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文檔簡介
1、磁電傳感器磁電效應(yīng)將材質(zhì)均勻的金屬或半導(dǎo)體通電并置于磁場中,所產(chǎn)將材質(zhì)均勻的金屬或半導(dǎo)體通電并置于磁場中,所產(chǎn)生的各種變化稱為電磁效應(yīng)。生的各種變化稱為電磁效應(yīng)。在金屬或半導(dǎo)體薄片中通以控制電流在金屬或半導(dǎo)體薄片中通以控制電流I,并在薄片的垂,并在薄片的垂直方向上施加磁感應(yīng)強(qiáng)度為直方向上施加磁感應(yīng)強(qiáng)度為B的磁場,那么在垂直于的磁場,那么在垂直于電流和磁場的方向上會(huì)產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)霍爾電勢(shì)。這電流和磁場的方向上會(huì)產(chǎn)生電動(dòng)勢(shì)霍爾電勢(shì)。這種景象稱為霍爾效應(yīng)。種景象稱為霍爾效應(yīng)。假設(shè)給通有電流的金屬或半導(dǎo)體薄片加以與電流方向假設(shè)給通有電流的金屬或半導(dǎo)體薄片加以與電流方向垂直的外磁場,不但產(chǎn)生霍爾效應(yīng),而且試
2、件的電阻垂直的外磁場,不但產(chǎn)生霍爾效應(yīng),而且試件的電阻值會(huì)變大。即產(chǎn)生磁阻效應(yīng)。值會(huì)變大。即產(chǎn)生磁阻效應(yīng)?;魻栃?yīng)假設(shè)將通有電流的導(dǎo)體置于磁場B之中,磁場B沿z軸垂直于電流IH沿x軸的方向,如以下圖,那么在導(dǎo)體中垂直于B和IH的方向上出現(xiàn)一個(gè)橫向電位差UH。1霍爾效應(yīng)霍爾效應(yīng) IHUH霍爾效應(yīng)的機(jī)理一將一塊厚度為d、寬度為b、長度為L的半導(dǎo)體薄片霍爾片放置在磁場B中,磁場B沿Z軸正方向。當(dāng)電流沿X軸正方向經(jīng)過半導(dǎo)體時(shí),假設(shè)薄片中的載流子設(shè)為自在電子以平均速度v沿X軸負(fù)方向作定向運(yùn)動(dòng),所受的洛倫茲力為fB=ev*B.在fB的作用下自在電子受力偏轉(zhuǎn),結(jié)果向板面“I積聚,同時(shí)在板面“上出現(xiàn)同數(shù)量的正
3、電荷。這樣就構(gòu)成一個(gè)沿Y軸負(fù)方向上的橫向電場,使自在電子在受沿Y軸負(fù)方向上的洛倫茲力fB 的同時(shí),也受一個(gè)沿Y軸正方向的電場力fE。設(shè)E為電場強(qiáng)度,UH為霍爾片I、面之間的電位差即霍爾電壓,那么fE 將妨礙電荷的積聚,最后達(dá)穩(wěn)定外形時(shí)有即或bUeeEfHEEBffbUeevBHvBbUH霍爾效應(yīng)的機(jī)理二設(shè)載流子濃度為n,單位時(shí)間內(nèi)體積為vdb里的載流子全部經(jīng)過橫截面,那么電流強(qiáng)度IH與載流子平均速度v的關(guān)系為 將 代入 得式中 即為霍爾系數(shù)RH。思索霍爾片厚度d的影響,引進(jìn)一個(gè)重要參數(shù)KH, , 那么 式可寫為KH稱為霍爾元件的靈敏度。dbneIvvdbneIHH 或 vdbneIHvBbUH
4、dBIneUHH1ne1nedKH1vBbUHBIKUHHH霍爾電壓的特性 1.在一定的義務(wù)電流IH下,霍爾電壓UH與外磁場磁感應(yīng)強(qiáng)度B成正比。這就是霍爾效應(yīng)檢測(cè)磁場的原理。2.在一定的外磁場中,霍爾電壓UH與經(jīng)過霍爾片的電流強(qiáng)度IH義務(wù)電流成正比。這就霍爾效應(yīng)檢測(cè)電流的原理。HHHIKUB BKUIHHH霍爾效應(yīng)的副效應(yīng)霍爾效應(yīng)的副效應(yīng)( (一一 在丈量霍爾電壓時(shí),會(huì)伴隨產(chǎn)生一些副效應(yīng),影響到丈量的準(zhǔn)確度,這些副效應(yīng)是:1. 不等位效應(yīng) 由于制造工藝技術(shù)的限制,霍爾元件的電位極不可以接在同一等位面上,因此,當(dāng)電流IH流過霍爾元件時(shí),即使不加磁場,兩電極間也會(huì)產(chǎn)生一電位差,稱不等位電位差U。顯
