淺析電子廠房二次配制程排氣系統(tǒng)施工要點(diǎn)

1、淺析電子廠房二次配制程排氣系統(tǒng)施工要點(diǎn) *項(xiàng)目技術(shù)總結(jié)*公司 *本項(xiàng)目是為*市*光電第6代LTPS（OXIDE）·LCD/AMOLED顯示面板生產(chǎn)線項(xiàng)目提供符合相關(guān)要求的二次工藝制程排氣系統(tǒng)，即從機(jī)臺(tái)端至主系統(tǒng)Take off點(diǎn)之間Hook up排氣配管施工。本專業(yè)（通風(fēng)專業(yè)）所負(fù)責(zé)的是1號(hào)建筑一、二層的二次配排風(fēng)系統(tǒng)，主要系統(tǒng)有：工藝一般排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸廢氣排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、堿廢氣排風(fēng)系統(tǒng)(AEX)、有機(jī)廢氣排風(fēng)系統(tǒng)(VEX/SOX)、Stripper排風(fēng)系統(tǒng)(STX)、CVD粉塵排風(fēng)系統(tǒng)(CVD)、工藝補(bǔ)風(fēng)系統(tǒng)(OA)。由于二次配施工是直接與各種設(shè)備打交道，施工質(zhì)量是與后

2、續(xù)廠房生產(chǎn)產(chǎn)品的效率和質(zhì)量直接相關(guān)，所以施工過(guò)程中質(zhì)量和節(jié)點(diǎn)的把控為二次配施工重中之重。 （一）、材料規(guī)劃二次配施工中沒(méi)有具體提前設(shè)計(jì)好的施工圖紙，只有設(shè)備Layout平面圖以及設(shè)備UM需求表，前期提量基本都是按點(diǎn)位提量，存在一定的經(jīng)驗(yàn)值。由于特氟龍風(fēng)管、不銹鋼風(fēng)管均不允許現(xiàn)場(chǎng)開(kāi)口，鍍鋅風(fēng)管不允許現(xiàn)場(chǎng)制作三通，二次配排風(fēng)所有的主材，比如直管、彎頭、三通、測(cè)試口短管、特氣偵測(cè)口短管等部件均是由生產(chǎn)廠家制作好后發(fā)至現(xiàn)場(chǎng)，這樣，前期材料的統(tǒng)計(jì)提量就是個(gè)很大的挑戰(zhàn)。既然是經(jīng)驗(yàn)提量，思路往往就會(huì)受到以往項(xiàng)目的干擾，比如重慶京東方L10層上方空間較大，二次配主管基本已緊貼L10層頂棚，到對(duì)應(yīng)機(jī)臺(tái)點(diǎn)位處加三

3、通便可走支管與設(shè)備端相連，這樣考慮每個(gè)點(diǎn)位4個(gè)彎頭已經(jīng)足夠，而*項(xiàng)目L10層空間很有限，很多時(shí)候系統(tǒng)包主管上有母線，母線上有蓋板，蓋板上偶爾會(huì)有消防管，二次配主管從上面過(guò)不去只能向下翻彎，由此便會(huì)至少增加兩個(gè)彎頭，同時(shí)還會(huì)增加排液點(diǎn)，且*項(xiàng)目還有更令人頭疼就是*孔，不像京東方的井格梁布局使得配管更加方便，有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)這樣的情況：設(shè)備接口沒(méi)有正對(duì)高架地板，高架地板開(kāi)口沒(méi)有正對(duì)*孔，這樣配管基本都是一路彎曲到設(shè)備接口的，所以每個(gè)點(diǎn)彎頭的數(shù)量會(huì)至少增加3至5個(gè)。針對(duì)不同項(xiàng)目而言，還需要具體問(wèn)題具體分析，務(wù)必需要仔細(xì)勘察現(xiàn)場(chǎng)，項(xiàng)目前期的整體規(guī)劃和布局很重要，尤其對(duì)于本項(xiàng)目這種情況，一開(kāi)始就進(jìn)入項(xiàng)目高峰

