擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖和工作原理

1、擴(kuò)散泵的結(jié)構(gòu)示意圖和工作原理當(dāng)擴(kuò)散泵油被電爐加熱時(shí)，產(chǎn)生油蒸氣沿著導(dǎo)流管經(jīng)傘形噴嘴向下噴出。因噴嘴外面有機(jī)械泵提供的真空(110-1Pa),故油蒸氣流可噴出一長(zhǎng)段距離，構(gòu)成一個(gè) 向出氣口方向運(yùn)動(dòng)的射流。射流最后碰上由冷卻水冷卻的泵壁凝結(jié)為液體流回蒸 發(fā)器，即靠油的蒸發(fā) 噴射 凝結(jié)重復(fù)循環(huán)來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣。由進(jìn)氣口進(jìn)入泵內(nèi)的氣體 分子一旦落入蒸氣流中便獲得向下運(yùn)動(dòng)的動(dòng)量向下飛去。由于射流具有高流速(約200m/s),高的蒸氣密度，且擴(kuò)散泵油分子量大(300500),故能有效地 帶走氣體分子。氣體分子被帶往出口處再由機(jī)械泵抽走。油擴(kuò)散泵故障處理(1)擴(kuò)散泵工作過(guò)程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證

2、泵工作液已 完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。(2)泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。(3)被抽氣體應(yīng)是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。(4)泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。保存場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10c40c之間。(5)泵在正常運(yùn)行時(shí)如突然出現(xiàn)性能變壞，應(yīng)先檢查加熱器是否正常。(6)泵在長(zhǎng)期工作后，性能會(huì)逐漸變壞，應(yīng)定期檢修。a.泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理。b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醴或丙酮進(jìn)行擦洗， 并置于80c100c溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。c.處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同

3、心，各級(jí) 噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。關(guān)于擴(kuò)散泵返油問(wèn)題通過(guò)咨詢和了解，結(jié)合我公司油擴(kuò)散泵實(shí)際問(wèn)題 ，關(guān)于擴(kuò)散泵返油問(wèn)題， 得出如下幾點(diǎn)：咨詢了愛(ài)得華售后服務(wù)中心，他們認(rèn)為擴(kuò)散泵返油與如下問(wèn)題有關(guān)：a、冷卻水；b、機(jī)器保養(yǎng)；c、油質(zhì)等。擴(kuò)散泵返油對(duì)抽氣能力會(huì)有影響，與以前抽 氣能力作對(duì)比是否發(fā)生變化，前管壓力是否與以前一致？如果確認(rèn)這些都沒(méi)有問(wèn) 題，則可判斷沒(méi)有返油。如果返油，在泵口也可以看到有殘留油污。至于反油率， 泵一生產(chǎn)出來(lái)就定了的，我們沒(méi)有這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，也沒(méi)有檢測(cè)手段。后來(lái)咨詢了湘潭宏大真空設(shè)備有限公司黃總(我們的老交道)，他們也生產(chǎn) 油擴(kuò)散泵，他認(rèn)為，首先檢查冷卻水溫和流量是否正常，是否有

4、冷阱。擴(kuò)散泵返 油可以通過(guò)觀察發(fā)現(xiàn)：a、泵口周?chē)?提升閥板壓蓋范圍以外)有較多油污；b、擴(kuò)散泵提升閥板背面有較多油污。如果泵口和閥板都沒(méi)有油，則可以判斷沒(méi)有返 油。目前我們還沒(méi)有具體檢測(cè)返油率的方法。同時(shí)還咨詢穗誠(chéng)真空設(shè)備有限公司等多家公司，得出的結(jié)論都大同小異通過(guò)以上情況可以總結(jié)：一般情況，擴(kuò)散泵生產(chǎn)廠家在生產(chǎn)泵時(shí)都有返油率這項(xiàng) 指標(biāo)。最早的測(cè)試返油率的方法是用錫箔紙采樣稱重法，因其不準(zhǔn)確而改用測(cè)試罩采樣、滴管收集法，這種方法精度太低，對(duì)于現(xiàn)有的低返油率擴(kuò)散泵根本無(wú)法 實(shí)施。比較精確的方法應(yīng)該用分壓力測(cè)量和質(zhì)譜分析法。目前還沒(méi)有專(zhuān)門(mén)用來(lái)測(cè)油蒸汽分壓力的儀器。質(zhì)譜分析法其原理復(fù)雜，一般技術(shù)人員

