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1、第7章磁敏式傳感器 12.01.20151第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器0.磁敏式傳感器磁敏式傳感器磁敏式傳感器:對(duì)磁場(chǎng)參量(磁感應(yīng)強(qiáng)度B、磁通 )敏感、通過(guò)磁電作用將被測(cè)量(如振動(dòng)、位移、轉(zhuǎn)速)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的器件或裝置。磁電作用主要有:電磁感應(yīng) 和 霍爾效應(yīng)相應(yīng)的傳感器有:磁電感應(yīng)式傳感器 霍爾式傳感器第7章磁敏式傳感器 12.01.20152第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器1.磁電感應(yīng)式傳感器磁敏式傳感器磁電感應(yīng)式傳感器又稱磁電式傳感器,是利用電磁感應(yīng)原理將被測(cè)量(如振動(dòng)、位移、轉(zhuǎn)速等)轉(zhuǎn)換成電信號(hào)的一種傳感器。它不需要輔助電源,就能把被測(cè)對(duì)象的機(jī)械量轉(zhuǎn)換成易于測(cè)量的
2、電信號(hào),是一種有源傳感器。 由于它輸出功率大,且性能穩(wěn)定,具有一定的工作帶寬(101000 Hz),所以得到普遍應(yīng)用。工作原理:根據(jù)電磁感應(yīng)定律, 當(dāng)導(dǎo)體在穩(wěn)恒均勻磁場(chǎng)中,沿垂直磁場(chǎng)方向運(yùn)動(dòng)時(shí),導(dǎo)體內(nèi)產(chǎn)生的感應(yīng)電勢(shì)為E tNEddNBLvENBSEB、L、S、N均為確定值,E與v或成正比第7章磁敏式傳感器 12.01.20153第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器1.磁電感應(yīng)式傳感器磁敏式傳感器電磁流量計(jì):測(cè)量導(dǎo)電液體流量vNS測(cè)量?jī)x表當(dāng)被測(cè)導(dǎo)電液體流經(jīng)管道時(shí),切割磁力線,在和磁場(chǎng)及流動(dòng)方向垂直的方向上產(chǎn)生感應(yīng)電動(dòng)勢(shì)E,其值與被測(cè)流體的流速成正比。第7章磁敏式傳感器 12.01.2015
3、4第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器2.霍爾式傳感器磁敏式傳感器一、霍爾效應(yīng):當(dāng)電流垂直于外磁場(chǎng)方向通過(guò)導(dǎo)體或半導(dǎo)體薄片時(shí),在垂直于電流和磁場(chǎng)方向的兩側(cè)產(chǎn)生電勢(shì)差的現(xiàn)象。霍爾效應(yīng)的產(chǎn)生是由于運(yùn)動(dòng)電荷受磁場(chǎng)中洛倫茲力作用的結(jié)果。1.洛侖茲力設(shè)霍耳片長(zhǎng)度l,寬度b,厚度d,電子(電量為e)以勻速v運(yùn)動(dòng),則在垂直方向施加的磁感應(yīng)強(qiáng)度B作用下,它受到洛侖茲力eBvfL第7章磁敏式傳感器 12.01.20155第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器2.霍爾式傳感器磁敏式傳感器2.電場(chǎng)力在洛侖茲力fL作用下,電子除沿電流反方向移動(dòng),還向?qū)щ婓w內(nèi)側(cè)面漂移,而外側(cè)表面則積累了正電荷,形成了附加內(nèi)電
4、場(chǎng)EH,稱為霍爾電場(chǎng)。在霍爾電場(chǎng)作用下,電子將受到一個(gè)與洛侖茲力相反的電場(chǎng)力。阻止電荷繼續(xù)積累到側(cè)表面,最終達(dá)到動(dòng)態(tài)平衡,此時(shí)霍爾電動(dòng)勢(shì)為UH。LHEfbeUf/vBbUH則可求:電場(chǎng)力為:第7章磁敏式傳感器 12.01.20156第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器2.霍爾式傳感器磁敏式傳感器3.霍爾系數(shù)RH及霍爾靈敏度KH當(dāng)電子濃度為n,平均速度為v,根據(jù)電流定義,電流為單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)導(dǎo)體截面積的電荷量vBbUHnevbdInebdIv則可得代入IBKdIBRnedIBUHHH得上式中neR1HnedK1H一般用N型半導(dǎo)體第7章磁敏式傳感器 12.01.20157第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器2.霍爾式傳感器磁敏式傳感器4.霍爾元件結(jié)構(gòu)及特性霍爾片、4根引線和殼體組成abcd第7章磁敏式傳感器 12.01.20158第14講GMES 2008目錄磁敏式傳感器2.霍爾式傳感器
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