第二章 薄膜制備技術(shù)基礎(chǔ)-1

1、第二章第二章 薄膜制備技術(shù)薄膜制備技術(shù) v薄膜制備工藝包括：薄膜制備方法的選薄膜制備工藝包括：薄膜制備方法的選擇，基體材料的選擇及表面處理，薄膜擇，基體材料的選擇及表面處理，薄膜制備條件的選擇，結(jié)構(gòu)、性能與工藝參制備條件的選擇，結(jié)構(gòu)、性能與工藝參數(shù)的關(guān)系等。數(shù)的關(guān)系等。 第一節(jié)第一節(jié) 基體的選擇與基片的清洗方法基體的選擇與基片的清洗方法 （一）基體的選擇（一）基體的選擇v在薄膜制備過程中，基體的選擇與其他在薄膜制備過程中，基體的選擇與其他制備條件同樣重要，有時可能更重要，制備條件同樣重要，有時可能更重要，基體選擇的原則是：基體選擇的原則是： （1）是否容易成核和生長成薄膜；）是否容易成核和生長

2、成薄膜；（2）根據(jù)不同的應(yīng)用目的，選擇金屬）根據(jù)不同的應(yīng)用目的，選擇金屬 （或合金）、玻璃、陶瓷單晶和塑料等（或合金）、玻璃、陶瓷單晶和塑料等 作基體；作基體；（3）薄膜結(jié)構(gòu)與基體材料結(jié)構(gòu)要對應(yīng)；）薄膜結(jié)構(gòu)與基體材料結(jié)構(gòu)要對應(yīng)；（4）要使薄膜和基體材料的性能相匹配，）要使薄膜和基體材料的性能相匹配，從而減少熱應(yīng)力，不使薄膜脫落；從而減少熱應(yīng)力，不使薄膜脫落；（5）要考慮市場供應(yīng)情況、價格、形狀、）要考慮市場供應(yīng)情況、價格、形狀、尺寸、表面粗糙度和加工難易程度等。尺寸、表面粗糙度和加工難易程度等。（二）基片的清洗（二）基片的清洗1 1、概述、概述v由于薄膜厚度很薄，基片表面的平整度、清潔由于薄膜

3、厚度很薄，基片表面的平整度、清潔度都會對所生長的薄膜有影響?；砻娴娜味榷紩λL的薄膜有影響?；砻娴娜魏我稽c污物都會影響薄膜材料的性能和生長情何一點污物都會影響薄膜材料的性能和生長情況。由此可見，基片的清洗是十分重要的。況。由此可見，基片的清洗是十分重要的。v基片的清洗方法主要根據(jù)薄膜生長方法和薄膜基片的清洗方法主要根據(jù)薄膜生長方法和薄膜使用目的選定，因為基片表面狀態(tài)嚴(yán)重影響基使用目的選定，因為基片表面狀態(tài)嚴(yán)重影響基片上生長出的薄膜結(jié)構(gòu)和薄膜物理性質(zhì)。片上生長出的薄膜結(jié)構(gòu)和薄膜物理性質(zhì)。 2 2、基片的清洗方法、基片的清洗方法v一般分為去除基片表面上物理附著的污物的一般分為去除基片表

4、面上物理附著的污物的清洗方法和去除化學(xué)附著的污物的清洗方法。清洗方法和去除化學(xué)附著的污物的清洗方法。v目前，基片清洗方法有：用化學(xué)溶劑溶解污目前，基片清洗方法有：用化學(xué)溶劑溶解污物的方法、超聲波清洗法、離子轟擊清洗法、物的方法、超聲波清洗法、離子轟擊清洗法、等離子體清洗法和烘烤清洗法等。等離子體清洗法和烘烤清洗法等。 第二節(jié)第二節(jié) 真空技術(shù)基礎(chǔ)真空技術(shù)基礎(chǔ) v真空技術(shù)是制備薄膜的基礎(chǔ)，真空蒸發(fā)，真空技術(shù)是制備薄膜的基礎(chǔ)，真空蒸發(fā)，濺射鍍膜和離子鍍等均要求沉積薄膜的濺射鍍膜和離子鍍等均要求沉積薄膜的空間要有一定的真空度，因而獲得并?？臻g要有一定的真空度，因而獲得并保持真空環(huán)境是鍍膜的必要條件。持

