空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響及二次配管路優(yōu)化

1、空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響 及二次配管路優(yōu)化及二次配管路優(yōu)化1 1.空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響2.2.二次配管路優(yōu)化二次配管路優(yōu)化3.3.針對現(xiàn)場漏水系統(tǒng)的判斷針對現(xiàn)場漏水系統(tǒng)的判斷4.4.心得心得 目錄2/35目錄目錄 無塵室無塵室 無塵室無塵室(Clean Room)(Clean Room)，亦稱為無塵室或潔凈室。，亦稱為無塵室或潔凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零它是污染控制的基礎(chǔ)。沒有無塵室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。無塵室被定義為具備空氣過件不可能批量生產(chǎn)。無塵室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中濾、分配、

2、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度 從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。設(shè)計(jì)之房間。 引言3/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響空

3、調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響 空調(diào)箱（空調(diào)箱（MAUMAU）的作用：）的作用： 1.MAU 1.MAU結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu) 2. 2.制造風(fēng)能制造風(fēng)能 3. 3.除去大部分粉塵、微粒除去大部分粉塵、微粒 、離子、離子 4. 4.控制溫濕度控制溫濕度 5. 5.調(diào)節(jié)壓力調(diào)節(jié)壓力4/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響空調(diào)箱（空調(diào)箱（MAUMAU）熱盤管（供熱盤管（供35 35 ，回，回2828）加濕器加濕器出風(fēng)口風(fēng)閥出風(fēng)口風(fēng)閥MAUMAU照片展示照片展示5/35MAUMAU兩視圖兩視圖6/35空調(diào)箱制造風(fēng)能空調(diào)箱制造風(fēng)能 MAU MAU利用利用120kw120kw的的 電機(jī)拖動風(fēng)機(jī)的電機(jī)拖動風(fēng)機(jī)的運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生壓力差，運(yùn)轉(zhuǎn)產(chǎn)生壓力

4、差，導(dǎo)致了氣流的運(yùn)動，導(dǎo)致了氣流的運(yùn)動，最終形成了風(fēng)能。最終形成了風(fēng)能。（備注：（備注：1 1臺臺MAU MAU 在頻率為在頻率為45Hz45Hz的運(yùn)的運(yùn)行情況下可輸出行情況下可輸出每每小時(shí)小時(shí)1010萬萬mm風(fēng)量）風(fēng)量）7/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響進(jìn)風(fēng)口無紡布進(jìn)風(fēng)口無紡布初效過濾器初效過濾器中效過濾器中效過濾器高效過濾器高效過濾器氣流方向氣流方向認(rèn)識空調(diào)箱的過濾器及效率認(rèn)識空調(diào)箱的過濾器及效率效率效率效率2030%4060%95%99.97%氣流方向氣流方向氣流方向氣流方向氣流方向氣流方向效率8/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響MAUMAU對溫濕度的影響對溫濕度的影響 MAUMAU利用氣流與盤管

5、的充分接觸，發(fā)生熱交利用氣流與盤管的充分接觸，發(fā)生熱交換從而達(dá)到對出風(fēng)溫度的控制。換從而達(dá)到對出風(fēng)溫度的控制。 通過了一道熱盤和一道冷盤以后風(fēng)的含熱量通過了一道熱盤和一道冷盤以后風(fēng)的含熱量即焓值，再經(jīng)過加濕器再經(jīng)過一道冷盤和熱即焓值，再經(jīng)過加濕器再經(jīng)過一道冷盤和熱盤最終達(dá)到了對濕度的控制。盤最終達(dá)到了對濕度的控制。 在在一定的條件下，溫度和濕度成反比。推論一定的條件下，溫度和濕度成反比。推論如下：如下：絕對濕度絕對濕度/ /飽和絕對濕度飽和絕對濕度= =相對濕度相對濕度 （此公式運(yùn)用于同一溫度，同一壓力條件下）（此公式運(yùn)用于同一溫度，同一壓力條件下） 9/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響MAUMAU

6、監(jiān)控系統(tǒng)監(jiān)控系統(tǒng) 現(xiàn)由業(yè)主規(guī)定，現(xiàn)由業(yè)主規(guī)定，1010臺臺MAUMAU的運(yùn)行頻率的運(yùn)行頻率都為都為45Hz45Hz，之所以，之所以這樣規(guī)定是因?yàn)橹贿@樣規(guī)定是因?yàn)橹灰獙σ慌_要對一臺MAUMAU進(jìn)行進(jìn)行調(diào)整就會對無塵室調(diào)整就會對無塵室的壓力環(huán)境造成影的壓力環(huán)境造成影響，反過來我們也響，反過來我們也可以根據(jù)現(xiàn)場的情可以根據(jù)現(xiàn)場的情況以及現(xiàn)場的需求，況以及現(xiàn)場的需求，通過調(diào)整通過調(diào)整MAUMAU的頻的頻率可以調(diào)整某個(gè)局率可以調(diào)整某個(gè)局部的壓力。以部的壓力。以O(shè)HV3OHV3為例：為例：總靜壓管靜壓值MAUMAU對壓力的影響對壓力的影響11/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響 MAU102MAU102的出風(fēng)口正

