第七章 波導輸入和輸出耦合器

1、1第七章第七章 波導輸入和輸出耦合器波導輸入和輸出耦合器教教 師：張旨遙師：張旨遙辦公地點：光電樓辦公地點：光電樓321321室室E-mail: 2光耦合的概念光耦合的概念“耦合耦合”一詞的含義是什么？一詞的含義是什么？ 簡單地說，耦合就是指兩個物體之間存在直接關(guān)系，簡單地說，耦合就是指兩個物體之間存在直接關(guān)系，相互影響。相互影響。什么是光耦合？什么是光耦合？ 通常是指兩個或兩個以上的光學元器件或光網(wǎng)絡(luò)的輸通常是指兩個或兩個以上的光學元器件或光網(wǎng)絡(luò)的輸入與輸出之間存在緊密配合與相互影響，并通過相互入與輸出之間存在緊密配合與相互影響，并通過相互作用作用從一側(cè)向另一側(cè)傳輸能量從一側(cè)向另一側(cè)傳輸能量

2、的現(xiàn)象。的現(xiàn)象?；诠怦詈显碇谱鞯母鞣N光耦合器在集成光學中具基于光耦合原理制作的各種光耦合器在集成光學中具有重要的應(yīng)用：波導輸入和輸出耦合器、光功率的分有重要的應(yīng)用：波導輸入和輸出耦合器、光功率的分配、濾波、偏振選擇、調(diào)制、光開關(guān)等。配、濾波、偏振選擇、調(diào)制、光開關(guān)等。3光耦合原理光耦合原理光耦合器的基本性質(zhì)是它的光耦合器的基本性質(zhì)是它的耦合效率耦合效率和和模式選擇性模式選擇性。耦合效率：光束總功率中被耦合進（或耦合出）波導耦合效率：光束總功率中被耦合進（或耦合出）波導的百分比，也可以用分貝（的百分比，也可以用分貝（dB）單位表示。）單位表示。/in outcmtPP 百分比表示：百分比表示

3、：/110log10logtcmin outcmPP 分貝表示：分貝表示：/in outP其中，其中， 為耦合進（出）波導的功率；為耦合進（出）波導的功率； 為耦合前光為耦合前光束的總功率。束的總功率。tP模式選擇性：將光功率耦合進模式選擇性：將光功率耦合進特定特定波導模式，或?qū)⒉▽Ｊ剑驅(qū)⑻靥囟ǘú▽Ｊ降墓夤β蜀詈铣霾▽?。波導模式的光功率耦合出波導?光耦合原理光耦合原理對于一個選模耦合器，可以分別確定每個模式的耦合對于一個選模耦合器，可以分別確定每個模式的耦合效率。效率。/mmin outcmtPP 百分比表示：百分比表示：/110log10logmtcmmmin outcmPP 分貝

4、表示：分貝表示：/min outP其中，其中， 為耦合進（出）第為耦合進（出）第 階模式的功率；階模式的功率； 為耦為耦合前光束的總功率。合前光束的總功率。tPm對于多模耦合器，通常用總值表示耦合效率。對于多模耦合器，通常用總值表示耦合效率。耦合效率非常強烈地依賴于光束場和波導模場的匹配耦合效率非常強烈地依賴于光束場和波導模場的匹配程度。程度。5橫向耦合器橫向耦合器橫向耦合器：光束直接聚焦在波導外露截面上。橫向耦合器：光束直接聚焦在波導外露截面上。 對自由空間（空氣）中的光束來說，可以使用一個透對自由空間（空氣）中的光束來說，可以使用一個透鏡來完成這種聚焦。鏡來完成這種聚焦。 兩塊波導之間的橫

5、向耦合，可以通過將它們經(jīng)過拋光兩塊波導之間的橫向耦合，可以通過將它們經(jīng)過拋光或解理了的橫截面對接在一起來實現(xiàn)?；蚪饫砹说臋M截面對接在一起來實現(xiàn)。激光束與波導橫向耦合最簡單的方法是激光束與波導橫向耦合最簡單的方法是直接聚焦直接聚焦（或（或稱為稱為端焦法端焦法）。）。3n1n2nzxy波導既可以是平面型，也波導既可以是平面型，也可以是通道型?？梢允峭ǖ佬?。6橫向耦合器橫向耦合器在端焦法中，光束能量向已知波導模式的轉(zhuǎn)移是通過在端焦法中，光束能量向已知波導模式的轉(zhuǎn)移是通過光束場和波導模場的匹配光束場和波導模場的匹配來完成的。來完成的。由入射光束的場分布與波導模場分布的重疊積分可以由入射光束的場分布與波

