彩色濾光片的研究開發(fā)和生產(chǎn)

1、彩色濾光片的研究開發(fā)和生產(chǎn)彩色濾光片的研究開發(fā)和生產(chǎn)深圳萊寶高科技有限公司深圳萊寶高科技有限公司SHENZHEN LAIBAO HI-TECH CO., LTD.彩色濾光片顯示器的應(yīng)用彩色濾光片顯示器的應(yīng)用 彩色濾光片彩色濾光片顯示器顯示器彩色手機(jī)筆記本電腦電子字典可視電話PDA監(jiān)控面板游戲機(jī) 偏光片偏光片 彩色濾光片彩色濾光片 定向?qū)佣ㄏ驅(qū)?液晶液晶 ITO透明電極透明電極 偏偏光片光片 背光源背光源彩色濾光片在彩色彩色濾光片在彩色STN顯示器中的應(yīng)用顯示器中的應(yīng)用基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃 偏光片偏光片 彩色濾光片彩色濾光片 定向?qū)佣ㄏ驅(qū)?液晶液晶 TFT ITO透明電極透明電極 偏

2、光片偏光片 背光源背光源彩色濾光片在彩色濾光片在TFT顯示器中的應(yīng)用顯示器中的應(yīng)用基板玻璃基板玻璃基板玻璃基板玻璃深圳萊寶深圳萊寶CF生產(chǎn)線生產(chǎn)線 2002年5月設(shè)備到廠，開始安裝調(diào)試 2002年9月投入試生產(chǎn) 月生產(chǎn)能力：3萬片 填補(bǔ)了國內(nèi)彩色濾光片生產(chǎn)的空白CF 的研究開發(fā)和生產(chǎn)的研究開發(fā)和生產(chǎn) 前言前言一、彩色濾光片的構(gòu)成一、彩色濾光片的構(gòu)成二、彩色濾光片生產(chǎn)線簡介二、彩色濾光片生產(chǎn)線簡介三、試驗(yàn)和研究開發(fā)工作三、試驗(yàn)和研究開發(fā)工作四、彩色濾光片的品質(zhì)性能四、彩色濾光片的品質(zhì)性能五、彩色濾光片設(shè)計(jì)要點(diǎn)五、彩色濾光片設(shè)計(jì)要點(diǎn)CF 的研究開發(fā)和生產(chǎn)的研究開發(fā)和生產(chǎn)一、一、CF 的構(gòu)成的構(gòu)成

3、透過型透過型-TRANSMISSIVE TYPE 反射型反射型-TRANSFLECTIVE TYPE （REFLECTIVE TYPE）透過型透過型 CF 的構(gòu)造的構(gòu)造 紅紅 色色 光光 綠綠 色色 光光 藍(lán)藍(lán) 色色 光光 透明導(dǎo)電膜透明導(dǎo)電膜 保護(hù)膜保護(hù)膜 紅綠藍(lán)膜紅綠藍(lán)膜 黑矩陣膜黑矩陣膜 SiO2 膜膜 白白 色色 光光 白白 色色 光光 白白 色色 光光玻玻 璃璃 基基 板板反射型反射型 CF 的構(gòu)造的構(gòu)造 紅紅 色色 光光 綠綠 色色 光光 藍(lán)藍(lán) 色色 光光 透明導(dǎo)電膜透明導(dǎo)電膜 保護(hù)膜保護(hù)膜 紅綠藍(lán)膜紅綠藍(lán)膜 黑矩陣膜黑矩陣膜 反射膜反射膜 開口開口 白白 色色 光光 白白 色色

4、光光 白白 色色 光光玻玻 璃璃 基基 板板CF 的研究開發(fā)和生產(chǎn)的研究開發(fā)和生產(chǎn)二、彩色濾光片生產(chǎn)線簡介二、彩色濾光片生產(chǎn)線簡介 1、CF 制做方法制做方法 2、CF 生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程彩色濾光片制做方法彩色濾光片制做方法電著法 印刷法 光刻型 非光刻型 噴墨法 顏料分散法 彩膠法顏料分散型光刻膠顏料分散型光刻膠CF的制做的制做 光刻膠 滴膠 玻璃 旋轉(zhuǎn)涂膠 紫外線 鉻掩膜板 圖形曝光 圖形顯像CF 生產(chǎn)流程生產(chǎn)流程 1000 級(jí)凈化級(jí)凈化 O/C 線線 B 線線 G 線線 R 線線 BK 線線 后烘烤后烘烤 現(xiàn)現(xiàn) 像像 曝曝 光光 預(yù)烘烤預(yù)烘烤 旋轉(zhuǎn)涂膠旋轉(zhuǎn)涂膠 清洗清洗 后烘烤后烘烤 現(xiàn)現(xiàn)

5、 像像 曝曝 光光 預(yù)烘烤預(yù)烘烤 旋轉(zhuǎn)涂膠旋轉(zhuǎn)涂膠 清洗清洗 后烘烤后烘烤 現(xiàn)現(xiàn) 像像 曝曝 光光 預(yù)烘烤預(yù)烘烤 旋轉(zhuǎn)涂膠旋轉(zhuǎn)涂膠 清洗清洗 后烘烤后烘烤 現(xiàn)現(xiàn) 像像 曝曝 光光 預(yù)烘烤預(yù)烘烤 旋轉(zhuǎn)涂膠旋轉(zhuǎn)涂膠 清洗清洗 后烘烤后烘烤 預(yù)烘烤預(yù)烘烤 旋轉(zhuǎn)涂膠旋轉(zhuǎn)涂膠 清清 洗洗CF 的研究開發(fā)和生產(chǎn)的研究開發(fā)和生產(chǎn)三、試驗(yàn)和研究開發(fā)工作三、試驗(yàn)和研究開發(fā)工作 1、工藝試驗(yàn)與結(jié)果、工藝試驗(yàn)與結(jié)果 2、研發(fā)工作、研發(fā)工作BK 膜特性膜特性材料：樹脂類顏料分散型黑色光刻膠特點(diǎn)：生產(chǎn)流程簡單 成本低 反射率低 污染小膜厚0.81.5m時(shí)，其OD值為1.83.5以上最小寬度：10 mBM 膜厚膜厚 -

