本性質(zhì)而定。電壓越大，距離越近。Contact Mode 下的調(diào)整應(yīng)先在 AC Mode 模式下針， 調(diào)整結(jié)束后轉(zhuǎn)換到 Con

17、tact Mode ，然后調(diào) Deflection=0 , Set point P.2 ®.3V。)接觸模式下 Set point 值一般按 0.2V 變 化。3) integral gain ：表示反應(yīng)積分速度，相當(dāng)于信息處理速度。速度快，探針敏感，但是 太快會(huì)出現(xiàn)噪聲，即 phase 圖像中會(huì)有很多毛刺，調(diào)節(jié)的目標(biāo)為不出現(xiàn)噪聲情況下達(dá) 到最大。(軟物質(zhì)一般值小，硬物質(zhì)值大。 )4) Z voltage ：表示 Z 向電壓，用來控制壓電陶瓷的伸長(zhǎng)量；5) Scan rate :表示掃描速度，速度高，可能影響細(xì)節(jié)，通常取 0.5 1 Hz，一般情況為 1Hz；越低圖像越清楚，軟的材料

18、，水膜厚，粘性大應(yīng)取的小。6scan size ：不建議 50nm 以下。7Drive Amplitude ：表示驅(qū)動(dòng)探針的驅(qū)動(dòng)電壓；做 Auto tune 時(shí)，系統(tǒng)會(huì)根據(jù) S&D 中的 Amplitude 的值給出一個(gè) Drive Amplitude 。 假設(shè) sample 為軟物質(zhì)材料，那么降低 set point 及提高 intergral gain 的可調(diào)范圍很小，此 時(shí)可適當(dāng)?shù)奶岣?Drive Amplitude 。液相成像1 樣品準(zhǔn)備：翻開電腦，雙擊 MFP-3 D,把密閉液池周圍的小孔堵上，用膠水把Sample貼在密閉液池的下面，干后，在液池里面滴入 2.5ml 液體，先

19、在 cantilever holder 上裝密封圈， 然后再把它裝到 cantilever holder stand 上 裝針。再把 cantilever holder 裝到 Head 上， probe 必須用液滴濕潤(rùn) 用滴槍從側(cè)面注 入，不能從上方注入，否那么會(huì)壓彎針 ，否那么 probe 進(jìn)入 sample 時(shí)， probe 表 面會(huì)有氣泡，影響穩(wěn)定性。探針型號(hào)為 TR-400 、TR-800 、Biolever 、iDrive 專用探針，這種 probe 比一般的厚一 點(diǎn)。2 啟動(dòng)系統(tǒng)：在 Igor pro 軟件的下方，開啟視頻窗口，開啟激光光源及光路光源調(diào)多少自己定， 用來調(diào)節(jié)視頻的亮

20、度 。3檢查頭部的三個(gè)腳是否調(diào)的足夠高假設(shè)未調(diào)高，就需要把三個(gè)腳調(diào)高，把 holder 放入base 上，檢查 probe 與 glass slide 之間的間隙， 調(diào) holder 后面的兩個(gè)旋鈕以及前面的大 旋鈕逆 ， holder 將下降假設(shè)間隙在 1mm 左右，結(jié)束旋轉(zhuǎn) 。4調(diào) holder 后面的兩個(gè)旋鈕，使 probe 出現(xiàn)在視頻窗口。5探針與水接觸后，調(diào)整LDx 及 LDy 旋鈕，先調(diào)一個(gè)方向再調(diào)另一個(gè)方向使 Sum 值到達(dá)Max，假設(shè)Sum值達(dá)不到Max，那么調(diào)節(jié)視場(chǎng)位置，放大 Probe，再重新調(diào)使 Sum值到達(dá) Max。=調(diào) PD 旋鈕holder 左面，使 Deflect

21、ion 趨于 0。調(diào) Deflection 時(shí)，假設(shè)Sum值變化太大，就必須重新調(diào)調(diào)整LDx及LDy旋鈕，使Sum值到達(dá)Max。否那么進(jìn)行 thermal tune 時(shí)找不到共振峰。 6探針定標(biāo)： Thermal tune 熱定標(biāo)法Do thermal后，等到 Current samples >20,在圖中用 Ctrl+i取點(diǎn)，放到Max，那么圖下方的X值，那么共振頻率就是此值。進(jìn)行Auto tune的參數(shù)，液相選用 Manual Tune。選取之前的 X值中心頻率，Sweep Width=25KHz 兩邊擴(kuò)展頻率，Append Thermal 寸，注意不要選擇 Append phase

