材料近代研究方法第一、二章ppt課件

1、第一章第一章 電子光學(xué)基礎(chǔ)電子光學(xué)基礎(chǔ)1 11 1 電子波與電磁透鏡電子波與電磁透鏡n1 1、光學(xué)顯微鏡成像、光學(xué)顯微鏡成像n光學(xué)成像：先衍射、后干涉。光學(xué)成像：先衍射、后干涉。n 衍射：波繞過物體傳送的現(xiàn)象。衍射：波繞過物體傳送的現(xiàn)象。n 干涉：兩列振動(dòng)周期相同的波互相疊干涉：兩列振動(dòng)周期相同的波互相疊加的現(xiàn)象。加的現(xiàn)象。n Airy Airy斑：物體上的點(diǎn)通過透鏡成像時(shí)斑：物體上的點(diǎn)通過透鏡成像時(shí)，在像平面上得到的是一個(gè)中心最亮、周，在像平面上得到的是一個(gè)中心最亮、周圍帶有明暗相間同心圓環(huán)的圓斑，即所謂圍帶有明暗相間同心圓環(huán)的圓斑，即所謂AiryAiry斑，如圖。斑，如圖。n84%84%的

2、強(qiáng)度集中于中的強(qiáng)度集中于中央亮斑，第一暗環(huán)半央亮斑，第一暗環(huán)半徑：徑：n當(dāng)兩個(gè)光斑強(qiáng)度峰間當(dāng)兩個(gè)光斑強(qiáng)度峰間的強(qiáng)度谷值比強(qiáng)度峰的強(qiáng)度谷值比強(qiáng)度峰值低值低1919時(shí)時(shí)( (把強(qiáng)度把強(qiáng)度峰的高度看作峰的高度看作100100) )，這個(gè)強(qiáng)度反差，這個(gè)強(qiáng)度反差對(duì)人眼來說是剛有所對(duì)人眼來說是剛有所感覺。感覺。此時(shí)兩像間距恰為此時(shí)兩像間距恰為R0， r0 R0M M/nsin0.61R04圖c兩個(gè)Airy斑明顯可分辨出。圖d兩個(gè)Airy斑剛好可分辨出。圖e兩個(gè)Airy斑分辨不出。I0.81In分辨本領(lǐng)是指成像物體分辨本領(lǐng)是指成像物體( (試樣試樣) )上能分辨出來上能分辨出來的兩個(gè)物點(diǎn)間的最小距離。的兩個(gè)

3、物點(diǎn)間的最小距離。n由衍射效應(yīng)所限定的分辨本領(lǐng)在理論上可由由衍射效應(yīng)所限定的分辨本領(lǐng)在理論上可由RayleighRayleigh公式計(jì)算，即公式計(jì)算，即r0=0.61/Nsinr0=0.61/Nsinn 式中式中r0 r0 成像物體成像物體( (試樣試樣) )上能分辨出上能分辨出來的兩個(gè)物點(diǎn)間的最小距離，用它來表示分來的兩個(gè)物點(diǎn)間的最小距離，用它來表示分辨本領(lǐng)的大小。辨本領(lǐng)的大小。n 波長；波長；n N N介質(zhì)的相對(duì)折射系數(shù)；介質(zhì)的相對(duì)折射系數(shù)；n 透鏡的孔徑半角。透鏡的孔徑半角。n光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)：光學(xué)顯微鏡的分辨本領(lǐng)：21r0n2 2、可見光與電子波的波長、可見光與電子波的波長 n可見

4、光：可見光：390039007600 A7600 A，不帶電。，不帶電。n電子波的波長取決于電子運(yùn)動(dòng)的速度和質(zhì)量電子波的波長取決于電子運(yùn)動(dòng)的速度和質(zhì)量，即，即n如果電子速度較低，則它的質(zhì)量和靜止質(zhì)量如果電子速度較低，則它的質(zhì)量和靜止質(zhì)量相近，即相近，即mmommo。如果加速電壓很高，使電子。如果加速電壓很高，使電子具有極高的速度，則必須經(jīng)過相對(duì)論校正，具有極高的速度，則必須經(jīng)過相對(duì)論校正，此時(shí)此時(shí)mvheUmv2122emUh20)cv(1mmn表不同加速電壓下電子波的波長。表不同加速電壓下電子波的波長。n 3、電磁透鏡n 使電子波聚焦成像的裝置。n 圖為電磁透鏡的聚焦原理示意圖。通電的短線圈

