第10講電容式壓力傳感器方案課件

1、傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程2傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程ACr00r1 電容式傳感器的原理和結構電容式傳感器的原理和結構3傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程rRlCrln204傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程5傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程)/1 ()/1 ()/1 (202000000000AAACCCrrr121C2C二、變間隙型電容傳感器二、變間隙型電容傳感器000ACr6傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程)/1 (000000AACCCrr10001CC時，當1/0 .13020000CC時，當0000000202000)1 ()

2、/1 ()/1 (CCAACrr7傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程，00CC20200001ACCKr8傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程%100%100)(0020fe0001CC9傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程2、有介電層的變間隙型電容傳感器、有介電層的變間隙型電容傳感器22110rrAC11r2210rAC10傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程1000011CACCC1000021CACCC12120201,02100AC 3、差動式變間隙型電容傳感器、差動式變間隙型電容傳感器11傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程時，當1/0.13020001CC.1

3、3020002CC.22300021CCCC12傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程002CCS%100)(%100)(2)(220030fe002CC13傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程三、變面積型電容傳感器三、變面積型電容傳感器14傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程00000)(llbCCCr00000lbCr00000blClCSr1、板狀線位移變面積型、板狀線位移變面積型15傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程ACr00，00CC2、角位移變面積型、角位移變面積型)1 ()1 (000CACCCr，016傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程)(2000rRln

4、lCr)()(2000rRlnllCCCr)1 (00llC00llCC3、筒狀線位移變面積型、筒狀線位移變面積型17傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程000212lbCCCr0201,000ACCCr0011C12l00002111lbCCCr2000022lbr2011C4、中間極移動式變面積型、中間極移動式變面積型18傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程0220)(2rRCCCrBCACABCROr5、差動結構變面積型、差動結構變面積型022000)(rRCCrBCAC19傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程rRlrCCrBCAC000rRlrCCCrBCAC02rACBO

5、Rl20傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程1211022111)(llbblCCCBA21010blC21212101001llCCC四、變介質型電容傳感器四、變介質型電容傳感器21傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程例例1：薄膜測厚：薄膜測厚drddAC)(0“高靜電場下的薄膜測厚技術高靜電場下的薄膜測厚技術”，儀表技術與傳感器儀表技術與傳感器，2001年年8期期22傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程21CCC)(2)()(2110100rRlnlrRlnll）（1)(2)(211000rRlnlrRlnl1nlmC例例2：電容式液位傳感器：電容式液位傳感器23傳感器與檢測技

6、術教程傳感器與檢測技術教程24傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程pfCC8021mm40mm75. 0思考題！思考題！25傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程2 電容式傳感器的測量電路電容式傳感器的測量電路26傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程LCCCfx)(21210LCCCCfx)(2121LCf21xCCCC21振蕩回路固有電容振蕩回路固有電容引線分布電容引線分布電容傳感器電容傳感器電容一、調頻電路一、調頻電路27傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程0C28傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程0, 0 fC 29傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程0C30傳感

7、器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程二、調幅電路二、調幅電路SCUiUABCDxCcCZZkU31傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程iUSCUMLL1xC2xC12332傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程MLLsMLpMjZp)1 ()1 ()(kLjLMLjMLjZS12313Z12Z)(ssLZ)(ssLZ)(ppLZ)1 (2213kLjZZSLjZZZpS12耦合系數耦合系數33傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程時，LZiSCULCLCCCU12422iUSCUMLL1xC2xC123124/22LCLCCCUUSiSC34傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程2/

8、12LCLCS212LC12LC2S35傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程CjLjLj11CLLL2112422LCLCCCUUSiSC36傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程SCUiU2iU2iU1C2CLZA37傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程1C2C2iU2iUALZ1C2C2iU2iU1I2I12ALZLILiLZCCjjCCUI)(1)(221212111iLLUIZICj2122iLLUIZICj021LIII38傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程LLiLLSCZCCjZjCCUZIU)(1)(22121時，LZ21212CCCCUUiSCLiLZCCjjC

9、CUI)(1)(2212139傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程001AC002AC02iSCUU時，LZ40傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程SCUiU1D2D1R2R1C2CLR12a2RLR2C1D2D1R1CiU12a41傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程iUtTUU01t2t3t42傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程2R1R1C2CLRUU12aLI2R1R1C2CLRUU12aLI 43傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程LILILI 3t2t1t0tiUtTUU01t2t3t44傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程LTLLLLSCRdttitiTR

10、IU 0)()(1)()()2(212CCUfRRRRRRLLL)(21CCKUfUSC45傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程iUscUKxC0Ca0IIxIiUscUKxC0CaaiUICjU001IIIx0axxSCUICjU146傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程ixSCUCCU0aiUICjU001IIIx0axxSCUICjU1ACrx00, 0IUaiZK,irSCUACU0047傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程0, 1QQ1, 0QQ0DrFUU1A0CrGUU2A三、脈沖寬度調制電路三、脈沖寬度調制電路參考電壓參考電壓121210UCCCCU48傳感器與檢測

11、技術教程傳感器與檢測技術教程tttttAUBUFUGU0U000001U1UrUrU1T2T00UtttttAUBUFUGU0U000001U1UrUrU1T2T00U21CC 21CC 49傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程121212110UTTTUTTTUUUBA12121UTTTT121210UCCCCUrUUUlnCRT11111rUUUlnCRT1122250傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程112120UU112120UAAAAU0201，100UUAUAAU1051傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程CjLjCje11LCCCe21LCCCCCe21PRPCCs

12、RL3 電容式傳感器的應用電容式傳感器的應用52傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程d二、應用中存在問題二、應用中存在問題53傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程xC154傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程UK1xC2xC3C4C3R4R1C55傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程三、應用舉例三、應用舉例56傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程CBRR0C1C2C1L2L21CCCx57傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程FF58傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程P59傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程1P2P60傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程1

13、C2C1C2C1C2Cam61傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程ADI公司公司ADXL全系列加速度傳感器全系列加速度傳感器 62傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程63傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程64傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程abpp容柵傳感器是一種基于變面積工作原理，可測容柵傳感器是一種基于變面積工作原理，可測量大位移的電容式數字傳感器。量大位移的電容式數字傳感器。 65傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程66傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程67傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程68傳感器與檢測技術教程傳感器與檢測技術教程人有了知識，就會具備各種分析能力，人有了知識，就會具備各種分析能力，明辨是非的能力。明辨是非的能力。所以我們要勤懇讀書，廣泛閱讀，所以我們要勤懇讀書，廣泛閱讀，古人說古人說“書中自有黃金屋。書中自有黃金屋?！蓖ㄟ^閱讀科技書籍，我們能豐富知識，通過閱讀科技書籍，我們能豐富知識