SPQA高效過濾器檢漏SOP

1、SPQ隔效過濾器檢漏SOP啟）作者:日期:高效過濾器檢漏SOP目的：通過檢測(cè)高效過濾器的泄漏量，發(fā)現(xiàn)高效過濾器及其安裝的缺陷，以便及時(shí)采取補(bǔ)救措施。適用范圍：適用于潔凈廠房高效過濾器泄漏的檢查。責(zé)任部門：設(shè)備能源部、質(zhì)量保證部負(fù)責(zé)本程序的正確執(zhí)行和監(jiān)督。1、高效過濾器安裝檢查1.1高效過濾器安裝前，必須在安裝現(xiàn)場(chǎng)拆開包裝進(jìn)行外觀檢查，內(nèi)容包括濾紙、密封膠和框架有無損壞，邊長(zhǎng)、對(duì)角線和厚度尺寸等是否符合要求；杠架有無毛刺和銹斑（金屬框）；有無產(chǎn)品合格證，技術(shù)性能是否符合設(shè)計(jì)要求。1.2檢查過濾器的濾材是否完好。1.3濾材與其框架內(nèi)部的連接是否嚴(yán)密。1.4過濾器框架的密封墊付和過濾器組支撐柜架之間

2、連接是否穩(wěn)固。2、高效過濾器的檢漏。2.1測(cè)試方法：塵埃粒子計(jì)數(shù)器法。2.2測(cè)試范圍：對(duì)于D級(jí)及更高潔凈度要求的潔凈室，包括層流工作臺(tái)、百級(jí)層流罩、隧道烘箱等設(shè)備上的高效過濾器，都必須在現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行檢查檢漏。3、檢測(cè)材料及儀器。3.1塵源：含塵濃度為3.5X104粒/L，微粒0.5叩的氣體。3.2儀器：塵埃粒子計(jì)數(shù)器。4、粒子計(jì)數(shù)器法檢漏方法。4.1在被檢測(cè)高效過濾器上風(fēng)側(cè)以大于或等于0.5阿微粒，含塵濃度為3.5X104粒/L的空氣做為塵源，調(diào)整過濾器在接近設(shè)計(jì)風(fēng)速的條件下運(yùn)行，用粒子計(jì)數(shù)器在被測(cè)高效過濾器下風(fēng)側(cè)測(cè)得含塵濃度。4.2根據(jù)CLJ-03A型塵埃粒子計(jì)數(shù)器SOP正確使用計(jì)數(shù)器。4.3用塵埃粒子計(jì)數(shù)器采樣頭掃描過高效濾器的出風(fēng)側(cè)。采樣頭離過濾器距離約24cm處，沿過濾器內(nèi)邊框均速移動(dòng)計(jì)數(shù)器探頭巡檢，掃描速度應(yīng)低于5cm/s。4.4檢漏標(biāo)準(zhǔn)控制表潔凈度塵粒最大允許數(shù)/立方米X).5(jm5A級(jí)35001B級(jí)35001C級(jí)3500002000D級(jí)3500000200005、泄漏后處理：5.1出現(xiàn)泄漏時(shí)，用環(huán)氧樹脂硅膠堵漏或螺栓緊固以后再次進(jìn)行掃描巡檢，儀表指示為“0”，表明漏點(diǎn)已被堵住。5.2高效過濾器泄漏處允許用專用膠水修補(bǔ)，但是單個(gè)泄漏處的面積不能大于過濾器總面積的1%，全部泄漏點(diǎn)的面積不能大于過濾器總面積的5%，否則必須更換。5.3過濾器修理或重裝后必須重新進(jìn)行測(cè)試。6