6、OD值值1.522.533.5412BK 膜厚( u m)OD 值高O D值 膠普通B K 膠BK 膜的樣式膜的樣式 BM BS BL (Black matrix) (Black Stripe) (Black Less)R、G、B 膜的特性膜的特性1、材料：樹脂類顏料分散型彩色光刻膠2、特性：色度（透過型和反射型） 透光率 膜厚 尺寸精度膜厚膜厚 - 色度色度 0.6 0.5 0.4 y 0.3 0.2 0.1 0 0 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 x膜厚膜厚 - 后烘烤后烘烤60708090100012345后烘烤次數(shù)膜減率( % )BK 膜R 膜G 膜B 膜O/C

7、 膜5膜厚膜厚-轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)速0.60.811.21.41.6450500550600650700轉(zhuǎn)速 ( rpm)膜厚 ( um)膜厚均勻性膜厚均勻性1230.00.20.40.60.81.01.2膜厚 （um ）位置 膜厚偏差：1.83%曝光能量曝光能量-線寬線寬697071727374100200300400500600曝光能量（m J / c m 2)線寬（u m ）MASK 線寬：70um現(xiàn)像時(shí)間、溫度現(xiàn)像時(shí)間、溫度-線寬線寬70717273747530405060現(xiàn)像時(shí)間（S ）線寬（u m ）3525MASK線寬：70um圖形對(duì)位控制圖形對(duì)位控制一、MASK 的制做精度和套合精度二、采

8、用先進(jìn)的圖象處理和對(duì)位技術(shù)，提高對(duì)位精度三、研究設(shè)計(jì)了曝光機(jī)精密溫控裝置，穩(wěn)定對(duì)位精度四、采取有效的工藝控制保證對(duì)位精度O/C 膜層膜層一、材料：丙烯系樹脂二、膜厚：12um三、功能 1、保護(hù)RGB色層 2、表面平坦化 微觀波紋度：無O/C層，0.8600.1225um 有O/C層，0.6770.963umITO 膜層膜層 鍍膜工藝：RF+DC 鍍膜溫度：小于230 電 阻 率：1.8x10-4.cm 面 電 阻：7-15 透 過 率：大于80%ITO膜電阻率膜電阻率-RF功率分量功率分量1.522.533.501020304050RF功率分量（% ）RF功率分量（% ）ITO膜電阻率（1 0

9、 - 4 .cm）ITO膜電阻率（1 0 - 4 .cm）CF 的研究開發(fā)和生產(chǎn)的研究開發(fā)和生產(chǎn)四、彩色濾光片的品質(zhì)性能四、彩色濾光片的品質(zhì)性能 彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo) 彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（一）彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（一）項(xiàng)項(xiàng) 目目性能指標(biāo)性能指標(biāo)1.基片 材料鈉鈣玻璃，拋光，鍍SiO2膜長度300、400、420mm，14、16”寬度300、370mm，14”厚度0.4、0.5、0.55、0.7、1.1mm2.Al 膜厚1000反射率90%開口精度 3m彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（二）彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（二）項(xiàng)項(xiàng) 目目性能指標(biāo)性能指標(biāo)3.BM

10、 材料顏料分散型光刻膠膜厚1.0mOD值1.7（ 3.0）圖形精度 3m4.RGB 材料顏料分散型光刻膠膜厚1.0m圖形精度 3m彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（三彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（三）項(xiàng)項(xiàng) 目目性能指標(biāo)性能指標(biāo)5.O/C 材料丙烯系樹脂膜厚1.4m透過率80% (550nm)像素間高度差 0.15m6.ITO 膜厚2000電阻Rs10 透過率80% (550nm)彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（四）彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（四）項(xiàng)項(xiàng) 目目性能指標(biāo)性能指標(biāo)7.色度 透射型透射型x, y R0.585, 0.3450.406, 0.303G0.305, 0.5200.312, 0.357B0.140, 0.1700.224, 0.263YR1515G4545B4040彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（五）彩色濾光片產(chǎn)品主要性能指標(biāo)（五）項(xiàng)項(xiàng) 目目性能指標(biāo)性能指標(biāo)8.可靠性 溫度穩(wěn)定性250, 1小時(shí)1.無膨脹、無開裂、 無損傷 2. 透過率變化率 10% 3. E*ab5 耐化學(xué)性能 5% NaOH, 50, 20分鐘NMP, 25, 30分鐘丙酮，25,30分鐘O/C 附著性3M, No. 610 膠帶無損傷ITO穩(wěn)定性250, 1小時(shí)電阻變化率10%CF 的研究開發(fā)和生產(chǎn)的研究開發(fā)和生產(chǎn)五、彩色濾光片設(shè)計(jì)要點(diǎn)五、彩色濾光片設(shè)計(jì)要點(diǎn) 1