無塵室管理制度手冊

1、目錄0.目錄 (Table of content)1. 大綱(Introduction)1.1 范圍(Scope)1.2 目的(Purpose)2. 引用文件(Reference document) 3. 名詞定義(Definition)4. 無塵室治理規(guī)范程序4.1 無塵室潔凈度等級區(qū)分及區(qū)域定義4.1.1 面板前段工廠4.1.2 面板后段工廠4.1.3 模塊工廠4.2 無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)定4.2.1 無塵衣等級區(qū)分4.2.2 無塵鞋等級區(qū)分4.2.3 無塵帽等級區(qū)分4.2.4 各區(qū)無塵衣穿著規(guī)定4.2.5 無塵衣?lián)Q洗規(guī)定4.2.6 無塵衣之破損與縫補4.3 無塵室進(jìn)入資格之取得4.3

2、.1 一般職員4.3.2 高階主管4.3.3 來賓(廠商)4.3.4 無塵室進(jìn)入資格取得之流程4.4 無塵室進(jìn)入資格之取消4.5 無塵室資格考試4.6 無塵室進(jìn)出管制規(guī)定4.6.1 人員之限制4.6.2 物品之限制4.7 進(jìn)入無塵室之程序4.7.1 人員進(jìn)入無塵室之流程4.7.2 物品進(jìn)入無塵室之流程4.7.3 儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程4.8 無塵衣穿著程序4.8.1 連身式無塵衣穿著程序4.8.2 披肩式無塵衣穿著程序4.8.3 大衣式靜電袍穿著程序4.9 無塵衣穿著步驟4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟4.9.2 披肩式無塵衣穿著步驟4.9.3 大衣式靜電袍穿著步驟4.10 無塵衣穿著注意事

3、項4.11 無塵衣穿著檢查要項4.12 無塵室一般禁止及注意事項4.13 黃光室特不注意事項4.14 來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項4.15 無塵室安全注意事項4.16 無塵室環(huán)境條件操縱5. 使用表單(Form used)6. 變更記錄(Change Record) 1. 大綱(Introduction)1.1范圍(Scope)凡進(jìn)入無塵室內(nèi)所有人、機器設(shè)備、物品、原物料、產(chǎn)品等，均屬本規(guī)范之管制范圍。 1.2目的(Purpose)為維持無塵室內(nèi)潔凈度，管制污染源操縱環(huán)境參數(shù)，特關(guān)于無塵室內(nèi)之人、機器設(shè)備、物品、原物料等加以管制，以便能確保無塵室內(nèi)潔凈度符合產(chǎn)品制程之需求，提高產(chǎn)品品質(zhì)。2.

4、 參考文件(Referenced Document)美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209D(U.S. FEDERAL STANDARD 209D)MS-5103 無塵無菌室運轉(zhuǎn)治理指針(GUIDANCE FOR OPERATION OF CLEAN ROOM)3. 名詞定義(Definition)本規(guī)范除下列所述名詞外，均依照J(rèn)IS Z 8122(Contamination Control術(shù)語)。無塵室Particle被操縱在規(guī)定值內(nèi)之房間粒子(Particle)一般而言指0.001至1000m之粒徑的固體或液體之物質(zhì)4.無塵室治理規(guī)范程序4.1無塵室潔凈度等級區(qū)分及區(qū)域定義4.1.1 面板前段工廠 A區(qū)(Cl

5、ass 100級)：包含黃光室及組合室。 B區(qū)(Class 1000級)：除A、C區(qū)以外之其它面板前段生產(chǎn)區(qū)。 C區(qū)(Class 10000級)：包含投片室。4.1.2面板后段工廠 D區(qū)(Class 1000級)：面板后段無塵室(液晶注入室)。 E區(qū)(Class 1000級)：面板后段貼片區(qū)(Clean Booth內(nèi))。 F區(qū)(Class 10000級)：面板后段一般區(qū)。4.1.3 模組工廠 G區(qū)(Class 1000級)：模組無塵室(COG室)。H區(qū)(Class 1000級)：模組組裝區(qū)(Clean Booth內(nèi))。I區(qū)(Class 10000級)：模組一般區(qū)。4.2無塵衣/鞋/帽穿著使用規(guī)

