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文檔簡(jiǎn)介
1、作業(yè)指導(dǎo)書題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)頁(yè)號(hào):1/15發(fā)布日期:文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):0修訂狀態(tài):0編制:審核:批準(zhǔn):1.目的確保分類檢測(cè)處于良好的運(yùn)行狀態(tài)。2. 適用范圍分類檢測(cè)操作及保養(yǎng)。3. 規(guī)范性引用文件QEP-6.3-1設(shè)備和設(shè)施控制程序。4. 職責(zé)4.1制造I部操作人員負(fù)責(zé)并執(zhí)行日常維護(hù)保養(yǎng)。4.2 設(shè)備工程師負(fù)責(zé)定期維護(hù)保養(yǎng)。5. 術(shù)語(yǔ)和定義無(wú)6. Bacci ni分檢機(jī)開機(jī)6.1 打開壓縮空氣手動(dòng)閥,檢查壓力范圍在0.50.7 MPa之間(圖一)。6.2 打開真空手動(dòng)閥,檢查真空度在-0.06-0.08 MPa之間(圖一)。6.3 關(guān)閉所有的門使門鎖到位,確認(rèn)
2、紅色急停按鈕(圖二)拉出。6.4 打開設(shè)備黑色電源開關(guān)(圖二),等待計(jì)算機(jī)和BaCCini程序自動(dòng)運(yùn)行。圖一圖二6.5 程序運(yùn)行后,按下AuXiliarieS(圖三)輔助開關(guān),會(huì)有閃光提示。6.6 確認(rèn)模式選擇旋鈕為自動(dòng)(Auto)(圖三)狀態(tài)。6.7 根據(jù)生產(chǎn)不同的硅片,調(diào)用相應(yīng)型號(hào)的工藝文件。如:125硅片為“ Test125X125.dat6.8 再按下Cycle reset按鈕(圖四)使機(jī)器復(fù)位(其燈一直閃爍,直到復(fù)位結(jié)束)。題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O頁(yè) 號(hào):2/15修訂狀態(tài):O發(fā)布日期:6.9 Cycle Start 按鈕(圖三)指示燈閃
3、爍,提示復(fù)位結(jié)束;等待 Berger測(cè)試系統(tǒng)能正常工作 后,按下Cycle Start 按鈕進(jìn)行生產(chǎn)。JDiG *AUmiMlEl HIiiiR HlJLLAH-M UL1ClCltIIEMIFAKlkCLi STMT圖四圖三7.Berger測(cè)試系統(tǒng)開機(jī)7.17.2按下Berger計(jì)算機(jī)和顯示器電源按鈕。旋開氙燈電源箱紅色停機(jī)按鈕(圖五),按下電源綠色啟動(dòng)按鈕(圖五)。7.37.4Berger計(jì)算機(jī)系統(tǒng)啟動(dòng)后,雙擊運(yùn)行SCLOaC測(cè)試程序。 確認(rèn)分類文件,校正光強(qiáng)后即可自動(dòng)運(yùn)行。注意事項(xiàng)7.57.5.1校正光強(qiáng)時(shí)應(yīng)調(diào)整Flash 使光強(qiáng)功率在9501050W之間,盡量接近1000W7.5.2分
4、類文件中必須有一個(gè)類別為 TRASH,其不需設(shè)任何條件,但需分配一個(gè)分檢盒。8.關(guān)機(jī)題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)頁(yè)號(hào):3/15文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):O發(fā)布日期:I8.18.2退出SCLOad程序。8.3關(guān)閉Berger計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和顯示器電源。8.4關(guān)閉測(cè)試燈電源,直接將紅色停機(jī)按鈕按下(圖五)。8.5按下面板上紅色急停按鈕(圖七)O圖六圖七圖八確定行走臂上的片子走完,按下 Cycle Stop按鈕(圖六),設(shè)備停止運(yùn)行。8.68.7關(guān)閉真空(圖十)和壓縮空氣(圖九)手動(dòng)閥。圖九圖十9. 分類文件的建立和修改9.1在SCLOad軟件菜單中選擇SettingsOPe
5、rating Mode (圖 一)。Li)ESl I In呼6b »p l 5腳 JJp jiPttj' r ''* r f, M lCuffTMii LHd IlmIrfFLBVlNi Pable: O:MJkvad .dAf*sa.1.ClassTVJ匚APlTlPP gn UmPP OJ)Q IrnPP Q IilDWmrWIP 2cfcflers.ur-匚lix:on”,PfI LEl IerirtM iLi. .iLJi etMI LaIbMtiDn iUMa. S' Ar Hj-ITFPjrniRftr *QUaIitVEff IQaIaL
6、EI fl 00IFflVlC D0QFv (inQ ' A|1 a ULn關(guān)閉黑色電源開關(guān)(圖八),設(shè)備內(nèi)的UPS系統(tǒng)會(huì)自動(dòng)協(xié)作保存數(shù)據(jù)并關(guān)閉程序和計(jì)算機(jī)。EjfcPn*,.e . CfinFiqi1Jrnt fn 叮璋護(hù)Ct1 ,rJr. a aeh 滋怙帕&n圖十題 目:Berger分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)頁(yè) 號(hào):5/15文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):O9.2 在 OPerating Mode 中選擇 Manager 后點(diǎn)擊2dOPerating Mode廠OPeratorC CSIibr4tiI?QJ 'fCancelHelP圖十二9.3在
7、PaSSWOrd中不需輸任何內(nèi)容,直接點(diǎn)擊9.4在菜單 Settings中選擇 CIaSSifiCatiOn占 SaAOd Ouiilicdtnn Tabkc: CSCLt>Mcte.c*hie e Z1Zth Measjrsmant AUta MoIJi I b, C> > IFtaihcr ”,C'Jll- ktClaSSIiTlJ:&發(fā)布日期:OK圖十二)。圖十三OK(圖十三)進(jìn)入Manager級(jí)別。NeWAWVV TmPeraI:UreC=Iktjrti口血.PTICO IierriperatursR - Wrr1.PS_ Pdr j riEert .