22、 。調(diào)整Deflection=0 液相下，Deflection會(huì)漂，封閉液池是由于溫度場(chǎng)不均勻，半封閉液池是由于氣泡原因，需屢次調(diào)整選擇 One tune7. 設(shè)置Drive Amplitude=1.0V液相下，一般在 1V左右，甚至不到1。在圖中最頂峰旁邊的一個(gè)峰設(shè)為共振峰。8. 調(diào) Deflection=09. 調(diào)整 Ma in中的參數(shù) Drive Amplitude 在適宜位置，最大不要超過1V。假設(shè)S&D中的Amplitude <0.5 ，就要調(diào)高 Drive Amplitude 。10. 此時(shí)的 Amplitude=0.6V，那么設(shè) Set point=0.8 x Am

23、plitude=0.48V11. 繼續(xù)再次調(diào)整 Deflection=012. 點(diǎn)擊 Sum & Deflection 對(duì)話框中的 Engage13 .調(diào)掃描器頭部前面的大旋鈕，使Z voltage=30左右。假設(shè) Z Voltage 降不到 30 ,那么降低 Set point，然后調(diào) Deflection=0.14 .調(diào)整掃描器頭部前面的大旋鈕使 Z voltage=5090不動(dòng)。最好在7015 .點(diǎn)擊Sum & Deflection 對(duì)話框中的 Withdraw,關(guān)閉光源，合上隔音柜。16. 設(shè)定好在 Main Scan size,Scan rate , Scan Ang

24、le=90 。等的相關(guān)數(shù)據(jù)17. 開始掃描-do scan18. 在Height Retrace 圖中，檢查trace與retrace的重合性。調(diào)整方法與大氣環(huán)境相同19. 全部調(diào)好后，點(diǎn)擊 stop ， clear Image 。20. 選擇 Frame Down/Up.21. 保存圖像。液相考前須知： 封閉液池注水 2.5ml 。 液相操作時(shí)注意隨時(shí)將 deflection 調(diào)零。 不能用控制器上的便捷遠(yuǎn)程控制器調(diào) Z Voltage ，而是通過 Set Point 右下方按鈕完 成。 沒有引力與斥力之分，范德華力消失。 防止在載玻片上直接注水， 要用液池或貼上特氟龍 厭水聚合物 的載玻片

25、保護(hù)做。 做完后抬針，務(wù)必標(biāo)準(zhǔn)，支腳要多抬起一點(diǎn)。 探針被溶液泡過后，要把探針用酒精或丙酮泡一下時(shí)間 ，要淹過探針。另外被溶 液泡過的探針要分開保存，防止污染。 沾過溶液的密封圈的清洗，先用純水清洗，再用純水超聲波清洗 5min ，再用純水清 洗，最后用擦鏡紙擦干。 載玻片清洗，用丙酮/酒精泡過之后，再用酒精超聲波清洗 10 S5分鐘，最后用擦鏡 紙擦干。假設(shè)用丙酮清洗不須擦干 Biolever Si,TR-400,TR-800Si3N4探針均不能用于 iDrive 模式。? 制樣用膠水的特性：404 膠水：快干，粘的牢。用丙酮清洗。 環(huán)氧樹脂：用于顆粒、粉末的制樣。銀膠：導(dǎo)電、導(dǎo)熱樣品制樣，

26、作電極用。? 制樣一定要平整，防止夾持器上的除了探針以外的其它部位碰到樣品。力曲線模式準(zhǔn)備工作與大氣環(huán)境下AC Mode前期準(zhǔn)備工作一致，在成像質(zhì)量良好的根底下。1. 在Mai n選項(xiàng)中選擇 Con tact Mode 中的Force選項(xiàng)：Trigger point=1.00V； deflection 電壓通常設(shè)為 1此值為預(yù)設(shè)值，表示力曲線縱坐標(biāo)。選擇 Trigger channel 中的 defl volts 以及 Relative點(diǎn)擊 go there => show Tip location 顯示探針位置spot display 選 Numbered Markes ，設(shè)定 Spo

27、t number=1點(diǎn)擊Pick point，在圖像上把點(diǎn)拉到目標(biāo)點(diǎn)上確定，點(diǎn)擊That / s it可以根據(jù)需求，設(shè)定多個(gè)Spot number點(diǎn)擊 go there2. 定標(biāo)過程力曲線deflection 水平線的整平橫坐標(biāo)。在同一直線的水平局部上選擇兩點(diǎn)，紅色線代表probe下去，藍(lán)色線代表probe上來cal.選項(xiàng)卡上把 Set sensitivily 設(shè)置為 Virtual defl line，重新做一次 SingleForce。出現(xiàn)Force Graph1，在傾斜局部選取同一條直線上的兩點(diǎn)紅色線代表probe下去，藍(lán)色線代表probe上來，求得deflvoltscal.選項(xiàng)卡=&g