5、真空環(huán)境是鍍膜的必要條件。 一、真空的概念一、真空的概念 1 /101 /104 4大氣壓下氣體的分子密度約大氣壓下氣體的分子密度約二、真空度的單位l真空狀態(tài)下氣體稀薄程度稱為真空度，通常用壓力值真空狀態(tài)下氣體稀薄程度稱為真空度，通常用壓力值表示。表示。19581958年，第一界國際技術(shù)會議曾建議采用年，第一界國際技術(shù)會議曾建議采用“托托”( (Torr)Torr)作為測量真空度的單位。國際單位制作為測量真空度的單位。國際單位制( (SI)SI)中規(guī)定壓力的單位為帕中規(guī)定壓力的單位為帕( (Pa)Pa)。我國采用我國采用SISI規(guī)定。規(guī)定。l1 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(1(1atm)1.013

6、atm)1.01310105 5Pa(Pa(帕帕) )l1 1Torr1/760atm1mmHgTorr1/760atm1mmHgl1Torr133Pa101Torr133Pa102 2 PaPal100Pa=0.75Torr 1Torr100Pa=0.75Torr 1Torr三、真空度的劃分三、真空度的劃分v為了研究真空和實際應(yīng)用方便，常把為了研究真空和實際應(yīng)用方便，常把真空劃分為：真空劃分為：v低真空（低真空（11051102Pa）v中真空（中真空（1102110-1Pa）v高真空（高真空（110-1110-6Pa）v超高真空（超高真空（50km。因此體積有限的超真空系統(tǒng)中，氣體分子之間或

7、氣體分子與帶電粒子之間的碰撞都可以近似忽略。)r)2(r4(p2kTn21An2122222AA分子碰撞截面，為分子直徑，p為壓強，T為氣體溫度，k為玻耳茲曼常數(shù)。mkTpnva241m和T分別為氣體分子的質(zhì)量和溫度。對室溫下的氮氣，在10-6 Torr時，v = 4.4 x 1014分子/cm2s假設(shè)每次碰撞均被表面吸附，一個“干凈”的表面只要一秒多鐘就被覆蓋滿了一個單分子層的氣體分子：而在超高真空 10-10 Torr 或 10-11 Torr時，由同樣的估計可知“干凈”表面吸附單分子層的時間將達幾小時到幾十小時。對于技術(shù)和物理研究的影響：表面物理，薄膜沉積碰撞于固體表面的分子，飛離表面的

8、方向與原入射方向無關(guān)，處于與表面法線成角的空間區(qū)域（立體角為的d）的分子的幾率為：余弦定律的意義：（1）固體表面使分子入射的方向性消失；（2）分子在固體表面停留，使氣體和固體表面發(fā)生能量和動量的傳遞。cosddp 8.氣體的吸附與脫附氣體的吸附與脫附v氣體吸附氣體吸附：是指固體表面捕獲氣體分子的現(xiàn)：是指固體表面捕獲氣體分子的現(xiàn)象。吸附分為物理吸附和化學(xué)吸附。象。吸附分為物理吸附和化學(xué)吸附。v物理吸附物理吸附：主要靠分子間的相互吸引力，易：主要靠分子間的相互吸引力，易脫附，只在低溫下有效。脫附，只在低溫下有效。v化學(xué)吸附化學(xué)吸附：當(dāng)氣體和固體表面原子間生成化：當(dāng)氣體和固體表面原子間生成化合物時，

9、所產(chǎn)生的吸附作用。不易脫附，可合物時，所產(chǎn)生的吸附作用。不易脫附，可發(fā)生在高溫下。發(fā)生在高溫下。9.電子碰撞氣體引起的電離電子碰撞氣體引起的電離v電子能量較低電子能量較低：不會引起氣體原子（分子）的狀態(tài)發(fā)生變化。：不會引起氣體原子（分子）的狀態(tài)發(fā)生變化。v能量較高能量較高：引起氣體原子（分子）的激發(fā)或電離。：引起氣體原子（分子）的激發(fā)或電離。激發(fā)激發(fā)：部分價電子躍遷到較高的能級。：部分價電子躍遷到較高的能級。電離電離：一個或多個價電子脫離原子或分子的過程。：一個或多個價電子脫離原子或分子的過程。10.氣體的流動狀態(tài)氣體的流動狀態(tài)v三種流動狀態(tài)三種流動狀態(tài)湍流，層流，分子流湍流，層流，分子流湍流

