X射線光電子能譜(XPS)數(shù)據(jù)處理方法

1、X射線光電子能譜（射線光電子能譜（XPS）XPSXPS是一種基于光電效應(yīng)的電子能譜是一種基于光電效應(yīng)的電子能譜，也也叫做化學(xué)分析電子能譜（叫做化學(xué)分析電子能譜（ESCAESCA）。）。XPS數(shù)據(jù)處理數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)系統(tǒng)能量能量 分析器分析器 探測(cè)器探測(cè)器 X射線源射線源AlK 或或MgK 光電子光電子樣品樣品 基本構(gòu)造基本構(gòu)造愛(ài)因斯坦光電愛(ài)因斯坦光電定律定律: : Ek = h h E Eb b 基本原理基本原理元素的定性分析元素的定性分析。根據(jù)能譜圖中出現(xiàn)的特征譜線的位置鑒定除H、He以外的所有元素。元素半定量分析元素半定量分析。根據(jù)光電子譜線強(qiáng)度（光電子峰的面積）反應(yīng)原子的含量或相對(duì)濃度 。固

2、體表面分析固體表面分析。包括表面的化學(xué)組成或元素組成，原子價(jià)態(tài)，表面能態(tài)分布，測(cè)定表面電子的電子云分布和能級(jí)結(jié)構(gòu)等 。 化合物的結(jié)構(gòu)化合物的結(jié)構(gòu)。對(duì)內(nèi)層電子結(jié)合能的化學(xué)位移精確測(cè)量，提供化學(xué)鍵和電荷分布的信息 。 分子生物學(xué)中的應(yīng)用分子生物學(xué)中的應(yīng)用。利用XPS鑒定維生素B12中的少量的Co。用途用途 固體樣品用量小，不需要進(jìn)行樣品固體樣品用量小，不需要進(jìn)行樣品前處理，避免了引入前處理，避免了引入或或丟失元素所造成丟失元素所造成的錯(cuò)誤分析的錯(cuò)誤分析 表面表面靈敏度高，一般信息深度靈敏度高，一般信息深度 10nm 10nm 分析速度快，可多元素同時(shí)分析速度快，可多元素同時(shí)測(cè)定測(cè)定 給給出原子序數(shù)

3、出原子序數(shù)3-923-92的的元素信息元素信息，以獲得，以獲得元素成分分析元素成分分析 給給出元素化學(xué)態(tài)信息，出元素化學(xué)態(tài)信息，進(jìn)而分析進(jìn)而分析出出元素的元素的化學(xué)態(tài)或官能團(tuán)化學(xué)態(tài)或官能團(tuán) 樣品不受導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的限制等樣品不受導(dǎo)體、半導(dǎo)體、絕緣體的限制等 是非破壞性分析方法是非破壞性分析方法。結(jié)合。結(jié)合離子濺射離子濺射，可作可作深度剖析深度剖析 優(yōu)點(diǎn)及特點(diǎn)優(yōu)點(diǎn)及特點(diǎn) 能譜圖能譜圖生成生成text: 選擇選擇要進(jìn)行要進(jìn)行擬合擬合的數(shù)據(jù)點(diǎn)，的數(shù)據(jù)點(diǎn)，copy至至txt文本文本中中，即即ABC三列數(shù)據(jù)三列數(shù)據(jù)(其中其中B列為空的列為空的,只包含兩列數(shù)據(jù)只包含兩列數(shù)據(jù))分峰擬合分峰擬合導(dǎo)導(dǎo)入數(shù)據(jù)：入數(shù)據(jù)：xps peak 41分峰分峰軟件軟件， Data Import (ASCII)分峰擬合分峰擬合扣背景：扣背景：Backgrond，Boundary的默認(rèn)的默認(rèn)值值，Type一般選擇一般選擇Shirley類型類型分峰擬合分峰擬合加峰：加峰：Add Peak，PeakType、Position、FWHM、%Lorentzian-Gaussian分峰擬合分峰擬合擬合：擬合：Optimise All數(shù)據(jù)輸出：數(shù)據(jù)