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文檔簡介
1、-全部復(fù)習(xí)題均可在教材上找到參考答案!1. 摩爾定律的容:單位面積芯片上所能容納的器件數(shù)量,每12-18個月翻一番。2. 摩爾定律得以保持的途徑:特征尺寸不斷縮小、增大芯片面積及單元構(gòu)造的改進(jìn)。3. 圖形的加工是通過光刻和刻蝕工藝完成的。4. 在場區(qū)中,防止出現(xiàn)寄生溝道的措施:足夠厚的場氧化層、場區(qū)注硼、合理的幅員。5. 形成SOI材料的三種主要技術(shù):注氧隔離技術(shù)、鍵合減薄技術(shù)、智能剝離技術(shù)。6. 實際的多路器和逆多路器中輸入和輸出一般是多位信息,如果對m個n位數(shù)據(jù)進(jìn)展選擇,則需要n位m選一多路器。7. 在氧化層上形成所需要的圖形的步驟:甩膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠。8. 幅員設(shè)計規(guī)則可以用兩
2、種形式給出:微米規(guī)則和規(guī)則。9. 常規(guī)CMOS構(gòu)造的閂鎖效應(yīng)嚴(yán)重地影響電路的可靠性,解決閂鎖效應(yīng)最有效的方法是開發(fā)多晶硅技術(shù)。10. 要實現(xiàn)四選一多路器,應(yīng)該用2位二進(jìn)制變量組成4個控制信號,控制4個數(shù)據(jù)的選擇。11. 摩爾分析了集成電路迅速開展的原因,他指出集成度的提高主要是三方面的奉獻(xiàn):特征尺寸不斷縮小、芯片面積不斷增大、器件和電路構(gòu)造的不斷改進(jìn)。12. 縮小特征尺寸的目的:使集成電路繼續(xù)遵循摩爾定律提高集成密度;提高集成度可以使電子設(shè)備體積更小、速度更高、功耗更低;降低單位功能電路的本錢,提高產(chǎn)品的性能/價格比,使產(chǎn)品更具競爭力。13. N阱CMOS主要工藝步驟:襯底硅片的選擇制作n阱場
3、區(qū)氧化制作硅柵形成源、漏區(qū)形成金屬互連線。14. 解決雙極型晶體管縱向按比例縮小問題的最正確方案之一,就是采用多晶硅發(fā)射極構(gòu)造,防止發(fā)射區(qū)離子注入對硅外表的損傷。15. n輸入與非門設(shè)計考慮,根據(jù)直流特性設(shè)計:Kr=KN/KP=n3/2;根據(jù)瞬態(tài)特性設(shè)計:Kr=KN/KP=n。n輸入或非門設(shè)計考慮,根據(jù)直流特性設(shè)計:Kr=KN/KP=n-3/2;根據(jù)瞬態(tài)特性設(shè)計:Kr= Kr=KN/KP=1/n.16. CE等比例縮小定律要求器件的所有幾何尺寸,包括橫向和縱向尺寸,都縮小k倍;襯底摻雜濃度增大K倍;電源電壓下降K倍。CV等比例縮小定律要求器件的所有幾何尺寸都縮小K倍;電源電壓保持不變;襯底摻雜
4、濃度增大K倍,以便使部的耗盡層寬度和外部尺寸一起縮小。QCE等比例縮小定律要求器件尺寸K倍縮小,電源電壓減小/K倍1K,襯底摻雜濃度增大K倍,使耗盡層寬度和器件尺寸一樣縮小。17. 正膠在曝光時被光照的光刻膠發(fā)生分解反響,在顯影時很容易被去掉。18. 先進(jìn)的雙極晶體管構(gòu)造的三個根本特征:自對準(zhǔn)工藝、多晶硅發(fā)射極技術(shù)和深槽隔離技術(shù)。19. 存儲器的總體構(gòu)造包括:存儲單元陣列、譯碼器、輸入/輸出緩沖器、時鐘和控制電路。20. 要使電路正常工作,時鐘信號為低電平的時間必須大于電路的上升時間。21. 制作硅柵具體步驟:生長緩沖層、溝道區(qū)注入、離子注入、CVD工藝淀積多晶硅、多晶硅摻雜、光刻和刻蝕形成多
5、晶硅柵的圖形。22. BiCMOS技術(shù)的特點?23. MOS存儲器主要分為哪兩大類? 隨機存取存儲器RAM的可分為:動態(tài)隨機存取存儲器和靜態(tài)隨機存取存儲器。24. 如果構(gòu)成CMOS反相器的NMOS和PMOS管參數(shù)不對稱,則反相器的直流電壓傳輸特性曲線將發(fā)生變化。在VTN=-VTP的情況下,如果Kr=1,則Vit=0.5VDD;如果Kr1,則Kr=KN/KP=1/n。25. 常用摻雜方法:擴散和離子注入。26. PN結(jié)隔離SBC構(gòu)造工藝流程:襯底材料制備埋層的形成N型外延層的形成隔離區(qū)的形成晶體管基區(qū)的形成晶體管發(fā)射區(qū)和引線孔的形成金屬化的形成。27. 集成電路的加工過程的三種根本操作:形成*種