10、：當(dāng)氣體壓強和流速都比較高時，流動呈現(xiàn)不穩(wěn)定狀態(tài)，宏湍流：當(dāng)氣體壓強和流速都比較高時，流動呈現(xiàn)不穩(wěn)定狀態(tài)，宏觀流速矢量有徑向分量氣體流動受到較大的阻力，通常稱這觀流速矢量有徑向分量氣體流動受到較大的阻力，通常稱這種流動狀態(tài)為湍流或者旁流。種流動狀態(tài)為湍流或者旁流。平流（層流）：隨氣體壓強和流速的逐漸降低，流動由平流（層流）：隨氣體壓強和流速的逐漸降低，流動由具有不同流動速度的各個流動層組成宏觀具有不同流動速度的各個流動層組成宏觀流速矢量與流速矢量與管軸平行，流動與氣體的粘滯性有關(guān)，稱為平流。平流管軸平行，流動與氣體的粘滯性有關(guān)，稱為平流。平流和湍流都屬于粘滯流。和湍流都屬于粘滯流。分子流：當(dāng)壓

11、強進分子流：當(dāng)壓強進步降低，氣體分子的平均自由程增步降低，氣體分子的平均自由程增大，分子間的相互碰撞減少，分子與管壁的碰撞占主要大，分子間的相互碰撞減少，分子與管壁的碰撞占主要地位，分于間的內(nèi)摩擦消失，氣體分子以熱運動而自由地位，分于間的內(nèi)摩擦消失，氣體分子以熱運動而自由地獨立地直線前進，這種流動被稱為分子流。地獨立地直線前進，這種流動被稱為分子流。判斷粘滯流與分子流的Knudsen number(克努森數(shù)):0.01/110.01nmfppnKDK粘滯流分子流分子-粘滯流31315 105 105 105 10pnp DK 粘滯流或分子流分子-粘滯流判斷平流與湍流的雷諾數(shù)：2200edR湍流

12、1200平流11.蒸發(fā)和凝結(jié)蒸發(fā)和凝結(jié)（1）蒸發(fā)和凝結(jié)）蒸發(fā)和凝結(jié)蒸發(fā)：由固相和液相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程。蒸發(fā)：由固相和液相轉(zhuǎn)變?yōu)闅庀嗟倪^程。凝結(jié)：由氣相轉(zhuǎn)變?yōu)楣滔嗪鸵合嗟倪^程。凝結(jié)：由氣相轉(zhuǎn)變?yōu)楣滔嗪鸵合嗟倪^程。（2）蒸汽和氣體）蒸汽和氣體由由P-V線可知：存在臨界溫度線可知：存在臨界溫度Tc，工作溫度低于工作溫度低于Tc，氣體加壓可變成液體，此時的氣體稱為可凝，氣體加壓可變成液體，此時的氣體稱為可凝性氣體（蒸汽）性氣體（蒸汽）工作溫度高于工作溫度高于Tc，氣體加壓不可變成液體，此時的氣體稱為永久，氣體加壓不可變成液體，此時的氣體稱為永久性氣體（簡稱為氣體）性氣體（簡稱為氣體）在本課程中定義的蒸

13、汽和氣體在本課程中定義的蒸汽和氣體凡臨界溫度高于室溫（凡臨界溫度高于室溫（1525 ）的氣相，稱為蒸汽）的氣相，稱為蒸汽 其特征是在室溫下加壓可液化。如水蒸氣，金屬蒸汽其特征是在室溫下加壓可液化。如水蒸氣，金屬蒸汽凡臨界溫度低于于室溫（凡臨界溫度低于于室溫（1525 ）的氣相，稱為氣體）的氣相，稱為氣體 其特征是在室溫下加壓不可液化。如氫氣，氮氣其特征是在室溫下加壓不可液化。如氫氣，氮氣以上分類的主要原因是以上分類的主要原因是 :蒸汽加壓液化，液體減壓氣化會對蒸汽加壓液化，液體減壓氣化會對系統(tǒng)的真空度產(chǎn)生影響。系統(tǒng)的真空度產(chǎn)生影響。（3）飽和蒸汽和不飽和蒸汽）飽和蒸汽和不飽和蒸汽飽和蒸汽：汽液

