微機(jī)械加速度計(jì)專題1

1、電容式微機(jī)械加速度計(jì)的研究電容式微機(jī)械加速度計(jì)的研究主要內(nèi)容主要內(nèi)容n第一部分：研究背景與意義第一部分：研究背景與意義n第二部分：工作原理與設(shè)計(jì)第二部分：工作原理與設(shè)計(jì)n第三部分：制作工藝第三部分：制作工藝n第四部分：測(cè)試結(jié)果第四部分：測(cè)試結(jié)果n第五部分：總結(jié)第五部分：總結(jié)研究背景與意義研究背景與意義n加速度計(jì)是用來測(cè)量加速度的儀器加速度計(jì)是用來測(cè)量加速度的儀器n壓電式加速度傳感器壓電式加速度傳感器n壓阻式加速度傳感器壓阻式加速度傳感器n電容式加速度傳感器電容式加速度傳感器n伺服式加速度傳感器伺服式加速度傳感器研究背景與意義研究背景與意義n地震檢波器地震檢波器n汽車汽車：安全氣囊、防抱死系統(tǒng)n

2、游戲控制游戲控制n圖像自動(dòng)翻轉(zhuǎn)圖像自動(dòng)翻轉(zhuǎn)nGPS導(dǎo)航系統(tǒng)死角補(bǔ)償導(dǎo)航系統(tǒng)死角補(bǔ)償n計(jì)步器功能計(jì)步器功能n防手抖功能防手抖功能n閃信功能閃信功能n硬盤保護(hù)硬盤保護(hù)研究背景與意義研究背景與意義n靈敏度靈敏度n分辨率分辨率n帶寬帶寬n量程量程n非線性度非線性度n溫度響應(yīng)溫度響應(yīng)n橫向靈敏度橫向靈敏度n穩(wěn)定性穩(wěn)定性研究背景與意義研究背景與意義n電容式微機(jī)械加速度計(jì)的優(yōu)點(diǎn)：電容式微機(jī)械加速度計(jì)的優(yōu)點(diǎn)： 靈敏度高、穩(wěn)定性好、溫度系數(shù)小、可通過靜電恢復(fù)力使其工作在力平衡狀態(tài)下n變面積式的電容式微機(jī)械加速度計(jì)的優(yōu)點(diǎn)：變面積式的電容式微機(jī)械加速度計(jì)的優(yōu)點(diǎn)：可以保證輸出電壓與加速度之間的線性度第二部分：工作原理

3、與設(shè)計(jì)第二部分：工作原理與設(shè)計(jì)n一、電容式微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理一、電容式微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理n二、電容式微機(jī)械加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)二、電容式微機(jī)械加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)電容式微機(jī)械加速度計(jì)梁結(jié)構(gòu)的選取電容式微機(jī)械加速度計(jì)梁結(jié)構(gòu)的選取n常見的梁：常見的梁：雙端固支直梁，折疊梁，蟹腳角形梁，蛇形梁和U形梁 nU形梁的優(yōu)點(diǎn)：形梁的優(yōu)點(diǎn)： （a）結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，可通過DRIE的方法制作 （b）圓弧部分有利于結(jié)構(gòu)中應(yīng)力的釋放 （c）彈性系數(shù)對(duì)梁的厚度要求不高 （當(dāng)梁的厚度與質(zhì)量塊的厚度相同時(shí)， 系統(tǒng)的固有頻率和梁的厚度無關(guān)）U形梁的結(jié)構(gòu)圖形梁的結(jié)構(gòu)圖442322342436244226RRLRLRRLLRL

4、EIkz彈性系數(shù)：彈性系數(shù)： R=37.5m，L=1170m，W=15m，梁的厚度H=196m U形梁的具體尺寸：形梁的具體尺寸： 電容式微機(jī)械加速度計(jì)示意圖電容式微機(jī)械加速度計(jì)示意圖電容式微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理電容式微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理n在質(zhì)量塊上制作的柵形可動(dòng)電極，與其下方的在質(zhì)量塊上制作的柵形可動(dòng)電極，與其下方的玻璃襯底上制作的叉指形固定電極一起構(gòu)成一玻璃襯底上制作的叉指形固定電極一起構(gòu)成一對(duì)差分電容對(duì)差分電容 電容式微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理電容式微機(jī)械加速度計(jì)的工作原理n當(dāng)當(dāng)X軸方向有加速度存在時(shí)，質(zhì)量塊在慣性軸方向有加速度存在時(shí)，質(zhì)量塊在慣性力的作用下發(fā)生位移，引起差分電容的變

5、力的作用下發(fā)生位移，引起差分電容的變化，通過檢測(cè)電容的變化，來確定系統(tǒng)所化，通過檢測(cè)電容的變化，來確定系統(tǒng)所受到的加速度大小受到的加速度大小微機(jī)械加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)模型微機(jī)械加速度計(jì)的動(dòng)力學(xué)模型 n系統(tǒng)的固有頻率為系統(tǒng)的固有頻率為 n代入具體參數(shù)得代入具體參數(shù)得mkf2121140Hz 微機(jī)械加速度計(jì)的電學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)微機(jī)械加速度計(jì)的電學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)n柵形電極與叉指形電柵形電極與叉指形電極構(gòu)成的差分電容大極構(gòu)成的差分電容大小為小為 nX軸方向有一個(gè)加速軸方向有一個(gè)加速度度 時(shí)，質(zhì)量塊在時(shí)，質(zhì)量塊在X軸軸方向發(fā)生的位移為方向發(fā)生的位移為 00000021dyxnCCCakmax微機(jī)械加速度計(jì)的電學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