4、期，材料的供應(yīng)直接影響節(jié)點(diǎn)保證，所以材料是二次配成敗的重點(diǎn)把控對(duì)象，也是保證機(jī)臺(tái)Turn on節(jié)點(diǎn)的關(guān)鍵所在。（2） 負(fù)載規(guī)劃 在二次配施工之前，負(fù)載規(guī)劃是非常重要的一步，雖然主系統(tǒng)圖紙已經(jīng)設(shè)計(jì)出每個(gè)機(jī)臺(tái)所使用Take off點(diǎn)，但是還是會(huì)出現(xiàn)以下幾種情況：1、實(shí)際會(huì)勘UM和原設(shè)計(jì)UM需求量不符合，由于UM表的變更，可能會(huì)導(dǎo)致后續(xù)機(jī)臺(tái)運(yùn)行流量不夠。2、原設(shè)計(jì)的機(jī)臺(tái)Take off點(diǎn)被擋住，無(wú)法使用。3、實(shí)際Move in機(jī)臺(tái)數(shù)量多于原計(jì)劃，即原設(shè)計(jì)中沒(méi)有設(shè)計(jì)新機(jī)臺(tái)的UM需求，需重新為該機(jī)臺(tái)規(guī)劃Take off點(diǎn)位。以上三種情況均可能會(huì)導(dǎo)致Submain主管的負(fù)載不足，在這條主管的Take of

5、f點(diǎn)的使用率越來(lái)越高的情況下，后續(xù)所接機(jī)臺(tái)可能會(huì)因?yàn)榱髁坎粔蚨鳧own機(jī)。舉例1：1號(hào)酸排氣主系統(tǒng)所接設(shè)備為TCISC100/TCISC200/TCISC300，每臺(tái)用量60cmm，如下表：由上表便可清晰看出該Submain主管共23個(gè)Take off點(diǎn)，接三臺(tái)設(shè)備。Submain設(shè)計(jì)量為300cmm，機(jī)臺(tái)需求量180cmm，使用負(fù)載比為60%。由上表還可知，此Submain還有120cmm的富余量，假如此區(qū)域后續(xù)還有設(shè)備Move in，在滿足富余量的前提下，此主管上依然可以繼續(xù)接設(shè)備。舉例2：18號(hào)酸排氣主系統(tǒng)所接設(shè)備為TCCVD320/TCCDO300/TCCVD420/TCCDO400，

6、合計(jì)用量245.6cmm，如下表：由上表可清晰看出該Submain主管共12個(gè)Take off點(diǎn)，接四臺(tái)設(shè)備。Submain設(shè)計(jì)量為234cmm，機(jī)臺(tái)需求量245.5cmm，使用負(fù)載比為105%。由上表還可知，此Submain已經(jīng)超出原設(shè)計(jì)負(fù)載，那么先查看其相鄰Submain負(fù)載用量是否有富余。17號(hào)Submain酸排氣負(fù)載如下：由此可知，17號(hào)用量為76%，仍有富余54cmm，且該系統(tǒng)Take off點(diǎn)也有富余，所以原18號(hào)系統(tǒng)上可以把其中一個(gè)機(jī)臺(tái)（比如TCCD0300)的Take off點(diǎn)改至17號(hào)主系統(tǒng)上，如此，17號(hào)和18號(hào)主系統(tǒng)均不會(huì)超負(fù)載，也滿足了機(jī)臺(tái)負(fù)載需求。同時(shí)，為更加直觀的清

7、楚每條Submain主系統(tǒng)所連接哪些設(shè)備，繪制主系統(tǒng)軸測(cè)PID圖也是貫穿二次配施工的主要工作，這樣對(duì)后期設(shè)備調(diào)試也很有幫助。主系統(tǒng)軸測(cè)PID圖可以非常清晰的知道每條主系統(tǒng)所連的具體設(shè)備，在主系統(tǒng)屋面風(fēng)機(jī)和設(shè)備運(yùn)行出現(xiàn)問(wèn)題時(shí)候，可以清楚知道可能會(huì)受到影響的涉及該Submain的其他設(shè)備。如下圖：一般排氣系統(tǒng)軸測(cè)PID圖所以，二次配前期對(duì)機(jī)臺(tái)負(fù)載進(jìn)行整體規(guī)劃非常有必要，機(jī)臺(tái)Move in分期進(jìn)行，同一條主系統(tǒng)會(huì)同時(shí)有Light on、Phase1、Phase2、Phase3的設(shè)備，如若不提前做整體規(guī)劃，Light on和Phase1的設(shè)備應(yīng)該會(huì)很容易滿足負(fù)載，但是隨著Submain所接的設(shè)備越來(lái)越

