半導體工藝簡介

1、Dry pump設備部設備部技術三科技術三科 沈沈吉吉真空定義真空定義真空是在某個區(qū)域壓力低于大氣壓真空范圍低真空(Low or Rough Vacuum -LV)：-760to10-3Torr高真空(High Vacuum -HV)-103to10-8Torr超真空(Ultra-High Vacuum UHV)-10-8to10-12Torr真空真空Pump工作范圍工作范圍在ETCH和Thinfilm設備通常用Dry pump &Turbo pump將大氣抽至一定真空符合process工藝需求。由于Dry pump抽真空能力有限，在 ATM-500mT之間表現(xiàn)良好，然后用Turbo

2、pump 將環(huán)境抽至High Vacuum。Kashiyama Dry PumpComparison of Pumping MechanismKashiyama Dry PumpComparison of Pumping TemperaturePump運轉的五個運轉的五個要素要素&故障原因故障原因1 水6-8L/min2 氮氣（GN216-22pam3/sec）3 電源（200V220V）4 氣密良好之前端管路5 吸風良好之Exhaust管路Pump的故障可以分為三種：1，Alarm, pump僅顯示故障并告之連線機臺但pump并不停機。2，Trip：pump顯示故障信號告之連線機臺，

3、Pump立即停機。3，Error：電裝置發(fā)生故障或pump內部連線松脫，Pump立即停機。其原因可能為BP Motor電流高 MP Motor 電流過高，Casing 的溫度過高，BP 或MP Motor 過載，Seal N2或DIL N2流量過低，Pump box溫度過高。對于BP or MP溫度過高，可能由以下原因引起的：1，Exhaust壓力升高。2，電力供應有問題。3，生成物堆積。4，冷卻水減少。5，齒輪壞掉。對于Casing(130deg.c)溫度過高，可能由以下原因引起：1，Exhaust壓力升高。2，電力供應有問題。3，生成物堆積。4，接頭處氣體流通不暢。Kashiyama pu

4、mp轉子底部排氣的間隙寬闊【6mm】生成物徐徐刮向排氣側短捷的排氣路徑【180mm】在真空側沒有軸承的支撐螺旋轉子螺旋式轉子具有的高溫特性耐腐蝕性的材質InletROTOR.CASING共同使用、具有非常耐腐蝕特性的Ni合金材料合金材、再于表面進行Ni-Coating處理進一步發(fā)揮了耐腐蝕性的性能！豎式螺旋轉子: 針對產生大量生成物的嚴酷制成用轉子排氣側的間隙寬闊H=6mm具有克服生成物沉積，和容易再啟動強的優(yōu)越性具有刮除生成物的效果根據矩形直角的特點，Screw rotor在高速運轉時可將附著在Casing上的生成物徐徐刮向排氣側而容易被排除高溫的Rotor特性因為真空室溫度較高，所以反應氣

5、體很難附著Rotor溫度180度Exhaust gas 溫度200魯式泵: 根據同期馬達和單純的本體構造、實現(xiàn)了節(jié)省能源和耐久性的雙向要求。Motor + Motor Driver以同期馬達加驅動器的組合，達到了精密控制轉速的可能、從而獲得以下的優(yōu)越性。實現(xiàn)在大氣狀態(tài)開始時的驅動節(jié)省能源嚴密性的提高小型化GearRoots Rotor排氣原理MU Dry seriesMU Dry series Dry pump比以前的Dry pump實現(xiàn)極限小型化輕量化省能量化，以對應裝置組合（On tool）用輕負荷所開發(fā)的Dry pump。特點）Pump構造及采用同步Motor相比實現(xiàn)了小型化(我社容積比：75)、輕量化（我社比：60%）。）以Pump構造的最適化實現(xiàn)了冷卻水（我社比：50%）、N使用量（Clean排氣用時不用）等能量的減少。）以采用Motor driver大幅減少了Pump啟動時的突入電流。在電源頻率為地域也是同一性能。MU DRY SeriesMU DRY Series以On Tool目的超小型省