14、平衡共存時的蒸汽。飽和蒸汽：汽液平衡共存時的蒸汽。非飽和蒸汽：單一蒸汽存在。非飽和蒸汽：單一蒸汽存在。飽和蒸汽不符合理想氣體物態(tài)方程，但符合克飽和蒸汽不符合理想氣體物態(tài)方程，但符合克拉珀龍方程。拉珀龍方程。不飽和蒸汽符合理想氣體物態(tài)方程。不飽和蒸汽符合理想氣體物態(tài)方程。第三節(jié)第三節(jié) 真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)1.真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖真空系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖真空室真空室泵泵管路管路閥門閥門真空測量真空測量機械泵機械泵分子泵分子泵閥閥門門管管路路閘板閥閘板閥真空室真空室真空測量真空測量真空狀態(tài)真空狀態(tài)是氣體分是氣體分子運動的子運動的動態(tài)結(jié)果動態(tài)結(jié)果漏氣與放氣漏氣與放氣系統(tǒng)中氣體的流動處于分子流狀態(tài)2.真空系統(tǒng)的

15、組成真空系統(tǒng)的組成 泵泵負責(zé)抽空系統(tǒng)內(nèi)的剩余氣體負責(zé)抽空系統(tǒng)內(nèi)的剩余氣體o機械泵機械泵o擴散泵擴散泵o分子泵分子泵o離子泵離子泵o吸附泵鈦吸附泵和冷凝吸附泵吸附泵鈦吸附泵和冷凝吸附泵 真空室真空室安放實驗裝置安放實驗裝置 真空管路真空管路連接真空系統(tǒng)連接真空系統(tǒng) 閥門閥門控制真空系統(tǒng)的連接情況控制真空系統(tǒng)的連接情況 真空的測量真空的測量不同的真空要求由不同不同的真空要求由不同的泵和系統(tǒng)組成的泵和系統(tǒng)組成3.表征真空系統(tǒng)的幾個參數(shù)表征真空系統(tǒng)的幾個參數(shù)(1)體積流速體積流速S（體積流率）（體積流率） 單位時間流過管道某一特定截面的體積單位時間流過管道某一特定截面的體積(3)流導(dǎo)流導(dǎo)C、流阻、流阻

16、Z 表征氣體沿管道流動的動力或阻力表征氣體沿管道流動的動力或阻力 Q=C(P2-P1), P1、P2為管道兩端的壓強為管道兩端的壓強(2)流量流量Q（體積流率）（體積流率） 單位時間流過管道某一特定截面的的氣體單位時間流過管道某一特定截面的的氣體分子的量分子的量dtdVSdtd(PV)Q穩(wěn)定流動狀態(tài)下流量守恒穩(wěn)定流動狀態(tài)下流量守恒串連：串連：并連：并連：串連時總流導(dǎo)小于任何連接的流導(dǎo)串連時總流導(dǎo)小于任何連接的流導(dǎo)(4)泵抽速泵抽速S 泵入口處單位時間抽入的氣體體積泵入口處單位時間抽入的氣體體積 (6)泵的有效抽速（實際抽速）泵的有效抽速（實際抽速） 當(dāng)一個容器由一根管道連接到泵進行抽當(dāng)一個容器

17、由一根管道連接到泵進行抽氣時，在容器出口處的抽速。氣時，在容器出口處的抽速。(5)泵抽除量泵抽除量R 表征泵的抽氣能力表征泵的抽氣能力 R=P1S1dtd(V)SPP實際抽速的計算：S=Q/P=截面積*流速系統(tǒng)實際抽速系統(tǒng)實際抽速1/ppSSSCQ=SpPr=SP=C(P-Pr)真空計的位置真空計的位置00000()(1/)QC PPp SpSppSCp0, S0p, S實際壓強要比測量壓強高實際壓強要比測量壓強高（7）極限真空度）極限真空度只考慮泵抽氣過程總存在氣體回流量只考慮泵抽氣過程總存在氣體回流量Qp凈流量：凈流量：令令Q=0,求出極限真空度求出極限真空度)Q1 (QQppPSPSPS