5、就是一個(gè)簡單的電磁透鏡，它能造成一種軸對(duì)稱不均勻分布的磁場。一束平行于主軸的入射電子束通過電磁透鏡時(shí)將被聚焦在軸線上一點(diǎn)，即焦點(diǎn)。這與光學(xué)玻璃凸透鏡對(duì)平行于軸線入射的平行光的聚焦作用十分相似。n圖為一種帶有鐵殼的電磁透鏡示意圖。導(dǎo)線外圍圖為一種帶有鐵殼的電磁透鏡示意圖。導(dǎo)線外圍的磁力線都在鐵殼中通過，由于在軟磁殼的內(nèi)側(cè)的磁力線都在鐵殼中通過，由于在軟磁殼的內(nèi)側(cè)開一道環(huán)狀的狹縫，從而可以減小磁場的廣延度，開一道環(huán)狀的狹縫，從而可以減小磁場的廣延度，使大量磁力線集中在縫隙附近的狹小區(qū)域之內(nèi)，使大量磁力線集中在縫隙附近的狹小區(qū)域之內(nèi)，增強(qiáng)了磁場的強(qiáng)度。增強(qiáng)了磁場的強(qiáng)度。n為了進(jìn)一步縮小磁為了進(jìn)一步縮

6、小磁場軸向?qū)挾?，還可場軸向?qū)挾?，還可以在環(huán)狀間隙兩邊，以在環(huán)狀間隙兩邊，接出一對(duì)頂端成圓接出一對(duì)頂端成圓錐狀的極靴，如下錐狀的極靴，如下圖。帶有極靴的電圖。帶有極靴的電磁透鏡可使有效磁磁透鏡可使有效磁場集中到沿透鏡軸場集中到沿透鏡軸向幾毫米的范圍之向幾毫米的范圍之內(nèi)。圖內(nèi)。圖 (c) (c)給出裸給出裸線圈，加鐵殼和極線圈，加鐵殼和極靴后透鏡磁感應(yīng)強(qiáng)靴后透鏡磁感應(yīng)強(qiáng)度分布。度分布。n與光學(xué)玻璃透鏡相似，電磁透鏡物距、像距和與光學(xué)玻璃透鏡相似，電磁透鏡物距、像距和n焦距三者之間關(guān)系式及放大倍數(shù)為焦距三者之間關(guān)系式及放大倍數(shù)為n n n n n 電磁透鏡的焦距可由下式近似計(jì)算電磁透鏡的焦距可由下式

7、近似計(jì)算 n nUrUr經(jīng)相對(duì)論校正的電子加速電壓；經(jīng)相對(duì)論校正的電子加速電壓；n(IN)(IN)電磁透鏡激磁安匝數(shù)。電磁透鏡激磁安匝數(shù)。n 從式可看出，無論激磁方向如何，電磁透鏡從式可看出，無論激磁方向如何，電磁透鏡的焦距總是正的。改變激磁電流，電磁透鏡的焦的焦距總是正的。改變激磁電流，電磁透鏡的焦距和放大倍數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。距和放大倍數(shù)將發(fā)生相應(yīng)變化。fLfML1L1f11212r)IN(UKf 1-2 1-2 電磁透鏡的像差與分辨本領(lǐng)電磁透鏡的像差與分辨本領(lǐng)n 1 1、像差、像差 ：幾何像差和色差：幾何像差和色差n（1 1）、幾何像差是因?yàn)橥哥R磁場幾何形狀上的缺陷而造成）、幾何像差是因?yàn)?/p>