6、導模場分布的重疊積分可以計算出耦合效率。計算出耦合效率。以平板波導為例，耦合效率的計算式為以平板波導為例，耦合效率的計算式為 2*mcmA x Bx dxA x Ax dxB x Bx dx A x其中，其中， 為輸入激光束的振幅分布，為輸入激光束的振幅分布， 為第為第 階導階導模的振幅分布。模的振幅分布。 B xm7橫向耦合器橫向耦合器激光束的高斯分布與激光束的高斯分布與TE0模（基模）模場形狀之間具模（基模）模場形狀之間具有相當好的匹配，所以端焦法特別適用于氣體激光器有相當好的匹配，所以端焦法特別適用于氣體激光器輸出光束與波導基模之間的耦合（原則上講，耦合效輸出光束與波導基模之間的耦合（原

7、則上講，耦合效率可以接近率可以接近100%）。）。為實現(xiàn)最佳耦合，光束直徑一定要與波導厚度匹配，為實現(xiàn)最佳耦合，光束直徑一定要與波導厚度匹配，并且要嚴格對準（由于對準誤差，通?？蛇_到的耦合并且要嚴格對準（由于對準誤差，通?？蛇_到的耦合效率約為效率約為60%）。）。端焦法很方便，實驗室常常采用這種方法，但是在沒端焦法很方便，實驗室常常采用這種方法，但是在沒有光學平臺的情況下要保持對準是非常困難的，這就有光學平臺的情況下要保持對準是非常困難的，這就限制了端焦法的實際應(yīng)用。限制了端焦法的實際應(yīng)用。8橫向耦合器橫向耦合器平行端接耦合平行端接耦合是實現(xiàn)波導與半導體激光器（或波導）是實現(xiàn)波導與半導體激光器

8、（或波導）之間耦合的有效方法。之間耦合的有效方法。波導層厚度可以制作成與半導體激光器的發(fā)光層厚度波導層厚度可以制作成與半導體激光器的發(fā)光層厚度相當，并且激光器的基模場分布與波導的基模場分布相當，并且激光器的基模場分布與波導的基模場分布相似，所以平行端接耦合能實現(xiàn)兩者的高效耦合。相似，所以平行端接耦合能實現(xiàn)兩者的高效耦合。9橫向耦合器橫向耦合器一個工作在一個工作在TE0基模態(tài)的激光二極管與平板波導進行基模態(tài)的激光二極管與平板波導進行耦合，耦合，TE模間的耦合效率可以表示為模間的耦合效率可以表示為 22222222c64cos2110,1,211os2LggmcmLLggLgLn nttmnntm

9、mttmt 歸一化因子反射因子波導的TE導模階數(shù)面積失配因子交疊因子上式假設(shè)所有波導模式都受到很好限制，并且波導的上式假設(shè)所有波導模式都受到很好限制，并且波導的波導層厚度小于激光器的發(fā)射層厚度，即波導層厚度小于激光器的發(fā)射層厚度，即 。gLtt 思考：為什么與奇數(shù)階導模思考：為什么與奇數(shù)階導模不發(fā)生耦合？不發(fā)生耦合？10橫向耦合器橫向耦合器下圖為下圖為GaAs激光二極管與玻璃襯底激光二極管與玻璃襯底Ta2O5波導的耦合波導的耦合效率與波導厚度的關(guān)系曲線。效率與波導厚度的關(guān)系曲線。如果如果 ，最低階導，最低階導模（模（ ）的耦合效率）的耦合效率理論值可接近理論值可接近100%，此時，耦合到高階模

10、此時，耦合到高階模式的能量幾乎為零。式的能量幾乎為零。gLtt 0m 11橫向耦合器橫向耦合器上面討論的耦合效率是假設(shè)上面討論的耦合效率是假設(shè)激光器與波導完全對準時激光器與波導完全對準時的最佳值的最佳值，實際上耦合效率對于，實際上耦合效率對于x方向（波導層厚度方向（波導層厚度方向）的橫向?qū)势钍欠浅Ｃ舾械?。方向）的橫向?qū)势钍欠浅Ｃ舾械?。波導相對于激光器橫向位移為波導相對于激光器橫向位移為 時，耦合效率按如下時，耦合效率按如下規(guī)律減小規(guī)律減小X20cosLPXPt P: :無橫向位移（無橫向位移（ ）時的耦合功率）時的耦合功率0X 0P: :有橫向位移（有橫向位移（ ）時的耦合功率）時的耦

