外觀不良原因及方法

1、 前清洗1、若出現(xiàn)雨點狀的斑點：只要加入少量乙醇或異丙醇即可消除。2、若硅片上端部分光亮：表明液位不夠或溶液粘稠度過大，使籃框漂浮起來。3、若硅片表面有水痕印：說明溶液內(nèi)硅酸鈉過量，適當加大NaOH的用量；還有可能噴淋效果不理想，調(diào)節(jié)噴淋吹風大小。4、若硅片表面有手指印：沒有按照正確WI的操作手冊進行操作，裸手拿片或手套臟了及手套壞了沒有及時的更換。需要求員工按照正確的WI進行操作，提高員工的操作素質及規(guī)范員工正確的操作手法，對員工進行綜合性的培訓。5、若檢驗硅片發(fā)現(xiàn)有或存在裂痕：應及時挑出，防止在制成過程中出現(xiàn)碎片及卡片，造成不良或成本的浪費。6、吸筆?。翰荒苈闶秩ツ没蛭廴疚P頭及長時間沒有

2、擦拭或更換吸筆頭或吸筆真空太大，吸筆印落印在硅片上等因素都會造成吸筆印。方法：提高員工操作素質、半小時擦拭或兩小時更換吸筆頭，調(diào)整真空大小，杜絕吸筆印的產(chǎn)生。 擴散1、藍黑點：由于前清洗滾輪速度過快，造成在噴淋處沒有吹干凈出現(xiàn)藍黑點。措施：適當調(diào)整滾輪速度或噴淋吹風大小。2、臟片：一方面由于清洗硅片太高或碎片殘留堵住噴淋口和在擴散前硅片被污染造成臟片。措施：及時清理和防止各種會造成硅片污染的因素。1、滾輪印：如果后清洗出來的片子沒有完全脫水可以在HF槽中適當添加HF，HF可以出去硅片表面氧化層形成疏水表面和洗風刀處的滾輪沉積物太多或太臟，應及時用水槍沖洗滾輪。2、藥殘：由于噴淋吹風沒有完全吹干

3、或前道存在隱裂在噴淋處讓藥液殘留在隱裂中，造成藥液殘留在硅片上，應適當調(diào)整噴淋吹風大小或在制成中減少隱裂的產(chǎn)生。3、吸筆印：同上后清洗PECVD1、色差：由于受鍍膜溫度的高低及鍍膜時間的長短和管爐內(nèi)溫度的均勻性的影響。措施：監(jiān)控好管爐鍍膜溫度及鍍膜時間，溫度波動的走勢防止溫度波動太大。2、非擴散面彩虹片：由于在上片時不小心造成隱裂或在鍍膜時碎片，鍍膜到非擴散面。措施：在上片發(fā)現(xiàn)有隱裂應及時挑出，上片時應注意不要過多碰撞石墨舟，注意工藝卡點。3、吸筆?。河捎陂L時間沒有更換吸筆頭或是吸筆頭被污染。措施：應及時擦拭或更換。絲網(wǎng)外觀 ：（1）鋁珠 ：印刷過厚,燒結熱量過多.措施：降低印刷厚度，調(diào)整印刷

4、參數(shù)提高印刷壓力、降低速度以及絲 網(wǎng)間距在不影響電性能的情況下,降低燒結溫度或者是提高燒結帶速(此種方法不建議采用)（2）鋁皰 :印刷厚度偏薄。印刷不均勻網(wǎng)版有針孔漏漿。刮刀破損。漿料不均勻。燒結熱量不均勻。抽風過大。加熱管熱量不均勻。措施：增大印刷厚度，調(diào)整印刷參數(shù)降低印刷壓力、增大速度以及絲網(wǎng)間距。用封網(wǎng)膠直接在線修補針孔。更換刮刀。更換另一個批次的漿料。需請設備人員進行相應調(diào)整解決.(3)彎曲：鋁背場過厚。漿料使用不當。 措施：降低印刷厚度，調(diào)整印刷參數(shù)提高印刷壓力、降低速度以及絲網(wǎng)間距。更換抗彎曲漿料。(4)線條虛印:參數(shù)不正確。漿料攪拌不均勻。刮刀翹曲。網(wǎng)版本身張力不均勻。印刷頭在印刷行進過程中抖動。措施：調(diào)整參數(shù)，重新安裝刮刀或者更換新刮刀。更換網(wǎng)版。需請設備人員進行相應調(diào)整解決。(5)部分區(qū)域過厚或者過薄甚至缺印:網(wǎng)版本身厚度不均勻。刮刀翹曲或者破損。硅片本身厚度不均勻。印刷臺面或者網(wǎng)框支架本身有高低。印刷頭在印刷行進過程中壓力或者速度不均勻。措施：更換網(wǎng)版。重新安裝刮刀或者更換新刮刀。調(diào)整印刷參數(shù)提高印刷壓力、降低速度以及絲網(wǎng)間距或者不做。需請設備人員進行相應調(diào)整解決。烘干外觀：(1)背表面有吸盤印:沒有烘干。非烘干原因印刷過厚。措施：增大烘干溫度，延長烘干時間。降低印刷厚度，調(diào)整印刷參數(shù)提高印刷壓力、降低速度以及絲網(wǎng)間距。(2)塊狀或者粉末狀脫落 :過干或者