5、然,U0只與電流IC有關(guān),而與磁場無關(guān)。2. 埃廷豪森效應(yīng)Etinghausen effect 由于霍爾片內(nèi)部的載流子速度服從統(tǒng)計(jì)分布,有快有慢,由于它們?cè)诖艌鲋惺艿穆鍌惼澚Σ煌?,那么軌道偏轉(zhuǎn)也不一樣。動(dòng)能大的載流子趨向霍爾片的一側(cè),而動(dòng)能小的載流子趨向另一側(cè),隨著載流子的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能,使兩側(cè)的溫升不同,構(gòu)成一個(gè)橫向溫度梯度,引起溫差電壓UE,UE的正負(fù)與IH、B的方向有關(guān)。霍爾效應(yīng)的副效應(yīng)霍爾效應(yīng)的副效應(yīng)( (二二3. 能斯特效應(yīng)Nernst effect由于兩個(gè)電流電極與霍爾片的接觸電阻不等,當(dāng)有電流經(jīng)過時(shí),在兩電流電極上有溫度差存在,出現(xiàn)熱分散電流,在磁場的作用下,建立一個(gè)橫向電場EN
6、,因此產(chǎn)生附加電壓UN。UN的正負(fù)僅取決于磁場的方向。4. 里紀(jì)-勒杜克效應(yīng)Righi-Leduc effect由于熱分散電流的載流子的遷移率不同,類似于埃廷豪森效應(yīng)中載流子速度不同一樣,也將構(gòu)成一個(gè)橫向的溫度梯度而產(chǎn)生相應(yīng)的溫度電壓URL,URL的正、負(fù)只與B的方向有關(guān),和電流IH的方向無關(guān)?;魻栃?yīng)的副效應(yīng)的消除方法霍爾效應(yīng)的副效應(yīng)的消除方法 由于附加電壓的存在,實(shí)測(cè)的電壓,既包括霍爾電壓UH,也包括U0、UE、UN和URL等這些附加電壓,構(gòu)成丈量中的系統(tǒng)誤差來源。但我們利用這些附加電壓與電流IH和磁感應(yīng)強(qiáng)度B的方向有關(guān),丈量時(shí)改動(dòng)IH和B的方向根本上可以消除這些附加誤差的影響。詳細(xì)方法如
7、下:當(dāng)+B,+IH時(shí)丈量,U1UHU0UEUNURL1當(dāng)+B,-IH時(shí)丈量,U2UHU0UEUNURL2當(dāng)-B,-IH時(shí)丈量,U3UHU0+UEUNURL 3當(dāng)-B,+IH時(shí)丈量,U4UHU0UEUNURL4式1234并取平均值,那么得)(414321UUUUUH)(414321UUUUUUEH這樣處置后,除埃廷豪森效應(yīng)引起的附加電壓外,其它幾個(gè)主要的附加電壓全部被消除了。但因UEUH,故可將上式寫為 磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭背景:隨著科學(xué)技術(shù)的開展,電子技術(shù)的運(yùn)用領(lǐng)域日益廣泛,信號(hào)的頻率愈來愈高,對(duì)信號(hào)的分析要求愈來愈細(xì)致。用示波器察看和檢測(cè)電流信號(hào)的需求也日益頻繁。探頭對(duì)于示波器丈
8、量是非常關(guān)鍵的,把一個(gè)探頭連結(jié)到一個(gè)電路能影響電路的運(yùn)轉(zhuǎn),并且,一臺(tái)示波器僅僅可以顯示和丈量探頭傳送的示波器輸入信號(hào)。因此,探頭對(duì)于被測(cè)回路,必需有最小的影響,同時(shí)對(duì)想要做的丈量應(yīng)保證足夠的信號(hào)保真度。假設(shè)探頭不能堅(jiān)持信號(hào)的保真度,假設(shè)它以任何方式改動(dòng)信號(hào)或改動(dòng)一個(gè)電路的動(dòng)作,示波器將顯示實(shí)際信號(hào)的一個(gè)畸變的型式。其結(jié)果會(huì)導(dǎo)致出錯(cuò)的或者誤導(dǎo)的丈量。磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭對(duì)示波器電流探頭的要求:頻率范圍寬:從直流到幾十甚至上百兆。幅度范圍大:從毫安至千安。體積尺寸?。弘S著集成度的提高和信號(hào)頻率的添加,元器件的外型尺寸越來越小和引腳越來越短。操作方便準(zhǔn)確度高現(xiàn)有技術(shù)條件:線圈耦合-適宜幾
