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1、理學(xué)理學(xué)X熒光儀維修熒光儀維修ZSX Primus型型 1、 F-PC探測(cè)器探測(cè)器PR氣體泄漏氣體泄漏檢查檢查 2、真空泵漏油檢修、真空泵漏油檢修、更換過(guò)濾器更換過(guò)濾器 3、主機(jī)禁止、主機(jī)禁止拆卸拆卸部位部位 4、機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)加注油脂、機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)加注油脂F(xiàn)-PC探測(cè)器探測(cè)器PR氣體泄漏檢查氣體泄漏檢查F-PC探測(cè)器探測(cè)器氣體軟管后窗膜前窗膜芯線清洗接頭窗膜固定螺絲 判斷判斷 F-PC系統(tǒng)是否漏氣系統(tǒng)是否漏氣 在真空狀態(tài)下,手動(dòng)調(diào)整PR氣體流量至10ml/min左右,再轉(zhuǎn)換為大氣狀態(tài)。一般情況下,PR氣體流量會(huì)增加 1-5ml,如果增加太多,可能是F-PC探測(cè)器系統(tǒng)漏氣。 因前窗膜太薄,拆下后
2、容易損壞,要先檢查其它部位是否漏氣,確認(rèn)其它部位正常后,再更換前窗膜。 檢查順序檢查順序1.窗窗膜固定螺絲膜固定螺絲擰緊前窗膜和后窗膜8個(gè)固定螺絲后,如果氣體流量增加,可以判定窗膜密封橡膠老化引起漏氣。2. 檢查氣體軟管檢查氣體軟管 松開(kāi)F-PC探測(cè)器PR氣體軟管2個(gè)螺母,用直徑3毫米PR氣體銅管或硬塑料管連接氣體管,待氣體流量穩(wěn)定后,如果氣體流量比原來(lái)變大,說(shuō)明氣體管路正常,F(xiàn)-PC探測(cè)器漏氣。3. 檢查檢查后窗膜后窗膜 重新連接2根PR氣體軟管,使F-PC探測(cè)器后窗膜表面朝上,倒入少量酒精,如果有氣泡,說(shuō)明后窗膜漏氣(型號(hào)5774A2)。4. 檢查芯線清洗接頭檢查芯線清洗接頭 芯線清洗接頭
3、轉(zhuǎn)向側(cè)面,用肥皂泡沫檢查是否漏氣,如果漏氣需拆下2個(gè)規(guī)定螺絲,更換接頭O形環(huán)(型號(hào)A0020G)。5. 更換更換前窗膜前窗膜 如果氣體管路、后窗膜、芯線清洗接頭密封良好,就可以更換前窗膜(舊型號(hào)5770W8、新型號(hào)3199B019)。 GLD-136A、GLD-201A真空泵真空泵真空泵檢修真空泵檢修更換油封清洗O形環(huán)更換外過(guò)濾器清洗內(nèi)過(guò)濾器 漏油原因漏油原因 真空泵最常見(jiàn)的故障是漏油,這是由于泵工作時(shí)溫度比較高,油封和主軸長(zhǎng)時(shí)間磨損,造成油封橡膠老化變硬、密封不良而漏油。拆下底座4個(gè)固定螺絲1. 怎樣更換油封怎樣更換油封 拆下電機(jī)后4個(gè)螺絲孔位置 擰開(kāi)主軸連接器1個(gè)定位螺絲拆下油封蓋3個(gè)固定
4、螺絲 使用拆下的螺絲再擰入這2個(gè)螺絲孔內(nèi),頂出蓋子和油封。 用螺絲刀取出油封 日本油封型號(hào)(AH 0772E) 怎樣選擇國(guó)產(chǎn)油封(型號(hào)184010) 由于生產(chǎn)廠家不同,相同型號(hào)的油封內(nèi)徑大小也不一樣,如果使用了內(nèi)徑大的油封,更換后還會(huì)漏油;可以用更換下來(lái)的油封套在指頭上試一下大小,更換內(nèi)徑小一點(diǎn)的油封。2. 清洗清洗 O形環(huán)、涂密封脂形環(huán)、涂密封脂O形環(huán)表面涂密封脂3. 清洗內(nèi)過(guò)濾器(每年清洗內(nèi)過(guò)濾器(每年一一次)次)拆下過(guò)濾器2個(gè)固定螺絲取出過(guò)濾器,金屬紗網(wǎng)浸在汽油中用刷子清洗。4. 清洗油位內(nèi)部窗面清洗油位內(nèi)部窗面取下4個(gè)螺絲油窗內(nèi)部表面4. 更換更換外過(guò)濾器(每外過(guò)濾器(每二二年更換一次