11、合功率0X 上式假設(shè)上式假設(shè) 和和 。gLtt 2LgXtt 12橫向耦合器橫向耦合器實例：實例： 和和 。2.0gtm 5.8Ltm 虛線：理論計算值虛線：理論計算值實線：實驗測量數(shù)據(jù)實線：實驗測量數(shù)據(jù)13橫向耦合器橫向耦合器激光器與波導在激光器與波導在z方向（光傳播方向）之間的間距對方向（光傳播方向）之間的間距對于耦合效率也是非常關(guān)鍵的，要實現(xiàn)最佳耦合，間距于耦合效率也是非常關(guān)鍵的，要實現(xiàn)最佳耦合，間距需控制在需控制在波長量級波長量級的精度。的精度。耦合效率的整體下耦合效率的整體下降趨勢由衍射效應(yīng)降趨勢由衍射效應(yīng)引起。引起。曲線的振蕩形狀由曲線的振蕩形狀由激光器和波導之間激光器和波導之間F

12、-P共振效應(yīng)引起。共振效應(yīng)引起。激光器和波導之間激光器和波導之間用折射率匹配液可用折射率匹配液可消除振蕩效應(yīng)。消除振蕩效應(yīng)。14棱鏡耦合器棱鏡耦合器如何將光耦合進如何將光耦合進橫截面沒有露在外部橫截面沒有露在外部但是但是表面露出來表面露出來的波導中去？的波導中去？能否像下圖一樣，以某傾角將光聚焦在波導表面，實能否像下圖一樣，以某傾角將光聚焦在波導表面，實現(xiàn)耦合？現(xiàn)耦合？為了實現(xiàn)耦合，必須滿足為了實現(xiàn)耦合，必須滿足相位相位匹配條件匹配條件，即，即z向傳播常數(shù)相向傳播常數(shù)相等，也即要求：等，也即要求：3n1n2nm m zxy通常情況下通常情況下123nnn 03sinmmk n 030201mk

13、 nk nk n 導模條件：導模條件：圖示直接聚焦照射的方法顯然圖示直接聚焦照射的方法顯然無法實現(xiàn)與導模之間的耦合。無法實現(xiàn)與導模之間的耦合。15棱鏡耦合器棱鏡耦合器棱鏡耦合器的工作原理如下圖所示棱鏡耦合器的工作原理如下圖所示 用夾具將用夾具將高折射率（高折射率（ ）棱鏡壓在平板波導上，棱鏡壓在平板波導上，棱鏡底部與波導層的表面之間有一很窄的空氣間隔棱鏡底部與波導層的表面之間有一很窄的空氣間隔（或折射率匹配液），構(gòu)成棱鏡（或折射率匹配液），構(gòu)成棱鏡-波導耦合系統(tǒng)。波導耦合系統(tǒng)。1pnn 1n2n3npnm 輸入棱鏡耦合器輸入棱鏡耦合器輸出棱鏡耦合器輸出棱鏡耦合器zxy0 0m 1 1m p 1

14、6棱鏡耦合器棱鏡耦合器 在輸入棱鏡與空氣隙交界面（在輸入棱鏡與空氣隙交界面（ 面）上，光束發(fā)面）上，光束發(fā)生全反射，在棱鏡中沿生全反射，在棱鏡中沿x方向形成駐波模式，類似于方向形成駐波模式，類似于波導模式，沿波導模式，沿z方向以傳播常數(shù)方向以傳播常數(shù) 傳播。傳播。3pnn 1n2n3npnm 輸入棱鏡耦合器輸入棱鏡耦合器輸出棱鏡耦合器輸出棱鏡耦合器zxy0 0m 1 1m p p 0sinppmk n 17棱鏡耦合器棱鏡耦合器 如果棱鏡底部與波導層表面之間的如果棱鏡底部與波導層表面之間的縫隙足夠小縫隙足夠小，以至，以至于棱鏡中駐波模式的倏逝波尾與波導中導模的于棱鏡中駐波模式的倏逝波尾與波導中導