8、透鏡磁場幾何形狀上的缺陷而造成的。幾何像差主要指球差和像散。的。幾何像差主要指球差和像散。n（2 2）、色差是由于電子波的波長或能量發(fā)生一定幅度的改）、色差是由于電子波的波長或能量發(fā)生一定幅度的改變而造成的。變而造成的。nA A、球差、球差n 由于電磁透鏡的中由于電磁透鏡的中心區(qū)域和邊緣區(qū)域?qū)﹄娦膮^(qū)域和邊緣區(qū)域?qū)﹄娮拥恼凵淠芰Σ煌斐勺拥恼凵淠芰Σ煌斐伞?ssC41rn當(dāng)物點(diǎn)當(dāng)物點(diǎn)P P通過透鏡成像時(shí)，電子就不會(huì)會(huì)聚到同一通過透鏡成像時(shí)，電子就不會(huì)會(huì)聚到同一焦點(diǎn)上，從而形成了一個(gè)散焦斑，如圖。最小散焦焦點(diǎn)上，從而形成了一個(gè)散焦斑，如圖。最小散焦斑的半徑用斑的半徑用RsRs表示。若把表示。若把

9、RsRs折算到物平面上去，其折算到物平面上去，其大小大小rs=Rs/Mrs=Rs/M。 rsrs為由于球差造成的散焦斑半為由于球差造成的散焦斑半徑，就是說，物平面上兩點(diǎn)距離小于徑，就是說，物平面上兩點(diǎn)距離小于2 2rsrs時(shí)，則時(shí)，則該透鏡不能分辨，即在透鏡的像平面上得到的是一該透鏡不能分辨，即在透鏡的像平面上得到的是一個(gè)點(diǎn)。個(gè)點(diǎn)。 M M為透鏡的放大倍數(shù)。為透鏡的放大倍數(shù)。 rsrs可通過下式計(jì)可通過下式計(jì)算：算：nB B、像散、像散n 像散是由透鏡磁場的非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱而引像散是由透鏡磁場的非旋轉(zhuǎn)對(duì)稱而引起的。起的。n極靴內(nèi)孔不圓、上下極靴的軸線錯(cuò)位、制極靴內(nèi)孔不圓、上下極靴的軸線錯(cuò)位、制作極靴

10、的材料材質(zhì)不均勻以及極靴孔周圍作極靴的材料材質(zhì)不均勻以及極靴孔周圍局部污染等原因，都會(huì)使電磁透鏡的磁場局部污染等原因，都會(huì)使電磁透鏡的磁場產(chǎn)生橢圓度。非旋轉(zhuǎn)性對(duì)稱，會(huì)使它在不產(chǎn)生橢圓度。非旋轉(zhuǎn)性對(duì)稱，會(huì)使它在不同方向上的聚焦能力出現(xiàn)差別，結(jié)果使成同方向上的聚焦能力出現(xiàn)差別，結(jié)果使成像物點(diǎn)像物點(diǎn)p p通過透鏡后不能在像平面上聚焦通過透鏡后不能在像平面上聚焦成一點(diǎn)，如圖。成一點(diǎn)，如圖。n在聚焦最好的情況下，能得到一個(gè)最小的散焦斑，在聚焦最好的情況下，能得到一個(gè)最小的散焦斑，把最小散焦斑的半徑把最小散焦斑的半徑RARA折算到物點(diǎn)折算到物點(diǎn)P P的位置上去，的位置上去，就形成了一個(gè)半徑為就形成了一個(gè)半

11、徑為rArA的圓斑，即的圓斑，即rA = RA rA = RA /M(M/M(M為透鏡放大倍數(shù)為透鏡放大倍數(shù)) )，用，用rArA來表示像散的大小來表示像散的大小rA=rA=fAfAn如果電磁透鏡在制造過程中已存在固有的像散，則如果電磁透鏡在制造過程中已存在固有的像散，則可以通過引入一個(gè)強(qiáng)度和方位都可以調(diào)節(jié)的矯正磁可以通過引入一個(gè)強(qiáng)度和方位都可以調(diào)節(jié)的矯正磁場來進(jìn)行補(bǔ)償，這個(gè)產(chǎn)生矯正磁場的裝置就是消像場來進(jìn)行補(bǔ)償，這個(gè)產(chǎn)生矯正磁場的裝置就是消像散器。散器。nC C、色差、色差n 色差是由于入射電子波長色差是由于入射電子波長( (或能量或能量) )的非單一性的非單一性所造成的。所造成的。 n若入