18、pppPQ0SPP00Q(1)pppPS PS PS PP0()Q(1)PpPd PVVdPS Pdtdt )P1 ()(Q0PPSdtVdPdtPVdp分離變量，積分得：分離變量，積分得：)exp()()(00VtSPPPtPpi其中：其中：Pi為真空室初始真空度（為真空室初始真空度（t=0）P0為真空室極限真空度（為真空室極限真空度（t）Pt為真空室某一時刻真空度為真空室某一時刻真空度第四節(jié)第四節(jié).抽真空和抽真空設(shè)備抽真空和抽真空設(shè)備一、一、 抽真空抽真空 是利用各種真空泵將被抽容器中的氣體抽出，是利用各種真空泵將被抽容器中的氣體抽出，使該空間的壓強低于一個大氣壓的過程。使該空間的壓強低于

19、一個大氣壓的過程。 可有多種方法實現(xiàn)抽真空可有多種方法實現(xiàn)抽真空 真空泵：抽真空的裝置真空泵：抽真空的裝置3.抽真空和抽真空設(shè)備抽真空和抽真空設(shè)備二、真空泵二、真空泵 目前常用的真空泵主要有：旋轉(zhuǎn)式機械真空泵、目前常用的真空泵主要有：旋轉(zhuǎn)式機械真空泵、油擴散泵、復(fù)合分子泵、分子篩吸附泵、鈦升華泵、油擴散泵、復(fù)合分子泵、分子篩吸附泵、鈦升華泵、濺射離子泵和低溫泵等。前三種屬于濺射離子泵和低溫泵等。前三種屬于氣體傳輸泵氣體傳輸泵，后四種屬于后四種屬于氣體捕獲泵氣體捕獲泵。 能使壓力從一個大氣壓力開始變小，進行排氣能使壓力從一個大氣壓力開始變小，進行排氣的泵常稱為的泵常稱為“前級泵前級泵”；另一些卻

20、只能從較低壓力；另一些卻只能從較低壓力抽到更低壓力，這些真空泵常稱為抽到更低壓力，這些真空泵常稱為“次級泵次級泵”。（1）旋轉(zhuǎn)式機械真空泵v機械泵：凡是利機械泵：凡是利用機械運動以獲用機械運動以獲得真空的泵，因得真空的泵，因用油來進行密封，用油來進行密封，所以屬于有油類所以屬于有油類泵。泵。v原理：利用機械原理：利用機械力連續(xù)抽氣、壓力連續(xù)抽氣、壓縮排除氣體。縮排除氣體。工作過程：工作過程： 氣體從入口進入轉(zhuǎn)子和定子之間氣體從入口進入轉(zhuǎn)子和定子之間 偏軸轉(zhuǎn)子壓縮空氣并輸送到出口偏軸轉(zhuǎn)子壓縮空氣并輸送到出口 氣體在出口累積到一定壓強，噴氣體在出口累積到一定壓強，噴出到大氣出到大氣工作范圍及特點：

21、工作范圍及特點： 大氣壓大氣壓10-3 torr 耐用，便宜耐用，便宜1. 油潤滑，污染油潤滑，污染理想情況下，旋片轉(zhuǎn)動半周后，腔體內(nèi)壓強：nnVVVPPnVVVPPVPVVP)()()(00101個循環(huán)后n無限大時，p趨向0；極限真空pm有害空間排氣空間與吸氣空間的間隙泵油氣的循環(huán)特點: 1.體積小、重量輕、結(jié)構(gòu)簡單工作可靠、經(jīng)濟耐用。 2.設(shè)有氣鎮(zhèn)閥，可抽除少量水蒸氣；但降低系統(tǒng)的真空度。 3.不適用于抽除對金屬有腐蝕的，對泵油起化學(xué)反應(yīng)、含有顆粒塵埃的氣體，易燃易爆的氣體。 4. 抽真空的能力不好。 5.潤滑油的回流和會發(fā)會對真空系統(tǒng)造成污染。 (2)(2)擴散泵擴散泵（一（一 概述）概