6、定4.2.1 無塵衣等級區(qū)分 連身式無塵衣：Class 100級、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、綠色為施工及未認(rèn)證人員使用、淡黃色為來賓使用) 。 披肩式無塵衣：Class 1000級、白色、藍(lán)色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。 大衣式靜電袍：Class 10000級、白色、藍(lán)色、淡黃色(藍(lán)色為工程員使用、淡黃色為來賓使用)。4.2.2無塵鞋等級區(qū)分長統(tǒng)式無塵鞋：Class 100級、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、黃色 (藍(lán)色為工程員使用、綠色為施工及未認(rèn)證人員使用、黃色為來賓使用) 開孔式靜電鞋：Class 10000級、白色(來賓使用不織布鞋套)。4.

7、2.3無塵帽等級區(qū)分 連身式無塵帽：Class 100級、白色、蘋果綠色、藍(lán)色、綠色、黃色(與無塵衣連在一起)。披肩式無塵帽：Class 1000級、白色、藍(lán)色、黃色、粉紅、淺紅、深紅(藍(lán)色為工程員及技術(shù)員使用、黃色為來賓使用、粉紅為QC使用、淺紅為制造部物料員使用、深紅為制造部組長使用)。 蝴蝶式無塵帽：Class 1000級、白色、藍(lán)色、黃色、粉紅、淺紅、深紅(藍(lán)色為工程員及技術(shù)員使用、黃色為來賓使用、粉紅為QC使用、淺紅為制造部物料員使用、深紅為制造部組長使用)。4.2.4各區(qū)無塵衣穿著規(guī)定A、B區(qū)：1. 治理、生產(chǎn)等工作人員，在A區(qū)及B區(qū)內(nèi)工作時，均須穿著白 色或蘋果綠色連身式無塵衣、

8、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。 2. 制程、設(shè)備及研發(fā)人員在A區(qū)及B區(qū)內(nèi)工作時，則穿著藍(lán)色連身式無塵衣、披肩帽、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。3. 品管在A區(qū)及B區(qū)內(nèi)工作時，均須穿著粉紅色連身式無塵衣、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。4. 施工及未認(rèn)證人員，均須穿著綠色連身式無塵衣、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。5. 來賓則穿著來賓專用黃色連身式無塵衣、披肩帽、長統(tǒng)式無塵鞋套、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。 D、G區(qū)： 1. 治理、生產(chǎn)、品管等工作人員，均須穿著白色或藍(lán)色披肩式無塵衣、披肩帽、長統(tǒng)式無塵鞋，戴網(wǎng)帽、口罩及手套(物料員使用淺紅4色披肩帽、制造部組長使用深紅色披肩帽、技術(shù)員使用

9、藍(lán)色披肩帽、品管使用粉紅色披肩帽)。2. 制程、設(shè)備及研發(fā)人員，則穿著藍(lán)色披肩式無塵衣、披肩帽、長統(tǒng)式無塵鞋、戴網(wǎng)帽、口罩及手套。 3. 來賓則穿著來賓專用黃色披肩式無塵衣、披肩帽、長統(tǒng)式無塵鞋套、戴網(wǎng) 帽、口罩及手套。C、F、H、I區(qū)：1. 治理、生產(chǎn)、品管等工作人員，均須穿著白色或藍(lán)色大衣式靜電袍、蝴蝶帽、開孔式無塵鞋(物料員使用淺紅色蝴蝶帽、制造部組長使用深紅色蝴蝶帽、技術(shù)員使用藍(lán)色蝴蝶帽、品管使用粉紅色蝴蝶帽)。 2. 制程、設(shè)備及研發(fā)人員，則穿著藍(lán)色大衣式靜電衣、蝴蝶帽、開孔式無塵鞋。 3. 來賓則穿著來賓專用黃色大衣式靜電袍、蝴蝶帽、不織布鞋套。4.2.5無塵衣?lián)Q洗規(guī)定無塵衣等須二