6、材料的薄膜;在各種材料的薄膜上形成需要的圖形;通過摻雜改變材料的電阻率或雜質(zhì)類型。28. NMOS晶體管可分為兩種類型:增強型NMOS和耗盡型NMOS。29. N+埋層的兩個作用:減小晶體管集電區(qū)串聯(lián)電阻和減弱寄生PNP管效應(yīng)。30. 輸入緩沖器兩方面作用:作為電平轉(zhuǎn)換的接口電路和改善輸入信號的驅(qū)動能力。31. 在門電路中,要使速度不退化,則串聯(lián)管子的導(dǎo)電因子要增大n倍,獲得最正確性能的設(shè)計是:KNeff=KPeff。32. 形成材料薄膜的方法:化學(xué)汽相淀積CVD、物理汽相淀積PVD和低功耗方法。33. 幅員設(shè)計規(guī)則給出了三種尺寸限制:、同一層次圖形之間的最小間距、不同層次圖形之間的對準(zhǔn)容差,
7、或叫套刻間距。34. 形成SOI材料的三種主要技術(shù):注氧隔離技術(shù)、鍵合減薄技術(shù)、智能剝離技術(shù)。35. 在驅(qū)動很大的負(fù)載電容時,需要設(shè)計合理的輸出緩沖器,需滿足:提供所驅(qū)動負(fù)載需要的電流、使緩沖器的最小。36. 為了保證電路能正常工作,一般對電路的輸入邏輯電平有一個允許的變化圍,在這個輸入電平的變化圍,可以保證輸出邏輯電平正確。允許的輸入電平變化圍就是電路的 邏輯擺幅 。37. QCE等比例縮小定律要求電源電壓減小/K倍1K,在選擇時可以根據(jù)實際應(yīng)用需要分為高性能方案和低功耗方案。38. PMOS晶體管可以分為:增強型PMOS和耗盡型PMOS。39. IC工藝進(jìn)入超大規(guī)模時代以后,SBC工藝已不
8、能滿足集成電路開展的需要,主要有三個原因:SBC構(gòu)造晶體管管芯面積大,集成度低;SBC構(gòu)造晶體管面積大,導(dǎo)致寄生電容大,因此大大降低了電路的速度;由隔離墻P型區(qū)引入的PNP寄生晶體管可能導(dǎo)致閂鎖效應(yīng)。40. 對CMOS反相器的直流噪聲容限有三種不同的定義方法:由極限輸出電平定義的噪聲容限;由單位增益點定義的噪聲容限;由反相器邏輯閾值定義的最大噪聲容限。41. 由于CMOS電路具有最大的邏輯擺幅、噪聲容限大,一般CMOS電路的設(shè)計主要是考慮速度和面積要求。42. 在晶體管的EM模型中,端電流和端電壓之間的關(guān)系。43. 影響MOS晶體管閾值電壓的因素有哪些?44. MOS管在不同工作狀態(tài)下本征電容
9、值。45. MOS晶體管的本征電容通常是指哪幾局部電容.MOS晶體管的寄生電容通常是指哪幾局部電容.答:MOSFET本征電容包括:柵-襯電容CGB;柵-源電容CGS;柵-漏電容CGDMOSFET寄生電容包括:柵-源、柵-漏覆蓋電容;柵-襯底覆蓋電容;源、漏區(qū)pn結(jié)勢壘電容。46. 連線寄生效應(yīng)對集成電路性能的影響。答:連線寄生效應(yīng)的影響:連線存在著寄生電阻、電容; 由于金屬的電阻率是根本不變的,這將導(dǎo)致按比例縮小后電路連線的電阻增大; 芯片面積增大使連線長度增加,連線RC延遲影響加大; 連線寄生效應(yīng)對電路可靠性和速度帶來影響。47. 小尺寸MOS器件中的二級效應(yīng)包括哪些.答:小尺寸MOS器件中
10、的二級效應(yīng)包括:短溝道效應(yīng);窄溝道效應(yīng);飽和區(qū)溝道長度調(diào)制效應(yīng);遷移率退化和速度飽和;熱電子效應(yīng)。48. 對長溝道MOS器件一般都采用簡單的一維模型計算MOS晶體管的電流,試推導(dǎo)出線性區(qū)和飽和區(qū)的簡單電流方程采用以下近似:緩變溝道近似;強反型近似;只考慮多子的漂移運動,忽略少子擴散電流;近似認(rèn)為反型載流子的遷移率是常數(shù);薄層電荷近似49. 在MOS晶體管中,柵和源、漏區(qū)之間存在哪兩種邊緣效應(yīng).50. 以富NMOS電路為例說明電荷分享問題對電路的影響。答:51. 晶體管采用共基極接法時,輸出特性曲線表現(xiàn)為:當(dāng)VCB0時,IC根本不隨VCB變化,VCB0時,IC隨VCB的減小劇烈變小到0,用EM模