15、模的倏逝波倏逝波尾部分重疊尾部分重疊，并且滿足，并且滿足 ，就能發(fā)生棱鏡駐波模，就能發(fā)生棱鏡駐波模式與第式與第 階波導模式的能量相干耦合。階波導模式的能量相干耦合。1n2n3npnm 輸入棱鏡耦合器輸入棱鏡耦合器輸出棱鏡耦合器輸出棱鏡耦合器zxy0 0m 1 1m p pm m18棱鏡耦合器棱鏡耦合器耦合發(fā)生時的相位匹配條件：耦合發(fā)生時的相位匹配條件：0sinppmmk n 調(diào)整光束入射角可以將能量耦合進不同階數(shù)的波導模調(diào)整光束入射角可以將能量耦合進不同階數(shù)的波導模式中。式中。 對于輸出棱鏡耦合器，如果波導中存在多階導模，各對于輸出棱鏡耦合器，如果波導中存在多階導模，各階模式在棱鏡中的輸出角也

16、是不同的（對于平板波導，階模式在棱鏡中的輸出角也是不同的（對于平板波導，將形成將形成m線線）。）。單模平板光波導單模平板光波導m線照片線照片四個導模的多模平板光波導四個導模的多模平板光波導m線照片線照片19棱鏡耦合器棱鏡耦合器在棱鏡在棱鏡-波導耦合系統(tǒng)中，入射光束在棱鏡中發(fā)生波導耦合系統(tǒng)中，入射光束在棱鏡中發(fā)生全全反射反射，但是能通過倏逝波尾重疊而耦合能量，這樣的，但是能通過倏逝波尾重疊而耦合能量，這樣的過程稱為過程稱為光學隧道效應(yīng)光學隧道效應(yīng)，它與量子力學中的勢壘貫穿，它與量子力學中的勢壘貫穿（隧道效應(yīng)）相似。（隧道效應(yīng)）相似。思考一：如果思考一：如果 ，會不會發(fā)生耦合？，會不會發(fā)生耦合？思

17、考二：如果思考二：如果 ，會不會發(fā)生耦合？，會不會發(fā)生耦合？思考三：如果思考三：如果 ，是不是一定會發(fā)生耦合？發(fā)生，是不是一定會發(fā)生耦合？發(fā)生耦合的條件是什么？耦合的條件是什么？3pnn 31pnnn 1pnn 20棱鏡耦合器棱鏡耦合器滿足了上述的相位匹配條件，只能保證波導模式與棱滿足了上述的相位匹配條件，只能保證波導模式與棱鏡駐波模式之間可能發(fā)生耦合，但是具體的耦合效果鏡駐波模式之間可能發(fā)生耦合，但是具體的耦合效果由由耦合系數(shù)耦合系數(shù)和和耦合長度耦合長度共同決定。共同決定。根據(jù)根據(jù)模式耦合理論（下一章會詳細介紹）模式耦合理論（下一章會詳細介紹）可知，當耦可知，當耦合系數(shù)合系數(shù) 和耦合長度和耦

18、合長度 滿足如下關(guān)系時，相位匹配的滿足如下關(guān)系時，相位匹配的模式之間才能發(fā)生完全的能量交換模式之間才能發(fā)生完全的能量交換 L2L 其中，為棱鏡駐波模式與波導模式之間的耦合系數(shù)，其中，為棱鏡駐波模式與波導模式之間的耦合系數(shù)，它與確定模場尾形狀的它與確定模場尾形狀的 、 和和 有關(guān)，也與棱鏡底有關(guān)，也與棱鏡底部和波導表面的間隙部和波導表面的間隙 有關(guān)有關(guān); ; 是棱鏡底部光束沿是棱鏡底部光束沿z z方向的寬度。方向的寬度。1npn3nsL21棱鏡耦合器棱鏡耦合器在耦合長度在耦合長度 確定時，可以通過確定時，可以通過調(diào)節(jié)間隙的厚度調(diào)節(jié)間隙的厚度 以以改變耦合系數(shù)改變耦合系數(shù) ，從而獲得高的耦合效率。