7、的出風(fēng)口正對對 的下方是的下方是 OHVOHV3 3 的送風(fēng)管，我們可的送風(fēng)管，我們可以調(diào)整以調(diào)整 MAU 102MAU 102的風(fēng)的風(fēng)量來實(shí)現(xiàn)對量來實(shí)現(xiàn)對OHV3OHV3的壓力調(diào)節(jié)。當(dāng)然了的壓力調(diào)節(jié)。當(dāng)然了這種方法一般情況下這種方法一般情況下是不會使用的，因?yàn)槭遣粫褂玫?，因?yàn)槲覀兛梢灾苯诱{(diào)節(jié)我們可以直接調(diào)節(jié)OHV3OHV3送風(fēng)管的閥送風(fēng)管的閥門來控制門來控制OHV3OHV3的壓的壓力。力。MAU102出風(fēng)管OHV-3送風(fēng)管根據(jù)現(xiàn)場情況根據(jù)現(xiàn)場情況12/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響FFUFFUFFU無塵室里最重要的無塵室里最重要的除塵設(shè)備，主要結(jié)構(gòu)為除塵設(shè)備，主要結(jié)構(gòu)為一個(gè)風(fēng)機(jī)和超高效過濾一個(gè)

8、風(fēng)機(jī)和超高效過濾器組成器組成FFU馬達(dá)FFU超高效過濾器效率99.999%氣流方向氣流方向13/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響無塵室主要的降溫設(shè)無塵室主要的降溫設(shè)備備干盤管（干盤管（DCC)DCC)DCCDCC沒有動力源，它沒有動力源，它主要安置在回風(fēng)道里，主要安置在回風(fēng)道里，原理是讓回風(fēng)道里的原理是讓回風(fēng)道里的風(fēng)與干盤管里面的水風(fēng)與干盤管里面的水（供（供1212回回1919）進(jìn)行）進(jìn)行充分的接觸發(fā)生熱交充分的接觸發(fā)生熱交換，從而達(dá)到降溫的換，從而達(dá)到降溫的目的。目的。 DCC ( DCC (干盤管干盤管) )回風(fēng)道回風(fēng)道 機(jī)臺之間機(jī)臺之間14/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響風(fēng)機(jī)盤管風(fēng)機(jī)盤管風(fēng)機(jī)盤管的

9、結(jié)風(fēng)機(jī)盤管的結(jié)購只是在干盤購只是在干盤管的基礎(chǔ)上加管的基礎(chǔ)上加了一個(gè)動力源，了一個(gè)動力源，它主要的作用它主要的作用和和DCCDCC一樣，一樣，它主要運(yùn)用在它主要運(yùn)用在生產(chǎn)加工的區(qū)生產(chǎn)加工的區(qū)域。域。氣流方向氣流方向氣流方向供水回水氣流方向15/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響CCUDCCDCCBUF機(jī)臺 FFU FFU FFU FFU FFU FFU FFU 高架地板回風(fēng)道回風(fēng)道 MAU新風(fēng)MAUMAU、靜壓箱、靜壓箱、FFUFFU、CCUCCU、DCCDCC、高架地板、回風(fēng)道、泄壓風(fēng)口之間的聯(lián)系、高架地板、回風(fēng)道、泄壓風(fēng)口之間的聯(lián)系FFU FFU FFU FFU FFU DCCFFU FFU回風(fēng)道

10、L/UL16/35空調(diào)系統(tǒng)對無塵室的影響泄壓風(fēng)口只有做好了上述的工作，穩(wěn)定了無塵室的環(huán)境，只有做好了上述的工作，穩(wěn)定了無塵室的環(huán)境，我們才能進(jìn)行生產(chǎn)，才能使生產(chǎn)的良率提高。我們才能進(jìn)行生產(chǎn)，才能使生產(chǎn)的良率提高。進(jìn)入二次配進(jìn)入二次配 過渡頁17/35 認(rèn)識材料認(rèn)識材料 學(xué)會請購學(xué)會請購 根據(jù)實(shí)際情況配制管路根據(jù)實(shí)際情況配制管路 管路優(yōu)化管路優(yōu)化二次配管路優(yōu)化二次配管路優(yōu)化18/35管路優(yōu)化 學(xué)會認(rèn)識材料學(xué)會認(rèn)識材料（1 1）深入現(xiàn)場。從現(xiàn)場中學(xué)習(xí)，了解管路的材料、管徑、以及）深入現(xiàn)場。從現(xiàn)場中學(xué)習(xí)，了解管路的材料、管徑、以及與機(jī)臺端的連接形式。與機(jī)臺端的連接形式。（2 2）從倉庫中學(xué)習(xí)，認(rèn)識一