10、周定期清洗，由外包專業(yè)洗衣廠統(tǒng)一清洗，并送回廠內(nèi)，以維持無塵衣之清潔。4.2.6無塵衣之破損與縫補無塵衣若有破損、拉煉損壞、松緊帶松弛、魔術(shù)粘掉落.等情況發(fā)生時，該件即應(yīng)立即停止使用，若可修補者應(yīng)將其置于待修補區(qū)，若已達(dá)無法修補者則應(yīng)將其報廢，領(lǐng)用新品使用。 4.3無塵室進(jìn)入資格之取得4.3.1 一般職員：凡經(jīng)常于無塵室內(nèi)工作或不定期會進(jìn)入無塵室者，均應(yīng)先由制造部上過無塵室治理規(guī)范或其它相關(guān)課程，并通過考試合格后，才具無塵室進(jìn)出資格，考試合格人員由制造部造冊列管，然后才可向制造部領(lǐng)取無塵衣等相關(guān)物品。4.3.2 高階主管：熟知并了解無塵室治理規(guī)范及其它各項相關(guān)規(guī)定后，即具無塵室進(jìn)出資格。(高階

11、主管定義：指董事長、總經(jīng)理、副總經(jīng)理等)4.3.3 來賓(廠商)：應(yīng)由接待部門具無塵室出入資格者，先行講解無塵室內(nèi)各項規(guī)定及注意事項后， 始可在相關(guān)人員全程陪同下進(jìn)入無塵室。4.3.4無塵室進(jìn)入資格取得之流程：取得資格領(lǐng)無塵衣考試上課 OK NG 4.4無塵室進(jìn)入資格之取消若有下列情況發(fā)生時則取消其無塵室進(jìn)入資格： 4.4.1.人員離職時或留職停薪期間超過3個月者。 4.4.2.1個月內(nèi)累計違反無塵室治理規(guī)范或其它各項相關(guān)規(guī)定，被品管或稽核人員登記達(dá)2次(含)以上者。 4.4.3違反無塵室治理規(guī)范或其它各項相關(guān)規(guī)定情節(jié)重大者。 4.4.4無塵室治理規(guī)范或其它各項相關(guān)規(guī)定有大幅度之修改，而需取得

12、重新認(rèn)證時。4.5無塵室資格考試考前預(yù)備：考試前應(yīng)由制造部統(tǒng)一講授 - 無塵室治理規(guī)范及其它各項相關(guān)規(guī)定。 測驗卷：共有A、B、C、D共4份測驗卷，每份均為15題選擇題及10題是非題，每題4分， 采不倒扣方式計分。 考試時刻：10分鐘。 及格分?jǐn)?shù)：80分。 補考規(guī)定：第一次測驗不合格者，得經(jīng)再上課后補考一次，若仍不合格者即無法取得無塵室工作 資格。 4.6無塵室進(jìn)出管制規(guī)定4.6.1人員之限制 (1) 公司職員：因職務(wù)之需要必須進(jìn)入無塵室內(nèi)工作者，須先上過無塵室治理規(guī)范及其它 無塵室相關(guān)規(guī)定之課程，并通過考試及格后，才可進(jìn)入無塵室。 (2) 非公司職員：為維持無塵室潔凈度之要求及幸免生產(chǎn)作業(yè)受

13、到不必要之干擾，以確保產(chǎn)品之品質(zhì)，除下列情況外，均謝絕進(jìn)入無塵室參觀：督導(dǎo)單位長官或評鑒/稽核人員視察。重要客戶或供貨商了解現(xiàn)場作業(yè)情況。儀器/設(shè)備之維修工程師或外包施工廠商。本公司聘雇之顧問或?qū)＜摇?(3) 非公司職員進(jìn)入無塵室時，必須有接待或相關(guān)部門人員全程陪同。 (4) 來賓進(jìn)入無塵室之申請程序：來賓須進(jìn)入無塵室時，應(yīng)由接待或相關(guān)部門人員向制造部主管 提出申請，取得核準(zhǔn)后始可進(jìn)入無塵室。 (5) 進(jìn)入無塵室均須刷卡進(jìn)入。注：有下列健康狀況或體質(zhì)者原則上不能進(jìn)入無塵室a. 因日曬、濕疹、或燙傷而皮膚有問題者。b. 對化學(xué)纖維有過敏性體質(zhì)者。c. 對溶劑等化學(xué)藥劑有過敏性體質(zhì)者。d. 容易流