19、，從而獲得高的耦合效率。完全耦合（完全耦合（100%耦合）條件是假定在光束的整個寬耦合）條件是假定在光束的整個寬度內(nèi)，電場是均勻的，實際上對于高斯光束，最大耦度內(nèi)，電場是均勻的，實際上對于高斯光束，最大耦合效率約為合效率約為80%。即使是均勻光束，要想實現(xiàn)即使是均勻光束，要想實現(xiàn)100%的耦合，光束的邊的耦合，光束的邊緣一定要恰好與棱鏡的直角頂點相交：緣一定要恰好與棱鏡的直角頂點相交： 如果光束入射得偏右，則部分入射功率或被反射或直如果光束入射得偏右，則部分入射功率或被反射或直接透射入波導，而不進入棱鏡模式；接透射入波導，而不進入棱鏡模式； 如果光束入射得偏左，則部分已耦合入波導的功率將如果光

20、束入射得偏左，則部分已耦合入波導的功率將會重新耦合回棱鏡。會重新耦合回棱鏡。 Ls22棱鏡耦合器棱鏡耦合器棱鏡棱鏡-波導耦合的光線模型波導耦合的光線模型入射到棱鏡底部入射到棱鏡底部11、22、33點的光（相當于次波點的光（相當于次波源），在波導層上表面對應(yīng)源），在波導層上表面對應(yīng)的的1 1、2 2、3 3點分別激勵起子點分別激勵起子波，這些子波波，這些子波相干疊加相干疊加后形后形成波導模式。成波導模式。 等相位面等相位面1m m 12233lsinml xzy3npn1n23棱鏡耦合器棱鏡耦合器波導層上表面波導層上表面2點處的光波是由兩部分光波相干疊加點處的光波是由兩部分光波相干疊加而成：而成

21、： 由棱鏡底部由棱鏡底部2點直接激勵產(chǎn)生，稱為點直接激勵產(chǎn)生，稱為直接波直接波； 由棱鏡底部由棱鏡底部1點在波導層上表面點在波導層上表面1點直接激勵，然后點直接激勵，然后在波導層中沿鋸齒形路徑傳播過來，稱為在波導層中沿鋸齒形路徑傳播過來，稱為間接波間接波。24棱鏡耦合器棱鏡耦合器波導層上表面波導層上表面2點處直接波與間接波的相位差點處直接波與間接波的相位差 等于等于直接波由等相位面?zhèn)鞑サ街苯硬ㄓ傻认辔幻鎮(zhèn)鞑サ?點的相位（點的相位（ ）減）減去間接波由去間接波由1點傳播到點傳播到2點的相位（點的相位（ ），即），即ml 0sinpmn k l 0sin0pmmmmn k llll 結(jié)論：直接波與

22、間接波同相，相干相漲疊加。結(jié)論：直接波與間接波同相，相干相漲疊加。25棱鏡耦合器棱鏡耦合器通常在棱鏡耦合器中有大約近百個這樣的鋸齒，因此通常在棱鏡耦合器中有大約近百個這樣的鋸齒，因此相干加強作用能很快地在波導層中激發(fā)起足夠強度的相干加強作用能很快地在波導層中激發(fā)起足夠強度的波導模式波導模式由于這個原因，相位匹配條件也叫做由于這個原因，相位匹配條件也叫做同步條件同步條件，用于，用于激發(fā)各種不同波導模式的棱鏡入射角激發(fā)各種不同波導模式的棱鏡入射角 稱為稱為同步角同步角。m 26棱鏡耦合器棱鏡耦合器當棱鏡耦合器用做輸出耦合器時，不同階數(shù)的模式會當棱鏡耦合器用做輸出耦合器時，不同階數(shù)的模式會以不同的角

23、度輸出，可以用做以不同的角度輸出，可以用做模式分析工具模式分析工具。將棱鏡耦合器作為輸出耦合器沿波導的長度方向移動，將棱鏡耦合器作為輸出耦合器沿波導的長度方向移動，可以用于可以用于測量波導損耗測量波導損耗，但是每次測量耦合功率時需，但是每次測量耦合功率時需對棱鏡施加相同的壓力，使得間隙（即耦合效率）保對棱鏡施加相同的壓力，使得間隙（即耦合效率）保持不變。持不變。由于半導體波導的折射率通常較大（由于半導體波導的折射率通常較大（34），很難找），很難找到折射率滿足要求的棱鏡，所以很難用棱鏡耦合，所到折射率滿足要求的棱鏡，所以很難用棱鏡耦合，所以以棱鏡耦合通常用于玻璃波導棱鏡耦合通常用于玻璃波導。半