11、型分析上述現(xiàn)象。答:IE不變反映VBE根本不變,由當(dāng)VCB>0時,則:上式反映在VCB>0的條件下集電極電流IC與VCB無關(guān)。而當(dāng)VCB<0時,即集電結(jié)正偏,不可忽略,得:,由此可見,VCB<0條件下,隨VCB的減小IC減小,最后IC可以等于0.52. SPICE中的MOS晶體管模型有哪些.53. 集成電路中的電阻可以用哪些方法形成.與MOS工藝兼容的電阻包括哪些.54. 依據(jù)MOS晶體管電容的簡化模型,作為簡單分析,輸入、輸出電容可以近似取為什么.55. 分區(qū)推導(dǎo)CMOS反相器的直流電壓傳輸特性。并畫出CMOS反相器的直流電壓傳輸特性曲線。答:書上有詳細(xì)解56. 根據(jù)
12、一個四位二選一多路器真值表,寫出該邏輯表達(dá)式,并畫出該多路器的邏輯圖和電路圖??刂菩盘栞敵鯵3Y0S11010001B3B000A3A0答:一個實際的四位CMOS二選一多路器57. 畫出實現(xiàn)邏輯功能的邏輯圖和電路圖,如果根據(jù)對電路性能的要求確定了Kpeff和KNeff,設(shè)計電路中每個管子的導(dǎo)電因子。答:邏輯圖對于給定功能,先畫出NMOS電路,PMOS與NMOS是對偶關(guān)系電路圖58. 如圖為集成電路光刻工藝中的幾個階段,ABCD脫膜成型1請將其按工藝流程重新排序并說明各步驟中的工藝名稱。2掩模中的T型區(qū)域是曝光區(qū)域還是掩蔽區(qū)域.為什么.3簡要說明刻蝕或腐蝕的含義。59. 畫出實現(xiàn)邏輯功能的CMO
13、S電路圖,如果根據(jù)對電路性能的要求確定了Kpeff和KNeff,設(shè)計電路中每個管子的導(dǎo)電因子。具體分析過程略,書上有詳細(xì)解,對于給定電路,根據(jù)NMOS邏輯塊確定電路功能。仍然用等效反相器分析電路性能。對直流特性分析要考慮不同輸入狀態(tài);對瞬態(tài)特性分析要考慮最壞情況。60. 給出實現(xiàn)邏輯功能的兩種不同方案,并畫出相應(yīng)的邏輯圖。61. PN結(jié)隔離SBC構(gòu)造工藝流程。答:1、襯底材料制備2、埋層的形成3、N型外延層的形成(4) 、隔離區(qū)的形成5、晶體管基區(qū)的形成6、晶體管發(fā)射區(qū)和引線孔的形成7、金屬化的形成62. 設(shè)計一個兩輸入與非門,要求在最壞情況下輸出上升時間和下降時間不大于0.5ns:CL=1P
14、F,VDD=5V,VTN=0.8V,VTP=0.9V,采用0.6m工藝,有KN=120×10-6A/V2,KP=60×10-6A/V2。解:書上有詳細(xì)解WP1=WP2=14.28m,WN1=WN2=13.8m63. 設(shè)計一個兩輸入或非門,要求在最壞情況下輸出上升時間和下降時間不大于0.5ns:CL=1PF,VDD=5V,VTN=0.8V,VTP= -0.9V,采用0.6m工藝,有KN=120×10-6A/V2,KP=60×10-6A/V2。解:書上有詳細(xì)解64. 設(shè)計電路,工作頻率f=50MHZ,VTN= -VTP=0.8V,柵氧化層厚度為500埃,n=
15、400,p=200,L=2m,VDD=5V,按全對稱求各管的寬度。解:門電路圖略,同學(xué)自己畫出按照全對稱設(shè)計,使等效反相器的上升時間和下降時間相等。根據(jù)對工作頻率的要求,等效反相器的上升時間和下降時間由下式限定:tr=tf1/2f=1×10-8s求得時間常數(shù)r=5.79×10-9s,根據(jù)等效反相器中導(dǎo)電因子與時間常數(shù)的關(guān)系得到:等效反相器中PMOS管的導(dǎo)電因子Kpeff=3.45×10-5等效反相器中NMOS管的導(dǎo)電因子Kneff=3.45×10-5對于所設(shè)計電路,考慮最壞情況情況,兩個并聯(lián)的PMOS管A,B,只有一個管對負(fù)載電容充電,即PMOS管ACD串聯(lián)或BCD并聯(lián),相當(dāng)于把三個同樣寬度管子的溝道長度串聯(lián)起來,在溝道寬度不變的情況下,使溝道長度增加二倍,因此導(dǎo)電因子減小2/3,因此PMOS管導(dǎo)電因子都為3Kpeff,即KAP=KBP=KCP=KDP=3Keff。根據(jù)導(dǎo)電因子表達(dá)式,按照導(dǎo)電溝道長度為2m,得到PMOS管溝道寬度的設(shè)計值,(W/P)p=5所設(shè)計的P
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