14、汗或出手汗者。e. 容易流鼻涕或從鼻子常流出排出物者。f. ?？人?、打噴嚏或患?xì)獯≌?。g. 經(jīng)常有搔抓適應(yīng)者。h. 有精神病、神通過敏或閉鎖性恐懼癥者。4.6.2 物品之限制 (1) 非生產(chǎn)或工作所需之物品一律禁止攜入無塵室。 (2) 面板前段紙類物品(非無塵紙)禁止攜入無塵室，若必須攜入時則須塑封或加塑料護(hù)套。 (3) 下列物品一律禁止攜入無塵室： 鉛筆、橡皮擦、修正液(修正帶)等易發(fā)塵或揮發(fā)之文具（僅A、B、C、D、G區(qū)）。 一般紙類、紙箱、一般筆記簿、紙制活頁夾等（僅A、B、C區(qū)）。 木制物品且表面無聚乙稀等物質(zhì)包覆者。 鐵制物品且未作防銹處理而有生銹之虞者。 臟污或外表生銹之物品。

15、保麗龍類物品（僅A、B、C、D、G區(qū)）。 其它易污染環(huán)境或制造particle之物品。 (4) 物品攜入無塵室前，必須先擦拭潔凈，才可帶入無塵室。4.7進(jìn)入無塵室之程序4.7.1人員進(jìn)入無塵室(CR)之流程：取得進(jìn)入CR資格刷卡進(jìn)入更衣室換穿無塵衣/鞋帶上手套進(jìn)入CR前檢查AIR SHOWER 4.7.2物品進(jìn)入無塵室之流程：取得物品攜入許可適當(dāng)擦拭或包裝檢驗攜入CR OK或不須驗 NG4.7.3儀器設(shè)備進(jìn)入無塵室之流程：取得儀器設(shè)備進(jìn)入許可適當(dāng)擦拭檢驗搬入CR OK或不須驗 NG4.8無塵衣穿著程序4.8.1連身式無塵衣穿著程序：刷卡進(jìn)入更衣室戴口罩脫去拖鞋戴上網(wǎng)帽檢查Air Shower穿

16、著無塵衣戴上手套 (脫衣程序則為反向)穿無塵鞋 (脫衣程序則為反向)4.8.2披肩式無塵衣穿著程序：脫去拖鞋刷卡進(jìn)入更衣室穿無塵衣戴披肩帽戴網(wǎng)帽 戴口罩戴上手套檢查Air Shower穿無塵鞋 (脫衣程序則為反向) 4.8.3 大衣式靜電袍穿著程序：. 換穿靜電鞋換穿靜電袍脫去拖鞋刷卡進(jìn)入更衣室 戴上指套或手套Air Shower戴上帽子檢查 (脫衣程序則為反向)4.9無塵衣穿著步驟4.9.1 連身式無塵衣穿著步驟 戴上網(wǎng)帽 先確認(rèn)衣服正面朝前并穿上雙袖 套在頭上，露出臉部 穿上褲腳 將胯下拉煉由一端拉至另一端(拉煉開口不可露出，必須被長統(tǒng)無塵鞋蓋住) 穿上無塵鞋 將頭部魔鬼粘扣上 戴上口罩并

17、扣上頸部魔鬼粘4.9.2 披肩式無塵衣穿著步驟 戴上網(wǎng)帽 戴上披肩帽 穿上無塵衣(披肩帽緣須被無塵衣包住)并拉上拉煉及扣上領(lǐng)扣 穿上無塵鞋 4.9.3 大衣式靜電袍穿著步驟 穿上大衣式靜電袍 穿上靜電鞋 戴上蝴蝶帽4.10無塵衣穿著注意事項(1) 換下之拖鞋請整齊置于指定處所。(2) 清洗潔凈且包裝好之無塵衣/鞋/帽等，請放置于個人衣柜內(nèi)。(3) 使用中之無塵衣，應(yīng)整齊吊掛于Clean Booth(HEPA)之衣架上，以維持高潔凈度。(4) 換穿無塵衣過程中，應(yīng)盡量幸免無塵衣接觸地面。(5) 戴網(wǎng)帽時應(yīng)盡量將頭發(fā)、耳朵都包覆在內(nèi)，勿使其外露。(6) 無塵衣拉煉均應(yīng)拉到底；扣子應(yīng)扣好；魔術(shù)粘亦應(yīng)