24、導體激光器的發(fā)散角較大，因此不能用棱鏡耦合器半導體激光器的發(fā)散角較大，因此不能用棱鏡耦合器件進行有效耦合。件進行有效耦合。27棱鏡耦合器棱鏡耦合器觀察屏觀察屏He-NeHe-Ne激光器激光器準直器準直器透鏡透鏡偏振器偏振器m m線線耦合棱鏡耦合棱鏡耦合棱鏡耦合棱鏡單模平板光波導單模平板光波導m線照片線照片四個導模的多模平板光波導四個導模的多模平板光波導m線照片線照片28光柵耦合器光柵耦合器光柵耦合器可以將直接照射波導層的光有效地耦合入光柵耦合器可以將直接照射波導層的光有效地耦合入波導模式中去。波導模式中去。光柵耦合器具有平面結(jié)構(gòu)，適于批量生產(chǎn)，可使元件光柵耦合器具有平面結(jié)構(gòu)，適于批量生產(chǎn)，可使

25、元件小型化，便于集成化，非常具有實用價值。小型化，便于集成化，非常具有實用價值。2n1n3n光柵光柵29光柵耦合器光柵耦合器波導層中的導模通過光柵區(qū)域時，激發(fā)起衍射場，導波導層中的導模通過光柵區(qū)域時，激發(fā)起衍射場，導模通過衍射光將能量傳輸?shù)礁采w層，構(gòu)成輸出耦合；模通過衍射光將能量傳輸?shù)礁采w層，構(gòu)成輸出耦合；反之，由覆蓋層照射到光柵的激光束，也可以把能量反之，由覆蓋層照射到光柵的激光束，也可以把能量有效地耦合進波導層，激勵起導模。有效地耦合進波導層，激勵起導模。2n1n3n光柵光柵30光柵耦合器光柵耦合器輸入光柵耦合器工作原理輸入光柵耦合器工作原理 3010sinsin20, 1, 2,mln

26、kn kll 1n3n2nl m l m 等相位面等相位面等相位面等相位面 光柵方程光柵方程:31光柵耦合器光柵耦合器 10302sinsin0, 1, 2,llmln kn kl 衍射光（波導層中的光）沿衍射光（波導層中的光）沿z向的傳播常數(shù)為向的傳播常數(shù)為光柵的周期性微擾引入的空間諧波光柵的周期性微擾引入的空間諧波 級次為負（級次為負（ ）的衍射光，其）的衍射光，其z向傳播常數(shù)有可能滿向傳播常數(shù)有可能滿足導模傳播條件：足導模傳播條件： ； 通過合理設(shè)計光柵周期通過合理設(shè)計光柵周期 或選擇入射角或選擇入射角 ，能使某級，能使某級衍射光的衍射光的z向傳播常數(shù)向傳播常數(shù) 與第與第 階的導模傳播常

27、數(shù)階的導模傳播常數(shù) 相等，即滿足相位匹配條件相等，即滿足相位匹配條件 ; 滿足相位匹配條件的衍射光激勵起導模。滿足相位匹配條件的衍射光激勵起導模。20ln k 0l m l mm lm 32光柵耦合器光柵耦合器適當?shù)剡x擇光束的入射角度，光柵耦合器就可以用來適當?shù)剡x擇光束的入射角度，光柵耦合器就可以用來選擇性地將光束能量耦合進特定的波導模式中；選擇性地將光束能量耦合進特定的波導模式中；同樣的道理，某一特定的波導模式的能量可以從對應(yīng)同樣的道理，某一特定的波導模式的能量可以從對應(yīng)的某一特定角度耦合出來，所以的某一特定角度耦合出來，所以光柵耦合器也可以用光柵耦合器也可以用做輸出耦合器做輸出耦合器。光柵

28、耦合器的主要缺點：光柵耦合器的主要缺點： 入射光會形成很多級衍射光，但是入射光會形成很多級衍射光，但是只有某一級衍射光只有某一級衍射光才與某階導模滿足相位匹配條件才與某階導模滿足相位匹配條件，大部分衍射光的能，大部分衍射光的能量透過波導層而損耗于襯底，所以量透過波導層而損耗于襯底，所以光柵耦合器難以達光柵耦合器難以達到棱鏡耦合器那樣高的耦合效率到棱鏡耦合器那樣高的耦合效率。采用閃耀光柵可以大大提高光柵耦合器的耦合效率。采用閃耀光柵可以大大提高光柵耦合器的耦合效率。33光柵耦合器光柵耦合器光柵耦合器的主要優(yōu)點：光柵耦合器的主要優(yōu)點： 一旦制作完畢，光柵耦合器就是波導結(jié)構(gòu)的一個組成一旦制作完畢，光

