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1、222/)(21)(xexf；其中0示值誤差示值誤差被測(cè)參數(shù)真值被測(cè)參數(shù)真值示值平均值示值平均值某一示值某一示值x6平均準(zhǔn)確度平均準(zhǔn)確度()示值精密度示值精密度f(wàn)(x)示值示值x0nnii123222)(22llHfr=esine讀數(shù)讀數(shù)顯微鏡顯微鏡1r00-示值示值實(shí)際值實(shí)際值+1800示值示值實(shí)際值實(shí)際值讀數(shù)讀數(shù)顯微鏡顯微鏡2=e/rsin(+0) e為偏心量為偏心量, r為度盤(pán)半徑。為度盤(pán)半徑。有有+180= e/rsin(+0)+ e/rsin(+0+1800)=0故采用對(duì)徑讀數(shù)可消除偏心帶來(lái)測(cè)角誤差。故采用對(duì)徑讀數(shù)可消除偏心帶來(lái)測(cè)角誤差。ff2t2tDyf透鏡透鏡探測(cè)器探測(cè)器ABBA

2、AABfF出射光瞳出射光瞳(或孔徑光闌或孔徑光闌)CCD像面像面BB2A1B1B2A2y1y2l(+)l (l為負(fù)為負(fù))F出射光瞳出射光瞳(或孔徑光闌或孔徑光闌)A2y1y2DyOCUY非希望反射光非希望反射光模糊模糊T.)(! 21)(0011020100jjiininjjiiiniiqqqqqqyqqqyyynnqqyqqyyyy0011000.nDf管徑掃描管徑掃描mM2M2M1激光光源激光光源探測(cè)器探測(cè)器)()(00CmCmLLdLLLdnnLdLdKKLdL)(2222000CmLLnnKnKKnLnKL200)()(000CmLLnnKKLL光柵尺光柵尺(無(wú)誤差安裝無(wú)誤差安裝)光柵盤(pán)光柵盤(pán)萬(wàn)工顯萬(wàn)工顯LLcosly雙線夾單線雙線夾單線=510單 線 對(duì) 單 線單 線 對(duì) 單 線=

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