8、多，Phase2尤其是Phase3的設(shè)備很可能會(huì)超出原設(shè)計(jì)負(fù)載，在本項(xiàng)目雖然Phase3的設(shè)備不在包內(nèi)，但是設(shè)計(jì)人員早期是有把Phase3的設(shè)備規(guī)劃至主系統(tǒng)內(nèi)的，所以甲方也要求我們考慮Phase3的設(shè)備需求。（三）、圖紙以及成本規(guī)劃 由于二次配沒(méi)有設(shè)計(jì)給出的具體施工平面圖紙，且二次配涉及的專業(yè)系統(tǒng)不少，PCW/PV/Exhaust/Chemical/CDA/Drain/特氣管道等，雖說(shuō)管路尺寸都不大，但是個(gè)別機(jī)臺(tái)管路復(fù)雜，如CVD、DRY等大機(jī)臺(tái)，也會(huì)常遇到管道被擋的情況，此時(shí)圖紙整體空間管理規(guī)劃則尤為重要，施工前出圖紙，每種管道在自己該在的位置上，不但美觀且不影響其他管路走向，同時(shí)，如若管路

9、過(guò)長(zhǎng)和彎頭過(guò)多會(huì)使得壓力損失過(guò)大，對(duì)后期設(shè)備運(yùn)行不利。 從成本上分析，二次配不像潔凈包，二次配按點(diǎn)位按實(shí)結(jié)算，每個(gè)點(diǎn)有規(guī)定的標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度，點(diǎn)的計(jì)算以實(shí)際點(diǎn)數(shù)計(jì)算，結(jié)合實(shí)際米數(shù)除以標(biāo)準(zhǔn)米數(shù)。點(diǎn)的實(shí)際長(zhǎng)度L1除以報(bào)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)米數(shù)L，即L1/L=N。N小于2，計(jì)算為1個(gè)點(diǎn)；N大于2，且小于3計(jì)為2個(gè)點(diǎn)；以此類推。比如規(guī)定每20米一個(gè)點(diǎn)位，即這個(gè)點(diǎn)做到了0L40則結(jié)算為一個(gè)點(diǎn)，做到40L60結(jié)算成兩個(gè)點(diǎn)，所以按照這種計(jì)算方法即使做到39米還是會(huì)結(jié)算為一個(gè)點(diǎn)，如此便會(huì)虧損19米。 標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度規(guī)定如下：如上述包定義內(nèi)點(diǎn)位計(jì)算方法實(shí)在是比較令人頭疼的，這種計(jì)算方式說(shuō)明了并不是所有的點(diǎn)位做的越長(zhǎng)越好，這個(gè)長(zhǎng)度是有限度的

10、。Take off點(diǎn)管徑均為300，設(shè)備接口管徑一般小于Take off點(diǎn)管徑，那么對(duì)于一拖多（即一個(gè)Take off點(diǎn)帶多個(gè)設(shè)備接點(diǎn)）的情況，怎么去合理分配Take off點(diǎn)到Tee的長(zhǎng)度和Tee到POU的長(zhǎng)度很重要。需要考慮的是，對(duì)于Take off點(diǎn)距離設(shè)備比較近和Take off點(diǎn)數(shù)量有富余的情況下，多做這種點(diǎn)位原則上是有利的，但是考慮到底選擇一拖幾的問(wèn)題值得推敲，此外二次配主管和支管的長(zhǎng)度怎么分配也值得考慮，才能夠?qū)崿F(xiàn)最終利益最大化。對(duì)于Take off點(diǎn)距離設(shè)備比較遠(yuǎn)的情況下，這種點(diǎn)位如若不提前規(guī)劃好，虧損可能性非常大，需考慮問(wèn)題同上，若真的虧損要實(shí)現(xiàn)虧損最小。由此可見(jiàn)，圖紙的深化