12、射電子能量出現(xiàn)一定的差別，能量大的電子在若入射電子能量出現(xiàn)一定的差別，能量大的電子在距透鏡中心比較遠(yuǎn)的地點(diǎn)聚焦，而能量較低的電子距透鏡中心比較遠(yuǎn)的地點(diǎn)聚焦，而能量較低的電子在距中心較近的地點(diǎn)聚焦，由此造成了一個(gè)焦距差在距中心較近的地點(diǎn)聚焦，由此造成了一個(gè)焦距差。使像平面在長焦點(diǎn)和短焦點(diǎn)之間移動(dòng)時(shí)，也可得。使像平面在長焦點(diǎn)和短焦點(diǎn)之間移動(dòng)時(shí)，也可得到一個(gè)最小的散焦斑，其半徑為及到一個(gè)最小的散焦斑，其半徑為及RcRc。 EECMRrccc 當(dāng)當(dāng)CcCc和孔徑角和孔徑角一定時(shí)，一定時(shí)，E/EE/E的數(shù)值取決于加速電的數(shù)值取決于加速電壓的穩(wěn)定性和電子穿過樣品壓的穩(wěn)定性和電子穿過樣品時(shí)發(fā)生非彈性散射的程

13、度。時(shí)發(fā)生非彈性散射的程度。如果樣品很薄，則可把后者如果樣品很薄，則可把后者的影響略去，因此采取穩(wěn)定的影響略去，因此采取穩(wěn)定加速電壓的方法可以有效地加速電壓的方法可以有效地減小色差。色差系數(shù)減小色差。色差系數(shù)CcCc與球與球差系數(shù)差系數(shù)CsCs均隨透鏡激磁電流均隨透鏡激磁電流的增大而減小如圖。的增大而減小如圖。n2 2 電磁透鏡分辨本領(lǐng)電磁透鏡分辨本領(lǐng)n 電磁透鏡的分辨本領(lǐng)由衍射效應(yīng)和球面像差電磁透鏡的分辨本領(lǐng)由衍射效應(yīng)和球面像差來決定。來決定。 n rSrS、 rArA、 rCrC值即是由球差、像散和色值即是由球差、像散和色差所限定的分辨本領(lǐng)。差所限定的分辨本領(lǐng)。 n球差是限制電磁透鏡分辨本

14、領(lǐng)的主要因素。若同球差是限制電磁透鏡分辨本領(lǐng)的主要因素。若同時(shí)考慮衍射和球差對(duì)分辨本領(lǐng)的影響時(shí)，則會(huì)發(fā)時(shí)考慮衍射和球差對(duì)分辨本領(lǐng)的影響時(shí)，則會(huì)發(fā)現(xiàn)改善其中一個(gè)因素時(shí)會(huì)使另一個(gè)因素變壞。為現(xiàn)改善其中一個(gè)因素時(shí)會(huì)使另一個(gè)因素變壞。為了使球差變小，可通過減小了使球差變小，可通過減小 來實(shí)現(xiàn)，但從衍來實(shí)現(xiàn)，但從衍射效應(yīng)來看，射效應(yīng)來看，減小將使減小將使r0r0變大，分辨本領(lǐng)下變大，分辨本領(lǐng)下降。因此，兩者必須兼顧。降。因此，兩者必須兼顧。n關(guān)鍵是確定電磁透鏡的最佳孔徑半角關(guān)鍵是確定電磁透鏡的最佳孔徑半角oo，使得衍射，使得衍射效應(yīng)效應(yīng)AiryAiry斑和球差散焦斑尺寸大小相等，表明兩者斑和球差散焦斑尺

15、寸大小相等，表明兩者對(duì)透鏡分辨本領(lǐng)影響效果一樣。對(duì)透鏡分辨本領(lǐng)影響效果一樣。n令令rSrS和和r0r0相等，求出相等，求出o12.5o12.5/Cs)1/4/Cs)1/4。n電磁透鏡分辨率電磁透鏡分辨率r0=A 3/4 Cs1/4, A=0.4-0.55r0=A 3/4 Cs1/4, A=0.4-0.55n目前，透射電鏡的最佳分辨本領(lǐng)達(dá)目前，透射電鏡的最佳分辨本領(lǐng)達(dá)1010lnmlnm數(shù)量級(jí)。數(shù)量級(jí)。如日本日立公司的如日本日立公司的H-9000H-9000型透射電鏡的點(diǎn)分辨率為型透射電鏡的點(diǎn)分辨率為1.8A1.8A。波長波長分辨率分辨率聚焦聚焦優(yōu)優(yōu) 點(diǎn)點(diǎn)缺點(diǎn)缺點(diǎn)光學(xué)顯微鏡39007600200