22、述） 油擴散真空泵是用來獲得高真空和超高真空油擴散真空泵是用來獲得高真空和超高真空的主要設(shè)備，廣泛用于電子工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、真的主要設(shè)備，廣泛用于電子工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、真空冶煉等高科技領(lǐng)域。空冶煉等高科技領(lǐng)域。 油擴散泵的工作壓力范圍油擴散泵的工作壓力范圍1010-1-11010- -P P，其極，其極限壓力是限壓力是1010-8-8PaPa。 油擴散泵一定要在壓力低于油擴散泵一定要在壓力低于40Pa40Pa的時候才能的時候才能開油擴散泵，分子泵則要低于開油擴散泵，分子泵則要低于1Pa1Pa才能啟動。才能啟動。 （二）油擴散泵工作原（二）油擴散泵工作原理理接機接機械泵械泵 擴散泵油被泵外電爐加熱產(chǎn)

23、生油蒸氣 油蒸氣沿蒸氣導(dǎo)管上升到管頂 油蒸氣經(jīng)傘形噴嘴向下噴出產(chǎn)生射流 氣體分子與射流中油分子碰撞發(fā)生動量交換 氣體分子與射流一起向下運動 油蒸汽與水冷的泵壁相遇而冷卻回流氣體分子則被帶到排氣口附近被抽走 擴散泵的壓縮比)exp(0DnvLPPKuLn蒸汽流分子密度,v蒸汽流在噴口處的速度，L射流的有效長度，D0=ND,D氣體分子在油蒸汽中的擴散系數(shù),PL前級泵的壓強， Pu真空室的壓強。討論：n, v, L,K越大，D越小，抽氣效果越好 (2) 擴散泵的實際壓強與PL成正比 討論：(1)為了提高壓縮比，采用多級噴嘴(2)選擇抽真空性能較好的前級泵(3) 選擇性能良好的擴散泵油(4) 減少返流

24、 進氣口處安裝水冷擋板或液氮冷阱 但降低抽速（三（三 ） 油油 擴散泵特擴散泵特點點1 獲得的極限真空高，為10-5Pa.2 在10-1-10-4Pa壓強范圍內(nèi)，有恒定的大抽速，但抽氣量不大，正好與旋片泵銜接.3 無運動部分，無磨損，壽命長.4 結(jié)構(gòu)簡單，維護方便，制造方便，工作時安靜.5 工作介質(zhì)是油，存在油污染.6.被抽氣體不能易燃、易爆、腐蝕性.7 啟動慢.(3)渦輪分子泵 渦輪分子是靠高速轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子獲得超高真空的一種機械真空泵。工作壓力范圍為1Pa10-8Pa 。 先進的泵可以獲得10-9Pa的極限壓力。 泵的轉(zhuǎn)速為10000r/min50000r/min,這種泵的抽速范圍

25、很寬，在九個數(shù)量級間具有恒定的抽速。 分子泵主要用作超高真空泵和高真空泵，單它不能直接對大氣排氣，需要配前級真空泵。 分子泵對較輕氣體抽速很大，對氫的抽速比對空氣的抽速大20%。（一）概述（二）渦輪分子泵工作原理1 1 1 當(dāng)側(cè)的氣體分子與葉片相碰后反射方向在1角內(nèi)的將又回到回到側(cè)側(cè)；撞擊在1 角內(nèi)再反射的氣體分子將進入進入側(cè)側(cè)；反射方向在1角內(nèi)的氣體分子最后將進入到側(cè)或散射回側(cè)。動葉片工作原理圖2 2 2 12， 12凈氣體流1.泵的排氣壓力與進氣壓力之比稱為壓縮比。壓縮比除與泵的級數(shù)和轉(zhuǎn)速有關(guān)外，還與氣體種類有關(guān)。2.分子量大的氣體有高的壓縮比。3.渦輪分子泵必須在分子流狀態(tài)(氣體分子的平