11、設(shè)計(jì)和成本控制不可分割，合理的管路規(guī)劃會(huì)降低施工成本以及施工難度，所有的技術(shù)和設(shè)計(jì)最終都應(yīng)該回歸到成本和利潤(rùn)上。（4） 質(zhì)量管控 二次配施工作為電子廠房施工的最后一道工序，是直接與機(jī)臺(tái)設(shè)備對(duì)接，其施工質(zhì)量將直接影響廠房后續(xù)顯示面板生產(chǎn)良品率，如若由于二次配施工質(zhì)量導(dǎo)致設(shè)備正常運(yùn)行而Down機(jī)，其損失將不可預(yù)估。 二次配施工質(zhì)量的管控主要從以下幾個(gè)方面把握： 1、材料進(jìn)場(chǎng)檢驗(yàn) 所有材料進(jìn)場(chǎng)前均需先和質(zhì)量相關(guān)人員進(jìn)行自檢，而后經(jīng)業(yè)主以及第三方質(zhì)量人員進(jìn)行檢驗(yàn)，合格后方可進(jìn)場(chǎng)，不符合潔凈室規(guī)范以及損壞嚴(yán)重材料均不得使用，并立即退場(chǎng)。 2、施工前指導(dǎo) 每個(gè)班組施工機(jī)臺(tái)前，需向該班組長(zhǎng)指明Take of

12、f點(diǎn)使用情況，并找到該機(jī)臺(tái)所有需要施工的點(diǎn)位和點(diǎn)位具體接續(xù)名稱（SEX/GES/VEX/AEX/CVD/OA/STX)，對(duì)于需要區(qū)分干濕排的點(diǎn)位必須標(biāo)示并告知清楚，如有特殊要求的機(jī)臺(tái)也需要提前告知，以免后續(xù)的二次施工。 3、施工中檢查 本項(xiàng)目每個(gè)點(diǎn)包含Duct、彎頭、三通、風(fēng)閥、風(fēng)壓表、特氣偵測(cè)口、支架以及末端盲板的安裝，需要考慮的類項(xiàng)比較多，由于機(jī)臺(tái)調(diào)試期間不允許停機(jī)，更換其中任何一項(xiàng)都比較困難，為避免二次施工，施工過(guò)程中的檢查很重要，做到亡羊補(bǔ)牢。 4、Turn on前檢查 二次配每個(gè)機(jī)臺(tái)的Turn on都是很重要的節(jié)點(diǎn)，所以做Turn on前的最后檢查很有必要，檢查管路連接的完整性，負(fù)壓

13、表安裝的正確性，螺栓的緊固性，支架的安裝以及加固情況等，這些都是影響機(jī)臺(tái)Turn on的因素，Turn on前是必須一項(xiàng)項(xiàng)排查的。 5、調(diào)試中檢查 每個(gè)機(jī)臺(tái)Turn on后設(shè)備方都有為期不短的調(diào)試時(shí)間，調(diào)試時(shí)候機(jī)臺(tái)的運(yùn)行是極不穩(wěn)定的，較容易出現(xiàn)的問(wèn)題有：清洗機(jī)的漏水問(wèn)題，水經(jīng)常倒灌入排氣管內(nèi)；壓力表超量程問(wèn)題，前期由于Submain所掛的設(shè)備少，負(fù)壓比較大，導(dǎo)致管內(nèi)負(fù)壓已超出負(fù)壓表量程，由此可能會(huì)造成負(fù)壓表的損壞；軟管破損問(wèn)題，由于機(jī)臺(tái)接口形式的限制，一些機(jī)臺(tái)必須使用軟管連接，軟管硬度是遠(yuǎn)不如硬管的，有破損風(fēng)險(xiǎn)。以上問(wèn)題多出現(xiàn)在機(jī)臺(tái)試運(yùn)行調(diào)試階段和正式運(yùn)行階段，所以在試運(yùn)行階段若發(fā)現(xiàn)并及時(shí)解決相關(guān)問(wèn)題，不斷優(yōu)化方案，則在后續(xù)正式生產(chǎn)階段風(fēng)險(xiǎn)便會(huì)大大降低。