渦流無損檢測

1、渦 流 無 損 檢 測 E T答辯人： 王炎 13010123 王信 13010110 趙言吾 130101091工程背景2實驗環(huán)節(jié)3實驗結果4改進方案CONTENT工程背景 在在先進的集成電路中，薄金屬、半先進的集成電路中，薄金屬、半導體和聚合物薄膜是必不可少的元素。評估導體和聚合物薄膜是必不可少的元素。評估這些薄膜這些薄膜狀態(tài)狀態(tài)是在這些領域的工作一個重要是在這些領域的工作一個重要的部分。的部分。一、工程背景u電磁感應電磁感應 渦流渦流 楞次定律楞次定律 反反磁場磁場u集膚效應集膚效應實驗環(huán)節(jié)電路圖2.1 原理檢測成圖原理l內置線圈，電阻，導線內置線圈，電阻，導線l四線兩端，輸入輸出四線兩

2、端，輸入輸出l總長總長10 cm10 cm，8 cm8 cm2.2 硬件準備探頭頭部鐵氧體磨尖鐵氧體磨尖電電阻阻線圈線圈內部結構內部結構Hs3函數發(fā)生器根據電路圖連線；根據電路圖連線；利用位移機器進行精準掃描；利用位移機器進行精準掃描；利用利用labviewlabview缺陷成圖。缺陷成圖。2.3 實驗過程請觀賞視頻數據分析1.1.不通電情況下的不通電情況下的 正常及小正常及小型缺陷；型缺陷；2.2.創(chuàng)新實驗創(chuàng)新實驗。實驗結果3.1 3.1 不不通電情況下通電情況下的正的正常及小型缺常及小型缺陷陷0 016/cm16/cm待測缺陷待測缺陷小三角形缺口大三角形缺口大缺陷小缺陷 實實驗結驗結果果

3、由由上圖可以對比看出，此傳感器對上圖可以對比看出，此傳感器對于缺陷的檢測是可行的，但限于傳感器的精于缺陷的檢測是可行的，但限于傳感器的精度不夠高，所以對于小型缺陷的檢測不夠有度不夠高，所以對于小型缺陷的檢測不夠有效。并且由于襯板為波紋紙板，自身有一定效。并且由于襯板為波紋紙板，自身有一定的弧度，所以無缺陷區(qū)所顯示的阻抗略有不的弧度，所以無缺陷區(qū)所顯示的阻抗略有不同。同。結果分析3.2 3.2 創(chuàng)新實驗創(chuàng)新實驗待測缺陷待測缺陷通電電極1V 實實驗結驗結果果100KHz100KHz5V10V1V 實實驗結驗結果果300KHz300KHz5V10V1V 實實驗結驗結果果500KHz500KHz5V1

4、0V 我們對的到實驗數據進行了處理，我們對的到實驗數據進行了處理，分析了結果并得到了一些結論。分析了結果并得到了一些結論。結果分析結果分析29.129.229.329.429.529.629.729.829.93030.1024681012300k/Min808590951001051101150246810300k/Max阻抗阻抗電壓/V電壓/V結果分析40455055606570758085024681012300k/Max-Min阻抗電壓/V100KHz 實實驗結驗結果果5V5V300KHz500KHz結果分析28.428.628.82929.229.429.629.83030.201002003004005006005V/Min8085909510010501002003004005006005V/Max頻率/KHz頻率/KHz阻抗阻抗結果分析404550556065707501002003004005006005V/Max-Min阻抗頻率/KHz改進方案1.1.鐵氧體尖端的研磨做的更細一點；鐵氧體尖端的研磨做的更細一點；2.2.對于焊點的絕緣處理做的更嚴密；對于焊點的絕緣處理做的更嚴密；3.3.制制作工序更合理，避免不必要的誤差；作工序更合理，避免不必要的誤差；4.4.