11、些常見的配件，諸如：三通（）從倉庫中學(xué)習(xí)，認(rèn)識一些常見的配件，諸如：三通（T T）、）、彎頭（彎頭（L L）、大小頭（）、大小頭（RSRS）、直接（）、直接（S S）法蘭、閥表）法蘭、閥表 學(xué)會請購材料、填寫異常單、請款、材料學(xué)會請購材料、填寫異常單、請款、材料報(bào)驗(yàn)報(bào)驗(yàn)19/35管路優(yōu)化 根據(jù)實(shí)際情況配置管路根據(jù)實(shí)際情況配置管路（1 1）現(xiàn)場：確定）現(xiàn)場：確定take offtake off點(diǎn)到機(jī)臺連接點(diǎn)之間的管路走向，畫出點(diǎn)到機(jī)臺連接點(diǎn)之間的管路走向，畫出ISOISO圖，確定材料用量。圖，確定材料用量。（2 2）時(shí)間：按照機(jī)臺的需求情況進(jìn)行施工，分輕重緩急不延誤）時(shí)間：按照機(jī)臺的需求情況進(jìn)行

12、施工，分輕重緩急不延誤一臺機(jī)臺的一臺機(jī)臺的turn onturn on時(shí)間。時(shí)間。（3 3）材料：根據(jù)倉庫材料余量，判斷現(xiàn)場需求，如若缺少材料）材料：根據(jù)倉庫材料余量，判斷現(xiàn)場需求，如若缺少材料需積極請購，以防拖延工期。需積極請購，以防拖延工期。（4 4）承包商：承包商是我們工作得以延續(xù)的最重要環(huán)節(jié)，掌握）承包商：承包商是我們工作得以延續(xù)的最重要環(huán)節(jié)，掌握他們的能力，利用好承包商的資源。他們的能力，利用好承包商的資源。20/35管路優(yōu)化管路優(yōu)化管路優(yōu)化 紅色表示原來管路，黃色表示優(yōu)化的管路紅色表示原來管路，黃色表示優(yōu)化的管路21/35節(jié)省的管路節(jié)省的管路管路優(yōu)化 盤面的位置選擇（方盤面的位置選

13、擇（方便開關(guān)閥門）便開關(guān)閥門） 盤面的整潔美觀盤面的整潔美觀2.2m整個(gè)盤面的位置太高，如需操作閥門，需找爬梯之類的輔助工具。優(yōu)化意見：整個(gè)閥盤下調(diào)700mm1.5m盤面的優(yōu)化盤面的優(yōu)化22/35盤面優(yōu)化天花板上方管路對比天花板上方管路對比管路歪斜管路歪斜管路筆直管路筆直照片對比展示23/35管路高低不平管路高低不平管路整齊管路整齊 管路死角對比管路死角對比24/35照片對比展示管路支架對比管路支架對比管路缺少支架管路缺少支架管路固定整齊管路固定整齊25/35照片對比展示管路穿越天花板對比管路穿越天花板對比管路歪斜管路歪斜管路垂直美觀管路垂直美觀26/35照片對比展示盤面高度對比盤面高度對比盤

14、面高盤面高1.6m1.6m盤面高盤面高2.2m2.2m27/35照片對比展示高架地板下面管路對比高架地板下面管路對比管路歪斜管路歪斜管路橫平豎直管路橫平豎直28/35照片對比展示支架歪斜支架歪斜支架平整支架平整盤面支架對比盤面支架對比29/35照片對比展示橡皮墊丑陋橡皮墊丑陋橡皮墊整齊橡皮墊整齊P P型卡橡皮墊對比型卡橡皮墊對比30/35照片對比展示壓力表歪斜壓力表歪斜壓力表整齊壓力表整齊壓力表安裝效果對比壓力表安裝效果對比31/35照片對比展示支架晃動支架晃動支架穩(wěn)定支架穩(wěn)定盤面支架的固定盤面支架的固定32/35照片對比展示針對現(xiàn)場漏水系統(tǒng)的判斷針對現(xiàn)場漏水系統(tǒng)的判斷 根據(jù)區(qū)域判斷根據(jù)區(qū)域判

15、斷 第一判斷：空調(diào)水。原因：覆蓋全廠區(qū)第一判斷：空調(diào)水。原因：覆蓋全廠區(qū) 第二判斷：第二判斷：PVD/WETPVD/WET區(qū)漏水判斷區(qū)漏水判斷純水，原因是純水純水，原因是純水主要集中在南區(qū)主要集中在南區(qū)PVDPVD、WETWET區(qū)。區(qū)。 第三判斷：第三判斷：CVD/DRYCVD/DRY區(qū)漏水判斷區(qū)漏水判斷PCW,PCW,原因是原因是PCWPCW主主要集中在要集中在CVD/DRYCVD/DRY區(qū)。區(qū)。 第四判斷：排水，排水的可能性小。原因：排水它是重第四判斷：排水，排水的可能性小。原因：排水它是重力流。力流。33/35漏水判斷心得體會心得體會 經(jīng)過了一年的學(xué)習(xí)和鍛煉，認(rèn)識到了想要認(rèn)經(jīng)過了一年的學(xué)習(xí)和鍛煉，認(rèn)識到了想要認(rèn)真的學(xué)習(xí)、工作、生產(chǎn)，就必須要營造一個(gè)良好真的學(xué)習(xí)、工