8、CDnhglr 3cc.hChl>i.rllujQM:E IntOrn±on.JDenal NOCelI FyPe(圖十四)ICaItron匚di-r J- In DflI厲 y,ffirBrInFiTil- F2Pr.EdiL.Ig+IC¾v* A&.圖十四9.5點(diǎn)擊OK創(chuàng)建新的分類文件(圖十五)。9.6輸入新分類文件名,點(diǎn)擊保存(圖十六)圖十五圖十六題目:Berger分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):O頁(yè) 號(hào):10/15發(fā)布日期:9.7在分類文件的Class項(xiàng)目中點(diǎn)擊Add ,根據(jù)要求輸入分類檔次(Class)的名
9、稱,其中一個(gè)檔 次必須為垃圾檔(TRASH,并給每個(gè)檔次分配一個(gè)存放盒(BinS,16個(gè)分檢盒中的一個(gè))(圖十七)。圖十七9.8在Criteria 項(xiàng)目中點(diǎn)擊Add ,根據(jù)要求選擇分類標(biāo)準(zhǔn)(Criteria ),并輸入每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的范圍 (Min和MaX)。注意:垃圾檔(TRASH不允許輸入任何標(biāo)準(zhǔn)。所有項(xiàng)目輸入完成后必須保 存(SaVe)(圖十八)。圖十八9.9修改分類文件:前面三步和創(chuàng)建新分類文件相同,只是在第四步(9. 4)中選擇菜單Settings中CIaSSifiCatiOn的子菜單Edit (圖十四)。根據(jù)需要修改后,保存文件即可。10. 校正光強(qiáng)10.110.210.310.4將Ba
10、CCi ni機(jī)停機(jī)并選擇為手動(dòng)模式(Mar),注意:此時(shí)行走臂應(yīng)在低位(DOWnO 手動(dòng)將標(biāo)準(zhǔn)電池片放入測(cè)試臺(tái)上,并確保主柵線和探針在同一直線上。在 BaCCini 程序菜單 4 - AXiS 中選擇 42 - EImO AXiS Manual。在 AXiS SeIeCted 中選擇 14MG Probe Up/Down AXiS ,在 SteP Offset+/- 中輸入 1000, 點(diǎn)擊F+使探針下降壓在主柵線上,并確保探針壓緊可靠(不同生產(chǎn)線的測(cè)試電機(jī)下降行程是 不一樣的)(圖十九)。10.510.6圖十九圖二十在菜單MeaSurement中或工具條按鈕中選擇 MeaSurement P
11、arameterS (圖二十)。 在MeaSUrement ParameterS界面中根據(jù)電池片分別為 Monitor和Cell選擇正確的文件, 并點(diǎn)擊 Edit Cell Type( 圖二 一 )。圖二十一圖二十二10.7 在 Edit Cell TyPe 中單擊 Edit (圖二十二)。10.8 在Cell ParameterS界面中輸入正確的電池片面積(Cell AreaO,并點(diǎn)擊CalCulate 或選擇AUtOmatiC CalCulation,使軟件根據(jù)參數(shù)自動(dòng)計(jì)算(圖二十三和圖二十四)。,ecti"0.0082圖二十三ciphu映 IOId InfJrnitIlotiS
12、55ITflr4 ,l"nI叫TeiilPrite CCrrtl C.D(圖二十四10.9 然后分別點(diǎn)擊SCLOad_ST界面中的YeS按鈕(圖二十四)和 Edit Cell 界面中的Close 按鈕(圖二十二),回到 (10. 6)MeaSUrement ParameterS界面(圖二)中,再單擊 OK回到主界面。10.10 在手動(dòng)測(cè)試之前,先點(diǎn)擊主界面上的“BYPASS CLASSlFICATION按鈕(圖二十五),啟動(dòng)“ByPaSS”模式,選擇菜單 MeaSurement或工具條中的TeSt MeaSUrement(圖二十六),單擊進(jìn)行試測(cè),會(huì)有閃光和測(cè)試結(jié)果(最好試測(cè)兩次或兩
13、次以上,手動(dòng)測(cè)試結(jié)果全部到垃圾擋,可確保其余的分檢盒計(jì)數(shù)準(zhǔn)確。)。圖二十五圖二十六10.10 點(diǎn)擊菜單MeaSUrement下的子菜單Edit Monitor Cells(圖二十七)或點(diǎn)擊工具條中的MeaSUrement ParameterS按鈕,并選擇正確的文件名后,點(diǎn)擊其后“Edit ”按鈕(圖二十八)。!Md d F td !丄打 hh! C!4 4i唯詰Ent lo MOde Setthgs ?MeaSjrerrlBnfc Parameters .Test Measurement.,RMesre.F4Edit NOnitOr Cel?.LditCeIlTypes.E PmPP OJOO