9、k赫茲以上的電流?;魻柶骷?適宜直流至幾十k赫茲的電流。磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭示波器電流丈量實(shí)例:Tektronix 503S系統(tǒng)在直流和低頻交流時(shí)的義務(wù)原理當(dāng)電流鉗閉合,把一通有電流的導(dǎo)體圍在中心時(shí),相應(yīng)地,會(huì)出現(xiàn)一個(gè)磁場。這些磁場使霍爾傳感器內(nèi)的電子發(fā)生偏轉(zhuǎn),在霍爾傳感器的輸出產(chǎn)生一個(gè)電動(dòng)勢(shì)。系統(tǒng)根據(jù)這個(gè)電動(dòng)勢(shì)產(chǎn)生一個(gè)反相補(bǔ)償電流送至電流探頭的線圈,使電流鉗中的磁場為零,以防止磁飽和。系統(tǒng)根據(jù)反相電流測(cè)得實(shí)際得電流值。用這個(gè)方法,能非常線性地丈量大電流,包括交直流混合的電流。磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭系統(tǒng)在高頻時(shí)的義務(wù)原理隨著被測(cè)電流頻率的添加,霍爾效應(yīng)逐漸減弱。當(dāng)丈量一個(gè)
10、不含直流成分的高頻交流電流時(shí),大部分是經(jīng)過磁場的強(qiáng)弱直接感應(yīng)到電流探頭的線圈。探頭就象一個(gè)電流變壓器。系統(tǒng)直接丈量的是感應(yīng)電流,而不是補(bǔ)償電流。功放的輸出為線圈提供了一個(gè)低阻抗的接地回路。磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭系統(tǒng)在交叉區(qū)域時(shí)的義務(wù)原理當(dāng)系統(tǒng)義務(wù)在20kHz的高低頻交叉區(qū)域時(shí),部分丈量是經(jīng)過霍爾傳感器實(shí)現(xiàn)的,另一部分是經(jīng)過線圈實(shí)現(xiàn)的。圖示(a)為被測(cè)電流波形。圖示(b)為經(jīng)過霍爾傳感器產(chǎn)生的補(bǔ)償電流波形。圖示(c)為直接感應(yīng)到線圈的被測(cè)電流的高頻部分。圖示(d)為系統(tǒng)綜合兩部分電流后得到的測(cè)試結(jié)果。磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭磁電式傳感器的運(yùn)用示波器電流探頭Tektronix AM503A電流探頭放大器系統(tǒng)綜述直流信號(hào)的途徑源自霍爾傳感器,流經(jīng)霍爾預(yù)放、功放、探頭線圈、衰減器,最終經(jīng)過輸出放大器輸出。交流信號(hào)的途徑源自探頭線圈,流經(jīng)衰減器,最終經(jīng)過輸出放大器輸出。整個(gè)系統(tǒng)的增益由衰減器和輸出放大器的設(shè)置決議。這些電路由微處置器集及其接口電路控制。交流探頭。由于他們?cè)O(shè)計(jì)上的緣由,電流探頭不能經(jīng)過直流或低頻率信號(hào)。因此,他們的帶寬必需用兩個(gè)值詳細(xì)闡明,一個(gè)是低頻率,另一個(gè)是高頻率。對(duì)于示波器丈量,實(shí)際關(guān)懷的問題是示波器和探頭組合的總的帶寬。這一系統(tǒng)性能最終決議丈量的性能。不幸的是,把
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