5、)年更換一次) 1、用力向下壓,按箭頭方向旋轉(zhuǎn)擰開(kāi)頂蓋,更換過(guò)濾器芯。2、反方向旋轉(zhuǎn)更換整套過(guò)濾器。 外過(guò)濾器芯外過(guò)濾器內(nèi)部禁止拆卸部位禁止拆卸部位和2角度電機(jī)和光電傳感器ASC機(jī)械手抓樣升舉電機(jī)晶體電機(jī)和光電傳感器r 軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)電機(jī)1、 禁止拆卸禁止拆卸和和2角度電機(jī)和光電傳感器角度電機(jī)和光電傳感器 因和2角度定位精密,拆下光電傳感器或電機(jī)軸定位螺絲,手動(dòng)很難恢復(fù)到原來(lái)的位置,引起主機(jī)不能初始化。2、 禁止拆卸禁止拆卸晶體晶體電機(jī)和電機(jī)和光電傳感器光電傳感器 拆下晶體電機(jī),會(huì)造成晶體架旋轉(zhuǎn)不到正常位置,引起X射線強(qiáng)度降低。3、 禁止拆卸禁止拆卸 r 軸軸驅(qū)動(dòng)電機(jī)和
6、光電傳感器驅(qū)動(dòng)電機(jī)和光電傳感器 無(wú)論操作軟件是否有CCD功能,主機(jī)都有 r軸驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。如果拆下 r 軸電機(jī),樣品盒中心位置會(huì)發(fā)生偏移,分析樣品時(shí)會(huì)測(cè)量到樣品盒表面,造成 Fe、Cr、Ni、Mn等元素結(jié)果偏高。4、 禁止拆卸禁止拆卸 ASC機(jī)械手機(jī)械手抓抓樣電機(jī)樣電機(jī) 機(jī)械手單馬達(dá)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),結(jié)構(gòu)復(fù)雜,拆下電機(jī)后很難調(diào)整到上升時(shí)抓緊樣品、下降時(shí)放開(kāi)樣品的正常狀態(tài)。5、 禁止拆卸禁止拆卸樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔旋轉(zhuǎn)電機(jī)和光電傳感器旋轉(zhuǎn)電機(jī)和光電傳感器 如果拆下樣品室內(nèi)轉(zhuǎn)塔電機(jī)和主軸定位螺絲,會(huì)造成樣品托盤(pán)位置偏移、升降桿不能上升。機(jī)械系統(tǒng)加注油脂部位機(jī)械系統(tǒng)加注油脂部位 樣品升舉樣品升舉ASC托盤(pán)托盤(pán)和和2角軸角軸 ASC機(jī)械手機(jī)械手光光欄、濾片交換器欄、濾片交換器樣品自旋樣品自旋1. 密封脂、潤(rùn)滑脂型號(hào)(密封脂、潤(rùn)滑脂型號(hào)(每半年加注油脂1次)密封脂潤(rùn)滑脂2. 樣品樣品升升舉桿舉桿涂潤(rùn)滑脂VADEN3. 光欄、濾片光欄、濾片交換器交換器涂潤(rùn)滑脂VA
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