14、 WI 0.(FF 圖二十八圖二十七10.11在Edit Monitor Cell界面中確認(rèn)正確的文件后點(diǎn)擊 Edit按鈕(圖二十九)Edit MDnitDF CeII2dMl OiU tor CelI圖三十圖二十九10.12在MOnitor Cell界面中點(diǎn)擊 CaIibrate 按鈕(圖三十)10.13在SCLOad_ST界面中點(diǎn)擊 OK按鈕(圖三一 )。圖三一圖三十二10.14在CaIibrated Cell Data界面中輸入標(biāo)準(zhǔn)電池片的ISC值,然后點(diǎn)擊 OK按鈕(圖三十二)。10.15分別點(diǎn)擊MOnitor Cell界面中的OK按鈕(圖三十)和 Edit Monitor Cell界
15、面中的Close按鈕(圖二十九),回到主界面后,點(diǎn)擊TeSt MeaSUrement按鈕進(jìn)行測(cè)試(最好測(cè)兩次 或以上),觀察測(cè)試結(jié)果中的ISC值和標(biāo)準(zhǔn)片的ISC值(圖三十三)是否相似(差異小于± 0.01A)。如果差異太大,按(10.9)到(10.15)重復(fù)校準(zhǔn)。同時(shí)觀察光強(qiáng)功率(圖三十三) 是否在正常范圍內(nèi)(1000W± 50V),如果超出范圍應(yīng)按以下步驟調(diào)整。圖三十三10.16在主界面菜單選擇 Settings-Flasher(圖三十四)圖三十四圖三十五10.17在PSSControl界面中改變Reference voltage 的百分比(圖三十五),即可改變測(cè)試光強(qiáng)功
16、 率,直到達(dá)到要求,然后將燈電源箱面板上的旋鈕設(shè)定在相同的位置上后鎖緊。10.18手動(dòng)將測(cè)試探針回升后,取下標(biāo)準(zhǔn)片。將BaCCini和Berger系統(tǒng)都選擇自動(dòng)模式既可生產(chǎn)。10.19在自動(dòng)狀態(tài)下,質(zhì)檢人員校驗(yàn)標(biāo)片(或工藝人員需要抽測(cè)片子)時(shí),可停機(jī)先點(diǎn)擊“ BYPASCLASSlFICATIoN按鈕(圖三十六),或在自動(dòng)界面中直接點(diǎn)擊”ByPaSS CIaSSif) ”,使其變?yōu)榧t色(如圖三十七),啟動(dòng)“Bypass”模式,在此模式的測(cè)試結(jié)果全部為垃圾擋,可確保其余的分檢盒計(jì)數(shù)準(zhǔn)確。IIjtD Mode ttirg5 L同Inc口 OnM&aSdrenrtertt Auta M Se
17、ig I0> ITeSt MeaSJreiTIenfcClaSS:ycle signal.Bf>as Chssificatio nUOCo.ooo V25.DtCUOCBUffer spla.TIn 圖三十五圖三十六圖三十七10.20當(dāng)抽測(cè)校驗(yàn)結(jié)束后,再次點(diǎn)擊點(diǎn)擊紅色的“ BYPASS CLASSlFICATION按鈕(圖三十七),使 顏色恢復(fù)為原來(lái)的灰色,恢復(fù)正常的分檢模式,再把垃圾擋重新分檢即可。11. 支持性文件11.1設(shè)備維護(hù)申請(qǐng)單QET-設(shè)備-0512. 附錄12.1 BaCCi ni分檢機(jī)開機(jī)流程12.2 Berger測(cè)試系統(tǒng)開機(jī)流程12.3關(guān)機(jī)流程12.4分類文件建立
18、流程頁(yè)號(hào):10/1512.5校正光強(qiáng)題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)文件號(hào):QI-設(shè)備-56BaCCini分檢機(jī)開機(jī)流程使用記錄權(quán)責(zé)部門/人配合部門/人備 注版本號(hào):O修訂狀態(tài):O發(fā)布日期:設(shè)備維護(hù)申請(qǐng)單制造 作工制造 作工制造 作工制造 作工制造 作工制造 作工制造 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員確認(rèn)壓縮空氣壓力0.50.7 MPa真空 度-0.06-0.08MPa打開面板黑色開關(guān) 絲印程序自動(dòng)啟動(dòng)檢查關(guān)門到位,確認(rèn)急 停按鈕拉出按
19、下 AUXiIiarieS鈕,燈亮選擇自動(dòng)模式按下 Cycle reset鈕,整機(jī)復(fù)位按下 Cycle Start鈕設(shè)備運(yùn)行題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)頁(yè)號(hào):11/15Berger測(cè)試系統(tǒng)開機(jī)流程使用記錄權(quán)責(zé)部門/人配合部門/人備 注文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):O發(fā)布日期:< Berger 計(jì)算機(jī)啟動(dòng)制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員按下Berger計(jì)算機(jī)和顯示屏電源按鈕1 F自動(dòng)運(yùn)行制造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維