18、粘妥。(7) 無塵衣穿著應(yīng)松緊適中，不可過松或太緊(可利用腰帶來調(diào)整松緊度)。(8) 無塵衣若有破損時，不可接著穿著，應(yīng)修補后才可使用(若不堪修補時應(yīng)報廢更換新品)。(9) 穿無塵鞋時，應(yīng)穿著襪子以維持個人衛(wèi)生。 (10) 穿無塵鞋時應(yīng)全腳穿入，不可踩住鞋后跟。 (11) 穿上無塵衣后，便服褲腳不可外露應(yīng)包覆在無塵衣內(nèi)。 (12) 口罩應(yīng)遮住口、鼻不使其外露。 (13) 手套應(yīng)完全塞入無塵衣之袖口內(nèi)。 (14) 穿著無塵衣或戴口罩、手套時，不可邊走邊穿戴。 (15) 披肩帽應(yīng)壓在無塵衣內(nèi)，帽緣不可外露。 (16) 無塵室內(nèi)不可打瞌睡。 (17) 原則上網(wǎng)帽、口罩、手套之更換頻率如下： 網(wǎng)帽每周

19、更換一次，若臟污或破損時則立即更換。 口罩每2天更換一次，若臟污或破損時則立即更換(一次性紙口罩每次進(jìn)出更換一次)。 手套每次進(jìn)出更換一次，若臟污或破損時則立即更換。 指套每次二小時更換一次，若進(jìn)出工廠或臟污、破損時則立即更換(因貼片站作業(yè)情況專門，指套需半小時更換一次)。 4.11無塵衣穿著檢查要項 穿好無塵衣進(jìn)入Air Shower前，應(yīng)于鏡子前檢查下列各項：(1) 頭發(fā)、網(wǎng)帽不可外露。(2) 口、鼻不可外露。(3) 褲腳不可外露(大衣式靜電袍除外)。(4) 無塵衣、鞋不可破損或臟污。(5) 無塵衣、鞋之拉煉、扣子、魔術(shù)粘等，應(yīng)拉好不可松脫。(6) 手套端緣不可外露。(7) 無塵衣、帽之識

20、不名牌，應(yīng)貼合固定牢靠。(新人尚無識不名牌者不在此限)(8) 披肩帽帽緣不可外露。4.12無塵室一般禁止及注意事項(1) 未取得無塵室進(jìn)入資格者，不得進(jìn)入無塵室。(2) 嚴(yán)禁裸手接觸產(chǎn)品。(3) 表單、Run Card、記錄簿等應(yīng)確實小心填寫，任何涂改必須于旁邊簽名及日期。(4) 手套應(yīng)保持干燥清潔，同時不可在手套上涂寫。(5) 嚴(yán)禁坐臥桌面、腳踏板、地板、垃圾桶、護(hù)欄，以及斜靠機臺或儲存柜。(6) 若手易出汗或過敏者，可先戴細(xì)棉手套再帶PVC手套或乳膠手套。(7) 應(yīng)隨時注意各項公告及標(biāo)語。(8) 應(yīng)主動相互支持，但不可單獨操作未認(rèn)證合格之機臺。(9) 大伙兒應(yīng)隨時取締、糾正不合規(guī)定之人員、