16、0直線聚焦簡單，直觀只能觀察表面形態(tài)，不能做微區(qū)成份分析。射線衍射儀0.1100 無法聚焦 相組成分析，簡單，精確無法觀察形貌電子顯微分析0.0251 (200kV)1.8 螺旋聚焦組織分析，物相分析（電子衍射)，成分分析（能譜，波譜，電子能量損失譜 ）價(jià)格昂貴不直觀操作復(fù)雜；樣品制備復(fù)雜。 3 3、光學(xué)顯微鏡與透射電鏡對(duì)比、光學(xué)顯微鏡與透射電鏡對(duì)比1.3 1.3 電磁透鏡的景深與焦長電磁透鏡的景深與焦長n 1、景深n如果失焦圓斑尺寸不超過由衍射效應(yīng)和像差引起的散焦斑清晰像條件），那么對(duì)透鏡像分辨本領(lǐng)并不產(chǎn)生什么影響。因此，我們把透鏡物平面允許的軸向偏差定義為透鏡的景深，用Df來表示，如圖。n

17、它與電磁透鏡分辨本領(lǐng)、孔徑半角之間關(guān)系它與電磁透鏡分辨本領(lǐng)、孔徑半角之間關(guān)系n n n這表明，電磁透鏡孔徑半角越小，景深越大。這表明，電磁透鏡孔徑半角越小，景深越大。一般的電磁透鏡一般的電磁透鏡=10-2-10-3rad=10-2-10-3rad，如果透鏡，如果透鏡分辨本領(lǐng)分辨本領(lǐng)r0=10r0=10埃，則埃，則Df=200020000Df=200020000埃。埃。對(duì)于加速電壓對(duì)于加速電壓100kV100kV的電子顯微鏡來說，樣品的電子顯微鏡來說，樣品厚度一般控制在厚度一般控制在20002000埃左右，在透鏡景深范圍埃左右，在透鏡景深范圍之內(nèi)，因此樣品各部位的細(xì)節(jié)都能得到清晰的之內(nèi)，因此樣品

18、各部位的細(xì)節(jié)都能得到清晰的圖像。若允許較差分辨率，則景深更大。圖像。若允許較差分辨率，則景深更大。00fr2tgr2Dn 2、焦長n 當(dāng)透鏡焦距和物距一定時(shí)，像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng)，也會(huì)引起失焦。如果失焦引起的失焦斑尺寸不超過透鏡因衍射和像差引起的散焦斑大小，那么像平面在一定的軸向距離內(nèi)移動(dòng)，對(duì)透鏡像的分辨率沒有影響。我們把透鏡像平面允許的軸向偏差定義為透鏡的焦長，用DL表示，如下圖。n 從圖上可以看到透鏡焦長DL與分辨本領(lǐng)r0、像點(diǎn)所張的孔徑半角 之間的關(guān)系n 20LMr2Dn當(dāng)電磁透鏡放大倍數(shù)和分辨本領(lǐng)一定時(shí)，透鏡焦長當(dāng)電磁透鏡放大倍數(shù)和分辨本領(lǐng)一定時(shí)，透鏡焦長隨孔徑半角減小而增大。

19、如一電磁透鏡分辨本領(lǐng)隨孔徑半角減小而增大。如一電磁透鏡分辨本領(lǐng)r0=10r0=10埃，孔徑半角埃，孔徑半角10-2rad10-2rad，放大倍數(shù)，放大倍數(shù)M=200M=200倍，倍，計(jì)算得焦長計(jì)算得焦長DL=8mmDL=8mm。這表明該透鏡實(shí)際像平面在理。這表明該透鏡實(shí)際像平面在理想像平面上或下各想像平面上或下各4mm4mm范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)不需改變透鏡聚范圍內(nèi)移動(dòng)時(shí)不需改變透鏡聚焦?fàn)顟B(tài)，圖像仍保持清晰。焦?fàn)顟B(tài)，圖像仍保持清晰。 n 對(duì)于由多級(jí)電磁透鏡組成的電子顯微鏡來說，對(duì)于由多級(jí)電磁透鏡組成的電子顯微鏡來說，其終像放大倍數(shù)等于各級(jí)透鏡放大倍數(shù)之積。因此其終像放大倍數(shù)等于各級(jí)透鏡放大倍數(shù)之積。因此