29、柵耦合器就是波導結(jié)構(gòu)的一個組成部分，所以它的耦合效率是一個恒定量，而且不隨外部分，所以它的耦合效率是一個恒定量，而且不隨外界條件明顯改變；界條件明顯改變； 光柵耦合器能用于高折射率半導體波導上，而這種波光柵耦合器能用于高折射率半導體波導上，而這種波導難以找到合適的棱鏡材料。導難以找到合適的棱鏡材料。由于光柵耦合器對角度的依賴性大，所以它也不能有由于光柵耦合器對角度的依賴性大，所以它也不能有效地用于半導體激光器與波導的耦合。效地用于半導體激光器與波導的耦合。34光柵耦合器光柵耦合器光柵條紋圖樣的形成光柵條紋圖樣的形成02sin 兩束傾斜相交的相干激光束（由同一束激光分束得到）兩束傾斜相交的相干激

30、光束（由同一束激光分束得到）產(chǎn)生的干涉圖樣對光刻膠曝光，形成光柵圖樣。產(chǎn)生的干涉圖樣對光刻膠曝光，形成光柵圖樣。顯然，顯然， 不能小于不能小于 。02 35光柵耦合器光柵耦合器02 sinn 全息光柵曝光棱鏡法：利用棱鏡可以比普通曝光法獲全息光柵曝光棱鏡法：利用棱鏡可以比普通曝光法獲得更小的柵條間距。得更小的柵條間距。n：棱鏡材料的折射率：棱鏡材料的折射率36光柵耦合器光柵耦合器光刻膠經(jīng)過曝光后，使用標準方法顯影，在波導表面光刻膠經(jīng)過曝光后，使用標準方法顯影，在波導表面產(chǎn)生所需要的掩膜，再利用產(chǎn)生所需要的掩膜，再利用刻蝕方法刻蝕方法（化學刻蝕或離（化學刻蝕或離子束刻蝕）制作光柵。子束刻蝕）制作

31、光柵。作為刻蝕方法的替代，另一種在波導表面制作光柵結(jié)作為刻蝕方法的替代，另一種在波導表面制作光柵結(jié)構(gòu)的方法是：構(gòu)的方法是：用光刻膠限定形狀后，再在波導表面沉用光刻膠限定形狀后，再在波導表面沉積薄膜條積薄膜條。用這種方法制成的光柵耦合器，有部分光。用這種方法制成的光柵耦合器，有部分光會受到阻擋而進不了波導，其散射和吸收損耗都要大會受到阻擋而進不了波導，其散射和吸收損耗都要大于刻蝕光柵的值。于刻蝕光柵的值。37楔形耦合器楔形耦合器楔形薄膜耦合器（尖劈形薄膜耦合器）是把薄膜波導楔形薄膜耦合器（尖劈形薄膜耦合器）是把薄膜波導的一端制成尖劈形薄膜區(qū)域而構(gòu)成的。的一端制成尖劈形薄膜區(qū)域而構(gòu)成的。楔形耦合的

32、原理：低于截止條件的導模將能量轉(zhuǎn)移到楔形耦合的原理：低于截止條件的導模將能量轉(zhuǎn)移到輻射模。輻射模。2n3n1n38楔形耦合器楔形耦合器楔形薄膜耦合器工作原理如下圖所示楔形薄膜耦合器工作原理如下圖所示2n3n1n m m 2m 導模進入楔形區(qū)域內(nèi)傳播時，當它傳播到薄膜厚度等導模進入楔形區(qū)域內(nèi)傳播時，當它傳播到薄膜厚度等于該導模的于該導模的截止厚度截止厚度處時，再往后傳播就開始轉(zhuǎn)換為處時，再往后傳播就開始轉(zhuǎn)換為襯底輻射模并由襯底輸出。襯底輻射模并由襯底輸出。39楔形耦合器楔形耦合器2n3n1n m m 2m 從幾何光學角度看，進入楔形區(qū)域的光線在上下界面從幾何光學角度看，進入楔形區(qū)域的光線在上下界