21、物品、標(biāo)示等，并通知相關(guān)主管。(10) 應(yīng)隨時注意頭發(fā)、口、鼻不可外露。(11) 不可將無塵衣、帽等隨意置于地板上。(12) 只能在更衣室內(nèi)穿、脫無塵衣，不可在其它地點為之。(13) Air Shower前后兩門不可同時開起。(14) 無塵室內(nèi)嚴(yán)禁奔馳、嬉戲、喧嘩、睡覺等。(15) 無塵室內(nèi)嚴(yán)禁吃東西或喝飲料。(16) 無塵室內(nèi)應(yīng)幸免多人聚攏在一起，以免制造particle。微粒(17) 劇烈運動或流汗后，不可立即進(jìn)入無塵室，需待呼吸平穩(wěn)且不再流汗后，方可進(jìn)入。(18) 若有抽煙，須于抽后30分鐘同時洗手漱口后，方可進(jìn)入。(19) 面板前段不可將一般用紙、筆記本、紙箱、衛(wèi)生紙、書籍、鉛筆、修正

22、液、橡皮擦等非 無塵用品攜入無塵室。(20) 嚴(yán)禁于無塵室內(nèi)磨、銼、鋸，砂紙、磨料.等，亦禁止使用。(21) 無塵室內(nèi)工作人員，應(yīng)保持頭發(fā)、軀體之清潔，并經(jīng)常盥洗。(22) 進(jìn)入無塵室的人員禁止使用香水、口紅、發(fā)膠及其它化妝品，若有化妝者應(yīng)先卸妝后 才可進(jìn)入。(23) 原物料進(jìn)入無塵室，需先在不處拆箱并擦拭潔凈后才可進(jìn)入無塵室。(24) 不可面對產(chǎn)品、Cassette或機臺之chamber交談。(25) 即使已戴手套或指套，亦須減少對產(chǎn)品做非必要之碰觸。(26) 無塵室內(nèi)文件、半成品、物品或生產(chǎn)工具，非經(jīng)部門主管同意，不可攜出。(27) 談話時不可拉下口罩交談。(28) 在無塵室內(nèi)使用電話，宜

23、簡短扼要，勿占線。(29) 無塵室內(nèi)逃生路線，不可有障礙物阻礙逃生。(30) 無塵室內(nèi)產(chǎn)品、化學(xué)品、Cassette、工具、文件、記錄簿等，應(yīng)放置整齊。(31) 進(jìn)入Air Shower前，雙腳應(yīng)先踏腳踏粘墊，將無塵鞋底之臟污去除。(32) Air Shower內(nèi)之正確動作應(yīng)為雙手舉起，并緩慢旋轉(zhuǎn)軀體(至少三圈)。(33) 各Air Shower均有規(guī)定人數(shù)，不可超過所規(guī)定人數(shù)，若人數(shù)過多時應(yīng)分批進(jìn)入。(34) 安全門僅供緊急狀況時使用，平常嚴(yán)禁由安全門進(jìn)出工廠。(35) 無塵衣/鞋不可穿出無塵室外，靜電鞋亦不可穿出工廠外之區(qū)域。4.13黃光室特不注意事項(1) 黃光室內(nèi)最多不得超過5人。(2

24、) 進(jìn)入黃光室必須吹A(chǔ)ir Shower。(3) 使用光源時必需小心，以免阻礙曝光制程。(4) 生產(chǎn)中，不能有會阻礙溫/濕度之干擾因子進(jìn)入。(5) 非必要請勿隨意走動或進(jìn)出頻繁。4.14來賓(廠商)進(jìn)入無塵室注意事項進(jìn)入無塵室前必須先申請，并取得許可，始可由相關(guān)人員陪同進(jìn)入。(1) 來賓在無塵室內(nèi)活動須全程有相關(guān)人員陪同。(2) 無塵室內(nèi)不可攝影或拍照。(3) 不可攜帶違禁品進(jìn)入無塵室。(4) 來賓進(jìn)入無塵室須穿著來賓專用無塵衣(黃色)。(5) 進(jìn)入A、B區(qū)須著長統(tǒng)無塵鞋套，進(jìn)入C、D、E、F區(qū)則穿著不織布鞋套。(6) 來賓或廠商進(jìn)入無塵室，未經(jīng)同意不可任意觸摸、操作機臺。4.15無塵室安全注意事項(1) 操作機臺前，必須先認(rèn)證合格取得操作資格后，才可獨立操作機臺。(2) 專門作業(yè)請確實依照操作規(guī)范之相關(guān)規(guī)定。(3) 油、水、化學(xué)品等液體漏灑于地面(桌面)或機臺時，應(yīng)迅