20、終像的焦長就更長了，一般說來超過終像的焦長就更長了，一般說來超過10-20cm10-20cm是不成是不成問題的。電磁透鏡的這一特點(diǎn)給電子顯微鏡圖像的問題的。電磁透鏡的這一特點(diǎn)給電子顯微鏡圖像的照相記錄帶來了極大的方便。只要在熒光屏上圖像照相記錄帶來了極大的方便。只要在熒光屏上圖像是聚焦清晰的，那么在熒光屏上或下十幾厘米放置是聚焦清晰的，那么在熒光屏上或下十幾厘米放置照相底片，所拍攝的圖像也將是清晰的。照相底片，所拍攝的圖像也將是清晰的。第二章第二章 透射電子顯微鏡透射電子顯微鏡2 21 1 透射電鏡成像原理透射電鏡成像原理n1 1、透射電鏡成像原理、透射電鏡成像原理光源中間象物鏡試樣聚光鏡目鏡

21、毛玻璃電子搶聚光鏡樣品物鏡第一次像投影鏡觀察屏 （a高放大像（b衍射花樣 樣品 物鏡衍射花樣 第一次像中間鏡第二次像投影鏡選區(qū)光闌物鏡光闌照明系統(tǒng)示意圖陰極接負(fù)高壓）控制極比陰極負(fù)1001000伏）陽極電子束聚光鏡試樣2 22 2透射電鏡結(jié)構(gòu)透射電鏡結(jié)構(gòu)n1 1、透射電鏡三部分組成、透射電鏡三部分組成nA A 光學(xué)成像系統(tǒng)光學(xué)成像系統(tǒng)n整個(gè)電子光學(xué)部分完全置于鏡筒之內(nèi)，自上整個(gè)電子光學(xué)部分完全置于鏡筒之內(nèi)，自上而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、而下順序排列著電子槍、聚光鏡、樣品室、 物物鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機(jī)鏡、中間鏡、投影鏡、觀察室、熒光屏、照相機(jī)構(gòu)等裝置。根據(jù)這些裝

22、置的功能不同又可將電子構(gòu)等裝置。根據(jù)這些裝置的功能不同又可將電子光學(xué)部分分為照明系統(tǒng)、樣品室、成像系統(tǒng)及圖光學(xué)部分分為照明系統(tǒng)、樣品室、成像系統(tǒng)及圖像觀察和記錄系統(tǒng)。像觀察和記錄系統(tǒng)。nB B 真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)n 電子顯微鏡鏡筒必須具有高真空，若鏡筒中存在電子顯微鏡鏡筒必須具有高真空，若鏡筒中存在氣體，會(huì)產(chǎn)生氣體電離和放電現(xiàn)象；電子槍燈絲氣體，會(huì)產(chǎn)生氣體電離和放電現(xiàn)象；電子槍燈絲受氧化而燒斷；高速電子與氣體分子碰撞而散射受氧化而燒斷；高速電子與氣體分子碰撞而散射, ,降低成像襯度及污染樣品降低成像襯度及污染樣品; ;nC C 電氣系統(tǒng)電氣系統(tǒng)n 主要有燈絲電源和高壓電源，使電子槍產(chǎn)主要有燈絲電源和高壓電源，使電子槍產(chǎn)生穩(wěn)定的高照明電子束；各個(gè)磁透鏡的穩(wěn)壓穩(wěn)流生穩(wěn)定的高照明電子束；各個(gè)磁透鏡的穩(wěn)壓穩(wěn)流電源；電氣控制電路。電源；電氣控制電路。31 日本日立公司H700電子顯微鏡，配有雙傾臺(tái)，并帶有7010掃描附件和EDAX9100能譜。分 辨 率：0.34nm加速電壓：75KV200KV放大倍數(shù)：25萬倍能 譜 儀：EDAX9100掃描附件：S701032 CM200-FEG場發(fā)射槍電鏡JEM-2019透射電鏡加速電壓200KVLaB6燈絲點(diǎn)分辨率 1.94加速電壓