5、操作困難。綜上所述可以得出：到目前為止，還沒(méi)有一種有效測(cè)量返油率的方法，根據(jù)目前擴(kuò)散泵生產(chǎn)廠家和售后服務(wù)商的建議， 可以通過(guò)觀察泵口附近和閥板背面 來(lái)判斷是否返油，無(wú)須測(cè)量其返油率。根據(jù)目前的情況，我們可以運(yùn)用質(zhì)譜分析法來(lái)測(cè)量真空室氣體成分，也可 以了解其含油情況。油擴(kuò)散泵的常見(jiàn)故障及原因由于真空設(shè)備長(zhǎng)期運(yùn)轉(zhuǎn)及其它一些因素的影響，擴(kuò)散泵的性能可能會(huì)逐漸變壞, 現(xiàn)將使用中經(jīng)常出現(xiàn)的一些問(wèn)題如述如下；1）極限真空變低，原因：a.系統(tǒng)中有滲漏；b.系統(tǒng)太臟；c.泵油污染；d.加熱功率不夠； e.冷卻水不足;f. 過(guò)量或過(guò)冷的冷卻水；g. 前級(jí)壓力高；檢查密封性能及前級(jí)管道是否有泄漏現(xiàn)象；h. 快冷管

6、內(nèi)有水。2) 抽氣較慢，原因：a. 加熱功率低；b. 油量不足；c. 噴帽安裝位置不當(dāng)或受損。3) 進(jìn)口壓力波動(dòng)，原因：a. 加熱器輸入功率不當(dāng)；b. 油脫氣；c. 擴(kuò)散泵進(jìn)口前面系統(tǒng)有滲漏。4) 工作腔污染大，原因：a. 前級(jí)壓力高；b.在高于10-1 Pa壓力下長(zhǎng)期工作；c. 系統(tǒng)操作有誤。5) 返油率過(guò)大，原因：a. 頂噴嘴帽松動(dòng)，間隙過(guò)大；b. 加熱功率不對(duì)；德國(guó)博世真空泵機(jī)油更換順序點(diǎn)擊照片可以將圖片放大排油口機(jī)油過(guò)濾器注油口機(jī)油觀察窗（透明玻璃）1 .切斷電源，排出全部機(jī) 油。（）X此操作前先將泵運(yùn)轉(zhuǎn)幾分 鐘，讓機(jī)油稍加熱后更容易 排出。2 .每更換兩次機(jī)油時(shí)應(yīng)將機(jī)油過(guò)濾器也換掉（

7、）。更換機(jī)油過(guò)濾器時(shí)應(yīng)使用專(zhuān)用工具，以免損壞新過(guò)濾器滑劑后用手旋緊既可4 .然后加入適量的新機(jī)油5 .加至觀察窗）油量標(biāo)準(zhǔn) 線上面一點(diǎn)就可以了。加油完畢后運(yùn)轉(zhuǎn)一下泵，觀察機(jī)油下降的程度。特別是同時(shí)更換機(jī)油過(guò)濾器時(shí)更要注意油量。當(dāng)心泵體及廢油溫度，以防止?fàn)C傷。每次真空泵運(yùn)行前注意泵油觀察窗的油位狀態(tài)及顏色，如果油變?yōu)楹谏珪r(shí)應(yīng)及時(shí)更換.羅茨泵第一次換油在運(yùn)行500小時(shí)后，以后每3000小時(shí)換油；機(jī)械泵第一次換油在運(yùn)行150小時(shí)后，以后每1000小時(shí)或3個(gè)月?lián)Q油。擴(kuò)散泵油的返油過(guò)程示意圖擴(kuò)散泵的油蒸汽并不完全是放射性地沿泵腔向下運(yùn)動(dòng)， 由于隨機(jī)的散射或帶方向 性的放射，從噴嘴噴出的蒸汽有部分分子也向真空泵泵口方向移動(dòng)， 這樣就形成 了返流；返流是擴(kuò)散泵系統(tǒng)的主要污染！因此，為了減少返流，在噴嘴和被抽系統(tǒng)之間通常加上合適的捕集