滾轉(zhuǎn)角干涉儀

1、精密滾轉(zhuǎn)角測(cè)量干涉儀精密滾轉(zhuǎn)角測(cè)量干涉儀使用說明書使用說明書基本原理 光學(xué)原理 光學(xué)拍Confidential111222cos()cos()Eak ztEak zt12EEEz12zE基本原理 光學(xué)原理 拍頻比相ConfidentialEREMT產(chǎn)品性能參數(shù) 測(cè)量行程Confidential 滾轉(zhuǎn)角范圍 測(cè)量分辨率取決于反射鏡尺寸，根據(jù)設(shè)計(jì)尺寸計(jì)算行程約為6m，實(shí)際完全可以滿足3m行程的使用DPMI水平分光方式，1000mm行程可測(cè)0.4。DPMI豎直分光方式，1350mm行程可測(cè)1.3。計(jì)算公式采用ZMI2000,1count = 0.78575631 = 3.8094541rad產(chǎn)品構(gòu)成

2、 楔角棱鏡Confidential 楔面反射鏡 ZYGO DPMI產(chǎn)品構(gòu)成 ZYGO DPMIConfidential固定在被測(cè)物體前面，盡量靠近被測(cè)物體。具體使用說明參見OMP-0223D DPMI豎直分光 DPMI水平分光產(chǎn)品構(gòu)成 楔角棱鏡Confidential固定在被測(cè)物體上隨被測(cè)物體一起運(yùn)動(dòng)。注意光從小孔入射，從大孔出射產(chǎn)品構(gòu)成 楔面反射鏡Confidential固定在被測(cè)物體后面，盡量靠近被測(cè)物體。光路結(jié)構(gòu) 滾轉(zhuǎn)角測(cè)量光路Confidential產(chǎn)品安裝 激光器的安裝Confidential保證光學(xué)平臺(tái)或輔助墊塊清潔、平整，將激光器安裝，具體參見OMP-0223D DPMI的安裝保

3、證光學(xué)平臺(tái)或輔助墊塊清潔、平整，將DPMI安裝，具體參見OMP-0223D產(chǎn)品安裝 楔角棱鏡的安裝Confidential保證被測(cè)物體底面以及光學(xué)平臺(tái)或輔助墊塊清潔、平整 被測(cè)物體的安裝使用M6螺釘通過號(hào)孔和號(hào)孔將被測(cè)物體與光學(xué)平臺(tái)或輔助墊塊連接在一起,調(diào)整被測(cè)物體使A面與光束方向平行，然后擰緊螺釘。產(chǎn)品安裝 楔角棱鏡的安裝Confidential 楔角棱鏡安裝的位置產(chǎn)品安裝 楔角棱鏡的安裝Confidential保證被測(cè)物體的安裝面以及楔面棱鏡外殼底面清潔、平整 楔角棱鏡安裝到被測(cè)物體確保光從楔角棱鏡小孔入射，大孔出射。使用M6螺釘通過號(hào)孔和號(hào)孔將楔角棱鏡與被測(cè)物體連接在一起,調(diào)整楔角棱鏡使

4、B面與被測(cè)物體A面平行，然后擰緊螺釘。產(chǎn)品安裝 楔面反射鏡的安裝（DPMI豎直分光）Confidential保證楔面反射鏡外殼底面以及光學(xué)平臺(tái)或輔助墊塊清潔、平整(1) 按圖示方向配合擺放楔面反射鏡使光路出現(xiàn)空間四光束，并使空間四光束入射到反射鏡上的光點(diǎn)A、B和光點(diǎn)C、D大致關(guān)于平面A對(duì)稱產(chǎn)品安裝 楔面反射鏡的安裝（DPMI豎直分光）Confidential(2) 使用M6(PI那個(gè)好像是M5)螺釘按序通過號(hào)孔、號(hào)孔、號(hào)孔、號(hào)孔將楔面反射鏡與光學(xué)平臺(tái)或輔助墊塊連接在一起。產(chǎn)品安裝 楔面反射鏡的安裝（DPMI豎直分光）Confidential(3) 按圖示方向調(diào)整楔面反射鏡，觀察DPMI出射面光

5、點(diǎn)分布以及出射光束在DPMI出射孔的位置。調(diào)整使DPMI出射光點(diǎn)位置和經(jīng)過楔面反射鏡反射回來光點(diǎn)左右位置大致相同，并且合光后光束左右位置大致是在出射孔中間。按序使用力矩扳手?jǐn)Q緊螺釘。產(chǎn)品安裝 楔面反射鏡的安裝（DPMI豎直分光）ConfidentialDPMI出射面光點(diǎn)分布紅色光點(diǎn)：DPMI第一次分光出射光點(diǎn)綠色光點(diǎn)：楔面反射鏡第一次反射回去藍(lán)色光點(diǎn)：DPMI第二次出射光點(diǎn)青色光點(diǎn)：楔面反射鏡第二次反射回去，經(jīng)過DPMI 出射孔進(jìn)入探測(cè)器產(chǎn)品安裝 楔面反射鏡的安裝（DPMI豎直分光）Confidential(4) 使用M3扳手進(jìn)入號(hào)孔或者號(hào)孔內(nèi)微調(diào)螺釘?shù)乃删o使DPMI出射光束和楔面反射鏡反射回來的光束高度一致。使用M3或M4扳手進(jìn)入號(hào)孔或號(hào)孔內(nèi)或號(hào)孔或號(hào)孔內(nèi)，在扳手外部加力輕輕敲擊，微調(diào)使DPMI出射光束和楔面反射鏡反射回來的光束左右一致。反