6、微機(jī)械加速度計(jì)的電學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)n整個(gè)差分電容的變化為整個(gè)差分電容的變化為n代入數(shù)據(jù)得到加速度計(jì)的位移靈敏度為代入數(shù)據(jù)得到加速度計(jì)的位移靈敏度為n加速度計(jì)的電容靈敏度為加速度計(jì)的電容靈敏度為 00002122CkxmaCxxxCxCxC17109 . 18 . 9gmkmSd113001029. 18 . 92gFkxmCSC第三部分：制作工藝第三部分：制作工藝n一、微機(jī)械加工技術(shù)的分類一、微機(jī)械加工技術(shù)的分類n二、微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程二、微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程n三、制作工藝存在的問題及解決方法制作工藝存在的問題及解決方法 微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程（a

7、） （b） （a）在硅片上腐蝕出）在硅片上腐蝕出可動(dòng)部分的懸浮區(qū)域可動(dòng)部分的懸浮區(qū)域（b）在玻璃片上制作）在玻璃片上制作叉指形的固定電極叉指形的固定電極 微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程（c） （d） （c）硅片正面制作）硅片正面制作Al電極引線孔電極引線孔 （d）硅片和玻璃片鍵合）硅片和玻璃片鍵合 微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程（e） （f） （e）在鍵合片的硅）在鍵合片的硅表面制作表面制作Al電極電極 （f）光刻加速度計(jì)）光刻加速度計(jì)結(jié)構(gòu)圖形，利用結(jié)構(gòu)圖形，利用Ion Beam刻蝕鍵合片正刻蝕鍵合片正面的二氧化硅面的二氧化硅微機(jī)械加速度計(jì)制

8、作的工藝流程微機(jī)械加速度計(jì)制作的工藝流程（g） （h） （g）厚膠光刻加速度）厚膠光刻加速度計(jì)結(jié)構(gòu)圖形計(jì)結(jié)構(gòu)圖形 （h）用深反應(yīng)離子）用深反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)刻蝕硅來釋刻蝕技術(shù)刻蝕硅來釋放加速度計(jì)結(jié)構(gòu)放加速度計(jì)結(jié)構(gòu) 電容式微機(jī)械加速度計(jì)的顯微照片電容式微機(jī)械加速度計(jì)的顯微照片 DRIE過程中過刻蝕及保護(hù)的示意圖過程中過刻蝕及保護(hù)的示意圖 （a） 過刻蝕示意圖過刻蝕示意圖 （b） 采用金屬保護(hù)防止采用金屬保護(hù)防止過刻蝕的示意圖過刻蝕的示意圖 具體保護(hù)方法具體保護(hù)方法nU形梁結(jié)構(gòu)下方制作與體硅相連的金屬層形梁結(jié)構(gòu)下方制作與體硅相連的金屬層n柵形電極結(jié)構(gòu)下方的玻璃襯底上制作有叉柵形電極結(jié)構(gòu)下方的玻璃襯底

9、上制作有叉指形電極，不能直接通過制作金屬層的方指形電極，不能直接通過制作金屬層的方法來保護(hù)法來保護(hù)n在叉指形電極的引線焊盤處引出金屬引線在叉指形電極的引線焊盤處引出金屬引線與硅相連，該金屬引線分布在器件的劃片與硅相連，該金屬引線分布在器件的劃片槽內(nèi)，劃片時(shí)可以把該引線劃斷，不會(huì)對(duì)槽內(nèi)，劃片時(shí)可以把該引線劃斷，不會(huì)對(duì)叉指形電極產(chǎn)生影響叉指形電極產(chǎn)生影響DRIE的刻蝕效果（背面）的刻蝕效果（背面）（a）柵形電極過刻蝕后的）柵形電極過刻蝕后的SEM照片照片（b）柵形電極完全刻穿時(shí)的顯微照片）柵形電極完全刻穿時(shí)的顯微照片 微機(jī)械加速度計(jì)的幅頻特性曲線微機(jī)械加速度計(jì)的幅頻特性曲線在大氣中測(cè)得諧振頻率為在大氣中測(cè)得諧振頻率為845Hz、品質(zhì)因子、品質(zhì)因子Q值為值為169過刻蝕過刻蝕保護(hù)前保護(hù)前 微機(jī)械加速度計(jì)的幅頻特性曲線微機(jī)械加速度計(jì)的幅頻特性曲線在大氣中測(cè)得諧振頻率為在大氣中測(cè)得諧振頻率為1078Hz、品質(zhì)因子、品質(zhì)因子Q值為值為215.6 過刻蝕過刻蝕保護(hù)后保護(hù)后 該加速度計(jì)器件的分辨率該加速度計(jì)器件的分辨率 n假設(shè)此時(shí)加速度計(jì)的