28、t;把 Set sensitivily 設(shè)置為 InvOLS ，得到了 InvOLS 。3. 選擇 Thermal ,點(diǎn)擊go thermal 以便求得彈性常數(shù)Ks出現(xiàn)Thermal Graph1 ，點(diǎn)擊Fit Guess 用高斯模式進(jìn)行計(jì)算點(diǎn)擊Fit try，得到spring constant=1.87 nN/nm此值為探針的彈性常數(shù)Ks。F=Ks x deflect ionDeflection=deflvolts x InvOLSDeflvolts:形變量引起的電壓值；InvOLS :反切斜率；Ks遵循能量均分定律：將懸臂看成諧振子，熱運(yùn)動(dòng)提供能量的一半等于諧振子在一個(gè)自由度上的能量，即

29、1/2 x KbX T=1/2 x KsX <A2>其中<A2>服從布朗運(yùn)動(dòng)。4. 力坐標(biāo)修正：MFP IP > Force display panel > modify力矩陣測(cè)試1.2.3.4.1.2.3.4.在 Force 中選擇 Relative ,設(shè)置 Trigger Point開始掃描do Scan產(chǎn)生ForceMap圖/AdF此圖為粘附力圖力矩陣，set point X=值，set point Y=值甘 set point圖像處理MFP IP => Browse => list panel : image on disk 硬盤；ima

30、ge in memory 內(nèi)存選擇一張圖片=>3D生成三維圖形；D display man agerLy layout圖像輸出L list panelN display掃描后的所有數(shù)據(jù)全部存放在這。A analyze panel : Roughness ;Section : draw畫線=> make graph 求兩點(diǎn)之間的距離Histogram :求作直方圖求距離。M => modify panel => mask => calc mask 將變化比擬大的圈出來，圖像上有條紋點(diǎn)dilate mask，將 mask 范圍擴(kuò)大。參數(shù)：calc method :計(jì)算

31、方法；threshold :域值；range :范圍=> flatten => reset mask考前須知:保存圖像時(shí)要保存 2倍屏。顆粒統(tǒng)計(jì)1. 先開 Igor 軟件=復(fù)制路徑到My computer =點(diǎn)擊 particals.idf =點(diǎn)擊 compile= 點(diǎn)擊Kill2. 選擇圖像= Mask =用紅點(diǎn)蓋住黑點(diǎn)，選擇計(jì)算方法Threshold 任意= 點(diǎn)擊Calc Mask Erode/ Dilate Mask:邊界縮放3. MFP Controls = Partical panel = Mask 選 HeightRetrace ,甘Label =點(diǎn)擊 Do it= 點(diǎn)

32、擊 result納米操縱操作原理：在 con tact模式下，取一個(gè)方形區(qū)域，將法向正壓力即 deflection 增大，重 新掃描，就可以將方形區(qū)域中的粒子推向旁邊。MFP controls => Litho panel => Master Litho panel :修改參數(shù)normol set point<當(dāng)時(shí)的deflection值，表示操縱間隙需要抬針；這樣設(shè)置是為了先抬針，然后針移動(dòng)到要做 操縱的位置。Litho set point= 該時(shí)刻Deflection 值+11.5V，根據(jù)材料不同，自己確定的；Free Hand O關(guān)閉納米操縱模式：考前須知：納米操縱要設(shè)

33、置曲線路徑，防止操作過程中將物質(zhì)如納米碳管折斷。納米刻蝕MFP controls => Litho panel => Groups => load picture => Save Groups => display Groups => add Groups =>轉(zhuǎn)化為 contact Mode => Normal set point= (比 deflection 小 1 S.5 )=> Save Group => do it 也需要 Litho set Point 吧或者=> Draw path =>畫線=> set

34、point Wave v=> Litho setpoint : Mode 選 linear => do it; 完成后 stop draw?？记绊氈赫{(diào)節(jié)時(shí)， Normal set point<deflection, litho set point>deflection , Max velocity 一般 13m/s。MFM前面同于AC模式。成像后，假設(shè)敏感度不夠，那么采用 Nap mode。點(diǎn)stop => nap panel => drive AMP=52 p 26 振幅減少原來的一半，相當(dāng)于原來是貼著sample 走，現(xiàn)在是在 sample 上輕敲。=> do scan => nap panel 中的參數(shù)：Delta Height=0nap cha nnel panelnm 此值請(qǐng)自己調(diào)試，值太低，將撞到大顆粒，太高圖像模糊=>line flatte n=li ne掃描一條拉平一條上下溫聯(lián)合模塊操作密封池：3可ml ,易蒸發(fā)，溫度穩(wěn)定，故需密封。安裝密封池須仔細(xì)看手冊(cè)。假設(shè)需通 氣/通液體那么必須有循環(huán)。*溫度控制器黑色*控制器白色冷卻冷卻液左液右池最好