33、面之間每往返一次，它在下界面的入射角就減小之間每往返一次，它在下界面的入射角就減小 （其（其中中 為楔形尖劈的頂角）；為楔形尖劈的頂角）； 經(jīng)過多次往返，光線在下界面的入射角（經(jīng)過多次往返，光線在下界面的入射角（ ）將）將小于該界面的全反射臨界角，光線開始折射入襯底。小于該界面的全反射臨界角，光線開始折射入襯底。2 2mq 40楔形耦合器楔形耦合器2n3n1n m m 2m 如果薄膜與襯底的折射率差如果薄膜與襯底的折射率差 遠小于薄膜與覆蓋遠小于薄膜與覆蓋層的折射率差層的折射率差 ，則光線在經(jīng)歷若干次反射后將，則光線在經(jīng)歷若干次反射后將全部折射入襯底（全部折射入襯底（折射角不同折射角不同）；）

34、； 所以楔形尖劈的頂角所以楔形尖劈的頂角 很小時，可以實現(xiàn)很小時，可以實現(xiàn)100%的輸?shù)妮敵鲴詈闲?。出耦合效率?2nn 13nn 41楔形耦合器楔形耦合器3n2n1n m m 2m 到達截止厚度以后，折射入襯底的光線的折射角是從到達截止厚度以后，折射入襯底的光線的折射角是從90（此時，光線沿（此時，光線沿z向傳播）開始減小的，所以輸向傳播）開始減小的，所以輸出光線有一發(fā)散角；出光線有一發(fā)散角； 楔形尖劈的頂角楔形尖劈的頂角 越小，發(fā)散角也越小，而且越小，發(fā)散角也越小，而且輸出光輸出光束強度有一角分布，由零增至最大值后又減至零，尖束強度有一角分布，由零增至最大值后又減至零，尖劈的斜率越小，角

35、分布就越尖銳劈的斜率越小，角分布就越尖銳。 42楔形耦合器楔形耦合器21212coscoscoscosititnnRnn 關(guān)于輸出光束強度的角分布，以平板波導中的關(guān)于輸出光束強度的角分布，以平板波導中的TE模模為例進行說明，它在楔形尖劈的斜邊上發(fā)生全反射，為例進行說明，它在楔形尖劈的斜邊上發(fā)生全反射，在薄膜層的底部反射率為在薄膜層的底部反射率為i 其中，其中， 和和 分別為薄膜層底部的入射角和折射角。分別為薄膜層底部的入射角和折射角。t 在截止點，在截止點， ，透射幾乎為零；，透射幾乎為零； 隨著離開截止點的距離增加，隨著離開截止點的距離增加， 和和 減小，反射率減小，反射率 迅速降低，折射光

36、強隨之急劇增大；迅速降低，折射光強隨之急劇增大； 再往后，雖然透射率增大，但是由于反射光強的迅速再往后，雖然透射率增大，但是由于反射光強的迅速減小，折射光強由最大值迅速減小到零。減小，折射光強由最大值迅速減小到零。90t i t 43楔形耦合器楔形耦合器21.4876n 實例：實例：11.5327n 31n 21acrsin76.7cnn 0.6328 m 薄膜層下表面全反射臨界角：薄膜層下表面全反射臨界角：折射角折射角斜率斜率：(a) 1:30; (b)1:60; (c)1:150; (d)1:50044楔形耦合器楔形耦合器楔形耦合器最大的優(yōu)點是能將導波光引向襯底一側(cè)，楔形耦合器最大的優(yōu)點是

37、能將導波光引向襯底一側(cè)，是性能優(yōu)良的輸出耦合器，適用于集成光電探測。是性能優(yōu)良的輸出耦合器，適用于集成光電探測。楔形耦合器作為輸出耦合器時，輸出光束的發(fā)散角通楔形耦合器作為輸出耦合器時，輸出光束的發(fā)散角通常在常在1 20之間，如果在襯底輻射膜的出射方向之間，如果在襯底輻射膜的出射方向開孔，插入光纖，可以實現(xiàn)薄膜波導同光纖的耦合。開孔，插入光纖，可以實現(xiàn)薄膜波導同光纖的耦合。根據(jù)光路可逆原理，楔形耦合器也可以用做輸入耦合根據(jù)光路可逆原理，楔形耦合器也可以用做輸入耦合器，但是通常難以獲得匹配的會聚光束，所以用做輸器，但是通常難以獲得匹配的會聚光束，所以用做輸入耦合器時一般只能得到非常低的耦合效率；入耦合器時一般只能得到非常低