20、護(hù)人員紅色停機(jī)按鈕復(fù)位旋 出啟動(dòng)電源箱運(yùn)行測(cè)試軟件建立分類文件制造I部/操 工廠工程部/修正光強(qiáng),可以生產(chǎn) 作工設(shè)備維護(hù)人員'題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):關(guān)機(jī)流程使用記錄關(guān)閉壓縮空氣和真 I空的手動(dòng)閥O頁(yè)號(hào):12/15發(fā)布日期:權(quán)責(zé)部門/人配合部門/人備 注制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員設(shè)備停止運(yùn)行。制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員選擇手動(dòng)模式制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員退出SCLoad程序制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員關(guān)閉Berger計(jì)算機(jī)系統(tǒng)和顯示屏電源制造I部/操 作工工
21、廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員關(guān)閉測(cè)試燈電源(直接 將停機(jī)按鈕按下)制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員清理碎片制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員按下急停按鈕制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員斷電后,UPS會(huì)自動(dòng) 協(xié)作關(guān)閉軟件和計(jì) 算機(jī)制造I部/操 作工工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員關(guān)閉壓縮空氣和 真空的手動(dòng)閥題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):O頁(yè)號(hào):13/15發(fā)布日期:分類文件建立流程使用記錄權(quán)責(zé)部門/人配合部門/人備 注設(shè)備維護(hù)申請(qǐng)單制造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工制
22、造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工制造I部/操 作工工廠工程部/ 打開SCLoad測(cè)試軟件 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員在SCLOad軟件菜單中 選 擇 Sett ings OPerat ing Mode工廠工程部/ 選擇Manager后按OK 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員選擇創(chuàng)建新文件還是 編輯文件在菜單Settings中選擇CIaSSifiCati On及其 NeW 或 Edit 子 菜單創(chuàng)建新的分類文件,輸 入新分類文件名
23、,并保 存在分類文件的Class 項(xiàng)目中點(diǎn)擊Add , 輸 入分類檔次(Class ) 的名稱在 Criteria 項(xiàng)目中 點(diǎn)擊Add ,根據(jù)要求 選擇分類標(biāo)準(zhǔn)(Criteria ),并輸入 每個(gè)標(biāo)準(zhǔn)的范圍(Min 和 MaX )輸入完成后必須保存(SaVe )題目:分類檢測(cè)操作規(guī)程(Berger)文件號(hào):QI-設(shè)備-56版本號(hào):O修訂狀態(tài):O頁(yè)號(hào):14/15發(fā)布日期:校正光強(qiáng)使用記錄權(quán)責(zé)部門/人配合部門/人設(shè)備維護(hù)申請(qǐng)單質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員質(zhì)量部/質(zhì)檢 員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員工廠工程部/ 設(shè)備維護(hù)人員將BaCCini機(jī)停機(jī)并選擇為手動(dòng)模式 (Man),確認(rèn)行走臂在低位(DoWn手動(dòng)將標(biāo)準(zhǔn)電池片放 入測(cè)試臺(tái),確保主柵線 和探針在同一直線上選擇 14MG Up/Down
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