26、均自由程遠大于導(dǎo)管截面最大尺寸的流態(tài))下工作才能顯示出它的優(yōu)越性,因此要求配有工作壓力為110-2帕的前級真空泵。三、性能 1 1 渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快；渦輪分子泵的優(yōu)點是啟動快； 2 2 能抗各種射線的照射；能抗各種射線的照射； 3 3 耐大氣沖擊；耐大氣沖擊； 4 4 無氣體存儲和解吸效應(yīng)；無氣體存儲和解吸效應(yīng)； 5 5 無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超無油蒸氣污染或污染很少，能獲得清潔的超高真空。高真空。 渦輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷藴u輪分子泵廣泛用于高能加速器、可控?zé)岷朔磻?yīng)裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等反應(yīng)裝置、重粒子加速器和高級電子器件制造等方面。方面。渦

27、輪分子泵的特點（4）鈦升華泵）鈦升華泵 加熱加熱Ti絲使其蒸發(fā)到冷壁絲使其蒸發(fā)到冷壁. Ti原子與氣體反應(yīng)原子與氣體反應(yīng). 工作范圍工作范圍 10-8-10-11 Torr 便宜，可靠，無噪音，無振動，便宜，可靠，無噪音，無振動，無斷電問題無斷電問題 需要再生，很難排除惰性氣體需要再生，很難排除惰性氣體和甲烷和甲烷液氮冷卻有很大表面積的分子篩10-3 Torr- 10-10 Torr (可以用兩個泵交替工作)很容易飽和多泵聯(lián)合工作200 C 烘烤除去吸附的氣體簡單，無振動，便宜，無油污染極限真空與泵的溫度相關(guān)。（5）冷凝泵金屬表面，高沸點氣體覆蓋的低溫表面，分子篩，活性碳等( ) 300/ul

28、tsPP TTpMT22105 . 3（6）吸附泵可吸附有毒有害氣體和易燃易爆氣體無油真空泵常和其它干式真空泵聯(lián)合使用運行成本高種種 類類原原 理理工作壓強范圍工作壓強范圍機機械械泵泵油封機械泵（單級）油封機械泵（單級）油封機械泵（雙級）油封機械泵（雙級）分子泵分子泵羅茨泵羅茨泵利用機械力壓縮排除氣體利用機械力壓縮排除氣體大氣壓至大氣壓至1Pa大氣壓至大氣壓至10-2Pa10-110-7Pa10310-3Pa蒸蒸氣氣噴噴射射泵泵水銀擴散泵水銀擴散泵油擴散泵油擴散泵油噴射泵油噴射泵靠蒸氣噴射的動量把氣體靠蒸氣噴射的動量把氣體帶走帶走110-6Pa干干式式泵泵濺射離子泵濺射離子泵鈦升華泵鈦升華泵利

29、用濺射或升華形成吸氣、利用濺射或升華形成吸氣、吸附排除氣體吸附排除氣體10-210-8Pa吸附泵吸附泵冷凝泵冷凝泵冷凝吸附泵冷凝吸附泵利用低溫表面對氣體進行利用低溫表面對氣體進行物理吸附排除氣體物理吸附排除氣體大氣壓至大氣壓至10-2Pa10-310-10Pa10-310-8Pa 第四節(jié) 真空測量一、概述v測量原理均是利用測定在低氣壓下與壓強有關(guān)的某些物理量，再經(jīng)變換測量原理均是利用測定在低氣壓下與壓強有關(guān)的某些物理量，再經(jīng)變換后確定容器的壓強。后確定容器的壓強。v當(dāng)壓強改變時，這些和壓強有關(guān)的特性也隨之變化的物理現(xiàn)象，就是真當(dāng)壓強改變時，這些和壓強有關(guān)的特性也隨之變化的物理現(xiàn)象，就是真空測量的基礎(chǔ)?？諟y量的基礎(chǔ)。v任何具體的物理特性，都是在某一壓強范圍才最顯著。因此，任何方法任何具體的物理特性，都是在某一壓強范圍才最顯著。因此，任何方法都有其一定的測量范圍，即為該真空計的都有其一定的測量范圍，即為該真空計的“量程量程”。目前，還沒有一種。目前，還沒有一種真空計能夠測量真空計能夠測量1大氣壓至大氣壓至10-10Pa整個范圍的真空度。整個范圍的真空度。 v真空計分為絕對真空計和相對真